JP5458800B2 - Anomaly detection system - Google Patents
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Description
本発明は、カラー液晶表示装置等に用いるガラス基板を収納するカセットや該カセットを収納するストッカ棚の異常によって発生するガラス基板のゴミの付着や傷つき等のガラス基板の欠陥を抑制するために、上記ガラス基板収納カセット及びカセット収納ストッカ棚の異常検出システムに関するものである。 The present invention suppresses defects in a glass substrate such as adhesion or scratches on the glass substrate caused by an abnormality in a cassette for storing a glass substrate used in a color liquid crystal display device or the like and a stocker shelf for storing the cassette. The present invention relates to an abnormality detection system for the glass substrate storage cassette and the cassette storage stocker shelf.
図１はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a color filter used in a color liquid crystal display device. The
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の処理工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する処理工程（Ｃ−１）、ガラス基板を洗浄処理する処理工程（Ｃ−２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する処理工程（Ｃ−３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク処理工程（Ｃ−４）、露光処理する処理工程（Ｃ−５）、現像処理する処理工程（Ｃ−６）、着色フォトレジストを硬化処理する処理工程（Ｃ−７）、透明電極を成膜処理する処理工程（Ｃ−８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する処理工程（Ｃ−９）がこの順に行われ製造される。 As a method for producing a color filter having the above structure, a photolithography method, a printing method, and an ink jet method are known. FIG. 2 is a flowchart showing processing steps of a commonly used photolithography method. First, the color filter has a processing step (C-1) for forming BM on the glass substrate, a processing step (C-2) for cleaning the glass substrate, and a processing step for applying and pre-drying a colored photoresist ( C-3), a pre-baking process (C-4) for drying and curing the colored photoresist, a processing process (C-5) for exposing, a process (C-6) for developing, and curing the colored photoresist. A processing step (C-7) for processing, a processing step (C-8) for forming a film on the transparent electrode, and a processing step (C-9) for forming PS and VA are performed in this order.
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する処理工程（Ｃ−２）から、着色フォトレジストを硬化処理する処理工程間（Ｃ−７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。 For example, when pixels are formed in the order of R pixel, G pixel, and B pixel, the processing step (C-2) for cleaning the color filter glass substrate to the processing step for curing the colored photoresist (from In C-7), the color resist is changed in the order of red R, green G, and blue B, and the process is repeated three times to form R, G, and B pixels.
上記液晶カラーフィルタの製造処理工程においては、ガラス基板を複数収納可能なカセットに収納し、各処理工程でのガラス基板の投入／回収やガラス基板の処理工程間の引渡しはカセット単位で搬送される。また、カセットは各処理工程の完了時に一旦、ストッカと呼ばれるカセット保管設備であるストッカ設備のストッカ棚に収納される。 In the manufacturing process of the liquid crystal color filter, a plurality of glass substrates are stored in a cassette that can be stored, and the loading / recovering of the glass substrates in each processing process and the delivery between the processing processes of the glass substrates are transported in units of cassettes. . In addition, the cassette is once stored in a stocker shelf of a stocker facility, which is a cassette storage facility called a stocker, at the completion of each processing step.
カラーフィルタの製造処理工程において、ストッカ棚やカセットが原因で異物やキズ等の欠陥が発生することが有る。一般的に各処理工程では、ガラス基板の欠陥を検出する欠陥検査装置を備えており、欠陥の有無によりガラス基板の品質管理を行っている。 In the color filter manufacturing process, defects such as foreign matter and scratches may occur due to stocker shelves and cassettes. In general, each processing step includes a defect inspection apparatus that detects a defect of the glass substrate, and performs quality control of the glass substrate depending on the presence or absence of the defect.
欠陥発生起因がストッカ棚にあると判断された場合には、対象のストッカ棚へのカセット収納を禁止するとともに、ストッカ棚の清掃を実施することで欠陥発生を防ぐ処置が取られる。 If it is determined that the cause of the defect is in the stocker shelf, the cassette storage in the target stocker shelf is prohibited, and the stocker shelf is cleaned to prevent the occurrence of the defect.
一方、欠陥の発生起因がある特定のカセットにあると判断された場合には、対象カセットを洗浄したり、場合によっては使用禁止とすることで品質対策を行う。 On the other hand, if it is determined that the defect is caused by a specific cassette, the quality control is performed by cleaning the target cassette or prohibiting use in some cases.
製造オペレータは各処理工程で発見された品質欠陥の情報や、各ガラス基板の前処理工程での検査履歴や、処理装置の通過履歴や、カセットのストッカ設備内の搬送履歴を確認して、欠陥の発生起因を特定している。しかしながら欠陥の発生起因のうち、各処理工程内で発生した欠陥は上記前処理工程での検査履歴や本処理工程後の検査結果から欠陥の発生起因を特定しやすいが、一方、例えば、オペレータが処理工程内の欠陥検出結果と工程履歴を検索後、ストッカ棚やカセット起因を特定するまでには多くの時間を要するためストッカ収納状態やカセット収納状態を迅速に把握することが望まれている。 The manufacturing operator checks the quality defect information found in each processing process, the inspection history of each glass substrate in the preprocessing process, the passing history of the processing equipment, and the transfer history in the cassette stocker facility, The cause of the occurrence is identified. However, among the causes of the occurrence of defects, defects occurring in each processing step can be easily identified from the inspection history in the preprocessing step and the inspection result after the main processing step. After searching for defect detection results and process histories in the processing process, it takes a lot of time to identify the stocker shelf and cassette origin, so it is desired to quickly grasp the stocker storage state and cassette storage state.
しかしながらストッカ収納状態やカセット収納状態を迅速に把握するには、上記品質欠陥の情報や、各ガラス基板の前処理工程での検査履歴や処理装置の通過履歴や、カセットのストッカ設備内の搬送履歴を解析する必要があるが、解析作業は人手による作業であるため、塵埃が付着しているとか傷がついているといった保管状態が良くないストッカ棚やカセットの発見に時間がかかり、その結果、ストッカ棚起因、カセット起因による異物、膜キズ等の発見が遅れ、欠陥が多くの時間にわたって発生してしまう問題がある。 However, in order to quickly grasp the stocker storage state and cassette storage state, information on the above-mentioned quality defects, inspection history in the pretreatment process of each glass substrate, passage history of the processing device, transport history in the stocker facility of the cassette However, since the analysis work is manual work, it takes time to find stocker shelves and cassettes that are not in a good storage state, such as dust attached or scratched. There is a problem in that the discovery of foreign matter, film scratches, etc. due to shelves and cassettes is delayed, and defects occur for many hours.
そこで本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、各処理工程で行われる欠陥検査による検査情報を利用して、ガラス基板のストッカ収納状態やカセット収納状態を監視することで、ストッカ棚やカセット毎の品質特性を自動検出し、異常カセットの処理工程への投入禁止や洗浄指示、異常ストッカ棚へのカセット収納禁止や洗浄指示等の処置を指示することで、ストッカ棚やカセット起因で発生する異物やキズ等の品質不良の発生を抑制するガラス基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and by using inspection information by defect inspection performed in each processing step, the stocker shelf state and cassette housing state of the glass substrate are monitored, and the stocker shelf It automatically detects the quality characteristics of each cassette and issues instructions such as prohibiting the loading of abnormal cassettes into the processing process and instructing cleaning, prohibiting cassette storage in abnormal stocker shelves, and cleaning instructions. It is an object of the present invention to provide an abnormality detection system for a glass substrate storage cassette and a stocker shelf that suppresses the occurrence of quality defects such as generated foreign matter and scratches.
本発明の請求項１に係る発明は、カラー液晶表示装置等に用いるガラス基板を複数枚収納するカセットや該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出するシステムであって、ガラス基板を処理する工程に配置された欠陥検査装置と、欠陥検査装置から得られた検査結果情報を格納する検査結果情報格納データベースと、ガラス基板が処理工程内を通過する履歴情報を格納する装置通過履歴格納データベースと、カセットの搬送履歴を格納するカセット搬送履歴格納データベースと、複数のストッカ棚が存在するストッカエリアの情報を格納するストッカエリア情報格納データベースと、ガラス基板のロット実績を格納するロット実績格納データベースと、検査結果情報格納データベースと装置通過履歴格納データベースとカセット搬送履歴格納データベースとの情報から欠陥情報の集計を行う集計手段と、集計手段によって集計された情報を格納するカセット集計情報格納データベースと、カセット集計情報からカセットとストッカ棚の異常を監視判定するストッカ状態判定手段と、を備えガラス基板を複数枚収納するカセットの異常や該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出することを特徴とする異常検出システムである。
The invention according to
本発明の請求項２に係る発明は、集計手段は検査結果情報格納データベースが更新される度に検査結果情報格納データベースと装置通過履歴格納データベースとカセット搬送履歴格納データベースからカセット集計情報を生成し、該カセット集計情報をカセット集計情報格納データベースへ格納することを特徴とする請求項１に記載の異常検出システムである。
In the invention according to
本発明の請求項３に係る発明は、ストッカ状態判定手段はカセット集計情報を予め定義した判定条件に従って異常検出を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の異常検出システムである。
The invention according to
本発明の請求項４に係る発明は、ストッカ状態判定手段は異常検出されたカセットとストッカ棚に対して対応処置の指示と通知を行うことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の異常検出システムである。
The invention according to
本発明によれば、ガラス基板の欠陥のうち、欠陥の発生がカセットやストッカ棚起因を特定する場合には従来行われていた解析作業を人手による作業ではなく、各処理工程内で行われる検査結果に基づいて行うことによって、カセットやストッカ棚の異常に対する処置を迅速に行うことが可能となり、その結果、欠陥の発生を抑制することが可能となる。 According to the present invention, among the defects of the glass substrate, when the occurrence of the defect is caused by the cassette or the stocker shelf, the analysis work that has been conventionally performed is not a manual work but an inspection performed in each processing step. By performing based on the result, it is possible to quickly deal with the abnormality of the cassette and the stocker shelf, and as a result, it is possible to suppress the occurrence of defects.
また、従来の各処理工程で用いられている欠陥検査装置による欠陥結果を利用するため、別途にストッカ設備に対する検査装置を導入する必要がなく、設備費用を増やすことなく欠陥の発生を抑制することが可能となる。 In addition, since defect results from defect inspection equipment used in conventional processing steps are used, there is no need to separately introduce inspection equipment for stocker equipment, and the occurrence of defects can be suppressed without increasing equipment costs. Is possible.
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納カセット及びストッカ棚の異常を検出する異常検出システムの実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of an abnormality detection system for detecting an abnormality in a substrate storage cassette and a stocker shelf according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図３は、基板として液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板を例として本発明の基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムが適用される処理工程及び装置構成の一例を示す。ストッカ設備１０のストッカ棚には複数枚のガラス基板が収納されているカセット１１が収納されている。カセット１１に収納されているガラス基板は基板投入装置１２によって一枚ずつ抜き取られ、処理装置Ａ（例えば洗浄装置）１３に投入された後、処理装置Ａ１３によって処理（例えば洗浄処理）されたガラス基板は、搬送装置１４によって次の処理装置Ｂ（例えば着色レジスト塗布装置）１５に搬送され、更に欠陥検査装置１６によって異物付着や傷つき等の欠陥検出が行われた後、基板回収装置１７によってカセット１８に再び収納され、カセット１８はストッカ設備１０のストッカ棚に収納される。
FIG. 3 shows an example of processing steps and apparatus configuration to which the substrate storage cassette and stocker shelf abnormality detection system of the present invention is applied, taking a color filter substrate used in a liquid crystal display device as an example. The stocker shelf of the
ストッカ設備１０のストッカ棚に収納されたカセット１８は、カセット単位で次の処理工程へと搬送される。処理工程内には、適宜欠陥検査装置が配置され、欠陥検出が行われる。欠陥検査装置によって、被検査基板の中に存在している欠陥の欠陥位置を示す欠陥座標、欠陥のサイズ（面積）、欠陥モード（欠陥を検出したモード：例えば反射光による検出あるいは透過光による検出とかを識別コードを用いて表記したもの）が得られ、得られ
た欠陥情報は被検査基板のＩＤコードに付与され、製造生産工程内のネットワークを通じて適宜読み込みが可能となっている。この欠陥情報によって対象基板の良否（ＯＫまたはＮＧ）の判定を行っている。
The
図４は本発明の基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムに適用されるストッカ設備の構成の一例を示す。ストッカ設備２０のストッカ棚２１に収納されているカセットは、カセット搬出用のロボット２２によってストッカ棚２１から搬出され、コンベア２３により各処理装置の搬入口まで搬送され、搬入ロボット（図示せず）によって基板は１枚ずつ各処理装置に搬送される。処理された基板は搬出ロボット（図示せず）によって再びカセットに複数枚収納され、コンベア２３によってストッカ設備２０まで搬送された後、カセット搬入用のロボット２４によってストッカ設備２０のストッカ棚２１に収納される。
FIG. 4 shows an example of the configuration of a stocker facility applied to the substrate storage cassette and stocker shelf abnormality detection system of the present invention. The cassettes stored in the
ストッカ設備２０は、複数のストックエリア２５（図４の場合は３つのストックエリアを示す）によって区切られており、ストックエリア２５毎にロボットが配置される。また、ストックエリア間のカセットの搬送においては、コンベアにてストックエリア間のカセット引渡しを行う。
The
カセットの搬送履歴は、ストッカ搬送指令の度に、搬送される対象カセットの搬送先、搬送元、ストッカポジション（ストッカ棚の位置を示す）等の履歴データがデータベースに蓄積される。 As for the cassette transfer history, history data such as the transfer destination, transfer source, stocker position (indicating the position of the stocker shelf) of the target cassette to be transferred is accumulated in the database every time a stocker transfer command is issued.
図５に本発明に係る基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムの概略構成図を示す。ストッカ設備３０内の基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムは、各処理装置群（処理装置Ａ、処理装置Ｂ、処理装置Ｃ等）３１、各欠陥検査装置（検査装置Ａ、検査装置Ｂ、検査装置Ｃ等）３２、カセット搬送履歴格納データベース３３、装置通過履歴格納データベース３４、検査結果情報格納データベース３５、欠陥の集計を行う集計手段である欠陥集計ＰＣ（パソコン）３６、カセット集計情報格納データベース３７、ストッカエリア情報格納データベース３８、ロット実績格納データベース３９、ストッカ状態判定手段であるストッカ状態判定システム４０を有しており、各部はＥｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）、ＣＣＬｉｎｋ（Ｃｏｎｔｒｏｌ＆ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ｌｉｎｋ）、光ケーブル等により接続されており、相互に通信可能となっている。
FIG. 5 shows a schematic configuration diagram of an abnormality detection system for a substrate storage cassette and a stocker shelf according to the present invention. An abnormality detection system for substrate storage cassettes and stocker shelves in the
本発明に係る基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムの前提条件として、次の条件は満たされているものとする。
ａ）処理工程内を搬送される全ての基板は個々に識別コードを持っており、各装置は基板払出しと同時に基板の識別コードと基板の搬送制御フラグ（搬送先を示す情報）等を下流装置に受け渡すいわゆるデータトラッキング機構を有している。
ｂ）各処理工程に設置された欠陥検査装置では被検査基板に対して欠陥検査を実施し、各欠陥検査装置における検査結果を基板識別コード単位にデータベースに格納する。
ｃ）各処理工程にて搬送された全基板に対して、処理工程内の通過した装置、および装置ポジション情報、装置固有の装置データを基板識別コード単位にデータベースに格納する。なお、本システムが使用する装置データは基板投入設備が出力する投入カセットＩＤと基板投入段数とする。
ｄ）基板を収納するカセットは、それぞれ固有の識別番号を持っており、カセットの処理工程投入／回収の搬送履歴をデータベースに格納する。
ｅ）ストッカ設備での搬送履歴は、カセットＩＤ単位にデータベースに格納する。
It is assumed that the following conditions are satisfied as preconditions for the abnormality detection system for a substrate storage cassette and a stocker shelf according to the present invention.
a) All substrates transported in the processing process individually have an identification code, and each device delivers a substrate identification code, a substrate transport control flag (information indicating the transport destination), etc. at the same time as the substrate delivery. Has a so-called data tracking mechanism.
b) The defect inspection apparatus installed in each processing step performs defect inspection on the substrate to be inspected, and stores the inspection result in each defect inspection apparatus in the database in units of substrate identification codes.
c) For all the substrates transported in each processing step, the devices that have passed through the processing step, device position information, and device-specific device data are stored in the database in units of substrate identification codes. Note that the apparatus data used by this system is the input cassette ID output by the substrate input equipment and the number of substrate input stages.
d) Each cassette for storing a substrate has a unique identification number, and stores a transfer history of cassette processing step input / collection in a database.
e) The transfer history in the stocker facility is stored in the database for each cassette ID.
次に、本発明に係る基板収納カセット及びストッカ棚の異常検出システムを構成する各部を詳細に説明する。 Next, each part which comprises the abnormality detection system of the substrate storage cassette and stocker shelf concerning this invention is demonstrated in detail.
検査結果情報格納データベース３５を表１に示す。検査結果情報格納データベースは、検査された基板の識別コードを示す基板コード、生産ロット番号を示すロット番号、検査された日時を示す検査日時、検査を実施した検査装置の識別コードを示す検査装置ＩＤ、ＯＫ／ＮＧを示す検査判定、欠陥サイズＯ／Ｓ／Ｍ／Ｌ／Ｘ（極小／小／普通／大／極大）を示す欠陥サイズ、欠陥種別を示す欠陥モード、欠陥検出座標Ｘを示す欠陥座標Ｘ、欠陥検出座標Ｙを示す欠陥座標Ｙを含み、処理工程内の検査装置によって検査された基板の検査結果情報を格納するデータベースであり、基板単位に検査判定、検出した欠陥についての情報をもつ。
The inspection result
装置通過履歴格納データベース３４を表２に示す。装置通過履歴格納データベースは、基板の識別コードを示す基板コード、通過した処理装置の識別コードを示す通過処理装置ＩＤ、処理装置を通過した日時を示す処理装置通過日時、処理装置毎に異なるが例えばＬＤ（ローダ設備であれば投入カセットＩＤや投入段数を示す処理装置固有情報−１や処理装置固有情報−２等を含み、固有処理工程内の基板通過処理装置に対する通過履歴を格納するデータベースであり、基板コード単位に処理装置通過履歴および処理装置情報を管理できる情報をもつ。
The device passage
カセット搬送履歴格納データベース３３を表３に示す。カセット搬送履歴格納データベースは、カセット識別コードを示すカセットＩＤ、生産ロット番号を示すロット番号、生産品種コードを示す品種コード、収納されている基板の枚数を示す収納基板数、カセットの搬送元の棚ＩＤ／処理装置ＩＤを示す搬送元ＩＤ、カセットの搬送先の棚ＩＤ／処理装置ＩＤを示す搬送先ＩＤ、カセットが搬送された日時を示す搬送日時、ＬＤ（ローダ）装置／ＵＬＤ（アンローダ）装置／ストッカ設備の装置識別コードを示す搬送設備ＩＤを含み、カセットのストッカ棚収納履歴、各処理工程への投入／回収履歴を格納するデータベースであり、カセットの搬送履歴を管理できる情報をもつ。
Table 3 shows the cassette conveyance
なお、区分ＩＤは図６に示すように、ストッカエリア内の棚区分を予め定義し、それぞれの区画に対して番号を割り当てる。棚区分を設ける理由は、ストッカ棚の汚れ等の原因で基板が汚れた場合には、１個のストッカ棚を清掃するだけではなくそのストッカ棚の周辺のストッカ棚全体を清掃することが洗浄の効果が期待できるためである。割り当てる番号は、ストッカ設備においては、ロボットの走行による発塵などにより下段における品質事故が比較的起こりやすいため、区分ＩＤはＸＹ表記のような対象棚のＹ位置、Ｘ位置を把握しやすい形式とすることが望ましく、通常の単純な連番割り当てよりも傾向把握を行いやすい。 As shown in FIG. 6, the category ID predefines the shelf category in the stocker area and assigns a number to each segment. The reason for providing the shelf classification is that when the substrate becomes dirty due to dirt on the stocker shelf, etc., not only cleaning one stocker shelf but also cleaning the entire stocker shelf around the stocker shelf This is because an effect can be expected. In the stocker facility, since the quality accident in the lower stage is relatively likely to occur due to dust generated by the robot traveling, etc., the classification ID is a format that makes it easy to grasp the Y position and X position of the target shelf as in the XY notation. This is desirable, and it is easier to grasp the trend than the usual simple serial number assignment.
ロット実績格納データベース３９を表５に示す。ロット実績格納データベースは、生産
ロット番号を示すロット番号、生産品種コードを示す品種コード、生産工程の識別コードを示す工程ＩＤ、生産枚数を示す回収数、ＯＫの良品基板数を示す良品数、ＮＧの不良基板数を示す不良数、良品数÷生産枚数を示す工程良品率、ロット内の総欠陥数を示す欠陥数、ロットが生産された日時を示す生産日時を含み、各処理工程における生産ロットの生産実績を格納するデータベースであり、ロットあるいは品種の良品数や良品率を管理できる情報を持つ。
Table 5 shows the lot
カセット集計情報格納データベース３７を表６に示す。カセット集計情報格納データベースは、カセット識別コードを示すカセットＩＤ、生産品種コードを示す品種コード、生産工程の識別コードを示す工程ＩＤ、カセットの工程搬送指示日時を示す工程投入日時、生産ロット番号を示すロット番号、カセットに収納されていた基板枚数を示す収納基板数、ＯＫ基板数を示すＯＫ数、ＮＧ基板数を示すＮＧ数、前工程回収から次工程投入までのストッカ停留時間を示すストッカ停留時間、前工程回収から次工程投入までエリア内外を移動した回数を示すエリア移動回数、前工程回収から次工程投入までカセット搬送回数を示す総移動回数、前工程回収から次工程投入までの移動経路情報を示す移動パターン情報を含み、集計ＰＣ３６にて集計された情報を格納するデータベースであり、ストッカ状態判定システム４０にて異常判定する際の材料となる情報である。
The cassette total
集計ＰＣ３６は、検査結果情報格納データベース３５、装置通過履歴格納データベース３４、カセット搬送履歴格納データベース３３をリアルタイム監視し、検査結果情報の最新情報発生時に、検査結果情報格納データベース３５、装置通過履歴格納データベース３４、カセット搬送履歴格納データベース３３の各データベース情報から、ストッカ状態判定に使用するカセット集計情報を生成し、カセット集計情報格納データベース３７に登録する。
The totaling
ストッカ状態判定システム４０は、カセット集計情報格納データベース３７を監視し、予め定義した条件に基づき、ストッカ棚状態、カセット状態について異常判定処理を実施することができ、異常と判断したストッカ棚またはカセットについての制御指令をストッカ設備３０および処理工程装置に通知する。各装置は、ストッカ状態判定システム４０から通知された制御指令にしたがって動作し、動作報告をストッカ状態判定システム４０に報告した段階で制御指令を完了とする。
The stocker
次に工程内検査装置による欠陥検査の実施からカセット集計情報格納データベース３７の作成、保存までのフローを図７を用いて説明する。
Next, a flow from execution of defect inspection by the in-process inspection apparatus to creation and storage of the cassette total
１．処理工程内欠陥検査装置による欠陥検査の実施（Ｓ１）
先ず、処理工程内に設置された欠陥検査装置にて基板の欠陥検査を行う。検出された欠陥情報は、少なくとも検査判定（ＯＫ／ＮＧ）、検査基板コード、欠陥サイズ、欠陥座標（Ｘ，Ｙ）を持ち、検査終了時に基板コードに対する検査結果を検査結果情報格納データベース３５に記録する。欠陥検査装置は、処理工程内を搬送される基板すべてに対して上記欠陥検査〜検査結果情報格納データベース３５への記録を繰り返す。
1. Implementation of defect inspection by in-process defect inspection equipment (S1)
First, the substrate is inspected for defects by a defect inspection apparatus installed in the processing process. The detected defect information has at least inspection determination (OK / NG), inspection substrate code, defect size, and defect coordinates (X, Y), and records the inspection result for the substrate code in the inspection result
２．最新の検査結果情報の取得（Ｓ２）
集計ＰＣ３６は、上記検査結果情報格納データベース３５を随時監視し、対象処理工程における最新の検査結果情報を取得する。最新の検査結果情報は、今回検査して得られた検査結果情報と前回の検査結果情報の差を求め、差があった場合を今回の検査情報を最新
情報とするか、または前回の検査結果情報に関係なく今回の検査結果情報を最新の検査結果情報としても良い。
2. Acquisition of latest test result information (S2)
The
３．カセット毎の欠陥情報の生成（Ｓ３）
集計ＰＣ３６は取得した検査情報の基板コードに基づいて、装置通過履歴格納データベース３４から例えば装置がＬＤ設備であればＬＤ情報である投入カセットＩＤと投入段番号を取得する。更に、カセット搬送履歴格納データベース３３から取得したカセットＩＤ、搬送先ＩＤ＝現処理工程ＩＤに基づいて、対象処理工程におけるカセット情報を取得し、カセットの欠陥情報集計リストを作成する。カセットの欠陥情報集計リストは、カセットＩＤ、ロット番号、品種コード、処理工程ＩＤ、ＯＫ数、ＮＧ数、搬送日時（対象処理工程への投入日時）を含むものである。
3. Generation of defect information for each cassette (S3)
Based on the board code of the acquired inspection information, the totaling
４．カセット搬送情報の生成（Ｓ４）
集計ＰＣ３６は上記カセット毎の欠陥情報の生成処理と同時に、カセット搬送履歴格納データベース３３とストッカエリア情報格納データベース３８から対象カセットに対する搬送履歴情報を集計する。カセット搬送履歴情報を集計したリストは、カセットＩＤ、ストッカ収納時間（総計）、エリア内外移動回数、総移動回数、移動パターン情報を含むものである。ストッカ収納時間は、前処理工程からストッカに収納された段階での搬送日時と現処理工程への搬送日時までの経過時間として算出される。エリア内外移動回数は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送履歴において、ストッカエリア情報格納データベース３８の持つストッカエリアＩＤに変更があった回数を算出される。総移動回数は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送回数を算出される。移動パターン情報は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送履歴において、ストッカエリア情報格納データベース３８の区分ＩＤをもとに、図６中の左上⇒右下への移動履歴を区分ＩＤを用いて、「１１３３」というように搬送履歴を表記される。
4). Generation of cassette conveyance information (S4)
The counting
５．カセット集計情報格納データベースへの保存（Ｓ５）
集計ＰＣ３６は上記カセット毎の欠陥情報の生成、及びカセット搬送情報の生成にて生成した情報をカセット単位に統合し、カセット集計情報を作成しカセット集計情報格納データベース３７に保存する。
5. Saving to cassette total information storage database (S5)
The totaling
尚、集計ＰＣ３６は上記最新の検査結果情報の取得（Ｓ２）からカセット集計情報格納データベースへ３７の保存（Ｓ５）の処理を最新検査結果情報の更新毎に処理工程単位に実行する。集計ＰＣ３６にて生成されたカセット集計情報は、ストッカ状態判定システム４０にて、カセットの異常判定と異常カセットが発見された場合の対応処理に利用される情報となる。
The totaling
ストッカ状態判定システム４０は異常カセットの検出と異常の対応処理を行うが、異常の対応処理は異常の内容（以下、異状パターン）によって例えば、カセット洗浄指示、ストッカ禁止棚指示、カセット投入／回収禁止指示、オペレータ通知等の方法が行われる。
The stocker
ストッカ状態判定システム４０による異常パターンの判定と登録を図８のフローを示す図を用いて説明する。
The determination and registration of the abnormal pattern by the stocker
ストッカ状態判定システム４０は、異常カセットを検出した際、その異常カセットについてのカセット集計情報履歴に異常パターンのパターン検出回数（初期値＝１）を管理できる項目を追加した異常カセット集計情報を保持している。
When the stocker
ストッカ状態判定システム４０は、異常カセット集計情報におけるデータの精査を行い、次に述べる異常パターンの判定と登録を行う。異常パターンの判定と登録のフローを図
８に示す。
The stocker
先ず、予め各データを層別するため、例えば次のようなパラメータでデータの層別値を設定しておく（Ｐ１）。即ち、
ストッカ収納時間 例）３０ｍｉｎ、６０ｍｉｎ単位等
総移動回数 例）２回、４回等
エリア内外移動回数 例）２回、４回等を設定しておく。
First, in order to stratify each data in advance, for example, a stratification value of data is set with the following parameters (P1). That is,
Stocker storage time Example) Total number of movements such as 30min, 60min etc. Example) Number of times of movement inside and outside the area such as 2 times, 4 times Example)
次に異常カセット集計情報を、上記層別値を用いて各パラメータのデータを精査する（Ｐ２）。 Next, the abnormal cassette total information is scrutinized using the above-mentioned stratified values for each parameter data (P2).
更に上記精査した集計情報を用い、異常カセット集計情報内に同パターン（例えば上記例のストッカ収納時間、総移動回数、エリア内外移動回数、更に移動パターン情報）の履歴が他にないかを探索し（Ｐ３）、同パターンがある場合（Ｐ３のＹＥＳ）は、同パターン検出回数をインクリメントし、異常パターンの検出回数を１プラスして異常パターンを登録する（Ｐ４）。一方、同パターンがない場合（Ｐ３のＮＯ）は、このパターンを新しい異常パターンとして番号付けして登録する（Ｐ５）。 Further, by using the total information examined above, the abnormal cassette total information is searched for the history of the same pattern (for example, stocker storage time, total number of movements, number of movements in and out of the area, and movement pattern information in the above example). (P3) When there is the same pattern (YES in P3), the number of times of detecting the same pattern is incremented, and the number of times of detecting the abnormal pattern is incremented by 1 to register the abnormal pattern (P4). On the other hand, if the same pattern does not exist (NO in P3), this pattern is numbered and registered as a new abnormal pattern (P5).
ストッカ状態判定システム４０は、上記同パターンがあった場合のインクリメントした異常パターン情報と同パターンがなかった場合の新しい異常パターン情報を異常パターン情報ファイルとして保持する。
The stocker
即ち、異常パターン情報としては異常パターン番号、ストッカ収納時間、総移動回数、エリア内外移動回数、移動パターン情報、検出回数が含まれる。 That is, the abnormal pattern information includes an abnormal pattern number, stocker storage time, total number of movements, number of movements inside and outside the area, movement pattern information, and number of detections.
オペレータは、ストッカ状態判定システム４０の参照画面にて上記の異常パターンの登録情報を閲覧することが出来、更に各異常パターンに対しての対応処理として次に示すような対応処理設定を複数設定することが出来る。即ち、対応処理設定項目としてカセット洗浄指示、ストッカ禁止棚指示、カセット投入／回収禁止指示、オペレータ通知等設定することが出来る。
The operator can browse the registration information of the abnormal pattern on the reference screen of the stocker
また、登録されている異常パターンについて、全パターン数における対象パターンの検出割合について最低値を設け、対象の異常パターンを有効／無効とする設定を行うことが出来る。これによって検出割合の小さい異常パターンについては対応処理の実行効果が少ないと判断して対応処理を実行しないこととする。 For registered abnormal patterns, a minimum value can be set for the detection ratio of the target pattern in the total number of patterns, and the target abnormal pattern can be set to be valid / invalid. As a result, for abnormal patterns with a small detection rate, it is determined that the execution effect of the corresponding process is small, and the corresponding process is not executed.
次に図９に示す異常カセットの判定フロー図を用いて異常カセットの判定について説明する。カラーフィルタ製造処理工程においては、各工程によって欠陥数や欠陥モードなど欠陥特性が異なるため、カセットの各処理工程によって統計情報がばらついてしまう可能性がある。また、カラーフィルタの品種によっても欠陥特性は変化する。そのため、異常カセットを判定する判定処理はカセットの投入される処理工程や品種毎に実行することが望ましい。 Next, determination of an abnormal cassette will be described using the abnormal cassette determination flowchart shown in FIG. In the color filter manufacturing process, since the defect characteristics such as the number of defects and the defect mode are different in each process, there is a possibility that statistical information varies depending on each process process of the cassette. Also, the defect characteristics vary depending on the type of color filter. For this reason, it is desirable that the determination process for determining an abnormal cassette is executed for each processing step and product type in which the cassette is inserted.
先ず異常カセット判定において、ストッカ状態判定システム４０は集計ＰＣ３６によって生成されたカセット集計情報格納データベース３７を随時監視し（Ｊ１）、カセット良品率（＝ＯＫ数／収納枚数）あるいは、カセット不良率（＝ＮＧ数／収納枚数）を取得する（Ｊ２）。この場合、監視するデータをＯＫ数、ＮＧ数とすると収納枚数の変動の影響を受けるため、監視するデータは収納枚数に対する割合を用いることが望ましい。
First, in the abnormal cassette determination, the stocker
判定処理は予め定義した判定条件に従い、条件項目は次の通りとなる。
処理工程ＩＤ・・・判定処理を実行する処理工程を指定
監視データ・・・監視するデータを指定（例えば、カセット良品率／カセット不良率を監視データと指定する）
閾値・・・異常判定と認識する閾値の設定
対象期間・・・判定処理に用いる対象期間
The determination process follows the predetermined determination conditions, and the condition items are as follows.
Process step ID: Designates a process step for executing a judgment process Monitoring data: Designates data to be monitored (for example, designates a cassette non-defective rate / cassette defective rate as monitoring data)
Threshold value ... Target period for setting a threshold value to be recognized as abnormality determination ... Target period used for determination processing
閾値の設定は手動で設定あるいは自動で設定し、自動で設定する場合は、同品種の処理工程実績、または同ロットの処理工程実績、または直近の（例えば直近の１週間内の）カセットデータのいずれかを利用するかを自動設定する。 The threshold value is set manually or automatically. When automatically set, the processing result of the same product type, the processing result of the same lot, or the latest (for example, within the last week) of cassette data Automatically set which one to use.
同品種の処理工程実績を利用する場合は、ストッカ状態判定システム４０は対象処理工程に投入されたカセットの品種コード、処理工程ＩＤに基づいてロット実績格納データベース３９から対象品種の処理工程実績を取得する。取得した各対象品種の処理工程の生産枚数、ＯＫ数、ＮＧ数から対象品種の処理工程実績の良品率／不良率を算出し、閾値として設定する。なお、閾値は最新情報の更新毎に自動設定される。
When using the processing results of the same type, the stocker
同ロットの処理工程実績を利用する場合は、ストッカ状態判定システム４０は対象処理工程に投入されたカセットのロット番号、処理工程ＩＤをキーにロット実績格納データベース３９から対象ロットの処理工程実績を取得する。取得した対象ロットの処理工程の生産枚数、ＯＫ数、ＮＧ数から対象ロットの処理工程実績の良品率／不良率を算出し、閾値として設定する。なお、閾値は最新情報の更新毎に自動設定される。
When the processing process results of the same lot are used, the stocker
直近のカセットデータを利用する場合は、ストッカ状態判定システム４０は欠陥統合情報から、処理工程ＩＤをキーとして過去のカセット情報を取得し、カセット毎の算出した良品率／不良率の平均値を算出し、閾値として設定する。なお、閾値は最新情報の更新毎に自動設定される。
When using the latest cassette data, the stocker
対象期間は上記閾値の設定が自動設定が選択されている場合に、例えば１週間とか２週間といった利用する直近の期間が指定される。 For the target period, when automatic setting is selected as the threshold value, the nearest period to be used, such as one week or two weeks, is specified.
ストッカ状態判定システム４０は上記判定処理を各処理工程について異常カセットの判定処理を行い（Ｊ３）、その結果、異常と判定されたカセットについて（Ｊ４のＹＥＳ）、次に示す異常対応処理を判定し、判別された対応処理を実施する。異常カセットと判定されなかった場合（Ｊ４のＮＯ）は直ちに終了する（Ｊ１０）。
The stocker
異常カセットと判定された異常カセットに対して、異常カセット自身が保持する異常パターンを検索し（Ｊ５）、対応処理を判別する。先ず、異常カセットに紐づく、各パラメータにおいて異常パターンファイルから、同じパターンの有無を検索する。 For the abnormal cassette determined to be an abnormal cassette, the abnormal pattern held by the abnormal cassette itself is searched (J5), and the corresponding process is determined. First, the presence / absence of the same pattern is searched from the abnormal pattern file for each parameter associated with the abnormal cassette.
同じパターンが登録されている場合（Ｊ６のＹＥＳ）は、対象の異常パターンに登録されている異常対応処理内容を取得し（Ｊ７）、対応すべき処理を実行し（Ｊ８）、直ちに終了する（Ｊ１０）。 When the same pattern is registered (YES in J6), the content of the abnormality handling process registered in the target abnormality pattern is acquired (J7), the process to be dealt with is executed (J8), and the process immediately ends ( J10).
同パターンが登録されていない場合（Ｊ６のＮＯ）は、異常パターンを新たに登録し（Ｊ９）、直ちに終了する（Ｊ１０）。 When the same pattern is not registered (NO in J6), an abnormal pattern is newly registered (J9), and the process is immediately terminated (J10).
以上、異常カセットの判定について述べたが、異常ストック棚の判定に際しては、上記異常カセットの判定時に行われるカセットの移動パターン情報に基づいて、同じ移動パターンによる異常カセットが連続して発生した場合には、カセットを収納するストック棚の汚れ等による欠陥が発生していると考えられるためにストック棚が異常であると判定する。 As described above, the determination of the abnormal cassette has been described. When the abnormal stock shelf is determined, when abnormal cassettes having the same movement pattern are continuously generated based on the movement pattern information of the cassette performed at the time of the determination of the abnormal cassette. Determines that the stock shelf is abnormal because it is considered that a defect such as dirt on the stock shelf storing the cassette has occurred.
本発明におけるストッカ設備およびオペレータに対する指令、通知処理の一例を異常カセットに対する対応処理としてカセット洗浄指示を例として説明する。 An example of instruction and notification processing for the stocker facility and the operator according to the present invention will be described by taking a cassette cleaning instruction as an example of processing for handling an abnormal cassette.
ストッカ設備３０およびオペレータに対する指令や通知処理は、上記異常カセットの判定処理によって判定された異常カセットに対して同一異常パターンとして合致した異常パターンに紐づく異常対応処理にカセット洗浄指令が設定されている場合に行う処理である。また、ストッカ状態判定システム４０は自身の保持するストッカ設備３０への過去のカセット洗浄指令の履歴を保持するものとする。異常カセットを検出した場合、カセット洗浄指令の履歴を検索し、カセット洗浄の頻度を確認する。カセット洗浄指令の履歴はカセットＩＤ及び洗浄日時を保持するものである。
For the instruction and notification processing for the
対象カセットの前回洗浄日時がある一定の洗浄可能な期間を満たしている場合、以下の処理を実行する。前回洗浄日時がある一定の洗浄可能な期間を満たしている場合とは、例えば、カセットが前回洗浄から通常の頻度で使用され、今回の洗浄が妥当であるような場合を示す。 When the target cassette has been cleaned for a certain period of time, the following processing is executed. The case where the previous cleaning date and time satisfies a certain cleaning period indicates, for example, the case where the cassette is used at a normal frequency from the previous cleaning and the current cleaning is appropriate.
ストッカ状態判定システム４０はストッカ設備３０に対して異常カセットのカセット洗浄装置への搬送指示を通知すると共に、ストッカ状態判定システム４０の参照画面上に通知情報を表示する。なお、ストッカ状態判定システム４０の参照画面には、ストッカ状態判定システム４０からストッカ設備３０への指令を自動、手動で実施するかを設定でき、自動の場合には、ストッカ状態判定システム４０は、直接ストッカ設備３０に対して指示を通知する。一方手動の場合には、ストッカ状態判定システム４０は、参照画面上に通知情報を表示するのみであり、オペレータが参照画面上に配置した指示機能を使用した場合に限りストッカ設備３０に対して指示を通知する。
The stocker
ストッカ設備３０は、ストッカ状態判定システム４０より通知されたカセット搬送指示を制御端末上に表示すると共に、対象のカセットに対するカセット洗浄装置への搬送設定を実行する。
The
ストッカ設備３０は、対象カセットの洗浄装置への搬送指示設定処理が完了した段階で、ストッカ状態判定システム４０に対して処理完了の報告を行う。
The
ストッカ状態判定システム４０は、ストッカ設備３０より報告を受け取ると、カセット洗浄履歴リストへの対象カセットの洗浄指示履歴を登録し、全体処理を完了する。
Upon receipt of the report from the
対象カセットの前回洗浄日時から一定の洗浄可能な期間を満たしていない場合、カセット洗浄による対応効果が得られない（例えば洗浄とは無関係のカセット形状不良が発生している）ことが考えられるため、ストッカ状態判定システム４０は以下の処理を実行することを可能とする。前回洗浄日時から一定の洗浄可能な期間を満たしていない場合とは、例えば、カセットが前回洗浄から通常の頻度で使用されず、使用頻度が少ない場合にはカセットの形状不良が考えられるため、今回の洗浄が妥当ではない様な場合を示す。
If the fixed cleaning period has not been met since the previous cleaning date and time of the target cassette, it is possible that the corresponding effect of cassette cleaning cannot be obtained (for example, a cassette shape defect unrelated to cleaning has occurred) The stocker
ストッカ状態判定システム４０は、ストッカ設備３０に対して対象カセットの搬送禁止（使用禁止）指令を通知すると共に、ストッカ状態判定システム４０の参照画面上に通知情報を表示する。尚、ストッカ状態判定システム４０の参照画面には、ストッカ状態判定システム４０からストッカ設備３０への指令を「自動」「手動」で実施するかを設定できる。
The stocker
ストッカ設備３０は、対象カセットについて搬送禁止用のフラグを用いてカセットの処理工程への投入を禁止する。
The
ストッカ設備３０は、対象カセットの搬送禁止フラグの付与完了をもって、ストッカ状態判定システム４０に対して、投入禁止処理の完了の報告を行う。
The
オペレータは、搬送禁止フラグの付与されたカセットに対して対応処置を実施後ストッカ設備３０端末上にて、対象カセットの搬送禁止フラグの付与解除を実施する。
The operator cancels the application of the transfer prohibition flag for the target cassette on the
その他、異常対応処理として、カセット投入／回収禁止指令を設定することで、異常パターンで搬送されたカセットの各処理工程への投入禁止、ストッカ禁止棚設定指令を設定することで、異常パターンのストッカ棚に対するカセットの投入禁止をストッカ設備３０を通して制御することが出来る。また、オペレータが手動で通知設定により、ストッカ棚の清掃必要性やストッカエリア間移動におけるコンベアの汚染情報等をストッカ設備３０やコンベアのオペレータに通知する、といったストッカ起因に発生する品質不良に対して対処することが出来る。
In addition, as an error handling process, by setting a cassette loading / collection prohibition command, setting a cassette loading / collecting prohibition command for each processing step and setting a stocker prohibiting shelf setting command for an abnormal pattern stocker Prohibition of loading cassettes into the shelf can be controlled through the
本発明を実施する形態として、ガラス基板は液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板を例示したが、これに限定することなく、本発明はガラス基板であれば広く適用することが出来る。 As an embodiment for carrying out the present invention, the glass substrate is exemplified by a color filter substrate used in a liquid crystal display device. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be widely applied to any glass substrate.
以上のように本発明によれば、基板の欠陥の発生がカセットやストッカ棚起因を特定する場合には人手による作業ではなく、各処理工程内で行われる検査結果に基づいて行うことによって、別途にストッカ設備に対する検査装置を導入することなく、カセットやストッカ棚の異常に対する処置を迅速に行うことが可能となり、その結果、欠陥の発生を抑制することが可能となる。 As described above, according to the present invention, when the occurrence of the substrate defect is caused by the cassette or the stocker shelf, it is not a manual operation, but is performed based on the inspection result performed in each processing step. Without introducing an inspection device for the stocker equipment, it is possible to quickly deal with the abnormality of the cassette and the stocker shelf, and as a result, it is possible to suppress the occurrence of defects.
１・・・カラーフィルタ
２・・・基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１０・・・ストッカ設備
１１・・・カセット
１２・・・基板投入装置
１３・・・処理装置Ａ
１４・・・搬送装置
１５・・・処理装置Ｂ
１６・・・欠陥検査装置
１７・・・基板回収装置
１８・・・カセット
２０・・・ストッカ設備
２１・・・ストッカ棚
２２・・・カセット搬出用のロボット
２３・・・コンベア
２４・・・カセット搬入用のロボット
２５・・・ストックエリア
３０・・・ストッカ設備
３１・・・各処理装置群
３２・・・各欠陥検査装置
３３・・・カセット搬送履歴格納データベース
３４・・・装置通過履歴格納データベース
３５・・・検査結果情報格納データベース
３６・・・集計ＰＣ
３７・・・カセット集計情報格納データベース
３８・・・ストッカエリア情報格納データベース
３９・・・ロット実績格納データベース
４０・・・ストッカ状態判定システム
DESCRIPTION OF
4-1 ... Red R colored pixels (R pixels)
4-2 ... Green G coloring pixel (G pixel)
4-3 ... Blue B colored pixels (B pixels)
5 ...
7 ... Vertical alignment (VA)
10 ... Stocker equipment 11 ... Cassette 12 ... Substrate input device 13 ... Processing device A
14 ... Conveying device 15 ... Processing device B
16 ...
25 ...
37 ... cassette total
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