JP5491116B2 - 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
<エピタキシャル基板の構成>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るエピタキシャル基板10の構成を概略的に示す断面模式図である。エピタキシャル基板10は、下地基板1と、緩衝層2と、チャネル層3と、障壁層4とが積層形成された構成を有する。なお、図1における各層の厚みの比率は、実際のものを反映したものではない。
次に、緩衝層2についてより詳細に説明する。緩衝層2は、下地基板1と、上部に形成されるチャネル層3や障壁層4などの機能層との間の、格子定数差や熱膨張係数差に由来する結晶品質の劣化やエピタキシャル基板10の反りやクラックの発生などを抑制させる目的で、設けられる層である。本実施の形態では、緩衝層2を、それぞれの組成が異なる第1緩衝層21と、第2緩衝層22と、第3緩衝層23の3層にて構成するものとする。そして、以下においては、第3緩衝層23が格子空孔内在層である場合について説明する。
次に、MOCVD法を用いる場合を例として、エピタキシャル基板10を製造する方法について概説する。
上述したように、緩衝層2の少なくとも一部に格子空孔内在層を設けることによりエピタキシャル基板の反りを抑制することが可能である。本実施の形態においては、第1の実施の形態に係るエピタキシャル基板10とは異なる構成の緩衝層2を有するエピタキシャル基板について説明する。なお、以降においては、第1の実施の形態に係るエピタキシャル基板10の構成要素と同一の作用効果を奏する構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施例では、第1の実施の形態に係るエピタキシャル基板10を作製した。具体的には、第3緩衝層23の組成が異なる7種のエピタキシャル基板10(試料a−1〜a−7)を作製した。図3に、実施例1に係るエピタキシャル基板10について、当初形成層の組成、加熱放置後に得られる第3緩衝層23の組成、および種々の評価結果を示している。
実施例1で得られた試料a−3のエピタキシャル基板を対象に、さらに種々の評価を行った。
本比較例では、当初形成層の形成後、加熱放置を行わない他は、試料a−3と同条件でエピタキシャル基板を作製した。すなわち、格子空孔内在層を備えないエピタキシャル基板を作製した。
本実施例では、試料a−3と同様の組成を有するものの、第3緩衝層23の厚さを種々に違えた複数のエピタキシャル基板10(試料b−1〜b−5)を作製した。第3緩衝層23の厚さは、当初形成層の形成時間を違えることで調整した。図4に、実施例3に係るエピタキシャル基板10についての第3緩衝層23の厚さと種々の評価結果とを示している。
本実施例では、試料a−3と同様の組成を有するものの、第3緩衝層23を形成するための加熱放置条件の異なる12種のエピタキシャル基板10(試料c−1〜c−12)を作製した。具体的には、第3緩衝層23の加熱放置時の水素分圧、温度、時間を違えた他は、実施例1と同一の条件でエピタキシャル基板10を作製した。図5に、実施例4に係るエピタキシャル基板10についての、第3緩衝層23を形成する際の加熱放置の条件と種々の評価結果とを示している。
本実施例では、第2の実施の形態に係るエピタキシャル基板20を作製した。具体的には、第3緩衝層23までを実施例1の試料a−3と同様に行い、続いて、第4緩衝層24を形成した上で、チャネル層3および障壁層4を実施例1の試料a−3と同様に形成した。第4緩衝層24の形成にあたっては、第1単位層24aは20nm厚のAl0.1Ga0.9N層とし、第2単位層24bは5nm厚のAlN層とした。それぞれを80層ずつ繰り返し交互に形成した。
本比較例では、第2の実施の形態に係るエピタキシャル基板20と同様の緩衝層構造を有するものの、格子空孔内在層を有さないエピタキシャル基板を作製した。具体的には、当初形成層に対し形成後の加熱放置を実施しなかったほかは、実施例5と同一の条件で作製を行った。
2 緩衝層
3 チャネル層
4 障壁層
10、20 エピタキシャル基板
21 第1緩衝層
22 第2緩衝層
23 第3緩衝層
24 第4緩衝層
Claims (9)
- シリコン基板の上にIII族窒化物層群を(0001)結晶面が前記シリコン基板の基板面に対し略平行となるよう積層形成した半導体素子用のエピタキシャル基板であって、
前記III族窒化物層群が、
少なくとも2層以上のIII族窒化物層が積層された緩衝層と、
Inx1Aly1Gaz1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0<z1≦1、x1+y1+z1=1)なる組成のIII族窒化物からなるチャネル層と、
Inx2Aly2Gaz2N(0≦x2≦1、0<y2≦1、0≦z2≦1、x2+y2+z2=1)なる組成のIII族窒化物からなる障壁層と、
を備え、
前記緩衝層の少なくとも1つが、格子空孔を有する格子空孔内在層であり、
前記チャネル層が、少なくとも前記緩衝層と接する部位において、面内方向に圧縮歪みを内在している、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。 - 請求項1に記載のエピタキシャル基板であって、
前記格子空孔内在層は、VIIIがIII族原子欠陥を表し、VNがN原子欠陥を表すとする場合に、InxAlyGazVIII pN(1−q)VN q(0≦x≦1、0<y≦1、0≦z≦1、0<p<1、x+y+z+p=1、0≦q<1)なる組成式にて表されるIII族窒化物からなる、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。 - 請求項1または請求項2に記載のエピタキシャル基板であって、
0.01≦p≦0.20である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記格子空孔内在層の厚さが、2nm以上30nm以下である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板を用いて形成した半導体素子。
- シリコン基板の上にIII族窒化物層群を(0001)結晶面が基板面に対し略平行となるよう積層形成することによる半導体素子用のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記シリコン基板の上に少なくとも2つ以上のIII族窒化物層を積層することにより緩衝層を形成する緩衝層形成工程と、
前記緩衝層の上にIn x1 Al y1 Ga z1 N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0<z1≦1、x1+y1+z1=1)なる組成のIII族窒化物からなるチャネル層を形成するチャネル層形成工程と、
In x2 Al y2 Ga z2 N(0≦x2≦1、0<y2≦1、0≦z2≦1、x2+y2+z2=1)なる組成のIII族窒化物からなる障壁層を形成する障壁層形成工程と、
を備え、
前記緩衝層形成工程において、前記緩衝層の少なくとも1つを、格子空孔を有する格子空孔内在層として形成することにより、前記チャネル層の少なくとも前記緩衝層と接する部位において、面内方向に圧縮歪みを内在させる、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。 - 請求項6に記載の半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法であって、
前記緩衝層形成工程においては、In x’ Al y’ Ga z’ N(0≦x’≦1、0<y’≦1、0≦z’≦1、x’+y’+z’=1)なる組成式で表されるIII族窒化物からなる層を形成しこれをアニールすることにより、V III がIII族原子欠陥を表し、V N がN原子欠陥を表すとする場合に、In x Al y Ga z V III p N (1−q) V N q (0≦x<x’、0<y≦1、0≦z≦1、0<p<1、x+y+z+p=1、0≦q<1)なる組成式にて表される前記格子空孔内在層を形成する、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。 - 請求項6または請求項7に記載の半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法であって、
前記格子空孔内在層を形成するためのアニールを、
水素分圧が5kPa以上100kPa以下でかつ温度が900℃以上1250℃以下の雰囲気下で、3分以上10分以下の保持時間で行う、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。 - 請求項6ないし請求項8のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法を用いて作製した半導体素子用エピタキシャル基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009220348A JP5491116B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009220348A JP5491116B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011071266A JP2011071266A (ja) | 2011-04-07 |
JP5491116B2 true JP5491116B2 (ja) | 2014-05-14 |
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ID=44016262
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009220348A Expired - Fee Related JP5491116B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5491116B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2012137783A1 (ja) * | 2011-04-08 | 2014-07-28 | 株式会社タムラ製作所 | 半導体積層体及びその製造方法、並びに半導体素子 |
JP2014072431A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
TWI698914B (zh) * | 2019-07-19 | 2020-07-11 | 環球晶圓股份有限公司 | 半導體磊晶結構及其形成方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4421830B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2010-02-24 | シャープ株式会社 | 窒化物系iii−v族化合物半導体装置の製造方法 |
JP4984407B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2012-07-25 | 日立電線株式会社 | 半導体ウェハー及びその製造方法 |
JP4911751B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2012-04-04 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
EP1978550A4 (en) * | 2005-12-28 | 2009-07-22 | Nec Corp | FIELD EFFECT TRANSISTOR AND MULTILAYER EPITAXIAL FILM FOR USE IN THE MANUFACTURE OF A FIELD EFFECT TRANSISTOR |
JP2008244036A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体結晶および半導体装置 |
JP5163045B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2013-03-13 | サンケン電気株式会社 | エピタキシャル成長基板の製造方法及び窒化物系化合物半導体素子の製造方法 |
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2009
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JP2011071266A (ja) | 2011-04-07 |
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