JPH1090028A - 超音波質量流量計 - Google Patents

超音波質量流量計

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JPH1090028A
JPH1090028A JP8243376A JP24337696A JPH1090028A JP H1090028 A JPH1090028 A JP H1090028A JP 8243376 A JP8243376 A JP 8243376A JP 24337696 A JP24337696 A JP 24337696A JP H1090028 A JPH1090028 A JP H1090028A
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bypass line
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JP8243376A
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Osamu Ono
治 小野
Hiroaki Nakazawa
博昭 中沢
Tetsuya Kawada
哲也 川田
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Oval Corp
Original Assignee
Oval Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波流量計を用いて安価な推測形の質量流
量計を得る。 【解決手段】 流管1の管壁に超音波送受波器2,3を
装着した超音波流量計の前記流管1に、直管部5cを有
するバイパスライン5を設け、バイパスライン5の流量
を略零にする。直管部5cの両端に超音波送波器9と超
音波受波器10とを装着して、超音波送波器9を一定の
超音波発振信号で発振する。直管部5c内で超音波は減
衰して超音波受波器10で受波されるが、超音波の減衰
量は、流体密度の関数であり、減衰量を検出して流体密
度を算出して、流体密度を超音波流量計で求めた体積流
量に乗算して質量流量を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波質量流量計
に関し、より詳細には、体積流量を計測する超音波流量
計と、該超音波流量計を流れる流体が流速の影響を受け
ない位置に装着され、流体に密度を計測する超音波送受
波器とを有し、前記体積流量と前記密度を乗算し、質量
流量を求める超音波質量流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】超音波流量計は、流体が流れる流管の所
定位置間を、超音波が流体流れの正逆斜め方向に伝播し
たときの伝播時間差から流速vを求め、計測した該流速
vに流管の断面積を乗算して体積流量を演算する推測形
の流量計である。このとき計測された流速vは、流管内
をRe数(レイノルズ数)により異なる流速分布をもっ
て流れる流体を、流管軸を斜めに交叉する直線上を伝播
する超音波の伝播速度から求めた流速であるから、正確
な平均流速Vを表すものではない。従って、実際の流速
は、Re数に従った補正係数kRを計測した流速vに乗
算して求めた平均流速Vであり、体積流量は平均流速V
と流路面積Aとを乗算して算出される。超音波流量計
は、一般に、超音波送受波器が流管壁に装着されるの
で、流管内に流速計測のための流れの障害となるものが
ない理想的な構成をもっているので、広範な流体の流量
計測に用いられ、特に、大口径の流量計測に利用されて
いる。
【0003】流体工業においては、体積流量ではなく、
絶対流量としての質量流量を計測する要求が最近多くな
っている。超音波流量計の前記特徴を生かした従来の質
量流量計としては、大別して2つの方法がある。第1の
方法は、超音波流量計と、流管内を流れる流体の密度を
計測する密度計とからなり、超音波流量計で求めた体積
流量に密度計で算出した密度を乗算して質量流量を求め
るものであり、第2の方法は、超音波流量計と、流体の
温度を計測する温度計および流管内を流れる流体の圧力
を計測する圧力計とからなり、検出された温度および圧
力を予め記憶させた近似式に導入し密度を求め、超音波
流量計で求めた体積流量に前記密度を乗算して質量流量
を求めるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】超音波流量計を用いた
質量流量計において密度計を用いる第1の方法は、高精
度な密度計を必要とするが、一般に密度計は直接流量計
測ラインには取り付けられず、例えば、計測ラインから
分流した個所に設置され、流体密度を求める方法がとら
れる。この方法は、超音波流量計の他に密度計を装着し
なければならないので、高価になるという問題があっ
た。
【0005】また、第2の方法においては、気体の質量
流量計測では、温度計と圧力計と演算手段を必要とす
る。また、液体の質量流量を求めるときは、圧力計は不
要であるから、安価な温度計だけでもよいが、予め温度
・密度特性の知られた特定液体の温度密度関係が必要で
あるから、温度密度関係の不明な一般の液体に適用する
ことができないという問題があった。
【0006】本発明は、上述した問題点に鑑みなされた
もので、超音波流量計で求めた体積流量と、停止状態の
前記流体内を超音波が伝播するとき、音響インピーダン
スにより減衰する超音波の音圧レベルの変化から求めた
流体の密度とを乗算し、密度計または温度計と圧力計を
使用せずに流体の質量流量を求める超音波質量流量計を
提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、流管
内に超音波流量計を設け、体積流量を求める流体計測手
段と、流管から分岐するバイパスラインと、該バイパス
ラインの直管部の両端に超音波送波器と超音波受波器を
対向するように設け、流体の密度を算出する密度計測手
段と、前記体積流量と前記密度とを乗算して質量流量を
求める質量流量演算手段とからなることを特徴とし、も
って、高価な密度計や圧力計、温度計なしに簡易で安価
に質量流量を求めるようにしたものである。
【0008】請求項2の発明は、請求項1に記載された
超音波質量流量計において、前記密度計測手段を、前記
バイパスラインの直管部の両端に対向装着された超音波
送波器および超音波受波器と、該超音波送波器を一定レ
ベルの超音波加振信号で加振する超音波発振制御部と、
前記超音波受波器の受波信号を前記一定の超音波加振信
号レベルに増幅する増幅部とで構成し、該増幅部の増幅
率に応じて流体密度を求めることを特徴とし、もって、
簡易で高精度な超音波質量流量計を提供するものであ
る。
【0009】請求項3の発明は、請求項1に記載された
超音波質量流量計において、前記密度計測手段を、前記
バイパスラインの直管部の両端に対向装着された超音波
送波器および超音波受波器と、該超音波送波器を一定レ
ベルの超音波加振信号で加振する超音波発振制御部と、
前記超音波加振信号と前記超音波受波器の受波信号との
比を算出する超音波減衰率算出手段とで構成し、該超音
波減衰率算出手段で算出された超音波減衰率に応じて流
体密度を求めることを特徴とし、もって、簡易で高精度
な超音波質量流量計を提供するものである。
【0010】請求項4の発明は、請求項1乃至3項何れ
かに記載の超音波質量流量計において、前記密度計測手
段を、流管から分岐するバイパスラインと、該バイパス
ラインの直管部の一端に超音波送受波器を、他端に超音
波反射板を対向するように設け、流体の密度を算出する
ことを特徴とし、もって、請求項1から3に記載の密度
計測部よりも安価な超音波質量流量計を提供するもので
ある。
【0011】請求項5の発明は、流管を流れる流体を媒
体とし、該流体流れの正逆方向に伝播する超音波の伝播
時間差から該流体の体積流量を求める流量計測手段と、
前記流管の管壁に所定距離離して設けられた超音波送波
器および超音波受波器を有し、前記流管の管壁近傍にお
ける前記超音波送波器と前記超音波受波器間の超音波の
減衰量から前記流体の密度を求める密度計測手段と、前
記体積流量と前記密度とを乗算して質量流量を算出する
質量流量演算手段とからなることを特徴とし、もって、
バイパスラインを設けることなく、簡易に質量流量が求
められ、特に大口径の超音波流量計に適用することので
きる超音波質量流量計を提供するものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
(請求項1の発明)請求項1の発明は、超音波流量計に
設置した流管にバイパスラインを設けて、該バイパスラ
インに流れる流体が略静止状態となるように流体流れを
設定しておき、該バイパスラインの直管部の両端に超音
波送波器と超音波受波器を対向して設置し、該超音波送
波器と該超音波受波器間を伝播する超音波から流体の密
度を求めて、該密度と前記超音波流量計で測定された体
積流量とを乗算して、質量流量を求める推測形の質量流
量計である。
【0013】図1は、請求項1の発明の実施形態を説明
するための超音波質量流量計の構成図であり、図中、1
は流管、2,3は超音波送受波器、4は超音波伝播経
路、5は流管1のバイパスライン、5cはバイパスライ
ン5の直管部、6はバイパスライン5の流量調整弁、
7,8は流管1のバイパスライン5の流入口5a,流出
口5bの近傍に設けられた突起、9は超音波送波器、1
0は超音波受波器である。
【0014】図1において、超音波流量計は、流管1と
該流管1の管軸O−Oを通り、管軸O−Oと角度φをも
って交差した超音波伝播経路4上で流管1の壁面を貫通
し、対向して設けられた超音波送受波器2,3とで構成
されている。また、流管1には、直管部5cを有するバ
イパスライン5が流入口5a,流出口5bで接続される
ように設られ、流出口5b近傍に流量調整弁6が取り付
けられている。直管部5cの両端には、密度を計測する
ための超音波送波器9および超音波受波器10が対向し
て装着されている。
【0015】図1に示した超音波流量計は、例えば、伝
播時間逆数差法により流量を計測する場合、流管1内を
流れる流体の平均速度をV、超音波送受波器2,3間で
測定される流速をv、超音波送受波器2,3間の距離を
1、流体内の音速をCとし、超音波送受波器2から3
まで伝播する超音波の伝播時間をT2-3、超音波送受波
器3から2に伝播する超音波の伝播時間をT3-2とする
と、 T2-3=L1/(C+v cosφ) …(1) T3-2=L1/(C−v cosφ) …(2) (1)式の逆数は (1/T2-3)=(C+v cosφ)/L1 …(3) (2)式の逆数は (1/T3-2)=(C−v cosφ)/L1 …(4) (3)式より(4)式を減算して流速vを求めると、 v=L1/2cosφ×(1/T2-3−1/T3-2)…(5) である。平均流速Vは流速vにRe数の補正係数kR
乗じ、 V=kRv …(6) で表される。従って、体積流量Qは、流管1の断面積を
Aとすると、 Q=V・A=kRv・A …(7) である。
【0016】一方、超音波送波器9と超音波受波器10
と直管部5cと流量調整弁6を有するバイパスライン5
を流れる流体は、流入口5a近傍に設けられた突起7,
流出口5b近傍に設けられた突起8により差圧が生じ、
該差圧により流管1から導入され、流量調整弁6により
略静止状態になるように調整されている。超音波送波器
9と超音波受波器10との区間L2における音響インピ
ーダンスZは、流体の密度をρ、音速をCとすると、 Z=ρ・C …(8) また、流体内の音速Cは、流体の圧力をP、定圧比熱C
pと定積比熱Cvとの比熱比をγ(=Cp/Cv)とす
ると、
【0017】
【数1】
【0018】(8),(9)式より、
【0019】
【数2】
【0020】であり、比熱比γおよび圧力Pを一定とす
ると、固定音響インピーダンスZは、媒質(流体)の密
度ρの関数である。超音波送波器9から発射された音圧
0の超音波が直管部5c内を伝播し、超音波受波器1
0に達したときの音圧をp1とすると、(10)式か
ら、
【0021】
【数3】
【0022】が得られる。p0は一定であるから、p1
検出することにより密度ρを求めることができる。すな
わち、密度ρは、
【0023】
【数4】
【0024】である。
【0025】従って、超音波流量計で求めた(7)式の
体積流量Qと(12)式の密度ρを乗算することによ
り、質量流量Mは、 M=Q・ρ …(13) を演算することにより求めることができる。
【0026】請求項1の発明によれば、流体の体積流量
Qを超音波流量計で測定して、これに略静止状態にある
流体中での超音波の音圧の変化から密度を求めて、これ
と前記体積流量Qから質量流量Mを演算することによ
り、簡単な装置により質量流量を求めることができる。
【0027】(請求項2の発明)請求項2の発明は、請
求項1に記載の超音波質量流量計において、密度計測手
段をバイパスライン5の直管部5c両端に装着した超音
波送波器9と超音波受波器10の超音波送波器9を一定
レベルの超音波加振信号で発振したとき、超音波受波器
10の受波信号を一定レベルに増幅したときの増幅率か
ら密度を求めるものである。
【0028】図2は、請求項2の発明の実施形態を説明
するためのブロック回路図であり、図中、11は超音波
発振制御部、12は超音波受波検出部、13は受信波検
出部、14は増幅器、15は増幅器14のゲイン検出
部、16は超音波送受波器2,3の伝搬時間検出部、1
7は質量流量演算部、18は流速演算部、19は密度演
算部、20は質量流量演算部、21は質量流量出力・表
示部である。
【0029】次に、図2に示すブロック回路図の動作
を、図1の超音波質量流量計を参照して説明する。ま
ず、超音波発振制御部11は、超音波送波器9に一定電
圧を供給して、超音波送波器9の出力信号を制御するも
ので、超音波送波器9から直管部5c内に超音波を発射
する。直管部5c内で減衰した超音波を超音波受波器1
0で受波し、超音波受波検出部12の受信波検出部13
に入力する。入力された受波信号は、増幅器14で一定
レベルに増幅され、ゲイン検出部15で増幅器14のゲ
インを検出する。そして、増幅器のゲインの関数として
密度演算部19で密度ρを算出する。
【0030】一方、超音波流量計の流管1では、超音波
送受波器2,3の伝搬時間が伝搬時間検出部16で検出
され、検出された伝搬時間により流速が質量流量演算部
17の流速演算部18で演算され、体積流量Qを求め
る。求めた体積流量Qと、先に密度演算部19で求めた
密度ρとを質量流量演算部20で乗算して質量流量Mを
算出し、質量流量出力表示部21に出力,表示する。
【0031】図3は、請求項2の発明の実施形態による
増幅器のゲインと流体密度の関係の一例を表わす図で、
横軸に密度Density(kg/m3)、縦軸にアンプゲインGa
inをとってある。図3に示す密度−ゲイン曲線は、Ar
(アルゴン)、Air(空気)、C38(プロパン)等の
気体に関してのlog−log特性曲線で、流体密度ρはlog
−log曲線で直線上にプロットされる。すなわち、気体
の密度ρは、増幅器14のゲインの関数として表わさ
れ、増幅器14のゲインをG、k1,k2を定数とする
と、
【0032】
【数5】
【0033】の関係にあることが判る。
【0034】(請求項3の発明)請求項3の発明は、請
求項1に記載の超音波質量流量計の流体の密度計測にお
いて、流体が略静止状態で流れているバイパスライン5
の直管部5cの両端に超音波送波器9と超音波受波器1
0を装着して、超音波送波器9に一定レベルの超音波加
振信号を印加したときの超音波受波器10の受波信号レ
ベルを計測し、これと前記超音波送波器9の送波信号と
のレベル比を求めて、該レベル比から流体密度ρを求め
るようにしたものである。
【0035】図4は、図2に示した超音波受波検出部1
2の他の実施形態を説明するためのブロック回路図であ
り、図中、22は超音波送波器9に印加される電圧検出
部、23は切換えスイッチ、24はレベル比計測部であ
る。図2と同様の動作をする部分には、図2と同じ参照
番号を付してある。
【0036】図4に示した超音波受波検出部以外の回路
部分は図2の場合と同じであり、その説明を省略する。
電圧検出部22は一定レベルの超音波加振信号が印加さ
れた超音波送波器9の発振レベルで、受信波検出部13
は、超音波受波器10の受波信号である。該受波信号は
直管部5c内で減衰され低レベルとなるため増幅器14
で増幅する。そして、電圧検出部22の信号と増幅器1
4で増幅された受信波検出部13の信号とを切換スイッ
チ23で切り換えて、各々の信号レベルをレベル比計測
部24で測定して密度を求めるもので、図3に示した密
度−ゲイン曲線と同様の特性曲線により密度を計測する
ことができる。
【0037】(請求項4の発明)請求項4の発明は、請
求項1乃至3に記載の超音波質量流量計の密度計測手段
において、バイパスライン5の直管部5cの一端に装着
した超音波送波器9を超音波の送波器と受波器と兼用し
た超音波送受波器に置き換え、他端の超音波受波器10
を取り除いて、これを超音波の反射板に置き換えたもの
であり、超音波受波器をなくすことにより構成を簡略化
した。
【0038】図5は、請求項4に記載の超音波質量流量
計の実施形態例を説明するための構成図であり、図中、
30は超音波送受波器、31は超音波反射板であり、図
1と同様の作用をする部分には、図1の場合と同じ参照
番号を付してある。
【0039】図5に示した超音波質量流量計において、
超音波送受波器30からは直管部5c内に所定時間間隔
で一定レベルの超音波が発射される。これを超音波反射
板31で反射し、反射された超音波は超音波送受波器3
0で受波される。受波信号から請求項2の発明の場合と
同様に、該増幅のゲインから密度ρを求めることができ
る。あるいは請求項3の場合と同様に、超音波送受波器
30から発射された送波信号と反射板31で反射され、
超音波送受波器30で受波された受波信号との比からも
密度ρを求めることができる。
【0040】上述のように、バイパスライン5の直管部
5cの一端を超音波送受波器30に、他端を超音波反射
板31にすることにより、超音波受波器10を省くこと
ができる。
【0041】(請求項5の発明)請求項5の発明は、密
度を計測するための超音波送波器9と超音波受波器10
とを流管1の内壁面の軸方向に所定間隔離し対向設置
し、バイパスライン5を省いたもので、特に大口径の流
管1に使用される。図6は、請求項5の発明の超音波質
量流量計の実施形態例を説明するための構成図であり、
図1と同様の作用をする部分には、図1の場合と同じ参
照番号を付してある。図6において、超音波質量流量計
の流管1には、図1に示すバイパスライン5が取り除か
れ、超音波送波器9および超音波受波器10を流管1の
内壁面に管軸O−Oと平行に取り付けてある。大口径の
場合、流管1の管壁付近は、流速が略零の境界層があ
る。境界層内は、実質的に流速が略零に近いので、図1
に示したバイパス管5の場合と同様に、図2,図4に示
すブロック回路図を用いて密度を計測し、質量流量を演
算することができる。
【0042】以上の説明において、超音波流量計とし
て、超音波の伝播時間逆数差法による流量計をとりあげ
たが、伝搬時間差法、あるいは、それぞれのZ法(透過
検出法)またはV法(反射検出法)等のその他の超音波
流量計の場合でも、同様に適用できる。
【0043】
【発明の効果】請求項1に対応する効果:流管内に超音
波流量計を設け、体積流量を求める流体計測手段と、流
管から分岐するバイパスラインと、該バイパスラインの
直管部の両端に超音波送波器と超音波受波器を対向する
ように設け、流体の密度を算出する密度計測手段と、前
記体積流量と前記密度とを乗算して質量流量を求める質
量流量演算手段とから構成したので、高価な密度計や圧
力計,温度計なしに簡易で安価に質量流量を求めること
ができる。
【0044】請求項2に対応する効果:請求項1に記載
の超音波質量流量計において、前記密度計測手段を、前
記バイパスラインの直管部の両端に対向装着された超音
波送波器および超音波受波器と、該超音波送波器を一定
レベルの超音波加振信号で加振する超音波発振制御部
と、前記超音波受波器の受波信号を前記一定の超音波加
振信号レベルに増幅する増幅部とで構成したので、簡易
で高精度な超音波質量流量計が得られる。
【0045】請求項3に対応する効果:請求項1に記載
の超音波質量流量計において、前記密度計測手段を、前
記バイパスラインの直管部の両端に対向装着された超音
波送波器および超音波受波器と、該超音波送波器を一定
レベルの超音波加振信号で加振する超音波発振制御部
と、前記超音波加振信号と前記超音波受波器の受波信号
との比を算出する超音波減衰率算出手段とで構成したの
で、簡易で高精度な超音波質量流量計が得られる。
【0046】請求項4に対応する効果:請求項1乃至3
項の何れかに記載の超音波質量流量計において、前記密
度計測手段を、前記流管から分岐するバイパスライン
と、該バイパスラインの直管部の一端に超音波送受波器
を、他端に超音波反射板を対向するように設け、流体の
密度を算出するようにしたので、請求項1乃至3項何れ
かに記載の密度計測部よりも安価となる。
【0047】請求項5に対応する効果:流管を流れる流
体を媒体とし、該流体流れの正逆方向に伝播する超音波
の伝播時間差から該流体の体積流量を求める流量計測手
段と、前記流管の管壁に所定距離離して設けられた超音
波送波器および超音波受波器を有し、前記流管の管壁近
傍における前記超音波送波器と前記超音波受波器間の超
音波の減衰量から前記流体の密度を求める密度計測手段
と、前記体積流量と前記密度とを乗算して質量流量を算
出する質量流量演算手段とで構成することにより、バイ
パスラインを設けることなく、簡易に質量流量が求めら
れ、特に、大口径の超音波流量計に適用することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 請求項1の発明の実施形態を説明するための
超音波質量流量計の構成図である。
【図2】 請求項2の発明の実施形態を説明するための
ブロック回路図である。
【図3】 請求項2の発明の実施形態による増幅器のゲ
インと流体密度の関係の一例を表わす図である。
【図4】 図2に示した超音波受波検出部12の他の実
施形態を説明するためのブロック回路図である。
【図5】 請求項4の発明の超音波質量流量計の実施形
態例を説明するための構成図である。
【図6】 請求項5の発明の超音波質量流量計の実施形
態例を説明するための構成図である。
【符号の説明】
1…流管、2,3…超音波送受波器、4…超音波伝播経
路、5…流管1のバイパスライン、5c…バイパスライ
ン5の直管部、6…バイパスラインの流量調整弁、7,
8…突起、9…超音波送波器、10…超音波受波器、1
1…超音波発振制御部、12…超音波受波検出部、13
…受信波検出部、14…増幅器、15…増幅器14のゲ
イン検出部、16…超音波送受波器2,3の伝搬時間検
出部、17…質量流量演算部、18…流速演算部、19
…密度演算部、20…質量流量演算部、21…質量流量
出力・表示部、22…電圧検出部、23…切換えスイッ
チ、24…レベル比計測部、30…超音波送受波器、3
1…超音波反射板。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流管内に超音波流量計を設け、体積流量
    を求める流体計測手段と、流管から分岐するバイパスラ
    インと、該バイパスラインの直管部の両端に超音波送波
    器と超音波受波器を対向するように設け、流体の密度を
    算出する密度計測手段と、前記体積流量と前記密度とを
    乗算して質量流量を求める質量流量演算手段とからなる
    ことを特徴とする超音波質量流量計。
  2. 【請求項2】 前記密度計測手段を、前記バイパスライ
    ンの直管部の両端に対向装着された超音波送波器および
    超音波受波器と、該超音波送波器を一定レベルの超音波
    加振信号で加振する超音波発振制御部と、前記超音波受
    波器の受波信号を前記一定の超音波加振信号レベルに増
    幅する増幅部とで構成し、該増幅部の増幅率に応じて流
    体密度を求めることを特徴とする請求項1に記載の超音
    波質量流量計。
  3. 【請求項3】 前記密度計測手段を、前記バイパスライ
    ンの直管部の両端に対向装着された超音波送波器および
    超音波受波器と、該超音波送波器を一定レベルの超音波
    加振信号で加振する超音波発振制御部と、前記超音波加
    振信号と前記超音波受波器の受波信号との比を算出する
    超音波減衰率算出手段とで構成し、該超音波減衰率算出
    手段で算出された超音波減衰率に応じて流体密度を求め
    ることを特徴とする請求項1に記載の超音波質量流量
    計。
  4. 【請求項4】 前記密度計測手段を、流管から分岐する
    バィパスラインと、該バイパスラインの直管部の一端に
    超音波送受波器を、他端に超音波反射板を対向するよう
    に設け、流体の密度を算出することを特徴とする請求項
    1乃至3項何れかに記載の超音波質量流量計。
  5. 【請求項5】 流管を流れる流体を媒体とし、該流体流
    れの正逆方向に伝播する超音波の伝播時間差から該流体
    の体積流量を求める流量計測手段と、前記流管の管壁に
    所定距離離して設けられた超音波送波器および超音波受
    波器を有し、前記流管の管壁近傍における前記超音波送
    波器と前記超音波受波器間の超音波の減衰量から前記流
    体の密度を求める密度計測手段と、前記体積流量と前記
    密度とを乗算して質量流量を算出する質量流量演算手段
    とからなることを特徴とする超音波質量流量計。
JP8243376A 1996-09-13 1996-09-13 超音波質量流量計 Pending JPH1090028A (ja)

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