JPH11133225A - Centralized monitoring system for color filter manufacturing device - Google Patents
Centralized monitoring system for color filter manufacturing deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、カラーフィルタ
の製造を監視する監視システムに関し、特に、カラーフ
ィルタ製造装置に設けられたセンサの検出するデータ、
欠陥検査装置による欠陥結果、及びコード読み取り装置
からの出力をホストコンピュータにより集中的に管理す
ることにより、カラーフィルタの製品品質を集中的に監
視する集中監視システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a monitoring system for monitoring the production of a color filter, and more particularly, to data detected by a sensor provided in a color filter production apparatus.
The present invention relates to a centralized monitoring system for centrally monitoring a product quality of a color filter by centrally managing a defect result by a defect inspection apparatus and an output from a code reading apparatus by a host computer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、光を選択的に透過・吸収して画像
の再現を調整するために使用される各種カラーフィルタ
が製造されている。このような各種カラーフィルタの製
造を監視する従来のシステムは、カラーフィルタの製造
装置の稼働状態を示すデータに従って製造装置の稼働状
態を監視するシステムであるか、または、製造されたカ
ラーフィルタの欠陥検査結果に基づいて製品の良否を監
視するシステムのいずれかである。2. Description of the Related Art In recent years, various color filters used for adjusting the reproduction of an image by selectively transmitting and absorbing light have been manufactured. A conventional system for monitoring the production of such various color filters is a system for monitoring the operation status of the production device according to data indicating the operation status of the color filter production device, or a defect of the produced color filter. This is one of the systems for monitoring the quality of products based on inspection results.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の監視システムでは、カラーフィルタの製造装置の稼動
状況の異常を検出するか、または、不良製品の発生を検
出するかのいずれかであるため、製造されたカラーフィ
ルタに不良製品が含まれている場合、不良製品の発生原
因を特定することが困難である。即ち、従来の監視シス
テムは、製造装置の稼働率向上や不良製品の流出防止に
は効果があるが、不良製品の発生原因を特定し、この発
生原因に対する改善対策を提示するのが困難であり、ま
た、このため、大幅な収率向上が期待できない。更に、
カラーフィルタ個々が製造された際の製造条件が不明確
であるため、欠陥検査で良品判定された製品群の品質保
証が困難であるという問題もある。However, the conventional monitoring system described above detects either an abnormality in the operation status of the color filter manufacturing apparatus or an occurrence of a defective product. When a manufactured color filter includes a defective product, it is difficult to identify the cause of the defective product. That is, the conventional monitoring system is effective in improving the operation rate of the manufacturing equipment and preventing the outflow of defective products, but it is difficult to identify the cause of the defective product and to present an improvement measure for the cause. Also, for this reason, a significant improvement in yield cannot be expected. Furthermore,
Since the manufacturing conditions when each color filter is manufactured are unclear, there is also a problem that it is difficult to guarantee the quality of a group of products determined to be non-defective in the defect inspection.
【０００４】この発明は、上述したような問題を解決す
るために成されたものであり、製造条件や製品の良否状
態を詳細に、かつ総合的にホストコンピュータで集中監
視することで、大幅な収率向上、信頼性の高い品質保証
を実現可能な集中監視システムを提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the manufacturing conditions and the quality of products are monitored in detail and comprehensively by a host computer in a centralized manner. It is an object of the present invention to provide a centralized monitoring system capable of improving yield and realizing highly reliable quality assurance.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明に係る監視シス
テムは、カラーフィルタを製造する過程の各種パラメー
タを計測し、パラメータデータを生成するセンサを有
し、前記カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造
手段であって、前記からフィルタ製造の稼働状態を示す
稼働情報データを生成し、前記パラメータデータと前記
稼働情報データとを出力するカラーフィルタ製造手段
と、前記からフィルタ製造手段により製造されるカラー
フィルタに欠陥があるか否かを判定し、判定結果を示す
判定データを出力する欠陥検査手段と、前記カラーフィ
ルタ製造手段により製造されるカラーフィルタ毎に、識
別用のコードを印字するコード印字手段と、前記コード
印字手段により印字されたコードを読み取り、コードデ
ータを生成するコード読み取り手段と、前記稼働情報デ
ータ、前記プロセスパラメータ、前記判定データ、及び
前記コードデータを入力し、前記稼働情報データ、前記
プロセスパラメータ、前記判定データ、及び前記コード
データとに従って、前記カラーフィルタの製造過程を集
中的に監視する監視手段とを具備することを特徴とす
る。A monitoring system according to the present invention has a sensor for measuring various parameters in a process of manufacturing a color filter and generating parameter data, and a color filter manufacturing means for manufacturing the color filter. A color filter manufacturing unit that generates operation information data indicating an operation state of filter manufacture from the above, and outputs the parameter data and the operation information data, and a color filter manufactured by the filter manufacture unit from the above. Defect inspection means for judging whether there is a defect and outputting judgment data indicating the judgment result, and code printing means for printing an identification code for each color filter manufactured by the color filter manufacturing means, A code for reading a code printed by the code printing means and generating code data And the operation information data, the process parameter, the determination data, and the code data, and according to the operation information data, the process parameter, the determination data, and the code data, Monitoring means for intensively monitoring the manufacturing process.
【０００６】前記監視手段は、前記稼働情報データ、前
記プロセスパラメータ、前記判定データ、及び前記コー
ドデータとを、前記カラーフィルタ製造手段により製造
されるカラーフィルタ毎に対応づけることが好ましい。It is preferable that the monitoring unit associates the operation information data, the process parameter, the determination data, and the code data with each color filter manufactured by the color filter manufacturing unit.
【０００７】これにより、製品毎の品質管理が可能とな
り、製品の品質を向上することができる。また、製品１
枚毎の製造条件と良否判定が対応付けられているので、
製品に異常が発生した際の原因を容易に特定することが
でき、将来的な収率向上が可能となる。As a result, quality control can be performed for each product, and the quality of the product can be improved. Product 1
Since the manufacturing conditions and pass / fail judgment for each sheet are associated with each other,
The cause when an abnormality occurs in the product can be easily specified, and the yield can be improved in the future.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態を図
面を参照して説明する。図１は、この発明による集中監
視システムの全体構成例を示す。図１に示されるよう
に、この集中監視システムは、コード印字装置１、カラ
ーフィルタ製造装置２（２−１，２−２）、欠陥検査装
置３（３−１，３−２）、コード読み取り装置４（４−
１，４−２）、ホストコンピュータ５（５−１，５−
２）、及びサーバ６により構成される。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an overall configuration example of a centralized monitoring system according to the present invention. As shown in FIG. 1, the centralized monitoring system includes a code printing device 1, a color filter manufacturing device 2 (2-1, 2-2), a defect inspection device 3 (3-1, 3-2), a code reading device. Device 4 (4-
1, 4-2) and the host computer 5 (5-1, 5-
2) and the server 6.
【０００９】ホストコンピュータ５−１は、カラーフィ
ルタ製造装置２−１，欠陥検査装置３−１，及びコード
読み取り装置４−１と通信回線を介して接続されてい
る。同様に、ホストコンピュータ５−２は、カラーフィ
ルタ製造装置２−２，欠陥検査装置３−２，及びコード
読み取り装置４−１と通信回線を介して接続されてい
る。また、ホストコンピュータ５−１，５−２、及びサ
ーバ６間は、ネットワーク回線により相互に接続されて
いる。尚、この実施形態では、前記通信回線を用いた通
信方法にシリアル通信を適用しているがこれに限らず、
パラレル通信を適用することも可能である。The host computer 5-1 is connected to the color filter manufacturing device 2-1, the defect inspection device 3-1, and the code reading device 4-1 via a communication line. Similarly, the host computer 5-2 is connected to the color filter manufacturing device 2-2, the defect inspection device 3-2, and the code reading device 4-1 via a communication line. The host computers 5-1 and 5-2 and the server 6 are mutually connected by a network line. In this embodiment, the serial communication is applied to the communication method using the communication line, but is not limited thereto.
It is also possible to apply parallel communication.
【００１０】コード印字装置１は、後工程を経てカラー
フィルタとして製造される各基板に識別用の２次元のコ
ードを印字する。カラーフィルタ製造装置２は、印字さ
れた基板に所定の処理を施してカラーフィルタを製造す
る。欠陥検査装置３は、カラーフィルタ製造装置２によ
り製造された中間製品，最終製品に対し所定の欠陥検査
処理を行う。尚、この実施形態における集中監視システ
ムは、カラーフィルタを製造する工程を２つに分け、そ
の中間における中間製品（基板）を欠陥検査装置３−１
で欠陥有無を検査するように構成されている。The code printing device 1 prints a two-dimensional code for identification on each substrate manufactured as a color filter through a post-process. The color filter manufacturing apparatus 2 performs a predetermined process on the printed substrate to manufacture a color filter. The defect inspection device 3 performs a predetermined defect inspection process on the intermediate product and the final product manufactured by the color filter manufacturing device 2. Note that the centralized monitoring system in this embodiment divides the process of manufacturing a color filter into two steps, and converts an intermediate product (substrate) in the middle into a defect inspection device 3-1.
Is configured to inspect for defects.
【００１１】このため、コード印字装置１により印字さ
れた基板は、先ず、カラーフィルタ製造装置２−１にお
いて第１の処理が施され、この後、欠陥検査装置３−１
により欠陥検査が施される。欠陥検査装置３−１により
欠陥検査が施された中間製品（基板）は、カラーフィル
タ製造装置２−２において、第２の処理が施される。第
２の処理が施されカラーフィルタとして製造された最終
製品は、欠陥検査装置３−２において最終的な欠陥検査
が施される。For this reason, the substrate printed by the code printing device 1 is first subjected to the first processing in the color filter manufacturing device 2-1 and thereafter the defect inspection device 3-1
Performs a defect inspection. The intermediate product (substrate) subjected to the defect inspection by the defect inspection device 3-1 is subjected to the second processing in the color filter manufacturing device 2-2. The final product subjected to the second processing and manufactured as a color filter is subjected to a final defect inspection by the defect inspection device 3-2.
【００１２】カラーフィルタ製造装置２は、前述したよ
うに印字された基板に対して所定の処理を施し、カラー
フィルタ（最終製品）を生成する。各カラーフィルタ製
造装置２−１，２−２は、基板、または中間製品に所定
の処理を施す際の温度、圧力、流量などのプロセスパラ
メータを計測するセンサ部８（８−１，８−２）を有す
る。また、カラーフィルタ製造装置２は、自装置の稼働
状態を監視し、この稼働状態（運転中，停止中，異常発
生）を示す稼働情報データを生成する機能を有する。カ
ラーフィルタ製造装置２は、生成した稼働情報データ
と、前記センサ部８により計測されたプロセスパラメー
タとを、前記通信回線を介してホストコンピュータ５に
送出する。The color filter manufacturing apparatus 2 performs a predetermined process on the printed substrate as described above to generate a color filter (final product). Each of the color filter manufacturing apparatuses 2-1 and 2-2 includes a sensor unit 8 (8-1, 8-2) that measures a process parameter such as a temperature, a pressure, and a flow rate when a predetermined process is performed on a substrate or an intermediate product. ). Further, the color filter manufacturing apparatus 2 has a function of monitoring the operation state of the apparatus itself and generating operation information data indicating the operation state (running, stopped, occurrence of abnormality). The color filter manufacturing apparatus 2 sends the generated operation information data and the process parameters measured by the sensor unit 8 to the host computer 5 via the communication line.
【００１３】欠陥検査装置３は、カラーフィルタ製造装
置２により製造された中間製品または最終製品（カラー
フィルタ）に対して所定の検査処理を施す。この検査処
理では、中間製品、または最終製品の良否が判定され
る。欠陥検査装置３は、この判定の結果を、検査結果と
して前記通信回線を介してホストコンピュータ５に送出
する。The defect inspection device 3 performs a predetermined inspection process on an intermediate product or a final product (color filter) manufactured by the color filter manufacturing device 2. In this inspection processing, the quality of the intermediate product or the final product is determined. The defect inspection device 3 sends the result of this determination to the host computer 5 via the communication line as an inspection result.
【００１４】コード読み取り装置４は、コード印字装置
１により印字されたコードを読み取り、これを前記通信
回線を介しホストコンピュータ５に送出する。図１に示
されるように、コード読み取り装置４−１，４−２のそ
れぞれは、カラーフィルタ製造装置２に送られる基板、
または中間製品のコードを読み取っている。The code reading device 4 reads the code printed by the code printing device 1 and sends it to the host computer 5 via the communication line. As shown in FIG. 1, each of the code reading devices 4-1 and 4-2 includes a substrate sent to the color filter manufacturing device 2,
Or read the code of an intermediate product.
【００１５】ホストコンピュータ５は、前記カラーフィ
ルタ製造装置２から送られる稼働情報データ及びプロセ
スパラメータと、前記欠陥検査装置３から送られる検査
結果と、前記コード読み取り装置４から送られるコード
とを受け取り、これらを一括して管理する。ホストコン
ピュータ５は、前記各種データの受け取りに応じ、また
は、所定時間毎に、前記受け取った各種データをサーバ
６に出力し、サーバ６においてこれら各種データを長期
的に格納させる。The host computer 5 receives the operation information data and process parameters sent from the color filter manufacturing device 2, the inspection result sent from the defect inspection device 3, and the code sent from the code reading device 4, These are managed collectively. The host computer 5 outputs the received various data to the server 6 in response to the reception of the various data or at predetermined time intervals, and causes the server 6 to store the various data for a long term.
【００１６】ホストコンピュータ５は、カラーフィルタ
製造過程における異常を検出するとこれをカラーフィル
タ製造の管理者に通知する機能を有する。例えば、前記
稼働情報データが異常発生を示している場合、前記検査
結果から不良製品が多量に発生した場合等、カラーフィ
ルタ製造の管理者にこれが通知される。図１に示される
ように、この実施形態では、２つのホストコンピュータ
５−１，５−２が設けられているが、各コンピュータが
並列に前述した機能を実現するようにしても、前記２つ
のコンピュータのいずれか一方が前記機能を実現するよ
うにしても良い。The host computer 5 has a function of detecting an abnormality in the process of manufacturing the color filter and notifying the abnormality to a manager of the manufacture of the color filter. For example, when the operation information data indicates that an abnormality has occurred, or when a large number of defective products have occurred based on the inspection results, the administrator of the color filter is notified of this. As shown in FIG. 1, in this embodiment, two host computers 5-1 and 5-2 are provided. However, even if each computer realizes the above-described functions in parallel, Any one of the computers may realize the function.
【００１７】サーバ６は、ホストコンピュータ５−１，
５−２から送られるデータを長期的に保持するために使
用される。また、サーバ６に保持されている各種データ
は、ホストコンピュータ５の要求に応じて読み出され、
要求元に送られる。The server 6 includes host computers 5-1 and 5-1.
Used for long-term retention of data sent from 5-2. Further, various data stored in the server 6 is read out in response to a request from the host computer 5,
Sent to requestor.
【００１８】前述した集中監視システムの構成では、カ
ラーフィルタ製造装置、欠陥検査装置、及びコード読み
取り装置とが、それぞれ２つずつ設けられているが、設
けられる数はこれに限定されない。In the above-described configuration of the centralized monitoring system, two color filter manufacturing devices, two defect inspection devices, and two code reading devices are provided, but the number of devices is not limited to two.
【００１９】次に、前述した集中監視システムの動作を
図２に示されるフローチャートを参照して説明する。カ
ラーフィルタの製造処理が開始される際、先ず、集中監
視システムの管理者により、前記ホストコンピュータ５
−１，５−２のいずれかのホストコンピュータに、製造
するカラーフィルタの製品名、製造ロット番号等のデー
タが入力される（ステップＳ１）。この後、前記管理者
により製造の開始が指示されると、先ず、コード印字装
置１によりカラーフィルタ基板に識別用のコードが印字
される（ステップＳ２）。Next, the operation of the above-described centralized monitoring system will be described with reference to the flowchart shown in FIG. When the manufacturing process of the color filter is started, first, the administrator of the centralized monitoring system sets the
Data such as a product name and a manufacturing lot number of a color filter to be manufactured is input to one of the host computers -1 and 5-2 (step S1). Thereafter, when the start of production is instructed by the manager, first, an identification code is printed on the color filter substrate by the code printing device 1 (step S2).
【００２０】カラーフィルタ基板は、前述したように先
ず、カラーフィルタ製造装置２−１において第１の処理
が施され、この後、欠陥検査装置３−１により欠陥検査
が施される。欠陥検査装置３−１により欠陥検査が施さ
れた中間製品（基板）は、カラーフィルタ製造装置２−
２において、第２の処理が施される。第２の処理が施さ
れカラーフィルタとして製造された最終製品は、欠陥検
査装置３−２において最終的な欠陥検査が施される。前
記ステップ２の処理以降、このような経路を経て順次カ
ラーフィルタが製造される。As described above, the color filter substrate is first subjected to the first processing in the color filter manufacturing apparatus 2-1, and then subjected to the defect inspection by the defect inspection apparatus 3-1. The intermediate product (substrate) subjected to the defect inspection by the defect inspection device 3-1 is a color filter manufacturing device 2-
In 2, a second process is performed. The final product subjected to the second processing and manufactured as a color filter is subjected to a final defect inspection by the defect inspection device 3-2. After the processing in step 2, color filters are sequentially manufactured through such a path.
【００２１】このような製造処理の間、カラーフィルタ
製造装置２からは稼働情報データ及びプロセスパラメー
タが、欠陥検査装置３からは検査結果が、そして、コー
ド読み取り装置４からは読み取られたコードが通信回線
を介してホストコンピュータ５に出力される（ステップ
Ｓ３，Ｓ４）。During such a manufacturing process, the operation information data and process parameters are transmitted from the color filter manufacturing apparatus 2, the inspection result is transmitted from the defect inspection apparatus 3, and the read code is transmitted from the code reading apparatus 4. The data is output to the host computer 5 via the line (steps S3 and S4).
【００２２】ホストコンピュータ５は、受け取った各種
データと前記ステップＳ１において入力した情報との対
応付る（ステップＳ５）。より具体的に説明すると、ホ
ストコンピュータ５は、稼働情報データ、プロセスパラ
メータ、及び検査結果を、前記読み取られたコードに従
って、カラーフィルタ基板が通過した日時、製品品名、
製造ロット番号等の情報と、各カラーフィルタ製品毎に
対応付ける。これにより、カラーフィルタ基板が製造さ
れた際の製造条件と良否の判定結果及びその製造日時等
が、各カラーフィルタ基板毎に確認が可能となる。The host computer 5 associates the received various data with the information input in step S1 (step S5). More specifically, the host computer 5 transmits the operation information data, the process parameters, and the inspection result according to the read code, the date and time when the color filter substrate has passed, the product name,
Information such as a manufacturing lot number is associated with each color filter product. Accordingly, it is possible to confirm the manufacturing conditions and the quality / non-defective determination result when the color filter substrate is manufactured, the manufacturing date and time, and the like for each color filter substrate.
【００２３】対応付けられたデータは、例えばホストコ
ンピュータ５に設けられているモニタなどの表示装置に
表示され、管理者のモニタリングを可能とする（ステッ
プＳ）。また、対応付けられたデータは、順次、もしく
は所定の時間毎に、ネットワーク回線７を介してサーバ
６に送出される。サーバ６は、ネットワーク回線７を介
して送られたデータを保持する（ステップＳ７）。これ
により、対応付けられたデータの長期的な保持が可能と
なる。The associated data is displayed on a display device such as a monitor provided in the host computer 5, for example, to enable monitoring by an administrator (step S). The associated data is transmitted to the server 6 via the network line 7 sequentially or at predetermined time intervals. The server 6 holds the data sent via the network line 7 (Step S7). This makes it possible to retain the associated data for a long time.
【００２４】前述したように、サーバ６に保持されてい
るデータは読み出すことが可能である。従って、前記管
理者は、必要に応じてホストコンピュータ５を用い、サ
ーバ６に保持されているデータを検索し、既に製造され
ているカラーフィルタに関する製造条件、良否の判定結
果等を読み出して確認することができる。As described above, the data stored in the server 6 can be read. Therefore, the administrator searches the data held in the server 6 using the host computer 5 as necessary, and reads out and confirms the manufacturing conditions, the quality determination result, and the like regarding the already manufactured color filters. be able to.
【００２５】また、前記ホストコンピュータ５は、前述
したようにモニタ等に対応付けたデータを表示すると共
に、これらデータからカラーフィルタ製造上の異常を検
出してこれを管理者に通知する（ステップＳ８）。例え
ば、前記稼働情報データが異常発生を示している場合、
前記検査結果から不良製品が多量に発生した場合等、前
記モニタに警報メッセージが表示されたり、警報音が鳴
らされる。The host computer 5 displays the data associated with the monitor or the like as described above, detects an abnormality in the manufacture of the color filter from the data, and notifies the administrator of the abnormality (step S8). ). For example, when the operation information data indicates that an abnormality has occurred,
When a large number of defective products are generated from the inspection result, an alarm message is displayed on the monitor or an alarm is sounded.
【００２６】尚、図２中の鎖線に囲まれた処理は、カラ
ーフィルタ製造中に随時実行される。以上の処理によ
り、製造条件や製品の良否状態が詳細に、かつ総合的に
ホストコンピュータで集中監視される。これにより、大
幅な収率向上、信頼性の高い品質保証を実現することが
できる。The process surrounded by a chain line in FIG. 2 is executed at any time during the manufacture of the color filter. Through the above processing, the manufacturing conditions and the quality of the product are monitored in detail and comprehensively by the host computer. As a result, it is possible to realize a significant improvement in yield and a highly reliable quality assurance.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、カラーフィルタ製品一枚単位での品質管理が可能と
なり、製品の品質を大幅に向上することができる。更
に、各カラーフィルタ製品毎の製造条件、良否の判定結
果及び製造日時等が対応付けられているので、製品に異
常が発生した際の原因を容易に特定することができ、将
来的な収率向上が可能となる。As described in detail above, according to the present invention, it is possible to control the quality of a single color filter product, and to greatly improve the quality of the product. Further, since the manufacturing conditions, quality judgment results, manufacturing date and time, and the like for each color filter product are associated with each other, it is possible to easily identify the cause when an abnormality has occurred in the product, and to obtain a future yield. Improvement is possible.
【図１】この発明の一実施形態に係るカラーフィルタ製
造の監視システムの全体構成を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a color filter manufacturing monitoring system according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記実施形態の監視システムの動作を示すフロ
ーチャート。FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the monitoring system of the embodiment.
１…コード印字装置 ２−１，２−２…カラーフィルタ製造装置 ３−１，３−２…欠陥検査装置 ４−１，４−２…コ−ド読みとり装置 ５−１，５−２…ホストコンピュータ ６…サーバ ７…ネットワーク回線 ８…シリアル通信回線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Code printing device 2-1 and 2-2 ... Color filter manufacturing device 3-1 and 3-2 ... Defect inspection device 4-1 and 4-2 ... Code reading device 5-1 and 5-2 ... Host Computer 6 Server 7 Network line 8 Serial communication line
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野田 均 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Hitoshi Noda 1-5-1, Taito, Taito-ku, Tokyo Letterpress Printing Co., Ltd.
Claims (2)
ラメータを計測し、パラメータデータを生成するセンサ
を有し、前記カラーフィルタを製造するカラーフィルタ
製造手段であって、前記からフィルタ製造の稼働状態を
示す稼働情報データを生成し、前記パラメータデータと
前記稼働情報データとを出力するカラーフィルタ製造手
段と、 前記からフィルタ製造手段により製造されるカラーフィ
ルタに欠陥があるか否かを判定し、判定結果を示す判定
データを出力する欠陥検査手段と、 前記カラーフィルタ製造手段により製造されるカラーフ
ィルタ毎に、識別用のコードを印字するコード印字手段
と、 前記コード印字手段により印字されたコードを読み取
り、コードデータを生成するコード読み取り手段と、 前記稼働情報データ、前記プロセスパラメータ、前記判
定データ、及び前記コードデータを入力し、前記稼働情
報データ、前記プロセスパラメータ、前記判定データ、
及び前記コードデータとに従って、前記カラーフィルタ
の製造過程を集中的に監視する監視手段とを具備するこ
とを特徴とする集中監視システム。1. A color filter manufacturing means for measuring various parameters in a process of manufacturing a color filter and generating parameter data, and for manufacturing the color filter. A color filter manufacturing means for generating the operation information data shown and outputting the parameter data and the operation information data; and determining whether or not the color filter manufactured by the filter manufacturing means has a defect. Defect inspection means for outputting determination data indicating, for each color filter manufactured by the color filter manufacturing means, code printing means for printing an identification code, and reading the code printed by the code printing means, Code reading means for generating code data; the operation information data; Seth parameter, the determination data, and inputs the code data, the operation information data, the process parameters, the determination data,
And a monitoring means for centrally monitoring the process of manufacturing the color filter according to the code data.
前記プロセスパラメータ、前記判定データ、及び前記コ
ードデータとを、前記カラーフィルタ製造手段により製
造されるカラーフィルタ毎に対応づけることを特徴とす
る請求項１記載の集中監視システム。2. The monitoring unit according to claim 1, wherein the operation information data includes:
The centralized monitoring system according to claim 1, wherein the process parameter, the determination data, and the code data are associated with each color filter manufactured by the color filter manufacturing unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29881497A JPH11133225A (en) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | Centralized monitoring system for color filter manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29881497A JPH11133225A (en) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | Centralized monitoring system for color filter manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11133225A true JPH11133225A (en) | 1999-05-21 |
Family
ID=17864574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29881497A Pending JPH11133225A (en) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | Centralized monitoring system for color filter manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11133225A (en) |
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1997
- 1997-10-30 JP JP29881497A patent/JPH11133225A/en active Pending
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