JP5477051B2 - 超音波流量計 - Google Patents
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Description
そこで、従来、超音波センサと、圧力センサと、温度センサとを流路に設けて流体の圧力および湿度を測定し、その測定値に基づいて体積流量を補正する超音波流量計が提案されている(特許文献2)。なお、温度センサは、湿度による音速の補正に用いている。
したがって、圧力センサおよび温度センサを設けなくても、流体の圧力および湿度に基づいて体積流量を補正することができる超音波流量計を実現することができる。
最初に、この発明の実施形態に係る超音波流量計の全体の構成について図を参照しながら説明する。図1は、この実施形態に係る超音波流量計の構成をブロックで示す説明図である。図2は、図1に示す超音波流量計を構成する第1および第2の超音波センサが管に取付けられた状態を模式的に示す縦断面図であり、(a)は縦断面図、(b)は(a)のA−A矢視断面図である。図3は、図2に示す第1および第2の超音波センサの縦断面図であり、(a)は第1の超音波センサの縦断面図、(b)は第2の超音波センサの縦断面図である。以下の説明において、送信波とは送信する超音波を意味し、受信波とは受信する超音波を意味する。
流路3cの一方の側壁3aには、第1の超音波センサ4が配置されており、流路3cを挾んで側壁3aと対向する他方の側壁3bには、第2の超音波センサ5が配置されている。第1の超音波センサ4は、流路3cの上流側に配置されており、第2の超音波センサ5は、下流側に配置されている。第1および第2の超音波センサ4,5間の距離は、rである。また、流体Fの流れる方向D1と超音波放射軸とが成す角度はθである。
図3に示すように、送信素子A1は、シリコン基板2dと、このシリコン基板2dの表層部に形成されたキャビティ(空洞部)2fと、このキャビティ2fを覆うメンブレン(薄肉部)2eと、このメンブレン2eの表面に配置された圧電素子(ピエゾ素子)2aと、この圧電素子2aに挿入固定された音響整合層2bと、この音響整合層2bの先端が挿通固定された振動減衰部材2cとを備える。
各送信素子および各受信素子は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)またはMEMS以外の技術を使って製造することができる。また、音響整合層を設けない構成を用いることもできる。
次に、超音波流量計1の電気的構成について図1を参照して説明する。
次に、演算部20のCPU21が実行する質量流量演算について図を参照して説明する。図4は、第1および第2の超音波センサ4,5間における超音波の伝搬時間差の説明図であり、(a)は第1の超音波センサ4の送信波および第2の超音波センサ5の受信波の説明図、(b)は第2の超音波センサ5の送信波および第1の超音波センサ4の受信波の説明図である。図5は、第1の超音波センサ4の送信波および第2の超音波センサ5の受信波の説明図である。図6は、CPU21が実行する質量流量演算の流れを示すフローチャートである。
また、流体Fが空気であり、その密度が一定であるとして扱うことができる場合は、密度ρとして蒸気の密度を用いることもできる。なお、質量流量Gまで計測する必要がないときは、補正体積流量Q0を演算した時点で計測処理を終了することもできる。
(1)以上のように、上述した実施形態の超音波流量計1を使用すれば、周波数の異なる複数の超音波を用いて流体Fの体積流量Qと、流体圧力Pと、湿度に対応する温度Tとを演算し、その演算した流体圧力Pおよび温度Tを用いて体積流量Qを補正することができる。
(3)さらに、テーブルやマップを使用しないで、演算のみで体積流量または質量流量を計測することができ、流体圧力および温度がリアルタイムで計測結果に反映されるため、計測精度を高めることができる。
(5)さらに、流体温度を演算するときに、周波数の異なる超音波毎に音圧を演算し、その平均値を用いるため、計測精度をより一層高めることができる。
(7)さらに、各受信素子が非共振型であるため、単一の受信素子が周波数の異なる複数の超音波を受信することができる。さらに、受信素子の数を少なくすることができるため、超音波流量計を小型化することができる。
(1)複数の受信素子にて受信した受信波の位相差を用いて流体の湿度を検出することもできる(例えば、特開平6−258298号公報)。
(2)送信素子として、発熱体の発熱による媒質の膨張および収縮で超音波を発生する熱誘起型音源を用いることもできる(例えば、特開2004−153797号公報)。
(3)受信素子として、シリコンマイクロマシーニング技術を用いてシリコン半導体基板を加工した静電容量型を用いることもできる。この受信素子を用いれば、流体との音響インピーダンスの整合を図り易い。
3c・・流路、4・・第1の超音波センサ、5・・第2の超音波センサ、
A1,A2,B1,B2・・送信素子、C1,C2・・受信素子、F・・流体。
Claims (10)
- 周波数の異なる複数の超音波を相互に送受信する第1および第2の超音波センサの一方を流体が流れる流路の上流側に配置し、他方を前記流路を挾んで下流側に配置した超音波流量計であって、
前記第1および第2の超音波センサが受信した超音波に対応する検出信号を検出する検出回路と、
前記第1および第2の超音波センサ間の超音波の伝搬時間を検出する制御部と、
を備え、
当該検出した伝搬時間に基づいて、前記第1および第2の超音波センサ間における超音波の伝搬時間差を演算し、その伝搬時間差を用いて前記流路を流れる流体の体積流量を演算する体積流量演算と、
前記検出回路が検出した前記検出信号を解析し、その解析結果を用いて前記流路を流れる流体の湿度に対応する前記流体の温度を演算する温度演算と、
前記検出回路が検出した前記検出信号を解析し、その解析結果を用いて前記流路を流れる流体の圧力を演算する圧力演算と、
前記体積流量演算により演算された体積流量を、前記温度演算により演算された温度および前記圧力演算により演算された圧力を用いて補正する補正演算と、
を実行する演算部をさらに備え、
前記温度演算は、前記検出信号の解析結果を用いて、前記第1または第2の超音波センサが受信した超音波の音圧を演算し、その演算された音圧を用いて前記流路を流れる流体の湿度に対応する前記流体の温度を演算するもので、
音圧をSP、音圧の演算を開始するときの初期値をSP0、超音波の伝搬距離をr、吸収係数をm、超音波が伝搬する流体の温度をT、超音波の周波数をf、大気圧をG、飽和蒸気圧をG0、超音波が伝搬する流体の湿度をh、係数をM,Aとした場合に、前記温度演算は、次の式(1)〜(4)を用いて前記流体の温度Tを演算することを特徴とする超音波流量計。
- 前記温度演算における前記音圧の演算は、前記検出回路が検出した前記検出信号を解析し、前記第1または第2の超音波センサが受信した前記周波数の異なる複数の超音波の音圧の平均値を演算するものであることを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 前記周波数の異なる複数の超音波の送受信を前記第1および第2の超音波センサ間で超音波毎に相互に行い、
前記制御部は、前記第1および第2の超音波センサ間の超音波の伝搬時間を超音波ごとに検出し、
前記体積流量演算は、前記制御部によって検出された超音波ごとの伝搬時間に基づいて、超音波ごとの前記伝搬時間差を演算し、その超音波ごとの前記伝搬時間差を用いて前記体積流量を演算するものであることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波流量計。 - 前記演算部は、前記補正演算により補正された体積流量と前記流体の密度とを用いて前記流体の質量流量を演算することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の超音波流量計。
- 前記第1および第2の超音波センサは、超音波を送信する複数の送信素子をそれぞれ備えており、各送信素子が送信する超音波の周波数がそれぞれ異なることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の超音波流量計。
- 前記複数の送信素子は、それぞれ共振型であることを特徴とする請求項5に記載の超音波流量計。
- 前記複数の送信素子は、圧電素子および音響整合層をそれぞれ備えることを特徴とする請求項6に記載の超音波流量計。
- 前記第1および第2の超音波センサは、周波数の異なる超音波を受信する単一の受信素子をそれぞれ備えることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1つに記載の超音波流量計。
- 前記受信素子は、それぞれ非共振型であることを特徴とする請求項8に記載の超音波流量計。
- 前記受信素子は、それぞれ静電容量型であることを特徴とする請求項9に記載の超音波流量計。
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