JP5454860B2 - 非破壊検査装置 - Google Patents
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検査対象物を透過した放射線により前記検査対象物を撮像するとともに、前記放射線を検出する相対的に高感度と相対的に低感度の少なくとも2種類で前記検査対象物の所定の領域の一部をそれぞれ撮像する放射線検出部と、前記放射線検出部を水平方向に移動させる移動手段と、前記放射線検出部により得る複数の領域の画像を同一感度の画像毎に合成して前記検出対象物の前記領域の全部の画像を合成する画像合成手段とを有する放射線検出装置であって、
前記放射線検出部は、感度が異なる少なくとも2種類の素子が、長手方向に沿って列状に配設された棒状に形成されており、
さらに前記移動手段と一体的に移動する調整部に基端部が固着されて鉛直方向に伸縮可能に形成した棒状の支持部材と、前記支持部材の先端部に配設されて前記棒状の放射線検出部の基端部を回動可能に支持することにより前記支持部材に対する前記放射線検出部の角度を調整可能に形成した接続部と、
水平方向に移動する他の移動手段、該移動手段と一体的に移動される他の調整手段、該他の調整手段に基端部が固着されて鉛直方向に伸縮可能に形成された他の支持部材、および前記他の支持部材の先端部に配設された放射線照射部を有するとともに、前記検査対象物を挟んで前記放射線照射部の反対側に配置される放射線照射装置と、
前記移動手段の移動、前記支持部材の伸縮、前記調整部による前記支持部材に対する前記放射線検出手段の角度を制御するとともに、少なくとも前記支持部材の伸縮による狭隘部内における前記放射線検出手段の進入または退出の際には、前記支持部材と放射線検出手段とを支障なく前記進入または退出させ得るように、前記支持部材に対する前記放射線検出器の角度を調整し、さらに前記画像合成手段による所定の画像合成を制御する制御部とを具備することを特徴とする非破壊検査装置にある。
本発明の第2の態様は、
第1の態様に記載する非破壊検査装置において、
前記放射線検出部は、感度が異なる少なくとも2種類の素子が、長手方向に沿って交互に配設されていることを特徴とする非破壊検査装置にある。
本発明の第3の態様は、
第1または第2の態様に記載する非破壊検査装置において、
前記放射線検出部は、2列で構成してあり、各列の基端部が、回動可能に前記接続部に取り付けられており、一方と他方が反対方向に回動し得るように構成してあることを特徴とする非破壊検査装置にある。
本発明の第4の態様は、
第1〜第3の態様の何れか一つに記載する非破壊検査装置において、
前記放射線照射部は、長手方向に伸びる棒状の部材として構成されるとともに、前記他の支持部材の先端部に配設された他の接続部に回動可能に、基端部が取付けられていることを特徴とする非破壊検査装置にある。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る非破壊検査装置を示す概略図である。同図に示すように、本形態に係るX線非破壊検査装置1は、検査対象物100の所定の領域の一部にX線を照射する機能を有するX線照射手段10と、X線照射手段10からの放射線を受けて検査対象物の所定の領域の一部を撮像する機能を有するX線検出装置20と、X線照射手段10及びX線検出装置20のそれぞれに接続されてX線照射手段10及びX線検出装置20の動作を制御する制御部30と、X線検出装置20に接続されてX線検出装置20により得られた検査対象物100の所定の領域の一部の画像をそれぞれ組み合わせて検査対象物100の全体の画像を得る画像合成部40とを具備している。
図4は本発明の第2の実施の形態に係る非破壊検査装置を示す概略図である。同図中、図1と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
の間に形成される狭隘部210の上方の空間内に配置されている。なお、図示しないが、検査対象物100には狭隘部210側からしか検査装置等が接近できないような構造となっている。そこで、本形態では、このような検査対象物100を挟むように、狭隘部210内を通してその空間内にX線照射部11及びX線検出部51A,51Bを配置し、以下に説明するようにして検査対象物100の所定の領域の画像を得る。
され、検査対象物100の領域R1全体を撮像していない場合には、検査対象物100全体を撮像するまで上述した処理が繰り返される。
100の領域R1全体の画像を、低感度及び高感度毎に合成する。
図9は本発明の第3の実施の形態に係るX線非破壊検査装置の放射線検出部を抽出・拡大して示す概略正面図である。本形態は図5に示すX線検出部51A,51Bの素子の並びを変更したものである。すなわちX線検出部51Aを構成する低感度の素子とX線検出部51Bを構成する高感度の素子とを交互に並べることにより全体を棒状に形成している。なお、図中の符号は錯綜を避けるためX線検出部51A,51Bの「51」を省略し、「A」、「B」のみを示している。すなわち、「A」が51A,「B」が51Bを表している。
第2の実施の形態に係るX線非破壊検査装置2では、X線検出装置50として、上述したようにX線検出部51A,51Bが支持部材22に対して所定の角度をなすように配置できるものを用いたが、本形態では、図10に示すようなX線検出部61A,61B、62A,62Bを用いている。ちなみに、図10は本形態におけるX線検出装置の一部を抽出して示す概略正面図である。
査対象物100の所定の領域全体の画像を得ることができる。
本形態ではX線照射部111として、X線検出部51A,51Bと同様に、支持部材12に対するX線照射部111の角度を変更することが可能な棒状のものを用いている。具体的には、図11に示すように、本形態におけるX線照射部111の幅方向中央部には、X線を放射するX線源が長手方向に沿って列状に配置されている。ここで、X線照射部111は接続部114を介して支持部材12に回動可能に接続されている。したがって、支持部材12に対してX線照射部111が所定の角度をなすように配置できる。
上述した実施の形態では、X線検出部の構成要素としてCdTe素子511,611を例に挙げて説明したがこれに限るものではない。X線検出部はリアルタイムでX線を検出して検査対象物100を撮像することができるものであれば特に限定されない。たとえば、X線検出部51A,51B、61A,61B、62A,62Bとして、CsIからなるシンチレータとCCDカメラとを組み合わせたものをX線検出部(51A,51B)乃至(62A,62B)の長手方向に列状に配置してもよい。
10,110 X線照射装置
11,111 X線照射部
12、22 支持部材
14,24,64 接続部
20,50,60 X線検出装置
21A,21B,51A,51B,61A,61B,62A,62B X線検出部
30 制御部
40 画像合成部
Claims (4)
- 検査対象物を透過した放射線により前記検査対象物を撮像するとともに、前記放射線を検出する相対的に高感度と相対的に低感度の少なくとも2種類で前記検査対象物の所定の領域の一部をそれぞれ撮像する放射線検出部と、前記放射線検出部を水平方向に移動させる移動手段と、前記放射線検出部により得る複数の領域の画像を同一感度の画像毎に合成して前記検出対象物の前記領域の全部の画像を合成する画像合成手段とを有する放射線検出装置であって、
前記放射線検出部は、感度が異なる少なくとも2種類の素子が、長手方向に沿って列状に配設された棒状に形成されており、
さらに前記移動手段と一体的に移動する調整部に基端部が固着されて鉛直方向に伸縮可能に形成した棒状の支持部材と、前記支持部材の先端部に配設されて前記棒状の放射線検出部の基端部を回動可能に支持することにより前記支持部材に対する前記放射線検出部の角度を調整可能に形成した接続部と、
水平方向に移動する他の移動手段、該移動手段と一体的に移動される他の調整手段、該他の調整手段に基端部が固着されて鉛直方向に伸縮可能に形成された他の支持部材、および前記他の支持部材の先端部に配設された放射線照射部を有するとともに、前記検査対象物を挟んで前記放射線照射部の反対側に配置される放射線照射装置と、
前記移動手段の移動、前記支持部材の伸縮、前記調整部による前記支持部材に対する前記放射線検出手段の角度を制御するとともに、少なくとも前記支持部材の伸縮による狭隘部内における前記放射線検出手段の進入または退出の際には、前記支持部材と放射線検出手段とを支障なく前記進入または退出させ得るように、前記支持部材に対する前記放射線検出器の角度を調整し、さらに前記画像合成手段による所定の画像合成を制御する制御部とを具備することを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1に記載する非破壊検査装置において、
前記放射線検出部は、感度が異なる少なくとも2種類の素子が、長手方向に沿って交互に配設されていることを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1または請求項2に記載する非破壊検査装置において、
前記放射線検出部は、2列で構成してあり、各列の基端部が、回動可能に前記接続部に取り付けられており、一方と他方が反対方向に回動し得るように構成してあることを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか一つに記載する非破壊検査装置において、
前記放射線照射部は、長手方向に伸びる棒状の部材として構成されるとともに、前記他の支持部材の先端部に配設された他の接続部に回動可能に、基端部が取付けられていることを特徴とする非破壊検査装置。
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