JP5503789B2 - キャリア箔付電解銅箔及びそのキャリア箔付電解銅箔を用いて得られる銅張積層板 - Google Patents
キャリア箔付電解銅箔及びそのキャリア箔付電解銅箔を用いて得られる銅張積層板 Download PDFInfo
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Description
本件発明に係るキャリア箔付電解銅箔1は、キャリア箔2/接合界面層3/耐熱金属層5/電解銅箔層4の層構成を備えるものであり、その層構成の概念図を模式的に図1に示した。この図1において、接合界面層3としての有機剤層と耐熱金属層5とからなる。なお、この図1は、各層の積層状態を把握できるように記載したおり、各層の厚さに関しては、現実の製品の厚さを反映させていない。以下、本件発明に係るキャリア箔付電解銅箔を構成する「キャリア箔」、「接合界面層」、「耐熱金属層」、「電解銅箔層」の順に説明する。
本件発明に係るキャリア箔付電解銅箔の製造方法は、キャリア箔として、3−メルカプト−1−プロパンスルホン酸(以下、単に「MPS」と称する。)又はビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド(以下、単に「SPS」と称する。)から選択された少なくとも一種と環状構造を持つ4級アンモニウム塩重合体と塩素とを含む硫酸系銅電解液を電解して得られる電解銅箔を用いる。
以上述べてきた本件発明に係るキャリア箔付電解銅箔は、高温熱履歴の負荷されるプレス工程のみならず、通常の最高到達温度が180℃前後の通常プレス加工条件の中で使用しても、非常に優れたキャリア箔の引き剥がし強さの安定性を確保でき、作業の信頼性が著しく向上することになる。従って、本件発明に係るキャリア箔付電解銅箔は、銅張積層板に含まれる液晶ポリマー基板、ポリイミド基板、フッ素樹脂基板、低誘電基板等に限らず、全ての「リジット系の基板」、「TAB、COB等のフレキシブル基板」、「ハイブリッド基板」等の全ての製造において好適に使用でき、高品質の銅張積層板の提供を可能とする。
フリー硫酸濃度 : 140g/l
SPS濃度 : 5mg/l
DDAC重合体濃度: 30mg/l
塩 素 濃 度 : 25mg/l
表1を参照しつつ、実施例と比較例との対比を行う。実施例の([W2]−[W1])/[W1]の値は、0.05であり、0.3以内という条件を満たしている。また、実施例の([P2]−[P1])の値は0.08であり、0.20μm以内という条件を満たしている。これに対し、比較例の([W2]−[W1])/[W1]の値は、0.42であり、([P2]−[P1])の値は0.27μmであり、本件発明で言う条件を満たしていない。この結果が、表2に示す「キャリア箔引き剥がし強さ」の差異として現れていると考えられる。
2 キャリア箔
3 接合界面層(有機剤層)
4 電解銅箔層
5 耐熱金属層
Claims (6)
- キャリア箔/接合界面層/耐熱金属層/電解銅箔層の層構成を備えるキャリア箔付電解銅箔において、
当該キャリア箔付電解銅箔は、当該キャリア箔として、表面粗さ(Rzjis)が1.0μm未満、光沢度[Gs(60°)]が400以上、及び幅方向で測定したTD光沢度と流れ方向で測定したMD光沢度との比[TD光沢度]/[MD光沢度]が0.9〜1.1の特性の析出面を備える電解銅箔を用い、当該耐熱金属層として、ニッケル層、ニッケル合金層、コバルト層、コバルト合金層のいずれかを用いたものであり、
GDS分析装置を用いて、常態の当該キャリア箔付電解銅箔の電解銅箔層側からキャリア箔側に向けて、当該耐熱金属成分の深さ方向プロファイルを測定したときのピークの半価幅をW1とし、
当該キャリア箔付電解銅箔を300℃の大気雰囲気で120分間加熱した後に、電解銅箔層側からキャリア箔側に向けて、当該耐熱金属成分の深さ方向プロファイルを測定したときのピークの半価幅をW2としたとき、
([W2]−[W1])/[W1]≦0.3の関係を満たすことを特徴とするキャリア箔付電解銅箔。 - GDS分析装置を用いて、常態の当該キャリア箔付電解銅箔の電解銅箔層側からキャリア箔側に向けて、前記耐熱金属成分の深さ方向プロファイルを測定したときのピークのピークトップ位置をP1とし、
当該キャリア箔付電解銅箔を300℃の大気雰囲気で30分間加熱した後に、電解銅箔層側からキャリア箔側に向けて、前記耐熱金属成分の深さ方向プロファイルを測定したときのピークのピークトップ位置をP2としたとき、
P1とP2とのピークトップ位置の差([P2]−[P1])が0.20μm以内である請求項1に記載のキャリア箔付電解銅箔。 - 前記キャリア箔として用いる電解銅箔の析出面は、析出面側の光沢度[Gs(20°)]>光沢度[Gs(60°)]の関係を備える電解銅箔を用いる請求項1又は請求項2のいずれかに記載のキャリア箔付電解銅箔。
- 前記接合界面層は、厚さが1nm〜1μmである請求項1〜請求項3のいずれかに記載のキャリア箔付電解銅箔。
- 前記耐熱金属層は、厚さ0.001μm〜0.05μmである請求項1〜請求項4のいずれかに記載のキャリア箔付電解銅箔。
- 請求項1〜請求項5のいずれかに記載のキャリア箔付電解銅箔を用いて得られることを特徴とする銅張積層板。
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