JP5067137B2 - Color filter substrate manufacturing process management system - Google Patents
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Description
本発明は、カラーフィルタ基板の製造工程管理システムに関し、特に、カラーフィルタ基板の各工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うカラーフィルタ基板の製造工程管理システムに関する。 The present invention relates to a manufacturing process management system for a color filter substrate, and in particular, confirms whether setting data preset in each in-process device of the color filter substrate matches history data executed in the in-process device. The present invention relates to a manufacturing process management system for a color filter substrate that performs work.
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、これらの品質をクリアーするためには、徹底したカラーフィルタ基板の製造工程管理が望まれている。
In recent years, with the increase in large color televisions, notebook computers, and portable electronic devices, there has been a remarkable increase in demand for liquid crystal displays, particularly color liquid crystal displays.
The color filter substrate used in these color liquid crystal displays is required to have a high level of pattern accuracy, spectral characteristics, and defect level. To clear these qualities, a thorough color filter substrate is required. Manufacturing process management is desired.
カラーフィルタ基板の製造工程管理は、工程内に投入される時点で、ライン管理システムにより、基板1枚1枚に発行された識別コードと判定、制御データにより管理している。発行された基板データは、装置から装置への基板受け渡し時に基板データを装置間で受け渡し、装置から報告された基板データを上位システムが受渡基板情報として管理している。 The manufacturing process management of the color filter substrate is managed by the line management system based on the identification code issued to each substrate and the determination and control data when it is put into the process. The issued board data is transferred between the apparatuses when the board is transferred from the apparatus to the apparatus, and the upper system manages the board data reported from the apparatus as the transferred board information.
カラーフィルタ基板の製造工程管理の一例として、カラーフィルタ製造装置に設けられたセンサの検出するデータ、欠陥検査装置による欠陥結果、及びコード読み取り装置からの出力をホストコンピュータにより集中的に管理することにより、カラーフィルタの製品品質を集中的に監視するカラーフィルタ製造装置の集中監視システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。 As an example of manufacturing process management of a color filter substrate, data detected by a sensor provided in a color filter manufacturing apparatus, a defect result by a defect inspection apparatus, and an output from a code reading apparatus are centrally managed by a host computer. A centralized monitoring system for a color filter manufacturing apparatus that centrally monitors product quality of color filters has been proposed (for example, see Patent Document 1).
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細に、かつ総合的にホストコンピュータで集中監視することで、大幅な収率向上、信頼性の高い品質保証を実現可能であるとしている。 The centralized monitoring system for the above color filter manufacturing equipment can achieve significant yield improvement and highly reliable quality assurance by comprehensively monitoring the manufacturing conditions and product quality status in a comprehensive and comprehensive manner with a host computer. It is said that.
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細にホストコンピュータで集中監視することで、製品毎の品質管理が可能となり、製品の品質を向上することができる。また、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けられているので、製品に異常が発生した際の原因を容易に特定することができ、将来的な収率向上が可能としている。 In the centralized monitoring system of the color filter manufacturing apparatus, the quality control for each product can be performed and the quality of the product can be improved by centrally monitoring the manufacturing conditions and the quality of the product with a host computer in detail. In addition, since the manufacturing conditions for each product and the pass / fail judgment are associated with each other, the cause when an abnormality occurs in the product can be easily identified, and future yield can be improved.
しかしながら、上記のカラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、ホストコンピュータで製造条件や製品の良否状態を詳細に集中監視し、ホストコンピュータでデータを集約しているため、後で分析、解析することで、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けは可能であるが、製造工程中に基板毎の工程管理に結びつけることが難しいという問題を有している。
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、カラーフィルタ基板を製造する際に、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができるカラーフィルタ基板の製
造工程管理システムを提供することを目的とする。
The present invention has been devised in view of the above problems, and when manufacturing a color filter substrate, a manufacturing process management system for a color filter substrate that can reliably pass the substrate processed in each process to the next process. The purpose is to provide.
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくともブラックマトリクスを作製するための工程管理システム（１０）と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム（２０）と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム（３０）と、青色フィルタを作製するための工程管理システム（４０）と、透明電極を作製するための工程管理システム（５０）と、スペーサーを作製するための工程管理システム
（６０）と、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム（７０）と、各工程管理システムを統括管理する製造管理システム（１００）と、からなるカラーフィルタ基板の製造工程管理システムであって、前記工程管理システムには、ＰＬＣ（ProgrammingLogicController）を搭載した少なくとも１つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム（１００）と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはＬＡＮで接続され、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程装置内の入り口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認し、前記工程装置内の出口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置毎に付与された識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造工程管理システムとしたものである。
In order to achieve the above object in the present invention, first, in claim 1, a process management system (10) for producing at least a black matrix, and a process management system (20) for producing a red filter, A process management system (30) for producing a green filter, a process management system (40) for producing a blue filter, a process management system (50) for producing a transparent electrode, and a spacer are produced. Manufacturing process management of a color filter substrate, comprising: a process management system (60) for controlling the color filter substrate; a process management system (70) for inspecting the color filter substrate; and a manufacturing management system (100) for managing each process management system. The process management system includes at least one PLC (Programming Logic Controller). An in-process device and a transport unit disposed between the in-process devices, and the manufacturing management system (100), the process management system, the in-process device, and the transport unit are connected via a LAN. When the substrate moves between the internal devices, the substrate code assigned to the substrate at the entrance of the process device and the history data provided by the internal devices are transferred between the process management system and the internal device. In the process control, the substrate code assigned to the substrate , the identification code assigned to each in-process device, and the history data given by each in-process device at the exit in the process device The color filter substrate manufacturing process management system is characterized in that the color filter substrate manufacturing process management is performed while checking between the system and the in-process device.
また、請求項２においては、前記各工程内装置の出口では、工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムとしたものである。 According to a second aspect of the present invention, at the exit of each in-process device, a check operation is performed to determine whether the setting data set in advance in the in-process device matches the history data executed in the in-process device. The color filter substrate manufacturing process management system according to claim 1, characterized in that:
本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、工程管理システムの工程内装置毎に工程内装置の入り口と出口で、基板コード、識別コード、履歴コードの確認作業を進めながら製造工程の管理を行うので、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができる。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品１枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
The color filter substrate manufacturing process management system of the present invention manages the manufacturing process while advancing the confirmation work of the substrate code, identification code, and history code at the entrance and exit of the in-process device for each in-process device of the process management system. As a result, the substrate that has been processed in each step can be reliably transferred to the next step.
In addition, when the color filter substrate extracted in the middle process is re-introduced, the substrate information can always be confirmed in the input process, so that it is possible to perform reliable process processing without skipping the process.
Furthermore, since the manufacturing management system of the color filter substrate manufacturing process management system according to the present invention stores the manufacturing conditions and the quality status of the product, it is possible to manufacture each product by performing analysis and analysis processing later. Conditions can be associated with pass / fail judgments, which can lead to future yield improvements.
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの一実施例を示す模式構成図である。図２は、カラーフィルタ基板の製造工程のフローの一例を示す説明図である。本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム１０と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム２０と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム３０と、青色フィルタを作製するための工程管理システム４０と、透明電極（ＩＴＯ）を作製するための工程管理システム５０と、スペーサーを作製するための工程管理システム６０と、カラーフィルタ基板の検査を行う検査管理システム７０と、各工程管理システムを統括する製造管理システム１００と、から構成されており、各工程管理システムには、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した少なくとも１つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム１００と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはＬＡＮで接続されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a manufacturing process management system for a color filter substrate according to the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of the flow of the manufacturing process of the color filter substrate. The manufacturing process management system for a color filter substrate according to the present invention includes a process management system 10 for producing a black matrix, a process management system 20 for producing a red filter, and a process management system 30 for producing a green filter. And a
カラーフィルタ基板の製造工程管理システムでは、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程内装置内の入り口と出口で、基板に付与された基板コードと識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うようにしたものである。 In the color filter substrate manufacturing process management system, when the substrate moves between the in-process devices, the substrate code and the identification code given to the substrate at the entrance and the exit in the in-process device, and the in-process devices The manufacturing process management of the color filter substrate is performed while confirming the history data given in (1) between the process management system and the in-process device.
以下、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの概要について説明する。カラーフィルタ基板の製造工程は、図２に示すように、ブラックマトリクス製造工程と、赤色フィルタ（Ｒ）製造工程と、緑色フィルタ（Ｇ）製造工程と、青色フィルタ（Ｂ）製造工程と、透明電極（ＩＴＯ）製造工程と、スペーサー（ＰＳ）製造工程と、からなり、各製造工程単位毎に、自動化製造ラインが組まれており、各自動化製造ライン毎に工程管理が実施されている。 The outline of the color filter substrate manufacturing process management system of the present invention will be described below. As shown in FIG. 2, the color filter substrate manufacturing process includes a black matrix manufacturing process, a red filter (R) manufacturing process, a green filter (G) manufacturing process, a blue filter (B) manufacturing process, and a transparent electrode. It consists of an (ITO) manufacturing process and a spacer (PS) manufacturing process, and an automated manufacturing line is built for each manufacturing process unit, and process management is carried out for each automated manufacturing line.
ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム１０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム１０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。 In the process management system 10 for producing a black matrix, as an in-process device equipped with a PLC (Programming Logic Controller), for example, a substrate loading device (cassette), a resist coating device, an exposure device, a developing device, The apparatus includes a post-bake device, an inspection device, and a substrate storage device (cassette). These in-process devices are managed and controlled by the process management system 10. A substrate is transferred between the devices in each process by a transfer unit.
赤色フィルタを作製するための工程管理システム２０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム２０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。 In the process management system 20 for producing a red filter, for example, a substrate loading device (cassette), a resist coating device, an exposure device, a developing device, as an in-process device equipped with a PLC (Programming Logic Controller), The apparatus includes a post-bake device, an inspection device, and a substrate storage device (cassette). These in-process devices are managed and controlled by the process management system 20. A substrate is transferred between the devices in each process by a transfer unit.
緑色フィルタを作製するための工程管理システム３０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム３０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。 In the process management system 30 for producing a green filter, as an in-process device equipped with a PLC (Programming Logic Controller), for example, a substrate loading device (cassette), a resist coating device, an exposure device, a developing device, A post-bake device, an inspection device, and a substrate storage device (cassette) are included, and these in-process devices are managed and controlled by a process management system 30. A substrate is transferred between the devices in each process by a transfer unit.
青色フィルタを作製するための工程管理システム４０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム４０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
In the
透明電極（ＩＴＯ）を作製するための工程管理システム５０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム５０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。 In the process management system 50 for producing a transparent electrode (ITO), as an in-process device equipped with a PLC (Programming Logic Controller), for example, a substrate loading device (cassette), a transparent electrode (ITO) film forming device, It has an inspection device and a substrate storage device (cassette), and these in-process devices are managed and controlled by a process management system 50. A substrate is transferred between the devices in each process by a transfer unit.
スペーサーを作製するための工程管理システム６０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム６０で管理
、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
In the process management system 60 for producing a spacer, as an in-process apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller), for example, a substrate loading apparatus (cassette), a resist coating apparatus, an exposure apparatus, a developing apparatus, a post A bake device, an inspection device, and a substrate storage device (cassette) are included, and these in-process devices are managed and controlled by a process management system 60. A substrate is transferred between the devices in each process by a transfer unit.
カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム７０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、上記製造工程で作製されたカラーフィルタ基板の品質をチェックするための検査を行うもので、ここで、カラーフィルタ基板の良、不良が決定される。 In the process management system 70 for inspecting the color filter substrate, for example, a substrate loading device (cassette), an inspection device, and a substrate storage device (cassette) are provided as in-process devices equipped with a PLC (Programming Logic Controller). The inspection is performed to check the quality of the color filter substrate manufactured in the above manufacturing process. Here, whether the color filter substrate is good or bad is determined.
以下図２に示す、カラーフィルタ基板の製造工程にしたがって、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムについて説明する。
まず、基板の受け入れを行い、個々の基板に基板コードが製造管理システム１００より付与され、基板に印字され、所定の枚数予めとロット番号が設定された基板投入装置（カセット）に収納されて、ロボット等でブラックマトリクスを作製工程の基板投入装置（カセット）にセットされる。
製造管理システム１００より各工程管理システムに、これから投入される基板コードと投入順序とが伝達される。
The color filter substrate manufacturing process management system of the present invention will be described below in accordance with the color filter substrate manufacturing process shown in FIG.
First, a substrate is received, a substrate code is assigned to each substrate from the
The board code to be input and the input order are transmitted from the
次に、ブラックマトリクスを作製する工程管理システム１０では、基板が収納された基板投入装置（カセット）が工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置にセットされる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、基板コードの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジストの塗布処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１１と、工程管理システム１０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム１０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
Next, in the process management system 10 for producing a black matrix, a substrate loading apparatus (cassette) in which a substrate is stored is set in a resist coating apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process apparatuses. . Since the substrate code and the order of loading are set in the PLC (Programming Logic Controller) of the resist coating apparatus, the substrate code is confirmed at the entrance of the resist coating apparatus and is determined to be the substrate to be loaded. Then, a resist coating process is performed.
Here, in the process management system 10, flag data 11 in which the identification code of the resist coating apparatus and the history code processed by the resist coating apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the resist coating apparatus, the flag data 11 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the substrate code preset in the process management system 10, the identification code of the resist coating apparatus, and the resist coating apparatus are processed. A confirmation operation with the setting data including the history code is performed between the process management system 10 and the resist coating apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１２と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム１０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
Next, at the entrance of an exposure apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Pattern exposure is performed by the exposure apparatus.
Here, in the process management system 10, flag data 12 in which the identification code of the exposure apparatus and the history code processed by the exposure apparatus are added to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the exposure apparatus, from the flag data 12 including the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the exposure apparatus with respect to the substrate code set in advance by the process management system 10, and the history code processed by the exposure apparatus The setting data confirmation operation is performed between the process management system 10 and the exposure apparatus, and if they match, they are conveyed to the next developing apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデ
ータ１３と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードの設定データの確認作業を工程管理システム１０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
Next, at the entrance of a developing device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Development processing by the developing device is performed.
Here, in the process management system 10, flag data 13 in which the identification code of the developing device and the history code processed by the developing device are added to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the developing device, flag data 13 including a substrate code, an identification code, and a history code, an identification code of the developing device for a substrate code set in advance by the process management system 10, and a history code processed by the developing device are displayed. Confirmation of the setting data is performed between the process management system 10 and the developing device, and if they match, they are conveyed to the next post-baking device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、ブラックマトリクス基板が作製される。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１４と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム１０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
Next, at the entrance of a post-baking device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded. Then, a post-baking process by a post-baking apparatus is performed, and a black matrix substrate is manufactured.
Here, in the process management system 10, flag data 14 in which the identification code of the post-baking apparatus and the history code processed by the post-baking apparatus are added to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the post-baking device, the flag data 14 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the post-baking device identification code for the substrate code preset by the process management system 10 are processed by the post-baking device. Confirmation of the setting data comprising the history code is performed between the process management system 10 and the post-bake device, and if they match, it is transported to the next inspection device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１５が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１５と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム１０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ１５の履歴データには、ブラックマトリクス基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるブラックマトリクス基板はこの時点で排除することもできる。
Next, at the entrance of an inspection apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Inspection processing by the inspection device is performed.
Here, in the process management system 10, flag data 15 in which the identification code of the inspection apparatus and the history code processed by the post-baking apparatus are added to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the inspection apparatus, from the flag data 15 including the board code, the identification code, and the history code, the identification code of the inspection apparatus for the board code set in advance by the process management system 10, and the history code processed by the inspection apparatus The confirmation operation with the set data is performed between the process management system 10 and the inspection device, and if they match, they are stored in the next substrate storage device (cassette). Here, since the history data of the flag data 15 stores the inspection result of the black matrix substrate, the black matrix substrate determined to be defective can be eliminated at this point.
次に、赤色フィルタを作製する工程管理システム２０では、ブラックマトリクス基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置に基板が送り込まれる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、フラッグデータ１６の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジスト塗布、プレベークの処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２１と、工程管理システム２０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
Next, in the process management system 20 for producing a red filter, a substrate storage device (cassette) in which a black matrix substrate is stored is set, and a resist coating apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) from the substrate loading device (cassette). The board is fed into Since the substrate code and the order of loading are set in the PLC (Programming Logic Controller) of the resist coating apparatus, the substrate code and the history code of the flag data 16 are confirmed at the entrance of the resist coating apparatus and are loaded. If it is determined that the substrate is a substrate, resist coating and pre-baking are performed.
Here, in the process management system 20, flag data 21 in which the identification code of the resist coating apparatus and the history code processed by the resist coating apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the resist coating apparatus, the flag data 21 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the substrate code set in advance by the process management system 20, the identification code of the resist coating apparatus, and the resist coating apparatus are processed. The confirmation operation with the setting data including the history code is performed between the process management system 20 and the resist coating apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２２と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
Next, at the entrance of an exposure apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Pattern exposure is performed by the exposure apparatus.
Here, in the process management system 10, flag data 22 in which the identification code of the exposure apparatus and the history code processed by the exposure apparatus are added to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the exposure apparatus, from the flag data 22 including the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the exposure apparatus with respect to the substrate code preset by the process management system 10, and the history code processed by the exposure apparatus Confirmation with the set data is performed between the process management system 20 and the exposure apparatus, and if they match, it is conveyed to the next developing apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２３と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム２０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
Next, at the entrance of a developing device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Development processing by the developing device is performed.
Here, in the process management system 20, flag data 23 in which the identification code of the developing device and the history code processed by the developing device are added to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the developing device, from the flag data 23 including the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the developing device with respect to the substrate code preset in the process management system 10, and the history code processed by the developing device The setting data confirmation operation is performed between the process management system 20 and the developing device, and if they match, they are conveyed to the next post-baking device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、赤色フィルタ基板が作製される。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２４と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
Next, at the entrance of a post-baking device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded. Then, a post-baking process by a post-baking apparatus is performed, and a red filter substrate is produced.
Here, in the process management system 10, flag data 24 in which the identification code of the post-baking apparatus and the history code processed by the post-baking apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the post-baking device, the flag data 24 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the post-baking device identification code and the post-baking device for the substrate code set in advance by the process management system 10 are processed. Confirmation work with setting data consisting of a history code is performed between the process management system 20 and the post-bake device, and if they match, they are transported to the next inspection device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２５が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２５と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ２５の履歴データには、赤色フィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断される赤色フィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
Next, at the entrance of an inspection apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Inspection processing by the inspection device is performed.
Here, in the process management system 20, flag data 25 in which the identification code of the inspection apparatus and the history code processed by the post-baking apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the inspection apparatus, from the flag data 25 including the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the inspection apparatus for the substrate code set in advance by the process management system 10, and the history code processed by the inspection apparatus The confirmation operation with the set data is performed between the process management system 20 and the inspection apparatus, and if they match, they are stored in the next substrate storage apparatus (cassette). Here, since the history data of the flag data 25 stores the inspection result of the red filter substrate, the red filter substrate determined to be defective can be eliminated at this point.
次に、緑色フィルタを作製する工程管理システム３０及び青色フィルタを作製する工程管理システム４０では、上記赤色フィルタを作製する工程管理システム２０と同じであるので、詳細な説明は省略するが、それぞれ、フラッグデータ３１〜３５、フラッグデータ４１〜４５が作製されて、基板コード、識別コード、履歴コードとの確認作業が行われる
。
Next, since the process management system 30 for producing the green filter and the
次に、透明電極（ＩＴＯ）を作製する工程管理システム５０では、赤色、緑色、青色フィルタが形成された基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した透明電極（ＩＴＯ）成膜装置に基板が送り込まれる。透明電極（ＩＴＯ）成膜装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の入り口で、フラッグデータ４６の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、透明電極（ＩＴＯ）の成膜処理が行われる。
ここで、工程管理システム５０では、基板コードに対して、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の識別コードと透明電極（ＩＴＯ）成膜装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ５１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ５１と、工程管理システム５０で予め設定された基板コード、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の識別コード、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム５０と透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
Next, in the process management system 50 for producing a transparent electrode (ITO), a substrate storage device (cassette) that stores substrates on which red, green, and blue filters are formed is set, and a PLC is supplied from the substrate loading device (cassette). The substrate is fed into a transparent electrode (ITO) film forming apparatus equipped with (Programming Logic Controller). Since the substrate code and the order of insertion are set in the PLC (Programming Logic Controller) of the transparent electrode (ITO) film forming apparatus, the substrate code and history of the flag data 46 are entered at the entrance of the transparent electrode (ITO) film forming apparatus. When the code is confirmed and it is determined that the substrate is to be loaded, a transparent electrode (ITO) film forming process is performed.
Here, in the process management system 50, flag data 51 is created in which the identification code of the transparent electrode (ITO) film forming apparatus and the history code processed by the transparent electrode (ITO) film forming apparatus are attached to the substrate code. And stored in the
Furthermore, at the exit of the transparent electrode (ITO) film forming apparatus, flag data 51 including a substrate code, an identification code, and a history code, a substrate code preset by the process management system 50, and a transparent electrode (ITO) film forming apparatus The confirmation work with the identification code and the setting data including the history code processed by the transparent electrode (ITO) film forming apparatus is performed between the process management system 50 and the transparent electrode (ITO) film forming apparatus. It is transported to the inspection device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査が行われる。
ここで、工程管理システム５０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ５２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ５２と、工程管理システム５０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム５０と検査装置の間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。
ここで、フラッグデータ５２の履歴データには、透明電極（ＩＴＯ）の検査結果が格納されているので、不良と判断される透明電極（ＩＴＯ）基板はこの時点で排除することもできる。
Next, at the entrance of an inspection apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Inspection is performed by an inspection device.
Here, in the process management system 50, flag data 52 in which the identification code of the inspection apparatus and the history code processed by the inspection apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the inspection apparatus, from the flag data 52 consisting of the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the inspection apparatus for the substrate code preset by the process management system 50, and the history code processed by the inspection apparatus The confirmation operation with the set data is performed between the process management system 50 and the inspection apparatus, and if they match, they are stored in the next substrate storage apparatus (cassette).
Here, since the inspection result of the transparent electrode (ITO) is stored in the history data of the flag data 52, the transparent electrode (ITO) substrate determined to be defective can be excluded at this time.
次に、スペーサーを作製する工程管理システム６０では、赤色、緑色、青色フィルタ及び透明電極（ＩＴＯ）が形成された基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置に基板が送り込まれる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、フラッグデータ５３の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジスト塗布、プレベークの処理が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６１と、工程管理システム６０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
Next, in the process management system 60 for producing a spacer, a substrate storage device (cassette) in which a substrate on which red, green and blue filters and transparent electrodes (ITO) are formed is set, and a substrate loading device (cassette) is set. The substrate is fed into a resist coating apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller). Since the substrate code and the order of loading are set in the PLC (Programming Logic Controller) of the resist coating apparatus, the substrate code and the history code of the flag data 53 are checked at the entrance of the resist coating apparatus and are loaded. If it is determined that the substrate is a substrate, resist coating and pre-baking are performed.
Here, in the process management system 60, flag data 61 in which the identification code of the resist coating apparatus and the history code processed by the resist coating apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the resist coating apparatus, the flag data 61 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the substrate code preset by the process management system 60, the identification code of the resist coating apparatus, and the resist coating apparatus are processed. The confirmation operation with the setting data including the history code is performed between the process management system 20 and the resist coating apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６２と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム６０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
Next, at the entrance of an exposure apparatus equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are confirmed, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Pattern exposure is performed by the exposure apparatus.
Here, in the process management system 60, flag data 62 in which the identification code of the exposure apparatus and the history code processed by the exposure apparatus are added to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the exposure apparatus, from flag data 62 composed of a substrate code, an identification code, and a history code, from an identification code of the exposure apparatus for a substrate code set in advance by the process management system 60, and a history code processed by the exposure apparatus Confirmation with the set data is performed between the process management system 60 and the exposure apparatus, and if they match, it is conveyed to the next developing apparatus.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６３と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム６０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
Next, at the entrance of a developing device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded, Development processing by the developing device is performed.
Here, in the process management system 60, flag data 63 in which the identification code of the developing device and the history code processed by the developing device are added to the substrate code is created and stored in the
Furthermore, at the exit of the developing device, from the flag data 63 consisting of the substrate code, the identification code, and the history code, the identification code of the developing device for the substrate code set in advance by the process management system 60, and the history code processed by the developing device The setting data confirmation operation is performed between the process management system 60 and the developing device, and if they match, they are conveyed to the next post-baking device.
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、スペーサーが形成されたカラーフィルタ基板が作製される。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６４と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム６０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、基板収納装置（カセット）へ収納される。
Next, at the entrance of a post-baking device equipped with a PLC (Programming Logic Controller) which is one of the in-process devices, the substrate code and the history code are checked, and if it is determined that the substrate is to be loaded. Then, a post-baking process by a post-baking apparatus is performed, and a color filter substrate on which spacers are formed is produced.
Here, in the process management system 60, flag data 64 in which the identification code of the post-baking apparatus and the history code processed by the post-baking apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the post-baking device, the flag data 64 including the substrate code, the identification code, and the history code, and the post-baking device identification code and the post-baking device for the substrate code set in advance by the process management system 60 are processed. The confirmation operation with the setting data consisting of the history code is performed between the process management system 60 and the post-baking apparatus, and if they match, they are stored in the substrate storage apparatus (cassette).
次に、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム７０では、カラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置に基板が送り込まれる。検査装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、検査装置の入り口で、フラッグデータ６４の基板コードと履歴コードとの確認を行い、検査されるべき基板であると判断されると、カラーフィルタ基板の検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム７０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ７１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ７１と、工程管理システム７０で予め設定された基板コード、検査装置の識別コード、検査装置で検査される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム７０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ７１の履歴データには、カラーフィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるカラーフィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
Next, in the process management system 70 for inspecting the color filter substrate, a substrate storage device (cassette) in which the color filter substrate is stored is set, and an inspection in which a PLC (Programming Logic Controller) is mounted from the substrate loading device (cassette). A substrate is fed into the apparatus. Since the substrate code and the order of loading are set in the PLC (Programming Logic Controller) of the inspection device, the substrate code and the history code of the flag data 64 are confirmed at the entrance of the inspection device, and the substrate to be inspected. If it is determined, the color filter substrate is inspected.
Here, in the process management system 70, flag data 71 in which the identification code of the inspection apparatus and the history code processed by the inspection apparatus are attached to the substrate code is created and stored in the
Further, at the exit of the inspection apparatus, from the flag data 71 composed of the substrate code, the identification code, and the history code, the substrate code preset by the process management system 70, the identification code of the inspection apparatus, and the history code inspected by the inspection apparatus The confirmation operation with the set data is performed between the process management system 70 and the inspection apparatus, and if they match, they are stored in the next substrate storage apparatus (cassette). Here, since the history data of the flag data 71 stores the inspection result of the color filter substrate, the color filter substrate determined to be defective can be excluded at this point.
上記したように、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、工程管理システムの工程内装置毎に工程内装置の入り口と出口で、基板コード、識別コード、履歴コードの確認作業を進めながら製造工程の管理を行うので、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができる。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品１枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
As described above, the color filter substrate manufacturing process management system according to the present invention is proceeding with the process of checking the substrate code, identification code, and history code at the entrance and exit of the in-process device for each in-process device of the process management system. Since the manufacturing process is managed, the substrate that has been processed in each process can be reliably transferred to the next process.
In addition, when the color filter substrate extracted in the middle process is re-introduced, the substrate information can always be confirmed in the input process, so that it is possible to perform reliable process processing without skipping the process.
Furthermore, since the manufacturing management system of the color filter substrate manufacturing process management system according to the present invention stores the manufacturing conditions and the quality status of the product, it is possible to manufacture each product by performing analysis and analysis processing later. Conditions can be associated with pass / fail judgments, which can lead to future yield improvements.
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０……工程管理システム
１００……製造管理システム
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 ...
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