JP5498283B2 - 汚染空気の拡散防止装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。同図において、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置1は、室内を清浄な空気に維持する製造設備、例えば半導体や薄膜トランジスタの製造工程などに利用されるクリーンルーム2内に配備される。このようなクリーンルーム2内には、製造設備の一部として半導体や薄膜トランジスタの製造工程において使用される機械駆動部(直動ベアリングガイド等)3が配設されている。
図3は、本発明の第2実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。同図において、上述した第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、ここではその説明を省略する。
図4は、本発明の第3実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図であり、図5は、その要部を示す概略断面図である。同図において、上述した第1実施形態および第2実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、ここではその説明を省略する。
2・・・クリーンルーム
3・・・機械駆動部
4,4A・・・機械駆動部隔離箱
4B・・・ワーク作業部隔離箱
5・・・開口部
6・・・排気ダクト
7,7B・・・曲面
8,8A,8B・・・スリット部
14・・・中空円筒部材
17・・・ワーク作業部
18・・・吸気ダクト
Claims (5)
- 室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、
前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトと
を備え、
前記開口部の端部には、前記端部から前記機械駆動部隔離箱の内方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。 - 室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、
前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトと
を備え、
前記開口部の端部外側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。 - 室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、
前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、
前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトと
を備え、
前記開口部の端部には、前記端部から前記ワーク作業部隔離箱の外方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。 - 室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、
前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、
前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトと
を備え、
前記開口部の端部内側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。 - 前記中空円筒部材は、着脱可能に設けられている請求項2または4に記載の汚染空気の拡散防止装置。
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