JP5469349B2 - 加工物の光学的表面特性の測定装置 - Google Patents
加工物の光学的表面特性の測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5469349B2 JP5469349B2 JP2009054746A JP2009054746A JP5469349B2 JP 5469349 B2 JP5469349 B2 JP 5469349B2 JP 2009054746 A JP2009054746 A JP 2009054746A JP 2009054746 A JP2009054746 A JP 2009054746A JP 5469349 B2 JP5469349 B2 JP 5469349B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- measuring
- optical surface
- surface properties
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 35
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 34
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 10
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/57—Measuring gloss
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4704—Angular selective
- G01N2021/4711—Multiangle measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4735—Solid samples, e.g. paper, glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Claims (13)
- 基本的に閉じられ、加工物(10)を配置できるキャリア(4)が内部に配設されたハウジング(2)と、
所定の放射方向(E)で、前記加工物に放射線を送出する放射装置(6)と、を含む、加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)であって、
前記ハウジングは、少なくとも1つの壁面(2a)に観察用開口部(8)を有し、
この観察用開口部(8)を介して、前記放射装置(6)によって照光された加工物(10)の領域を、所定の観察方向(B)で観察でき、
旋回装置が設けられ、
この旋回装置を利用して、所定の旋回軸(X)を中心に前記キャリア(4)を旋回でき、
連結装置(7)が設けられ、
この連結装置(7)を利用して、前記キャリア(4)に前記放射装置(6)が連結され、
この連結装置(7)は、前記キャリア(4)が旋回したとき、対応する角度で前記キャリア(4)とともに旋回する、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1に記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記ハウジング(2)の外側に、前記キャリア(4)の旋回位置を変更する少なくとも1つの駆動装置(17)が配設される、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1に記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記旋回軸(X)は、基本的に、前記放射方向(E)と前記観察方向(B)とによって形成される平面に垂直である、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から3のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
観察装置は、ハウジングの壁面に設けられた溝(14)であり、この溝(14)は、前記キャリア(4)の旋回軸と平行に伸長する、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記放射装置(6)は、前記ハウジング(2)の内部に配置される、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から5のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記ハウジング(2)の内壁(12)は、光吸収物質で形成される、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から6のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記装置(1)は、前記キャリア(4)の旋回位置を表示する表示装置(18)を含む、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から7のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記装置(1)は複数の放射装置(6)を含む、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から8のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記キャリア(4)に、前記加工物(10)の支持要素(24)が配設され、この支持要素(24)は、前記キャリア(4)に対して移動可能である、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から9のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記装置(1)は、前記加工物(10)に向かう視認方向を規定する視野案内装置(14)を含む、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から10のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記ハウジング(2)の外側に、前記観察用開口部(8)を通って、前記ハウジング(2)の内部に光が進入することを防ぐ減光装置が設けられる、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から11のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
前記旋回装置は、少なくとも1つの所定の固定位置を有する、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。 - 請求項1から12のいずれか1つに記載の加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)において、
少なくとも1つの放射装置(6)は、スポットタイプの光源を含む、
ことを特徴とする加工物(10)の光学的表面特性を測定する装置(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008013387.6A DE102008013387B4 (de) | 2008-03-10 | 2008-03-10 | Vorrichtung zum Bestimmen optischer Oberflächeneigenschaften von Werkstücken |
DE102008013387.6 | 2008-03-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009236909A JP2009236909A (ja) | 2009-10-15 |
JP5469349B2 true JP5469349B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=40952890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009054746A Active JP5469349B2 (ja) | 2008-03-10 | 2009-03-09 | 加工物の光学的表面特性の測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7973932B2 (ja) |
JP (1) | JP5469349B2 (ja) |
DE (1) | DE102008013387B4 (ja) |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3519360A (en) * | 1965-10-22 | 1970-07-07 | Richard F Kudlek | Apparatus for visual color comparison |
US3738758A (en) * | 1970-09-29 | 1973-06-12 | Wikoff Color Corp | Method and apparatus for formulating inks |
JPS50144483A (ja) * | 1974-05-09 | 1975-11-20 | ||
JPS5176437U (ja) * | 1974-12-12 | 1976-06-16 | ||
JPS58156822A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-17 | Canon Inc | 偏光解析装置 |
FR2570497B1 (fr) * | 1984-09-19 | 1986-12-12 | Saint Gobain Vitrage | Cabine de controle de substrats revetus d'une couche mince d'oxyde metallique |
JPS62188325A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体のof面出し方法及び装置 |
JPH0235339A (ja) * | 1988-07-23 | 1990-02-05 | Horiba Ltd | 光沢測定装置 |
JP2572767Y2 (ja) * | 1991-01-25 | 1998-05-25 | 日本分光株式会社 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
JPH058448U (ja) * | 1991-04-19 | 1993-02-05 | 日本電色工業株式会社 | 光学測定器 |
US5189490A (en) * | 1991-09-27 | 1993-02-23 | University Of Hartford | Method and apparatus for surface roughness measurement using laser diffraction pattern |
JP3011477U (ja) * | 1994-11-22 | 1995-05-30 | 勇 山下 | 夜間の反射材スクリーン視認装置 |
ATE211549T1 (de) * | 1995-10-25 | 2002-01-15 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur kontrolle von scheiben |
DE19826533C2 (de) * | 1998-06-15 | 2001-07-19 | Willing Gmbh Dr Ing | Vorrichtung zur Farbabmusterung und Farbmessung |
WO2003029811A1 (en) * | 2001-10-04 | 2003-04-10 | Digieye Plc. | Assessing colour fastiness |
DE102004034167A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE102005025291B4 (de) | 2005-06-02 | 2019-07-25 | Byk-Gardner Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften |
-
2008
- 2008-03-10 DE DE102008013387.6A patent/DE102008013387B4/de active Active
-
2009
- 2009-03-09 JP JP2009054746A patent/JP5469349B2/ja active Active
- 2009-03-09 US US12/400,610 patent/US7973932B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090225318A1 (en) | 2009-09-10 |
DE102008013387A1 (de) | 2009-09-17 |
DE102008013387B4 (de) | 2020-02-13 |
JP2009236909A (ja) | 2009-10-15 |
US7973932B2 (en) | 2011-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100587473C (zh) | 自动检查系统和方法 | |
US4887892A (en) | Method and method and apparatus for control of light intensity for image analysis | |
US20060133084A1 (en) | Transmitted-light base for a microscope, and method for regulating the illumination intensity of a transmitted-light base | |
US7808625B2 (en) | Aperture variable inspection optical system and color filter evaluation process | |
DE102011053140B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Messen optischer Eigenschaften von transparenten Materialien | |
CN101449962B (zh) | 光源装置和内窥镜装置 | |
WO2004090604A3 (de) | Mikroskopanordnung | |
US20100238326A1 (en) | Zoom System for An Optical Stereo Device | |
JP5469349B2 (ja) | 加工物の光学的表面特性の測定装置 | |
DE602004002571T2 (de) | Spektrophotometer und dessen baugruppen | |
JP2014215152A (ja) | 積分球、および、反射光の測定方法 | |
DE102011114377A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Durchlichtbeleuchtung für Lichtmikroskope und Mikroskopsystem | |
CN107709924A (zh) | 使用光学测量装置时的照明控制 | |
US20170336613A1 (en) | Microscope having two access openings for the fluorescence device | |
CN210071291U (zh) | 一种光学镜头色差测量装置 | |
US20060274316A1 (en) | Measuring system for the optical characterization of materials and method for the implementation thereof by said system | |
DE102010053475A1 (de) | Probenabdeckung für ein Mikroskop | |
CN110542539A (zh) | 一种光学镜头色差测量装置 | |
NL2019089B1 (en) | Polarization microscope | |
CN208051187U (zh) | 定位装置和激光打标设备 | |
US8917397B2 (en) | Microscope illumination and calibration apparatus | |
JP4307944B2 (ja) | シャッタ装置、レーザ走査型顕微鏡及び顕微鏡 | |
US20160286790A1 (en) | Apparatus for observing cornea for transplantation and observation system having the same | |
DE19842112B4 (de) | Einrichtung zur Einstellung und Steuerung der Beleuchtungsstärke von Kontrolleuchten | |
JP2008185717A (ja) | 絞り装置および3次元形状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090629 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130116 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130411 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5469349 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |