JP5501735B2 - 回路基板検査装置および回路基板検査方法 - Google Patents
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Description
2 エックス線照射部
3 照射領域規制部
3a 開口部
4 移動機構
5 測定部
8 制御部
9 記憶部
D0 検査用基準データ
D1 測定値データ
P 検査対象基板
Pg グランドパターン
Ps 信号パターン
Pv 電源パターン
Rx エックス線
S1〜S3 制御信号
Tg グランド端子
Ts 信号端子
Tv 電源端子
X1〜X3 集積回路
Claims (2)
- 集積回路が実装された検査対象基板の良否を電気的に検査する回路基板検査装置であって、
検査対象の前記集積回路における電源端子が接続されているべき第1の導体パターンと当該集積回路における信号端子が接続されているべき第2の導体パターンとの間の電気的パラメータ、および当該第2の導体パターンと当該集積回路におけるグランド端子が接続されているべき第3の導体パターンとの間の電気的パラメータの少なくとも一方を測定する測定部と、電磁波照射装置を制御して前記集積回路における寄生ダイオードのバンドギャップよりも十分に短い波長の電磁波を当該集積回路に対して選択的に照射させた状態において前記測定部を制御して当該寄生ダイオードの逆方向に流れる漏れ電流の電流値を前記電気的パラメータとして測定させて当該測定された電流値に基づいて前記各導体パターンに対する前記各端子の接続状態の良否を検査する制御部とを備えている回路基板検査装置。 - 集積回路が実装された検査対象基板の良否を電気的に検査する回路基板検査方法であって、
検査対象の集積回路に電磁波を選択的に照射した状態において、当該集積回路における電源端子が接続されているべき第1の導体パターンと当該集積回路における信号端子が接続されているべき第2の導体パターンとの間の電気的パラメータ、および当該第2の導体パターンと当該集積回路におけるグランド端子が接続されているべき第3の導体パターンとの間の電気的パラメータの少なくとも一方を測定し、当該測定した電気的パラメータに基づいて前記各導体パターンに対する前記各端子の接続状態の良否を検査する際に、前記集積回路における寄生ダイオードのバンドギャップよりも十分に短い波長の前記電磁波を当該集積回路に照射した状態において当該寄生ダイオードの逆方向に流れる漏れ電流の電流値を前記電気的パラメータとして測定する回路基板検査方法。
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