JP5487462B2 - 作動変換型変位拡大装置 - Google Patents
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Description
前記変位拡大機構は、前記アクチュエータを支持した支持部と、この支持部に隙間をおいて対向した可動部と、それぞれ前記支持部と可動部とを連結しているとともに前記アクチュエータの変位に応じて変形し前記支持部に対して前記可動部を平行移動させる平行リンクを構成する一対のリンク部と、一方のリンク部と前記アクチュエータとの間に設けられ前記アクチュエータの変位を拡大するてこ機構と、を有し、
前記アクチュエータは、このアクチュエータの変位方向と前記可動部の直線運動の移動方向とが交差する向きで、かつ、前記一対のリンク部の外側で前記支持部に取り付けられていることを特徴としている。
図1および図2は、第1の実施形態に係る変位拡大装置10を示す平面図および斜視図である。これらの図に示すように、変位拡大装置10は、アクチュエータとして機能する例えば、積層型の圧電素子12と、圧電素子12の変位を拡大する変位拡大機構14とを備えている。変位拡大機構14は、角柱形状の支持部(固定部)16、この支持部16の長手方向一端部と隙間を置いてほぼ平行に対向した角柱形状の可動部(変位拡大部)18、および支持部16と可動部18との間を延びた互いに平行な一対のリンク部20a、20bを有し、全体としてほぼI字形状に形成されている。リンク部20aは、角柱形状に形成され、その両端は、スリット状の切欠きを入れてそれぞれ幅を狭めることで構成される弾性ヒンジ22a、22bを介して支持部16および可動部18に連結されている。リンク部20aは、可動部18側が細い段付の柱状に形成され、支持部16側が幅広に形成されている。そして、リンク部20aは、支持部16の長手方向(可動部の移動方向と交差する方向)とほぼ平行に延びている。
16…支持部、 18…可動部、 20a、20b…リンク部、
21…板ばね、 22a、22b、23…弾性ヒンジ、 26…てこ機構
Claims (6)
- 所定方向に沿って変位可能なアクチュエータと、前記アクチュエータの変位量を拡大する変位拡大機構と、を備え、
前記変位拡大機構は、前記アクチュエータを支持した支持部と、この支持部に隙間をおいて対向した可動部と、それぞれ前記支持部と可動部とを連結しているとともに前記アクチュエータの変位に応じて変形し前記支持部に対して前記可動部を平行移動させる平行リンクを構成する一対のリンク部と、一方のリンク部と前記アクチュエータとの間に設けられ前記アクチュエータの変位を拡大するてこ機構と、を有し、
前記アクチュエータは、このアクチュエータの変位方向と前記可動部の直線運動の移動方向とが交差する向きで、かつ、前記一対のリンク部の外側で前記支持部に取り付けられている作動変換型変位拡大装置。 - 前記リンク部の一方は、板バネにより形成されている請求項1に記載の作動変換型変位拡大装置。
- 前記リンク部の各々は、それぞれ弾性ヒンジにより前記支持部および可動部に連結された両端部を有している請求項1に記載の作動変換型変位拡大装置。
- 前記支持部は台座部を有し、前記アクチュエータは、前記台座部に固定された一端部と、弾性ヒンジを介して前記一方のリンク部に接続された他端部とを有している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の作動変換型変位拡大装置。
- 前記アクチュエータは、このアクチュエータの変位方向と前記可動部の移動方向とが直交する向きで前記支持部に取り付けられている請求項1に記載の作動変換型変位拡大装置。
- 前記アクチュエータは、積層型の圧電素子である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の作動変換型変位拡大装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008181801A JP5487462B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | 作動変換型変位拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008181801A JP5487462B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | 作動変換型変位拡大装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010022159A JP2010022159A (ja) | 2010-01-28 |
JP5487462B2 true JP5487462B2 (ja) | 2014-05-07 |
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ID=41706505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008181801A Expired - Fee Related JP5487462B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | 作動変換型変位拡大装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5487462B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019103193A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 国立大学法人秋田大学 | ベルクランク型駆動装置及び動力伝達型駆動装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6411381A (en) * | 1987-07-03 | 1989-01-13 | Brother Ind Ltd | Motion converting mechanism |
JPH0616758Y2 (ja) * | 1988-01-07 | 1994-05-02 | 日本電気株式会社 | 印字ハンマ |
JPH01250017A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 変位拡大装置 |
WO1993002451A1 (en) * | 1991-07-23 | 1993-02-04 | Fujitsu Limited | Mechanism for finely moving head |
US5903085A (en) * | 1997-06-18 | 1999-05-11 | Phase Metrics, Inc. | Piezoelectric nanopositioner |
JP3897893B2 (ja) * | 1998-03-05 | 2007-03-28 | セイコーインスツル株式会社 | 変位拡大装置およびこれを用いた微小領域走査装置 |
JP5025949B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2012-09-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 変位拡大装置 |
JP4958139B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2012-06-20 | 日置電機株式会社 | 変位最終出力端付きの変位拡大機構および該変位拡大機構を具備させた処理装置 |
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2008
- 2008-07-11 JP JP2008181801A patent/JP5487462B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010022159A (ja) | 2010-01-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130723 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131004 |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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