JP5453671B2 - 真空熱処理炉用シーリング機構 - Google Patents
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Description
Claims (30)
- 真空熱処理炉であって、
チャンバーを区画する壁を有する圧力容器と、
前記チャンバー内に配置されて、前記チャンバー内で冷却ガスを循環させるためのファンと、
前記圧力容器の外部に配置されたモータと、
前記圧力容器の前記壁に形成された開口を介して前記ファンと前記モータとに作動的に接続された駆動シャフトと、
前記圧力容器の前記壁に形成された前記開口に隣接して前記駆動シャフトの回りに配置された二重シール機構を有し、
前記二重シール機構が、
中央開口部を有する環状ハウジングと、
前記環状ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記環状ハウジングに配置されて、膨張した時に、前記駆動シャフトの回りに真空気密シールを提供する膨張可能な第一のシールと、
前記第一のシールに近接して前記環状ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記環状ハウジングに配置されて、前記駆動シャフトとの間にギャップが存在するように寸法付けされた内径を有する第二のシールと、
前記第二のシールに隣接して前記環状ハウジングに設けられて、前記駆動シャフトと前記第二のシールとの間の前記ギャップ内にパージング流体を誘導させるための第一のチャネルを有していることを特徴とする真空熱処理炉。 - 前記膨張可能な第一のシールが、前記中央開口部の回りに形成された環状凹部と、前記環状凹部内に配置されたリング状の膨張可能なチューブと、前記チューブを加圧流体で膨張させるために前記リング状の膨張可能なチューブに接続された手段を有していることを特徴とする、請求項1に記載の真空熱処理炉。
- 前記膨張可能なシールが、前記膨張可能なリング状チューブに接続されて膨張した当該チューブを収縮させるための手段を含んでいることを特徴とする、請求項2に記載の真空熱処理炉。
- 前記第二のシールと前記駆動シャフトとの間の前記ギャップが、前記圧力容器の内部が冷却ガスで加圧された時に、前記圧力容器の内部と外部環境との間でのガス漏れを規制することを可能にするように寸法付けされていることを特徴とする、請求項1に記載の真空熱処理炉。
- 前記ガス漏れの率が前記圧力容器内の冷却ガス圧を変化させることのないように、前記ギャップの間隔が0.05〜0.125mmに設定されていることを特徴とする、請求項4に記載の真空熱処理炉。
- 前記第二のシールが、
前記環状ハウジングの前記中央開口部内に嵌り合うように寸法付けされた外径を有する環状本体と、
前記環状本体の内周回り形成された周方向の第一の溝と、
前記周方向の第一の溝から前記環状本体の外側面まで半径方向に伸びた複数の開口を有し、前記第一の溝と前記複数の開口とが、前記第一のチャネルと整列するように前記環状本体に設けられていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の真空熱処理炉。 - 前記第二のシールが、前記環状本体の内周面回りに形成された一つの第二の周方向の溝と、前記第二の周方向の溝内に配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記第二のシールが、前記第一の周方向の溝の両側に夫々位置するように前記環状本体の内周面回りに形成された二つの第二の周方向の溝と、当該二つの第二の周方向の溝内に夫々配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記環状ハウジングが半径方向に伸びた第二のチャネルを有し、前記第二のチャネルが、前記第一のチャネルと連通する第一の端部と、前記環状ハウジングの外側面で開口している第二の端部を有し、それにより、加圧流体が前記第一の周方向の溝内に誘導されるようになっていることを特徴とする、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記圧力容器の前記壁に取り付けられた支持プレートを有し、前記モータが前記支持プレートの外側に配置され、前記二重シール機構が前記支持プレートの内側に配置され、前記支持プレートが前記二重シール機構を冷却するための冷却媒体を誘導するためのチュービングのコイルを備えていることを特徴とする、請求項1に記載の真空熱処理炉。
- 真空熱処理炉においてファン駆動シャフトの回りに配置されて、該駆動シャフトをシーリングするためのシーリング装置であって、
中央開口部を有する環状ハウジングと、
前記ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記環状ハウジングに配置されて、膨脹した時に、前記駆動シャフトの回りに真空気密シールを提供する膨張可能な第一のシールと、
前記ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記膨張可能な第一のシールに近接して前記環状ハウジングに配置された第二のシールと、
前記第二のシールに近接して前記環状ハウジングに形成されて、前記中央開口部内にパージング流体を誘導させるための第一のチャネルを有していることを特徴とするシーリング装置。 - 前記膨張可能な第一のシールが、
前記中央開口部を取り囲んで前記環状ハウジングに形成された環状凹部と、
前記環状凹部内に配置された膨張可能なリング状チューブと、
前記膨張可能なリング状チューブに接続されて前記チューブを圧力流体で膨張させるための手段を有していることを特徴とする、請求項11に記載のシーリング装置。 - 前記膨張可能な第一のシールが、前記膨張可能なリング状チューブに接続されて膨張された前記膨張可能なチューブを収縮させるための手段を有していることを特徴とする、請求項12に記載のシーリング装置。
- 前記第二のシールが、
前記環状ハウジングの前記中央開口部内に嵌り合うように寸法付けされた外径を有する環状本体と、
前記環状本体の内周回りに形成された第一の周方向の溝と、
前記第一の周方向の溝から前記環状本体の外側面まで半径方向に伸びた複数の開口を有し、前記第一の周方向の溝と前記複数の開口とが、前記第一のチャネルと整列するように前記環状本体に設けられていることを特徴とする、請求項11に記載のシーリング装置。 - 前記第二のシールが、前記環状本体の内周面回りに形成された一つの第二の周方向の溝と、前記第二の周方向の溝内に配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項14に記載のシーリング装置。
- 前記第二のシールが、前記第一の周方向の溝の両側に夫々位置するように前記環状本体の内周面回りに形成された二つの第二の周方向の溝と、当該二つの周方向の溝内に夫々配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項14に記載のシーリング装置。
- 前記環状ハウジングが半径方向に伸びた第二のチャネルを有し、前記第二のチャネルが、前記第一のチャネルと連通する第一の端部と、前記環状ハウジングの外側面で開口している第二の端部を有し、それにより、加圧流体が前記第一の周方向の溝内に誘導されるようになっていることを特徴とする、請求項14に記載のシーリング装置。
- 前記第二のシールが、
前記環状ハウジングの前記中央開口部と嵌り合うように寸法付けされた外径と駆動シャフト上に嵌り合うように寸法付けされた中央開口部とを有するスリーブと、
前記環状ハウジングの中央開口部の周回りに形成された第一の周方向の溝と、
前記第一の周方向の溝と連通した第一の端部と前記環状ハウジングの外側面で開口している第二の端部とを有する半径方向へ伸びた第二のチャネルを有し、それにより、圧力流体を前記第一の周方向の溝内に誘導させることができるようになっている、請求項11に記載のシーリング装置。 - 前記環状ハウジングが、前記環状ハウジングの内周回りに形成された一つの第二の周方向の溝と、前記第二の周方向の溝内に配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項18に記載のシーリング装置。
- 前記環状ハウジングが、前記環状ハウジングの内周回りに形成された三つの第二の周方向の溝と、前記三つの第二の周方向の溝の各々内に配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項18に記載のシーリング装置。
- チャンバーを区画する壁を有する圧力容器と、前記チャンバー内に配置されて、前記チャンバー内で冷却ガスを循環させるためのファンを有する真空熱処理炉におけるファン駆動システムであって、
前記圧力容器の外部に配置されたモータと、
前記圧力容器の前記壁に形成された開口を介して前記ファンと前記モータとに作動的に接続された駆動シャフトと、
前記圧力容器の前記壁に形成された前記開口に隣接して前記駆動シャフトの回りに配置された二重シール機構を有し、
前記二重シール機構が、
中央開口部を有する環状ハウジングと、
前記環状ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記環状ハウジングに配置されて、膨張した時に、前記駆動シャフトの回りに真空気密シールを提供する膨張可能な第一のシールと、
前記第一のシールに近接して前記環状ハウジングの前記中央開口部と前記駆動シャフトとを取り囲むように前記環状ハウジングに配置されて、前記駆動シャフトとの間にギャップが存在するように寸法付けされた内径を有する第二のシールと、
前記第二のシールに隣接して前記環状ハウジングに設けられて、前記駆動シャフトと前記第二のシールとの間の前記ギャップ内にパージング流体を誘導させるための第一のチャネルを有していることを特徴とするファン駆動システム。 - 前記膨張可能な第一のシールが、前記環状ハウジングの前記中央開口部の周回りに形成された環状凹部と、前記環状凹部内に配置されたリング状の膨張可能なチューブと、前記チューブを加圧流体で膨張させるために前記リング状の膨張可能なチューブに接続された手段を有していることを特徴とする、請求項21に記載のファン駆動システム。
- 前記膨張可能なシールが、前記膨張可能なチューブに接続されて膨張した当該チューブを収縮させるための手段を含んでいることを特徴とする、請求項22に記載のファン駆動システム。
- 前記第二のシールと前記駆動シャフトとの間の前記ギャップが、前記圧力容器の内部が冷却ガスで加圧された時に、前記圧力容器の内部と外部環境との間のガス漏れを規制することを可能にするように寸法付けされていることを特徴とする、請求項22に記載のファン駆動システム。
- 前記ガス漏れの率が前記圧力容器内の冷却ガス圧を変化させることのないように、前記ギャップの間隔が0.05〜0.125mmに設定されていることを特徴とする、請求項24に記載のファン駆動システム。
- 前記第二のシールが、
前記環状ハウジングの前記中央開口部内に嵌り合うように寸法付けされた外径を有する環状本体と、
前記環状本体の内周回り形成された第一の周方向の溝と、
前記第一の周方向の溝から前記環状本体の外側面まで半径方向に伸びた複数の開口を有し、前記第一の周方向の溝と前記複数の開口とが、前記第一のチャネルと整列するよう前記環状本体に設けられていることを特徴とする、請求項21又は22に記載のファン駆動システム。 - 前記第二のシールが、前記環状本体の内周面回りに形成された一つの第二の周方向の溝と、前記第二の周方向の溝内に配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項26に記載のファン駆動システム。
- 前記第二のシールが、前記第一の周方向の溝の両側に夫々位置するように前記環状本体の内周面回りに形成された二つの周方向の溝と、当該二つの周方向の溝内に夫々配置されたパッキング材を有していることを特徴とする、請求項26に記載のファン駆動システム。
- 前記環状ハウジングが半径方向に伸びた第二のチャネルを有し、前記第二のチャネルが、前記第一のチャネルと連通する第一の端部と、前記環状ハウジングの外側面で開口している第二の端部を有し、それにより、加圧流体が前記第一の周方向の溝内に誘導されるようになっていることを特徴とする、請求項26に記載のファン駆動システム。
- 前記圧力容器の前記壁に取り付けられた支持プレートを有し、前記モータが前記支持プレートの外側に配置され、前記二重シール機構が前記支持プレートの内側に配置され、前記支持プレートが前記二重シール機構を冷却するための冷却媒体を誘導するためのチュービングのコイルを備えていることを特徴とする、請求項21に記載のファン駆動システム。
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