JP5464393B2

JP5464393B2 - 低露点空気製造装置

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Publication number: JP5464393B2
Application number: JP2007250530A
Authority: JP
Inventors: 博之幡野
Original assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2007-09-27
Filing date: 2007-09-27
Publication date: 2014-04-09
Anticipated expiration: 2027-09-27
Also published as: JP2009078239A

Description

この発明は乾燥装置或いは室内等の目的空間に低露点空気を供給するために用いる吸着剤を用いた減湿システムに関し、特に吸着剤を除湿部で等温除湿を可能とし、再生部で伝導加熱乾燥を行うことにより製品空気あるいは目的空間からの還気を少量使うことを可能とし、超低露点空気を低消費電力で大量に製造することを可能とした低露点空気製造装置に関する。

従来より半導体やLi電池製造工程において品質を安定させるため、絶対湿度の少ない低露点空気を供給することが行われ、特に低露点空気とした超低露点空気を製造して供給することも行われている。このような低露点空気の製造に際しては、従来よりハニカム状ローターを用いる方式、或いは、圧力スイング（ＰＳＡ）式等による超低露点空気製造装置が商品化され用いられている。

スイング式の低露点空気製造装置は、原料空気を圧縮機によって圧縮して当該空気中のドレンを一旦除去し、その後吸着剤を収納した吸着塔を通過させる手法であるが、この手法では、最初に空気を圧縮するための大きな動力が必要となり、しかも吸着塔の吸着剤の再生に別途精製給気を使用しているため、消費エネルギーが多く、また設備機器が大型化し、ランニングコストも大きくなる問題がある。

それに対して低露点空気製造装置においては、強力な冷凍機で例えば７℃以下まで事前冷却することにより等温除湿に近い断熱除湿を行っている。その際、外気をそのまま冷却すると結露による潜熱除去負荷が増加し、効率が低下する問題がある。そのため目的空間からの排気と外気を混合することで絶対湿度を下げ顕熱除去のみを行うようにしている。

例えば図１１（ムンタース社操作マニュアルより引用加筆）に示すローターを用いた低露点空気製造装置の例においては、−６０℃露点空気を作る場合、外気４２０ｍ³／ｈと室内還気５４０ｍ³／ｈを混合し、このうち１６０ｍ³／ｈをパージ再生用に用いて製品空気８００ｍ³／ｈを製造している。そのため、毎時８００ｍ³／ｈの低露点空気製造において１４ｋＷ程度の消費電力を要し、そのうち５ｋＷ以上をプレクーラとしての事前冷却用冷凍機、７ｋＷ程度を再生電気ヒーターに使っている。これに加えて、温度を低下させるための冷凍機の消費電力が別途加わり、超低露点空気製造は電力多消費型となっている。また、今後も需要が増加する−１００℃低露点空気製造装置においては１８０ｍ³／ｈの低露点空気製造で９ｋＷの電力消費を必要としている。

またこの方式では、乾燥用の電気ヒーターにより空気を２００℃まで加熱し、断熱乾燥を行っているが、それにより大幅なエクセルギー損失を招いており、乾燥時間が長くなる。また、ローター内の解析を行うとＲｅ数が４００程度の層流となっており、物質移動や伝熱速度がさらに小さくなっている。そのため、排気湿度は５７ｇ／ｋｇ程度までにしか増加していない。これは温度が高いため相対湿度では０.５％までしか増加していないことと関連している。
この様子は低露点空気用に縦軸を対数軸にした図７の温度湿度線図に示すように、外気と室内換気を混合し、１６０ｍ³／ｈ分を２００℃まで温度を上げることにより相対湿度０.５％程度の再生用空気とするとき、それが除湿剤粒子の除湿限界となる。また、このようにして乾燥させた除湿剤粒子を用い、混合気の８００ｍ³／ｈを等温除湿に近い温度変化になるように７℃まで温度を低下させている。なお、外気のみを使用すると７℃では飽和湿度を越えるため結露し、潜熱除去のエネルギーがより必要になるため、室内換気との混合により低湿度原料を作る必要がある。その後、断熱除湿すると−６０℃レベルの低露点空気製造が可能となる。図中、−６０℃、−８０℃、−９０℃、−１００℃の湿度レベルを太い破線で示している。

なお、２段のローターを用いて除湿を行い−７０〜−７５℃程度の中間到達露点温度まで除湿を行った後、非再生式除湿器を用いて−９０℃以下の最終到達露点温度まで除湿する技術が特許文献１に開示されている。また、３段のローターを用いて順に除湿を行い、そのローターには再生区域と除湿区域に移行する前にパージ区域を設け、ローターからの減湿空気をパージ領域に導入するようにした技術は特許文献２に開示されている。更に、ローターを用いた低濃度ガス収着機において、ローターを円周方向に複数分割し、形成した扇形部分が第１段収着ゾーン、第２段収着ゾーン、予冷ゾーン、再生ゾーンとして機能するようにした技術は特許文献３に開示されている。
特開平０７−７５４号公報特許第３４８３７５２号公報特許第２６７３３００公報

前記のように、スイング式の低露点空気製造装置は電力多消費型であり、設備も大型化しコスト高になると共に、ローターを用いた低露点空気製造装置においても多くの消費電力を必要とする問題がある。

したがって本発明は、消費電力を大幅にカットすることができ、また、製造風量も大幅に増加させることができると共に、各種廃熱も使用できるようにしてより効率的な低露点空気を製造できる低露点空気製造装置を提供することを主たる目的とする。

本発明に係る低露点空気製造装置においては、上記課題を解決するため第１に、除湿剤の乾燥再生に際して伝導加熱乾燥を行い、それにより排気温度の飽和蒸気圧まで湿度を上げることができるようにする。例えば図１０の表（流動層ハンドブック日本粉体工業技術協会編ｐ１９０表１.８より引用）における塩化ビニルの乾燥における伝熱体内装型として示すように、出口空気温度４９.５℃で伝導加熱乾燥を行うと、湿度９１％で排気することができる。ここでは６０℃に設定して乾燥を行ったが、この時も排気温度がほぼ４０℃相対湿度１００％で乾燥することができた。排気温度を９０℃、相対湿度９０％とすると湿度（絶対）は約１ｋｇ／ｋｇとなり。従来の−６０℃露点空気製造プロセス例の１／２０程度の再生用空気風量となる。即ち、８ｍ³／ｈ程度の流量で再生が可能となり、製品あるいは目的空間内の排気を使ってもほとんど負担にならないことがわかる。

このように伝導加熱を用いることによる効果を更に流動層（ＦＢ）乾燥試験によってその効果を確かめた。そのときの本発明における作動状況を図８に示す。この試験においては同図の下部にＨ［ＯＮ／ＯＦＦ］として示すようにヒーターをオンオフ制御して電熱ヒーターを加熱したものであり、それにより同図のφｏｕｔのように１００％の排気湿度を得ることができ、その際にφＦＢとして示す流動層（ＦＢ）内部の湿度は急速に低下し、除湿効果が高いことがわかる。なお、この試験中における外気の温湿度変化は図示のとおりである。

また本発明においては上記課題を解決するため第２に、空気を除湿剤で除湿する除湿部において外気温度と平衡な水道水あるいはクーリングタワー冷却水による冷却によって実現される等温除湿を行うことにより除湿限界まで問題なく除湿を行い、また少ない室内還気あるいは製品空気を除湿剤の再生に利用することによって省エネルギー性の高い除湿を行うことができるようにし、また廃熱利用も可能とする。

即ち、図９の温度湿度線図（低露点用）に示すように、外気４.２と室内換気５.４を混合し、２００℃まで温度を上げることにより相対湿度０.５％程度の乾燥空気として除湿剤粒子を再生するとき、それが除湿限界となる。その後外気８００ｍ³／ｈを除湿限界まで等温除湿すると約１２ｋｇ／ｈを除湿することで−６０℃レベルの低露点空気製造が可能となる。外気温度と同じレベルで等温除湿するためには水道水あるいはクーリングタワー冷却水による冷却で十分なため水循環動力のみが必要となり大幅な省エネルギーが可能となる。また、除湿剤再生時に必要な混合空気量は１ｋｇ／ｋｇの条件にすると１２ｍ³／ｈで済むことになる。図中、−６０℃、−８０℃、−９０℃、−１００℃の絶対湿度レベルを太い破線で示している。

上記のような本発明による等温除湿を行うシステムにおいては、３０℃の外気から出発しても何の問題もなく除湿限界まで湿度を下げることが可能となる。また、再生に室内還気を用いると約８０℃への昇温で−６０℃露点空気製造のための除湿限界が達成できるため、より省エネルギーとなる。さらに、ヒーターによる高温化をする必要がないため排熱利用もし易くなる。ただし、この場合は再生時の所用風量が排気温度の低下により絶対湿度が低下するため５０−１００ｍ³／ｈとなる。
また、一旦−６０℃の低露点空気を８００ｍ³／ｈ作り、その内の一部を使って再生すると２００℃への昇温により、外気のみから−１００℃の超低露点空気約８００ｍ³／ｈも上記−６０℃低露点空気約７８８ｍ³／ｈと併せて製造可能となる。ここで２００℃まで温度を上げる必要のある風量は除湿量自体が前記−６０℃空気製造と同様であるため１２ｍ³／ｈ程度で十分となり、ヒーター消費電力を少なくできる。
ここで、中間で製造された−６０℃低露点空気を原料空気とすると、除湿量はさらに少量となるため、除湿剤再生時に必要な風量と消費電力も減少し、より省エネルギー性が増
すことになる。

本発明に係る低露点空気製造装置は、上記の課題を解決するため、吸着剤または吸着剤保持部材が供給されるダクト内の除湿部に等温除湿を行う冷却器を設け、前記除湿部で除湿後の除湿剤または除湿剤保持部材を再生する再生部に伝導加熱装置を設けた低露点空気製造装置であって、前記ダクトを下方から空気が供給される垂直なダクトとし、その内部に空気透過性の空気分散板を垂直方向に複数設け、該空気分散板により、吸着剤粒子を貯留可能に、且つ貯留した粒子を流下可能とするとともに、前記空気分散板上の粒子を前記下方からの空気により流動層化し、上部から吸着剤を最上部の空気分散板上から順次下方の空気分散板上に流下させることにより、空気と吸着剤とを向流接触させる低露点空気製造装置を複数備え、前記ダクト内において、前記複数の低露点空気製造装置を垂直あるいは平面上に、直列に配置し、各露点空気製造装置で処理した空気の一部を、上流側の露点空気製造装置における吸着剤再生に用いる。

本発明に係る他の低露点空気製造装置は、吸着剤または吸着剤保持部材が供給されるダクト内の除湿部に等温除湿を行う冷却器を設け、前記除湿部で除湿後の除湿剤保持部材を再生する再生部に伝導加熱装置を設けた低露点空気製造装置であって、前記再生部は、横方向に別個の流動層を複数列設した横型流動層を備え、前記吸着剤保持部材を前記流動層の配列方向に順次通過移動させて再生処理を行い、前記吸着剤保持部材の移動方向順に、各流動層に導入する温風の温度を高温から低温になるように設定したことを特徴とする。

本発明は上記のように構成したので、消費電力を大幅にカットすることができ、また、製造風量も大幅に増加させることができると共に、各種廃熱も使用できるようにしてより効率的な低露点空気を製造できる。

本発明は少ない消費電力で製造風量を大幅に増加すると共により効率的な低露点空気を製造できるようにするという課題を、吸着剤または吸着剤保持部材が供給されるダクト内の除湿部に等温除湿を行う冷却器を設け、前記除湿部で除湿後の除湿剤または除湿剤保持部材を再生する再生部に伝導加熱装置を設けることによって実現した。

前記のような原理に基づく本発明について、実際の装置に用いるときの例を順に説明する。図１は本発明による低露点空気製造装置を除湿剤粒子循環型空調システムに用いた例を示しており、図示の例においてはダクト１１内に送風機１２により導入した外気を、除湿剤粒子を貯留している粒子貯槽１３からダクト内の除湿部１４に供給する。図示の例では除湿剤粒子貯槽から除湿剤粒子１５を流下させ、下方の収集部１６でこれを収集し、再生部１７に流下搬送している。除湿部１４には除湿部冷却用熱交換器１８を設け、粒子自体を冷却すると共に除湿剤粒子によって蒸気を吸着し、温度が上昇する除湿空気を冷却する。図１の例では除湿部冷却用熱交換器１８に対して、外部に設けたクーリングタワー１９で冷却した冷却水を循環供給している。

再生部１７には図中略示している伝導加熱装置２０を備え、また目的空調空間２１からの換気の一部を乾燥用空気として空気導入部２２から導入して外部に排出し、更に外部の各種廃熱自体、或いはその廃熱と熱交換した熱媒体を導入する廃熱利用熱交換器２３を設けた例を示している。伝導加熱装置２０としては種々の装置を用いることができ、除湿剤粒子との直接接触加熱手段、或いは輻射加熱手段等が利用可能である。また、廃熱利用熱交換器２３によっても伝導加熱が可能である。空気導入部２２に導入する再生用空気は、本発明において伝導加熱装置２０を用いることにより、前記のような本発明の原理に詳述したような機能を行い、再生に必要な室内換気の風量を１／２０以下にすることが可能である。それにより、室内還気がもっている低温・低湿度の熱をクーリングタワー１９からの冷却水の更なる冷却等、他の用途にも有効に利用することができる。

また、図１に示す例においては、室内からの低露点空気をクーリングタワー２５に供給し、断熱増湿し冷却水を生成し、この冷却水を除湿後に室内に供給する空気を冷却する給気冷却器２６との間で循環させる例を示している。それにより製造した低露点空気の温度を低下させ、別途必要であった目的空間の冷房動力を削減することができる。

上記のような装置により、目的空間に低露点空気を供給するための減湿システムとして、ダクト１１内の減湿部１４にクーリングタワー１９などからの冷却水による熱交換器１８を設置することで吸着剤粒子１５による等温除湿操作を行って減湿することができる。その後、除湿剤粒子１５は再生部１７に移送されて再生され、粒子貯槽１３で貯留されるが、この時、粒子再生は伝導加熱装置２０による再生のため、必要風量を大幅に減らすことができる。それにより、再生用空気として目的空調空間である低露点空気供給空間からの排気、あるいは、製品の低露点空気の一部を使うことを可能とし、低露点空気を大量に製造することができる。

図２は、除湿剤をシート状の物体に付着し、或いはシート状のものと一体製造してシート状吸着剤保持部材３０とした例を示している。このようなシート状吸着剤保持部材３０は図中４枚示しているように複数枚重ねて、搬送ローラ３１により除湿部ダクト３２、再生部３３、冷却部３４、吸着材保持部材貯蔵部３５の順に循環可能としている。
図示の例では、吸着材保持部材貯蔵部３５では複数枚のシート状吸着剤保持部材３０を水平に重ねているのに対して、除湿部ダクト３２ではこれを分離して図中水平に搬送し、再生部３３では搬送ローラ３１から搬送されるシート状吸着剤保持部材３０を水平−垂直方向変換部４２で垂直方向に分離して搬送し、垂直−水平方向変換部４３で水平方向に重ね、以降は吸着剤保持部材貯蔵部３５内まで重ねて搬送するように構成している。

図２の例においては除湿部ダクト３２に吸気口３６から外気、或いは目的空調空間３９からの排気との混合気を導入し、排気口３７から送風ダクト３８を介して目的空調空間３９に除湿空気を供給するようにしている。この除湿部ダクト３２内において、シート状吸着剤保持部材３０は前記空気流と反対方向に搬送するように設定しており、それにより除湿部ダクト３２内でシート状吸着剤保持部材は向流接触することとなり、効率的な除湿を行うことができる。この除湿部ダクトには冷却用熱交換器としての冷却管４０を多数配置し、等温除湿を可能としている。なお、図示実施例では４枚のシート状吸着剤保持部材を重ねて用いる例を示しているが、より多数のシート状吸着剤保持部材を重ねて用いることも可能である。更に冷却用熱交換器としての冷却管は平板状熱交換器を用いる等、種々の熱交換器を用いることができる。

再生部３３においては仕切壁３４によって室内を複数の流動層４１に区切り、分離した各シート状吸着剤保持部材３０を各仕切壁４４に形成したスリットを通して搬送可能としている。区切られた複数の流動層４１内では、各々の下方から導入する所定温度の空気によって流動層内粒子が流動し、それに接触することによりここを通過する各シート状吸着剤保持部材３０を伝導加熱する。横方向に列設した流動層４１において、シート状吸着剤保持部材３０が移動する方向の順に導入する温風の温度を高温から低温になるように変化させ、最後の流動層４１においては除湿部ダクト３２から目的空調空間３９に供給する除湿空気の一部を導入している。各流動層に導入される流動用空気は、各々の流動層の上部に設けた排出口４５から排出している。冷却部３４には冷却用熱交換器を備え、吸着剤再生時に温度上昇したシート状吸着剤保持部材３０を冷却して吸着剤保持部材貯蔵部３５に
送っている。

上記のような装置においても、除湿部ダクト３２内にクーリングタワーなどからの冷却水を導く冷却管４０を設置することで等温除湿操作をおこなって減湿することができると共に、再生部３３において流動層４１による伝導加熱を行うことにより再生することができる。それにより、再生用空気として目的空調空間３４としての低露点空気供給空間からの排気、あるいは、製品の低露点空気を使うことを可能とし、低露点空気を大量に製造することができる。

図３に示す実施例においては、垂直なダクト５４内に複数の空気透過性の傾斜板４６をジグザグ状に設置し、上部から吸着剤粒子を傾斜板４６上で層状に順次下部の傾斜板４６に移動しながら流下させ、下部の吸気口４３から供給された空気と接触させることにより、吸着剤４７と空気の接触効率を向上させ、かつ、吸着剤４７の粒子と空気を向流接触させて目的空調空間５７に除湿空気を供給している。この時、冷却配管４８を傾斜板４６の下部、または傾斜板内部、或いは吸着剤粒子層内のいずれに設置し、等温除湿を可能とする。

この例においても図中傾斜して配置した再生部５０内に給気口５１から室内排気の一部等の空気を導入して再生を行い、また空気供給口５１から導入した加圧空気により粒子を流動状態にしエアスライド状態にする。その際内部に設けた伝導加熱部５３で伝導加熱行うことを可能とする。また、この再生部５０では必要に応じて外部の廃熱を用いて加熱を行い、また、再生後の除湿剤を冷却する熱交換器を設けても良い。更に、傾斜状の再生部をロータリーキルン状にして伝導加熱を行うこともできる。また図３の例においては、再生部５０で再生した除湿剤粒子は、掃気口５４からの加圧空気により搬送管５５を通して、上方の除湿剤貯槽５６に搬送している。

上記のような垂直なダクトを用いて上方から降下する除湿剤粒子と空気流とを向流接触させる手法は、図３に示す例のほか、例えば図４に示すように実施することもできる。即ち図４に示す例においては、垂直なダクト５４内に水平に複数段の多孔性の空気分散板６０を設け、上側の空気分散板から下側の空気分散板に除湿粒子４７の流下を誘導する誘導板６１を設けると共に、この誘導板６１の上端部を上部側の空気分散板より上方に突出させることによりダクト内に垂直方向に複数の流動層６２を形成する。図示実施例では垂直方向に４段の流動層６２が形成され、各流動層６２において下方から供給される空気が多孔性の空気分散板６０を通って吸着剤粒子４７を流動化させ、その状態で除湿を行うことができるようにする。各流動層６２には外部のクーリングタワー等からの冷却水を供給し、ここでも等温除湿を可能とする。その他の再生部等の構成は前記図３に示した例と同様であるので、ここでの説明は省略する。

上記のように吸着剤による流動層６２を垂直方向に複数形成し、上部から吸着剤を順次下部の空気分散板６０上の流動層６２に移動し、下部から空気を供給することにより、吸着剤粒子と空気の接触効率を向上させ、かつ、吸着剤粒子と空気を向流接触させることができる。

図５に示す例においては、前記図３に示すような垂直ダクト６５〜６７に多孔性の傾斜板４６を設け、上方から順に除湿剤粒子４７を流下させる低露点空気製造装置６８〜７０を図中３個独立して同一平面内に並設し、第１低露点空気製造装置６８で処理した空気を順次第２低露点空気製造装置６９、第３低露点空気製造装置７０で処理することにより、順に露点の低い空気を製造することができるようにする。このように低露点空気製造装置において、後段の伝導加熱乾燥装置に供給する乾燥空気として処理空気、或いは換気の一部を使うことで乾燥度を更に上げることを可能としている。また、各装置で処理された空気の一部は、各々のシステムの吸着剤再生用に用いることにより、低露点になるほど再生処理に必要な空気量を減らすことを可能とし、後段で必要になる高温空気製造エネルギーを低下させ、全体の低露点空気製造システムとして効率を高めることができる。

このようなシステムにおいて、前段の低露点空気製造装置で−６０℃低露点空気製造を行い、その空気の一部を後段低露点空気製造装置の粒子乾燥に用いることにより−１００℃超低露点空気製造が可能となる。この時、２段であれば粒子乾燥温度を約２００℃、３段とすると粒子乾燥温度を１５０℃以下にできる。またこの時、処理空気温度を３０℃ではなく、１０℃まで下げると２段で１５０℃の乾燥となり、また、３段とすると１００℃
以下の乾燥温度にすることができる。

図５に示す例においては独立した低露点空気製造装置を複数同一平面内に並設した例を示したが、これを図６に示すように、独立した低露点空気製造装置を１つのダクト中に複数垂直方向に並設しても良い。図６に示す例においては、下方の吸気口４３から除湿する空気が供給される垂直ダクト６５内に下方から順に第１低露点空気製造装置７１、第２低露点空気製造装置７２、第３低露点空気製造装置７３を配置し、各装置の除湿部を同一のダクト７４内に配置する。なお、各低露点空気製造装置の構成は図５に示すものと同様であるので、詳細な説明は省略する。
図６に示す例においては、前記の構成によって各装置で処理された空気の一部は、各々のシステムの吸着剤再生用に用いることにより、低露点になるほど再生処理に必要な空気量を減らすことを可能とし、後段で必要になる高温空気製造エネルギーを低下させ、全体の低露点空気製造システムとして効率を高めることができる。

前記のような本発明は、半導体やＬｉ電池製造などための低湿度空気製造装置としてとして用いられる以外に、低露点を必要とする低温冷凍倉庫の除湿機等の種々の分野で利用することができる。

本発明の実施例の説明図である。シート状吸着剤保持部材を用いた場合の説明図である。垂直なダクト内に空気透過性の傾斜板をジグザグ状に設置した場合の説明図である。垂直なダクト内に水平に複数段の多孔性の空気分散板を配置した場合の説明図である。低露点空気製造装置を３個独立して並設した場合の説明図である。独立した低露点空気製造装置を１つのダクト内に垂直方向に並設した場合の説明図である。従来のローター式装置の作動を示す湿度線図である。本発明によるＦＢ乾燥試験結果を示す図である。本発明の原理を示す低露点用の湿度線図である。Ｓ−ＰＶＣ粉末乾燥処理における熱風受熱型と伝熱体内装型の比較した表である。従来の−６０℃露点空気製造フロー図である。

１１ダクト
１２送風機
１３粒子貯槽
１４除湿部
１５除湿剤粒子
１６収集部
１７再生部
１８除湿部冷却用熱交換器
１９クーリングタワー
２０伝導加熱装置
２１目的空調空間
２２空気導入部
２３廃熱利用熱交換器
２５クーリングタワー
２６給気冷却器

Claims

吸着剤または吸着剤保持部材が供給されるダクト内の除湿部に等温除湿を行う冷却器を設け、前記除湿部で除湿後の除湿剤または除湿剤保持部材を再生する再生部に伝導加熱装置を設けた低露点空気製造装置であって、
前記ダクトを下方から空気が供給される垂直なダクトとし、その内部に空気透過性の空気分散板を垂直方向に複数設け、該空気分散板により、吸着剤粒子を貯留可能に、且つ貯留した粒子を流下可能とするとともに、
前記空気分散板上の粒子を前記下方からの空気により流動層化し、
上部から吸着剤を最上部の空気分散板上から順次下方の空気分散板上に流下させることにより、空気と吸着剤とを向流接触させる低露点空気製造装置を複数備え、
前記ダクト内において、前記複数の低露点空気製造装置を垂直あるいは平面上に、直列に配置し、各露点空気製造装置で処理した空気の一部を、上流側の露点空気製造装置における吸着剤再生に用いることを特徴とする低露点空気製造装置。
吸着剤または吸着剤保持部材が供給されるダクト内の除湿部に等温除湿を行う冷却器を設け、前記除湿部で除湿後の除湿剤保持部材を再生する再生部に伝導加熱装置を設けた低露点空気製造装置であって、
前記再生部は、横方向に別個の流動層を複数列設した横型流動層を備え、
前記吸着剤保持部材を前記流動層の配列方向に順次通過移動させて再生処理を行い、
前記吸着剤保持部材の移動方向順に、各流動層に導入する温風の温度を高温から低温になるように設定したことを特徴とする低露点空気製造装置。