JP5484791B2 - 表面性状測定機用検出器 - Google Patents
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特許文献1に記載の検出器1は、玉軸受21を有するケーシング2(固定部材)と、ピボット軸31を有し玉軸受21に回動自在に支持された可動片3と、可動片3から延出し先端に測定子41が設けられたスタイラス4とを備えている。可動片3は、測定対象表面の凹凸に対応して回動し紙面垂直方向に変位する。この変位が図示しないセンサにより検出される。このような検出器1において、玉軸受21の一方は、ケーシング2において軸方向に摺動自在に設けられ、板ばね22により可動片3側に向かって付勢されている。これにより、特許文献1に記載の検出器1では、玉軸受21に支持されるピボット軸31の軸方向のガタを抑え、横剛性(測定方向に直交する方向における可動片3のガタの生じにくさ)を向上させている。
また、各軸受面と支軸との隙間にも、軸受面に形成された噴出口から加圧気体が噴出され、気体膜が形成されるので、支軸を非接触で支持することができ、玉軸受等の転がり軸受で支軸を支持する場合に比べ、摩擦抵抗を大幅に抑えることができる。そのため、より測定力を低減させることができ、高精度化を図ることができる。
従って、本発明によれば、十分な横剛性と低測定力とを同時に実現することができ、高精度化を図ることができる。
また、軸受部材は、外部から供給される加圧気体を内部の多数の孔を通過させた後に各噴出口から各隙間に噴出するので、加圧気体中の粉塵を濾過することができ、各隙間に粉塵が侵入していわゆる噛み込みが発生してしまうことを防ぐことができる。
検出器1は、一対の軸受部材5を有する固定部材2(図2)と、略矩形に形成され、両側面32に前記軸受部材5に回動可能に支持される円柱状の支軸31が設けられた可動片3と、可動片3から延出し先端に測定子41が設けられたスタイラス4とを備えている。なお、支軸31は、本実施形態では、可動片3を貫通する一本の円柱状のピンの両端部からなるが、支軸31は、それぞれ可動片3の各側面32に接着等により固定された円柱状のピンからなっていてもよい。
一方、可動片3において、スタイラス4が設けられた側と固定部材2との間には気体ダンパ6が設けられている。気体ダンパ6は、固定部材22に接続された筒状のシリンダ61と、可動片3に接続され、シリンダ61内に摺動可能に設けられたピストン62とを備えている。
ピストン62は、シリンダ61内に摺動可能に設けられたピストン本体621と、一端がピストン本体621に連結されるとともに他端が可動片3に回動自在に連結されたロッド622とを備えている。
可動片3の各側面32と軸受部材5の対向面54との隙間に加圧気体が噴出され、気体膜が形成されるので、これらの気体膜を介して対向面54間で可動片3を挟み込むことで可動片3のガタを抑えることができ、十分な横剛性を得ることができる。
また、各軸受面53と支軸31との隙間にも加圧気体が噴出され、気体膜が形成されるので、支軸31を非接触で支持することができ、玉軸受等の転がり軸受により支軸31を支持する場合に比べ、摩擦抵抗を大幅に抑えることができる。そのため、より測定力を低減させることができ、高精度化を図ることができる。
従って、本実施形態によれば、十分な横剛性と低測定力とを同時に実現することができ、高精度化を図ることができる。
また、軸受部材5は、内部に多数の孔を有し、外部から噴出される加圧気体を内部の多数の孔を通過させた後に前記各噴出口から各隙間に噴出するので、加圧気体中の粉塵を濾過することができ、各隙間に粉塵が侵入していわゆる噛み込みが発生してしまうことを防ぐことができる。
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、軸受部材5の噴出口の絞り形式がいわゆる多孔質絞りである例を説明したが、軸受部材の噴出口の絞り形式は、いわゆる表面絞りやオリフィス絞り、自成絞りであってもよい。
前記実施形態では、シリンダ61が固定部材2に接続され、ピストン62が可動片3に接続されていたが、シリンダ61が可動片3に接続され、ピストン62が固定部材2に接続されていてもよい。
2 固定部材
3 可動片
4 スタイラス
5 軸受部材
6 気体ダンパ
31 支軸
32 側面
41 測定子
53 軸受面
54 対向面
61 シリンダ
62 ピストン
611 気体供給口
612 気体排出口
Claims (3)
- 一対の軸受部材と、両側面に前記軸受部材に回動可能に支持される支軸が設けられた可動片と、前記可動片から延出するとともに先端に測定子が設けられたスタイラスとを備えた表面性状測定機用検出器であって、
前記各軸受部材は、前記支軸と所定の隙間を介して配置される軸受面と、前記側面と所定の隙間を介して対向配置される対向面とを備え、
前記軸受面には、前記軸受面と前記支軸との前記隙間に加圧気体を噴出する噴出口が形成され、
前記対向面には、前記対向面と前記側面との前記隙間に加圧気体を噴出する噴出口が形成されている
ことを特徴とする表面性状測定機用検出器。 - 請求項1に記載の表面性状測定機用検出器において、
前記軸受部材は、多孔質材であり、前記軸受面で開口する多数の前記噴出口、および前記対向面で開口する多数の前記噴出口を備えている
ことを特徴とする表面性状測定機用検出器。 - 請求項1または請求項2に記載の表面性状測定機用検出器において、
前記軸受部材を有する固定部材と、
前記固定部材および前記可動片間に設けられた気体ダンパとを備え、
前記気体ダンパは、前記固定部材および前記可動片のうちいずれか一方に接続され、内部に気体を供給する気体供給口および外部に前記気体を排出する気体排出口を備える筒状のシリンダと、前記固定部材および前記可動片のうち他方に接続され、前記シリンダ内に摺動可能に設けられたピストンとを備え、前記可動片を介して前記測定子に測定力を付与する
ことを特徴とする表面性状測定機用検出器。
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