JP5496826B2 - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5496826B2 JP5496826B2 JP2010188332A JP2010188332A JP5496826B2 JP 5496826 B2 JP5496826 B2 JP 5496826B2 JP 2010188332 A JP2010188332 A JP 2010188332A JP 2010188332 A JP2010188332 A JP 2010188332A JP 5496826 B2 JP5496826 B2 JP 5496826B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- semiconductor device
- conductivity type
- semiconductor substrate
- type diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成された第1導電型の第1領域と、
前記第1領域に隣接して前記半導体基板の表面に形成された本体部と、前記第1領域と前記第1領域の下方の前記半導体基板との間に挟まれた外縁部と、を有する第2導電型の第2領域と、
第1の方向に並んで前記第1領域に形成された第2導電型の第1ソース領域及び第1ドレイン領域と、前記第1ソース領域と前記第1ドレイン領域とで挟まれた前記第1領域上に酸化膜を介して形成された第1ゲート電極と、を有する第1のMOSトランジスタと、
前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に形成され、一端が前記第1の方向に延びて前記第2領域の前記本体部と電気的に接続している、第2導電型の第3領域を有する半導体素子と、を備え、
前記第1のMOSトランジスタと前記半導体素子の前記第3領域とは、前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで、前記第1領域で電気的に分離され、
前記第1ドレイン領域は、前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に形成されている
ことを特徴とする半導体装置である。
第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成された第2導電型の第2領域と、
前記第2領域に形成された第1導電型の第1領域と、
第1の方向に並んで前記第1領域に形成された第2導電型の第1ソース領域及び第1ドレイン領域と、前記第1ソース領域と前記第1ドレイン領域とで挟まれた前記第1領域上に酸化膜を介して形成された第1ゲート電極と、を有する第1のMOSトランジスタと、
前記第1領域に形成され、一端が前記第1の方向に延びて前記第2領域と電気的に接続している、第2導電型の第3領域を有する半導体素子と、を備え、
前記第1領域は、前記半導体基板と電気的に接続して、
前記第1のMOSトランジスタと前記半導体素子の前記第3領域とは、前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで、前記第1領域で電気的に分離されている、
ことを特徴とする半導体装置である。
前記半導体素子の部分において、前記第2領域の前記外縁部の先端は、前記第3領域の他端の方向に延びて前記第3領域の前記他端に電気的に接続していても良い。
前記第2の方向に並んで形成された複数の前記第1のMOSトランジスタを備え、
前記複数の第1のMOSトランジスタは、互いに前記第1領域で電気的に分離されていても良い。
前記半導体基板と、前記第1領域と、前記第1ソース領域とは、低圧側電源に接続されており、
前記第2領域と、前記第1ドレイン領域と、前記第3領域とは、高圧側電源に接続されていても良い。
前記第1のMOSトランジスタは、前記第1ゲート電極に加えられた電圧を高電圧にレベルシフトするように構成されていても良い。
前記第1領域の不純物濃度は、前記半導体基板の不純物濃度より高く、
前記第1ソース領域と、前記第1ドレイン領域と、前記第3領域との不純物濃度は、前記第2領域の不純物濃度より高くても良い。
前記第1ドレイン領域は、前記第1の方向に前記第1ソース領域より長く、
前記第3領域の前記第1の方向の長さは、前記第1ドレイン領域の前記第1の方向の長さと略同じであっても良い。
前記第2領域の前記外縁部の先端は、前記第1ゲート電極の下方に形成されていても良い。
前記半導体素子は、
前記第1の方向に前記第3領域と並んで、前記第3領域との間に第1導電型の領域を挟んで形成された第2導電型の第4領域と、
前記第3領域と前記第4領域とで挟まれた前記領域上に酸化膜を介して形成された第2ゲート電極と、をさらに有し、第2のMOSトランジスタとして構成されており、
前記第2ゲート電極と前記第4領域とは、電気的に接続されていても良い。
前記第2ゲート電極と前記第4領域とは、低圧側電源に接続されていても良い。
前記第2領域の前記外縁部は、前記本体部を囲むように形成されて、
前記第1領域は、前記外縁部に沿って略環状に形成されていても良い。
前記第2領域に略環状に形成され、底部が前記半導体基板に電気的に接続している第1導電型のコンタクト領域をさらに備え、
前記第2領域は、前記コンタクト領域によって、前記コンタクト領域で囲まれた領域と、前記コンタクト領域の外側の領域と、に電気的に分離されて、
前記第1領域は、前記コンタクト領域に沿って略環状に形成されると共に、前記コンタクト領域によって前記半導体基板と電気的に接続していても良い。
前記第1導電型はp型であり、前記第2導電型はn型であっても良い。
第1導電型の半導体基板の表面に、第2導電型の第2領域を形成する第1の工程と、
前記半導体基板の表面と前記第2領域の表面とに、第1導電型の第1領域を、前記第2領域が、前記第1領域に隣接した本体部と、前記第1領域と前記第1領域の下方の前記半導体基板との間に挟まれた外縁部と、を有するように形成する第2の工程と、
第1の方向に並んだ第1ソース領域及び第1ドレイン領域を有する第1のMOSトランジスタが形成されるように、且つ、前記第1のMOSトランジスタと第3領域とが前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで前記第1領域で電気的に分離されるように、前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に第2導電型の前記第1ドレイン領域を形成し、前記第1領域と前記第2領域とにまたがって前記第1の方向に延びる第2導電型の前記第3領域を形成する第3の工程と、
前記半導体基板と、前記第1領域と、前記第2領域と、前記第3領域と、前記第1ドレイン領域との上に、酸化膜を形成する第4の工程と、
前記第1領域の上方の前記酸化膜上に、前記第1のMOSトランジスタの第1ゲート電極を形成する第5の工程と、
前記第5の工程の後、前記第1ソース領域が形成される部分まで前記第1領域を広げる第6の工程と、
前記第6の工程で広げられた前記第1領域の表面に、第2導電型の前記第1ソース領域を形成する第7の工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
前記第3の工程は、
第2導電型の不純物を注入する工程と、
注入された不純物を拡散させる工程と、を含んでも良い。
前記第6の工程において、第1導電型の不純物を注入して前記第1領域を広げても良い。
前記第2の工程において、前記第1領域の不純物濃度を、前記半導体基板の不純物濃度より高くして、
前記第3の工程において、前記第1ソース領域と前記第3領域との不純物濃度を、前記第2領域の不純物濃度より高くして、
前記第3の工程において、前記第1ドレイン領域の不純物濃度を、前記第2領域の不純物濃度より高くしても良い。
以上の説明と図1,2から分かるように、この半導体装置の全体構造としては、xy面において、高耐圧回路部101の内側の領域110には、N型の拡散領域3が形成されている。また、xy面において、N型の拡散領域3の外縁部は、N型の拡散領域3の本体部を囲むように形成されている。また、xy面において、拡散領域2a,2bは、N型の拡散領域3の外縁部に沿って略環状に形成されている。
次に、上述した半導体装置の製造方法について説明する。
次に、図11(c)に示すように、ポリシリコン11aをエッチングして、第1ゲート電極11を、P−型の拡散領域2bの表面およびN+型の第1ドレイン領域8の端部の上方の酸化膜10上に形成する。図11(a),(b),(d)に示すように、このエッチングにより第1ゲート電極11以外のポリシリコン11aは除去される。
2,2a,2b P−型の拡散領域(第1領域)
3 N型(第2導電型)の拡散領域(第2領域)
3a N型のエピタキシャル層(第2領域)
4 N++型の拡散領域(第4領域)
5 N+型の拡散領域(第3領域)
6 N++型の拡散領域(第3領域)
7 N++型の第1ソース領域
8 N+型の第1ドレイン領域
9 N++型の拡散領域(第1ドレイン領域)
10 酸化膜
11 第1ゲート電極
12 層間膜
13,13a,14 電極
15 ソース電極
16 ゲート金属電極
17 ドレイン電極
30 P+型の拡散領域
31 P型の埋め込み部
40 第2ゲート電極
S 半導体素子
100 レベルシフト用の第1のMOSトランジスタ
101 高耐圧回路部
102 高耐圧回路部の一部の領域
103 高耐圧リサーフ構造
110 高耐圧回路部の内側の領域
120 高耐圧回路部の外側の領域
200 レベルシフト用の高耐圧MOSFET
201 高耐圧回路部
202 ワイヤ
203 リサーフ構造
210 レベルシフト用の高耐圧MOSFET
211 高耐圧回路部
212 半導体基板
213 ソース領域
214 ドレイン領域
215 ゲート電極
216 配線
Claims (17)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成された第1導電型の第1領域と、
前記第1領域に隣接して前記半導体基板の表面に形成された本体部と、前記第1領域と前記第1領域の下方の前記半導体基板との間に挟まれた外縁部と、を有する第2導電型の第2領域と、
第1の方向に並んで前記第1領域に形成された第2導電型の第1ソース領域及び第1ドレイン領域と、前記第1ソース領域と前記第1ドレイン領域とで挟まれた前記第1領域上に酸化膜を介して形成された第1ゲート電極と、を有する第1のMOSトランジスタと、
前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に形成され、一端が前記第1の方向に延びて前記第2領域の前記本体部と電気的に接続している、第2導電型の第3領域を有する半導体素子と、を備え、
前記第1のMOSトランジスタと前記半導体素子の前記第3領域とは、前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで、前記第1領域で電気的に分離され、
前記第1ドレイン領域は、前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に形成され、
前記半導体素子は、
前記第1の方向に前記第3領域と並んで、前記第3領域との間に第1導電型の領域を挟んで形成された第2導電型の第4領域と、
前記第3領域と前記第4領域とで挟まれた前記領域上に酸化膜を介して形成された第2ゲート電極と、をさらに有し、第2のMOSトランジスタとして構成されており、
前記第2ゲート電極と前記第4領域とは、電気的に接続されている、
ことを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成された第2導電型の第2領域と、
前記第2領域に形成された第1導電型の第1領域と、
第1の方向に並んで前記第1領域に形成された第2導電型の第1ソース領域及び第1ドレイン領域と、前記第1ソース領域と前記第1ドレイン領域とで挟まれた前記第1領域上に酸化膜を介して形成された第1ゲート電極と、を有する第1のMOSトランジスタと、
前記第1領域に形成され、一端が前記第1の方向に延びて前記第2領域と電気的に接続している、第2導電型の第3領域を有する半導体素子と、を備え、
前記第1領域は、前記半導体基板と電気的に接続して、
前記第1のMOSトランジスタと前記半導体素子の前記第3領域とは、前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで、前記第1領域で電気的に分離され、
前記半導体素子は、
前記第1の方向に前記第3領域と並んで、前記第3領域との間に第1導電型の領域を挟んで形成された第2導電型の第4領域と、
前記第3領域と前記第4領域とで挟まれた前記領域上に酸化膜を介して形成された第2ゲート電極と、をさらに有し、第2のMOSトランジスタとして構成されており、
前記第2ゲート電極と前記第4領域とは、電気的に接続されている、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子の部分において、前記第2領域の前記外縁部の先端は、前記第3領域の他端の方向に延びて前記第3領域の前記他端に電気的に接続している、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の方向に並んで形成された複数の前記第1のMOSトランジスタを備え、
前記複数の第1のMOSトランジスタは、互いに前記第1領域で電気的に分離されている、
ことを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の半導体装置。 - 前記半導体基板と、前記第1領域と、前記第1ソース領域とは、低圧側電源に接続されており、
前記第2領域と、前記第1ドレイン領域と、前記第3領域とは、高圧側電源に接続されている、
ことを特徴とする請求項1から請求項4の何れかに記載の半導体装置。 - 前記第1のMOSトランジスタは、前記第1ゲート電極に加えられた電圧を高電圧にレベルシフトするように構成されている、
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記第1領域の不純物濃度は、前記半導体基板の不純物濃度より高く、
前記第1ソース領域と、前記第1ドレイン領域と、前記第3領域との不純物濃度は、前記第2領域の不純物濃度より高い、
ことを特徴とする請求項1から請求項6の何れかに記載の半導体装置。 - 前記第1ドレイン領域は、前記第1の方向に前記第1ソース領域より長く、
前記第3領域の前記第1の方向の長さは、前記第1ドレイン領域の前記第1の方向の長さと略同じである、
ことを特徴とする請求項1から請求項7の何れかに記載の半導体装置。 - 前記第2領域の前記外縁部の先端は、前記第1ゲート電極の下方に形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2ゲート電極と前記第4領域とは、低圧側電源に接続されている、
ことを特徴とする請求項1から請求項9の何れかに記載の半導体装置。 - 前記第2領域の前記外縁部は、前記本体部を囲むように形成されて、
前記第1領域は、前記外縁部に沿って略環状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2領域に略環状に形成され、底部が前記半導体基板に電気的に接続している第1導電型のコンタクト領域をさらに備え、
前記第2領域は、前記コンタクト領域によって、前記コンタクト領域で囲まれた領域と、前記コンタクト領域の外側の領域と、に電気的に分離されて、
前記第1領域は、前記コンタクト領域に沿って略環状に形成されると共に、前記コンタクト領域によって前記半導体基板と電気的に接続している
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第1導電型はp型であり、前記第2導電型はn型である、
ことを特徴とする請求項1から請求項12の何れかに記載の半導体装置。 - 第1導電型の半導体基板の表面に、第2導電型の第2領域を形成する第1の工程と、
前記半導体基板の表面と前記第2領域の表面とに、第1導電型の第1領域を、前記第2領域が、前記第1領域に隣接した本体部と、前記第1領域と前記第1領域の下方の前記半導体基板との間に挟まれた外縁部と、を有するように形成する第2の工程と、
第1の方向に並んだ第1ソース領域及び第1ドレイン領域を有する第1のMOSトランジスタが形成されるように、且つ、前記第1のMOSトランジスタと第3領域とが前記第1の方向と交差する第2の方向に並んで前記第1領域で電気的に分離されるように、前記第2領域の前記外縁部の上方の前記第1領域に第2導電型の前記第1ドレイン領域を形成し、前記第1領域と前記第2領域とにまたがって前記第1の方向に延びる第2導電型の前記第3領域を形成する第3の工程と、
前記半導体基板と、前記第1領域と、前記第2領域と、前記第3領域と、前記第1ドレイン領域との上に、酸化膜を形成する第4の工程と、
前記第1領域の上方の前記酸化膜上に、前記第1のMOSトランジスタの第1ゲート電極を形成する第5の工程と、
前記第5の工程の後、前記第1ソース領域が形成される部分まで前記第1領域を広げる第6の工程と、
前記第6の工程で広げられた前記第1領域の表面に、第2導電型の前記第1ソース領域を形成する第7の工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3の工程は、
第2導電型の不純物を注入する工程と、
注入された不純物を拡散させる工程と、を含む
ことを特徴とする請求項14の半導体装置の製造方法。 - 前記第6の工程において、第1導電型の不純物を注入して前記第1領域を広げる
ことを特徴とする請求項14又は請求項15の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第1領域の不純物濃度を、前記半導体基板の不純物濃度より高くして、
前記第3の工程において、前記第1ソース領域と前記第3領域との不純物濃度を、前記第2領域の不純物濃度より高くして、
前記第3の工程において、前記第1ドレイン領域の不純物濃度を、前記第2領域の不純物濃度より高くする、
ことを特徴とする請求項14から請求項16の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010188332A JP5496826B2 (ja) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010188332A JP5496826B2 (ja) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012049240A JP2012049240A (ja) | 2012-03-08 |
JP5496826B2 true JP5496826B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=45903804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010188332A Active JP5496826B2 (ja) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5496826B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3917211B2 (ja) * | 1996-04-15 | 2007-05-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP4832841B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-12-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
-
2010
- 2010-08-25 JP JP2010188332A patent/JP5496826B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012049240A (ja) | 2012-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10304830B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP5132977B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5492610B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR101106511B1 (ko) | 반도체 디바이스 및 그 제조 방법 | |
US9390983B1 (en) | Semiconductor device and method for fabricating the same | |
JPH08330444A (ja) | グラウンドポテンシャルに接続されていないソース又はドレーンを有するHVp−チャンネル及びn−チャンネルデバイスを含む薄いエピタキシャルRESURF集積回路 | |
US10879389B2 (en) | Semiconductor device capable of high-voltage operation | |
US9543217B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
JP2007201220A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007201220A5 (ja) | ||
KR101667499B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
JP5114824B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US8598659B2 (en) | Single finger gate transistor | |
JP4426996B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2013012577A (ja) | 半導体装置 | |
JP5496826B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP4943763B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007067249A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP7210490B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2006093260A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009016725A (ja) | 半導体装置 | |
KR101090049B1 (ko) | 반도체 디바이스 및 그의 제조 방법 | |
JP5504574B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5496826 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |