JP5465362B1 - 圧電素子及びそれを用いたインクジェット装置とその塗布方法 - Google Patents

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Abstract

この圧電素子は、第１，第２シート３０，４０を積層し焼成して構成されている。その積層状態は、第１非電極領域５１が形成されている第１長辺３０ａの側に、第２電極６０が位置しているので、導電膜１００Ａの形成前の状態では、第１電極５０の端面と第２電極６０の端面が同じ側の側面２０ｂ，２０ｄで露出して観察できる。長辺方向Ｘに間隔を空けて形成されたスリット９１を有し、さらに、導電膜１００Ａが形成されているので、正面２０ａに露出している第２電極６０と、端部２０ａｂ，２０ａｄとの間に電圧を印加し、正面２０ａからの接続だけで駆動できる。

Description

本発明は、圧電素子及びそれを用いたインクジェット装置とその方法に関する。
近年、インクジェット技術を用いて電子デバイスを製造する方法が注目を集めている。
特許文献１の圧電素子は、圧電素子の短辺方向の両端に設けられている電極を、片側から取り出すことができる圧電素子である。以下、その構造を説明する。
図７（ａ）は、第１セラミックグリーンシート３０の平面図である。図７（ｂ）は、第２セラミックグリーンシート４０の平面図である。以下、第１セラミックグリーンシート３０を第１シート、第２セラミックグリーンシート４０を第２シートと称す。
従来の圧電素子は、これら、第１シート３０と、第２シート４０とを、図８に示すように下部９０の上に積層して、加圧して焼成したものである。
第１シート３０上に導電ペーストで第１電極５０が形成されている。第２シート４０上に第２電極６０が形成されている。また、それぞれに、電極が形成されていない第１非電極領域５１，第２非電極領域６１が存在する。
これら第１，第２シート３０，４０を積層し、加圧して焼成することにより、図８（ａ）に示す中間品のブロック２０を得ることができる。図８（ａ）はブロック２０の斜視図である。手前の面を正面２０ａ、裏側の面を背面２０ｃ、右側の側面を右側面２０ｂ、左側の側面を左側面２０ｄとする。
第１電極５０は、圧電素子２０の正面２０ａにのみ露出されている。第１電極５０は、圧電素子２０の右側面２０ｂ、左側面２０ｄ、背面２０ｃには露出されていない。
他方、第２電極６０は、背面２０ｃに露出されており、正面２０ａ，右側面２０ｂ，左側面２０ｄには露出されていない。また、接続用電極７０は、圧電素子の正面２０ａ，右側面２０ｂ，背面２０ｃに露出されている。すなわち、接続用電極７０は、圧電素子２０の対向し合っている正面２０ａ，背面２０ｃに至るように形成されている。
他方、圧電素子２０の背面２０ｃを図８（ｂ）に示す。接続用電極７０、第２電極６０、第２非電極領域６１が表面に現れている。
この背面２０ｃには、図８（ｃ）に示すように、その表面全体に導電層１００が形成され、更に、より多くの圧電素子とするため、図９に示すように、複数のスリット９１を形成して圧電素子２０が構成されている。
この圧電素子２０は、導電層１００により、接続用電極７０と第２電極６０とが背面２０ｃにおいて電気的に接続されているため、正面２０ａの１面において、第１電極５０と、接続用電極７０とを外部電極に接続することで、圧電体が機能する。 結果、この圧電素子２０では、１つの面のみで外部と接続できる。多くの外部接続電極を有する配線基板をこの１面に接続することで、各圧電素子を駆動できる。インクジェットに用いる圧電素子２０では、非常に多くの圧電体が必要であり、圧電素子２０の１つの面（正面２０ａ）から複数の外部電極を取り出すことが必要である。
ここで、圧電素子２０に電圧を印加したときの変位は、図１０（ａ）から図１０（ｃ）のように表すことができる。つまり、上側の図は、圧電素子２０の断面であり、下側の図は、その状態での変位である。ここで断面は、図８の圧電素子２０の正面２０ａと背面２０ｃとに垂直な面である。
図１０（ａ）の場合は、積層される圧電素子２０の両端の第２非電極領域６１、第１非電極領域５１の幅をｄ２、ｄ１とすると、ｄ１＝ｄ２のときは、変位が左右対称となる。
一方、図１０（ｂ）に示したように“ｄ１ ＞ ｄ２”のときは、小さいｄ２側の変位が、大きいｄ１側の変位よりも大きくなる。図１０（ｃ）に示したように“ｄ１＜ｄ２”のときは、小さいｄ１側の変位が、大きいｄ２側の変位よりも大きくなる。
このように非電極領域５１，６１の幅ｄ１，ｄ２により、圧電素子２０の最大変位の場所が異なる。つまり、非電極領域の幅の値の大きさにより、圧電素子２０の最大変位位置と最大変位量が異なってしまう。
この非電極領域の幅の値の大きさが相違するのは、電極形成時の形成の精度、セラミックグリーンシートの積層時の位置ずれ、焼成時の収縮の度合いなどのいろいろな要因がある。
特開平１１−３２０８８１号公報
今後の電子デバイスの高密度化に伴い、電圧を印加したときの圧電素子２０の変位量と変位位置を正確に制御する必要がある。
そのためには、圧電素子２０において、外部との接続するための電極を１面から取り出すと共に、非電極領域の幅を組み立て前に検査する必要がある。
従来の構成では、図７と図８からわかるように、非電極領域５１，６１の領域は、３方向に存在するが、１辺のみしか外部に現れないので、１部のみしか確認することができなかった。そのために、図１０で示したように、非電極領域の幅による圧電素子２０の最大変位の場所を特定することができなかった。その結果、その圧電素子２０を使用したインクジェットヘッドの吐出体積のばらつきの原因となっている。
本発明では、前記従来の課題を解決するもので、非電極領域の幅を確認することができると共に、圧電素子の１つの面から電極を引き出すことができる構造を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の圧電素子は、主面が長方形で、前記主面に第１電極が、前記長方形の第１短辺と第２短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第１長辺と第２長辺のうち、一方の第２長辺のみまでに四角形状に形成された第１シートと、主面が長方形で、前記主面に第２電極が、前記長方形の第３短辺と第４短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第３長辺と第４長辺のうち、一方の第３長辺のみまで四角形状に形成された第２シートと、それぞれのシートを、前記第１長辺と第３長辺、前記第１短辺と第３短辺とを、前記それぞれの主面が上方または下方となるように揃えて積層した直方体のブロックであり、前記ブロックの前記第１長辺の方向に所定間隔で、前記第１長辺に垂直に形成された複数のスリットを有し、前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの少なくとも一方の端部と、前記ブロックの前記第１短辺と前記第３短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第３面と、前記ブロックの前記第２短辺と前記第４短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第４面とに、これらを接続する導電膜が形成されている圧電素子であって、前記第１電極の形状と、前記第２電極の形状とは、前記ブロックを積層方向から見て、前記長辺に平行な線に対して、鏡像の関係にある、ことを特徴とする。
また、本発明の圧電素子は、主面が長方形で、前記主面に第１電極が、前記長方形の第１短辺と第２短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第１長辺と第２長辺のうち、一方の第２長辺のみの全辺までに渡って四角形形状に形成された第１シートと、主面が長方形で、前記主面に第２電極が、前記長方形の第３短辺と第４短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第３長辺と第４長辺のうち、一方の第３長辺のみの全辺までに渡って四角形形状に形成された第２シートと、それぞれのシートを、前記第１長辺と第３長辺、前記第１短辺と第３短辺とを、前記それぞれの主面が上方または下方となるように揃えて積層した直方体のブロックであり、前記ブロックの前記第１長辺の方向に所定間隔で、前記第１長辺に垂直に形成された複数のスリットを有し、前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、前記ブロックの前記第１短辺と前記第３短辺を含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第３面と、前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの前記第３面側の端部とに、これらを接続する導電膜が形成されている、または、前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、前記ブロックの前記第２短辺と前記第４短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第４面と、前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの前記第４面の側の端部とに、これらを接続する導電膜が形成されている、圧電素子であって、前記第１電極の形状と、前記第２電極の形状とは、前記ブロックを積層方向から見て、前記長辺に平行な線に対して、鏡像の関係にある、ことを特徴とする。
本発明によれば、セラミックグリーンシートを積層、焼成後に、表面観察することで、電極の幅、非電極部分の幅がわかり、非破壊で評価することができる。そのために、圧電素子の最大変位する場所と最大変位量を予測することが可能となる。したがって、インクジェット等に用いる場合には、これらの値により、圧電素子を選別することが可能となり、インクジェットの液滴量のばらつきを抑制することができ、高精度な塗布が実現することが可能となる。
かつ、１面のみから、外部電極を取り出せる。多くの外部電極が形成された基板と接続できる。
また、このようにして得られた圧電素子をインクジェットヘッドに適用することにより、インクジェットヘッドごとの液滴量のバラツキが少ない高精度の塗布を実現できる。
本発明の実施の形態１の圧電素子に使用する（ａ）第１シートの平面図と、（ｂ）第２シートの平面図、 第１，第２シートの積層状態を示す要部の分解図 （ａ）導電膜を形成する前のブロックの斜視図と、（ｂ）導電膜を形成したブロックの斜視図と、（ｃ）導電膜を形成したブロックの背面図 （ａ）導電膜を形成したブロックに複数のスリットを形成した完成品の斜視図と、（ｂ）その背面図 （ａ）本発明の実施の形態２の圧電素子の斜視図と、（ｂ）その背面図 本発明の実施の形態３の圧電素子に使用する（ａ）第１シートの平面図と、（ｂ）第２シートの平面図、 （ａ）従来の圧電素子に使用する第１シートの平面図と、（ｂ）第２シートの平面図 （ａ）導電膜を形成する前の従来の中間品であるブロックの斜視図と、（ｂ）その背面図と、（ｃ）導電膜を形成したブロックの背面図 導電膜を形成したブロックに複数のスリットを形成した従来の圧電素子の斜視図 （ａ）〜（ｃ）従来の圧電素子の非電極領域とその変位のグラフ
以下、本発明の各実施の形態を図１〜図６に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図４は本発明の実施の形態１を示す。
図１（ａ）（ｂ）は、本発明の圧電素子に用いる第１シート３０、第２シート４０の拡大斜視図である。Ｘが長辺方向を示している。
主面が長方形の第１シート３０は、短辺方向Ｙに対向した第１長辺３０ａ，第２長辺３０ｃと、長辺方向Ｘに対向した第１短辺３０ｂ，第２短辺３０ｄを有する。その主面には、第２長辺３０ｃの側から第１長辺３０ａに向かって、第１短辺３０ｂ，第２短辺３０ｄの両端まで第１電極５０が形成されている。第１長辺３０ａの側から第２長辺３０ｃに向かって、第１短辺３０ｂ，第２短辺３０ｄの両端まで電極が形成されていない第１非電極領域５１が形成されている。
主面が長方形の第２シート４０は、短辺方向Ｙに対向した第３長辺４０ａ，第４長辺４０ｃと、長辺方向Ｘに対向した第３短辺４０ｂ，第４短辺４０ｄを有する矩形で、その主面には、第３長辺４０ａの側から第４長辺４０ｃに向かって、第３短辺４０ｂ，第４短４０ｄの両端まで第２電極６０が形成されている。第４長辺４０ｃの側から第３長辺４０ａに向かって、第３短辺４０ｂ，第４短辺４０ｄの両端まで電極が形成されていない第２非電極領域６１が形成されている。
第１，第２シート３０，４０は、同じ厚みにすることにより、焼成時に生じるひずみ量を最小にすることができる。１枚の厚さは５〜１００μｍ、望ましくは１０〜５０μｍが望ましい。
これらの第１，第２シート３０，４０を、図２に示すように下部９０ａ上に複数枚を交互に積層し、加圧して焼結したブロックを、図３（ａ）に示す。
このブロックは、左側面２０ｄおよび右側面２０ｂの両側面から、焼結後の第１非電極領域５１、第２非電極領域６１を非破壊で観察することができる。第１電極５０、第２電極６０も観察できる。また、ブロックの背面２０ｃ側からは焼結後の第１電極５０を非破壊で観察することができる。ブロックの正面２０ａ側からは焼結後の第２電極６０を非破壊で観察することができる。
下部９０ａとしては、電極のない上記セラミックグリーンシートを用いてもよいし、上部９０ｂにも、電極のない上記セラミックグリーンシートを用いてもよい。
図２（ａ）に示したブロックの背面２０ｃには、図３（ｃ）に示すように導電膜１００Ａが形成されている。この導電膜１００Ａは、図３（ｂ）に示すように右側面２０ｂを経てブロックの正面２０ａの右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間に亘って形成されている。また、この導電膜１００Ａは、左側面２０ｄを経てブロックの正面２０ａの左側面２０ｄの側の端部２０ａｄの区間に亘って形成されている。
このように、導電膜１００Ａが形成された中間品のブロックに対して、図４（ａ）に示すように、長辺方向Ｘに所定間隔で、第１，第２シート３０，４０の積層の方向にスリット９１を形成することによって圧電素子が完成する。図４（ｂ）は完成した圧電素子の背面側を示している。
この構成によると、第１シート３０の第２長辺３０ｃに露出している第１電極５０の相互間が、背面２０ｃに形成された導電膜１００Ａによって接続されるとともに、この導電膜１００Ａが右側面２０ｂを介してブロックの正面２０ａの右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間と、左側面２０ｄを介してブロックの正面２０ａの左側面２０ｄの側の端部２０ａｄの区間とに、引き出されているため、ブロックの正面２０ａの端部２０ａｂの区間または端部２０ａｄの区間の何れかと、ブロックの正面２０ａで露出している第２電極６０に外部電極を接触させることによって、圧電素子をブロックの正面２０ａの側からの接続によって駆動できる。
また、この構成によると、図３（ａ）のように導電膜１００Ａを形成する前の状態では、ブロックの左側面２０ｄと右側面２０ｂの何れにも、第１電極５０の端面と第２電極６０の端面が露出しているため、第１非電極領域５１の幅と第２非電極領域６１の幅を、非破壊で観察することができる。そのために、圧電素子となった場合の最大変位する場所と最大変位量を検査することが可能となる。
したがって、この圧電素子をインクジェット等に用いる場合には、この検査により、圧電素子を選別することが可能となり、インクジェットの液滴量のばらつきを抑制することができ、高精度な塗布が実現することが可能となる。
また、上記のように右側面２０ｂ，左側面２０ｄを介して導電膜１００Ａを前面２０ａまで引き出した場合には、背面２０ｃと左側面２０ｄとの角部２６、ならびに左側面２０ｄと前面２０ａとの角部２７において、導電膜１００Ａの脱落が発生しやすい。
しかし、この実施の形態では、背面２０ｃの導電膜１００Ａに接続されている第１電極５０が左側面２０ｄの端面で露出しており、また、前面２０ｃの導電膜１００Ａに接続されている第２電極６０が左側面２０ｄの端面で露出しているため、前記角部２６，２７において導電膜１００Ａの脱落が発生しても、左側面２０ｄの端面に露出した第１電極５０と第２電極６０が、左側面２０ｄに形成された導電膜１００Ａによって短絡されているため、背面２０ｃの導電膜１００Ａと前面２０ａの導電膜１００Ａとの導通不良が発生しない。右側面２０ｂの場合も同様である。
なお、上記の実施の形態では中間品のブロックの右側面２０ｂと左側面２０ｄの両方に導電膜１００Ａを形成して、右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間と、左側面２０ｄの側の端部２０ａｄの区間とに、導電膜１００Ａを引き出したが、一方の側面に導電膜１００Ａを形成して構成することも出来る。具体的には、ブロックの右側面２０ｂに導電膜１００Ａを形成しない場合には、背面２０ｃの導電膜１００Ａを、左側面２０ｄに形成した導電膜１００Ａを介して端部２０ａｄの区間にまで引き出す。この場合、右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間には導電膜１００Ａを設けない。
（実施の形態２）
図５は本発明の実施の形態２を示す。
実施の形態１では背面２０ｃの導電膜１００Ａを右側面２０ｂと左側面２０ｄのうちの少なくとも一方を経由して前面２０ａに引き出したが、図５に示す実施の形態２では、図５（ｂ）に示すように背面２０ｃに形成された導電膜１００Ａを、図５（ａ）に示すように上面２０ｅに形成された導電膜１００Ａを経由して、中間品のブロックの右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間と、左側面２０ｄの側の端部２０ａｄの区間とに引き出すこともできる。その他は実施の形態１と同じである。
また、この実施の形態２では上面２０ｅに形成した導電膜１００Ａを経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出したが、大きい駆動電流に対応することが必要な場合には、実施の形態１のように、背面２０ｃの導電膜１００Ａを右側面２０ｂと左側面２０ｄのうちの少なくとも一方を経由して前面２０ａに引き出すとともに、さらに、上面２０ｅに形成した導電膜１００Ａを経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出すように構成することも出来る。
また、上面２０ｅに形成した導電膜１００Ａを経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出したが、上面２０ｅに形成した導電膜１００Ａに代わって、中間品のブロックの底面２０ｆに形成した導電膜（図示せず）を経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出すこともできる。大きい駆動電流に対応することが必要な場合には、実施の形態１のように、背面２０ｃの導電膜１００Ａを右側面２０ｂと左側面２０ｄのうちの少なくとも一方を経由して前面２０ａに引き出すとともに、さらに、底面２０ｆに形成した導電膜を経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出すように構成することも出来る。更には、背面２０ｃの導電膜１００Ａを右側面２０ｂと左側面２０ｄのうちの少なくとも一方を経由して前面２０ａに引き出すとともに、さらに、中間品のブロックの上面２０ｅ及び底面２０ｆに形成した導電膜を経由して背面２０ｃの導電膜１００Ａを前面２０ａに引き出すように構成することも出来る。
なお、上記の説明では右側面２０ｂの側の端部２０ａｂの区間と、左側面２０ｄの側の端部２０ａｄの区間との両方にまで、背面２０ｃに形成された導電膜１００Ａを引き出す場合を説明しているが、端部２０ａｂの区間と端部２０ａｄの何れかの区間にだけ背面２０ｃに形成された導電膜１００Ａを引き出す場合も同様である。
上記の各実施の形態では、第１シート３０の第１電極５０が、第１短辺３０ｂ，第２短３０ｄに達するまで形成されていたが、第１短辺３０ｂ，第２短辺３０ｄの少なくとも一方の端部まで形成して構成することも出来る。同様に、第２シート４０の第１電極６０が、第３短辺４０ｂ，第４短４０ｄに達するまで形成されていたが、第３短辺４０ｂ，第４短辺４０ｄの少なくとも一方の端部まで形成して構成することも出来る。
上記の各実施の形態において、右側面２０ｂと左側面２０ｄの全面に導電膜１００Ａを形成したが、右側面２０ｂまたは左側面２０ｄで露出した第１，第２電極５０，６０を短絡するだけの幅の導電膜であれば、全面である必要はない。
（実施の形態３）
図６（ａ）は実施の形態３の圧電素子に使用する第１シート３０の平面図、図６（ｂ）は実施の形態３の圧電素子に使用する第２シート４０の平面図を示す。
実施の形態１では、図１に示した第１シート３０と第２シート４０とを積層して、加圧して焼成して積層したが、この実施の形態３では、図６（ａ）（ｂ）に示す第１シート３０と第２シート４０とを積層し、加圧して焼成して圧電素子を形成する。
図６（ａ）（ｂ）に示す第１シート３０には、第１電極５０と、第１非電極領域５１と、第３非電極領域５２と、第３電極５３とが設けられている。第２シート４０には、第２電極６０と、第２非電極領域６１と、第４非電極領域６２と、第４電極６３とが設けられている。その他は、実施の形態１と同様である。
実施の形態１との違いは、第３非電極領域５２を設けて、第１電極５０を分離して、第３電極５３を設けたこと、および第４非電極領域６２を設けて、第２電極６０を分離して、第４電極６３を設けたことである。
第３電極５３、第４電極６３は、完成品の圧電素子では、図４の正面２０ｃの左側面２０ｄの側の左部コーナー部２５ｄの内部の電極、または正面２０ｃの右側面２０ｂの側の左部コーナー部２５ｂの内部の電極となる。
なお、第１シート３０と第２シート４０とを積層し、加圧して焼成したブロック状の圧電素子では、第３非電極領域５２と第４非電極領域６２との内に、一つのスリット９１が位置する。これは、予め、第３非電極領域５２，第４非電極領域６２を設けて、絶縁される距離を長くし、絶縁性を向上させたものである。
上記の例では、第１シート３０の３辺のうち真ん中の１辺から、第１非電極領域５１に達する第３非電極領域５２が存在している。一方、第２シート４０の３辺のうち真ん中の１辺から、第２非電極領域６１に達する電極が形成されていない第４非電極領域６２が存在している。
なお、上記圧電素子をピエゾ方式インクジェット装置に用いることができる。上記圧電素子をインクの詰まった微細管に取り付け、この圧電素子に電圧を加えて変形させることでインクを管外へと吐出させる。液晶のカラーフィルター、ＥＬの生産に用いることができる。インクは色成分を含むインクである。
上記の実施の形態１〜３において、中間品のブロックならびに完成品の圧電素子の形状は、四角柱であるが、四角柱以外でもよい。
本発明は、圧電素子に利用できる。また、その圧電素子はインクジェット装置に利用できる。
２０ａ 正面
２０ｂ 右側面
２０ｃ 背面
２０ｄ 左側面
３０ 第１シート
３０ａ 第１長辺
３０ｂ 第１短辺
３０ｃ 第２長辺
３０ｄ 第２短辺
４０ 第２シート
４０ａ 第３長辺
４０ｂ 第３短辺
４０ｃ 第４長辺
４０ｄ 第４短辺
５０ 第１電極
５１ 第１非電極領域
５２ 第３非電極領域
５３ 第３電極
６０ 第２電極
６１ 第２非電極領域
６２ 第４非電極領域
６３ 第４電極
Ｘ 長辺方向
Ｙ 短辺方向

Claims (8)

  1. 主面が長方形で、前記主面に第１電極が、前記長方形の第１短辺と第２短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第１長辺と第２長辺のうち、一方の第２長辺のみまでに四角形状に形成された第１シートと、
    主面が長方形で、前記主面に第２電極が、前記長方形の第３短辺と第４短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第３長辺と第４長辺のうち、一方の第３長辺のみまでに四角形状に形成された第２シートと、
    それぞれのシートを、前記第１長辺と第３長辺、前記第１短辺と第３短辺とを、前記それぞれの主面が上方または下方となるように揃えて積層した直方体のブロックであり、
    前記ブロックの前記第１長辺の方向に所定間隔で、前記第１長辺に垂直に形成された複数のスリットを有し、
    前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、
    前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの少なくとも一方の端部と、
    前記ブロックの前記第１短辺と前記第３短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第３面と、
    前記ブロックの前記第２短辺と前記第４短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第４面とに、
    これらを接続する導電膜が形成されている圧電素子であって、
    前記第１電極の形状と、前記第２電極の形状とは、前記ブロックを積層方向から見て、前記長辺に平行な線に対して、鏡像の関係にある圧電素子。
  2. 第１シートは、前記第１電極が、前記第１短辺と第２短辺の両方の一部分のみまでと、前記第１長辺と第２長辺のうち、一方の第２長辺のみの全辺までに渡って四角形状に形成され、
    第２シートは、前記第２電極が、前記第３短辺と第４短辺の両方の一部分のみまでと、前記第３長辺と第４長辺のうち、一方の第３長辺のみの全辺までに渡って四角形状に形成されている
    請求項１記載の圧電素子。
  3. 主面が長方形で、前記主面に第１電極が、前記長方形の第１短辺と第２短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第１長辺と第２長辺のうち、一方の第２長辺のみの全辺までに渡って四角形形状に形成された第１シートと、
    主面が長方形で、前記主面に第２電極が、前記長方形の第３短辺と第４短辺の両方の一部分のみまでと、前記長方形の第３長辺と第４長辺のうち、一方の第３長辺のみの全辺までに渡って四角形形状に形成された第２シートと、
    それぞれのシートを、前記第１長辺と第３長辺、前記第１短辺と第３短辺とを、前記それぞれの主面が上方または下方となるように揃えて積層した直方体のブロックであり、
    前記ブロックの前記第１長辺の方向に所定間隔で、前記第１長辺に垂直に形成された複数のスリットを有し、
    前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、前記ブロックの前記第１短辺と前記第３短辺を含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第３面と、前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの前記第３面の側の端部とに、これらを接続する導電膜が形成されている、または、
    前記ブロックの前記第２長辺を含む第２面と、前記ブロックの前記第２短辺と前記第４短辺とを含み、前記第１電極と前記第２電極が現れた第４面と、前記ブロックの前記第１長辺を含む第１面の前記第１長辺の方向の両端のうちの前記第４面の側の端部とに、これらを接続する導電膜が形成されている、
    圧電素子であって、
    前記第１電極の形状と、前記第２電極の形状とは、前記ブロックを積層方向から見て、前記長辺に平行な線に対して、鏡像の関係にある圧電素子。
  4. 前記第１シートには、前記第１電極の一部を分割して第３電極を形成するために、電極が形成されていない第３非電極領域が形成されており、
    前記第２シートには、前記第２電極の一部を分割して第４電極を形成するために、電極が形成されていない第４非電極領域が形成されている、
    請求項１または請求項２または請求項３記載の圧電素子。
  5. 前記第３非電極領域は、前記第１電極を前記第１長辺の方向に分割し、
    前記第４非電極領域は、前記第２電極を前記第１長辺の方向に分割している、
    請求項１または請求項２または請求項３記載の圧電素子。
  6. 前記第３非電極領域と前記第４非電極領域との内に、一つの前記スリットが位置する、
    請求項５記載の圧電素子。
  7. 請求項１または請求項２または請求項３に記載の圧電素子を用い、インクを被塗布物に塗布する、
    インクジェット装置。
  8. 請求項１または請求項２または請求項３に記載の圧電素子を用い、インクを被塗布物に塗布する、
    塗布方法。
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