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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Wellendichtungsmodul zum Abdichten
zwischen einer Welle und einem Gehäuse, mit einer innerhalb des
Gehäuses
drehbar gelagerten Buchse, durch welche die Welle konzentrisch hindurchgeführt und
die auf der Welle zur Drehmitnahme gehalten ist, wobei die Buchse
auf der Welle durch mehrere elastische Ringe statisch abgedichtet
ist und gegenüber
dem Gehäuse
durch mehrere Radialwellendichtringe mit elastomeren an die Buchse
angedrückten
Dichtlippen dynamisch abgedichtet ist, entsprechend dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
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Beispielsweise
finden Herstellungsverfahren im Halbleiterbereich zu einem großen Teil
unter Vakuum statt, insbesondere Beschichtungsverfahren. Bei diesen
Verfahren sind die beispielsweise zu beschichtenden Substrate zu
bewegen. Da die Antriebselemente hierfür in der Regel auf der atmosphärischen
oder Normaldruckseite dieser Maschinen bzw. Anlagen angebracht sind,
können
die Substrate nur bewegt werden, wenn Drehbewegungen über eine abgedichtete
Welle in das evakuierte System übertragen
werden.
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Die
in Rede stehenden Verfahren finden häufig bei sehr hohen Unterdrücken, nicht
selten bei 10–8 mbar,
statt. Um dennoch mit kleindimensionierten Vakuumpumpen arbeiten
zu können
und um zu vermeiden, daß für diese
Verfahren schädliche
Gase (O2, N2, CO2) über
die Wellenanordnung vom Normaldruckraum her in den Hochvakuumraum
eindringen können,
sind an die Wellendichtung sehr hohe Anforderungen zu stellen.
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Bekannt
ist bei solchen Wellendichtungen die Verwendung einer "magnetischen Flüssigkeit", bestehend aus einer
Suspension ferritischer Nanoteilchen in einem Öl mit hohem Dampfdruck, die über eine
besondere Anordnung von Magneten und Polschuhen in einem Spalt um
die sich drehende Welle gehalten wird. Da aber derartige Beschichtungsverfahren
zum Teil in einem hochfrequenten elektrischen Feld stattfinden,
ist die Anwendung "magnetischer
Flüssigkeiten" in solchen Fällen nicht
möglich, weil
durch die Magnete der Wellendichtungen die an der Oberfläche fließenden hochfrequenten
Ströme nur
schwer, wenn überhaupt,
kontrollierbar sind und derartige Wellendichtungen durch die fließenden Ströme zerstört werden
können
und damit unwirksam werden.
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Bei
einer bekannten Wellenabdichtung der eingangs angegebenen Ausbildung
(
DE 199 13 821 C2 )
ist die Buchse, dort als Wellenschonhülse bezeichnet, zwar gegenüber der
Welle mittels zweier Dichtringe statisch abgedichtet, die drehfeste
Mitnahme der Buchse durch die Welle wird jedoch bei einer Ausführungsform
(
2) durch eine Spannkeileinrichtung und bei einer
anderen Ausführungsform (
1)
durch eine Stiftschraube herbeigeführt.
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Bei
einem bekannten Dichtmechanismus zum Abdichten einer Vakuumkammer
(
DE 199 51 317 A1 )
sind zwei Fluidkammern durch drei Dichtringe unmittelbar an der
Welle gebildet, die mit unterschiedlichem Unterdruck betrieben werden.
Hier fehlt eine an der Welle festgelegte Buchse, so daß das Problem
der erforderlichen statischen Abdichtung zwischen Welle und Buchse
nicht gegeben ist.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Wellendichtungsmodul bereitzustellen,
welches ohne "magnetische
Flüssigkeiten" auskommt, zuverlässig über lange
Standzeiten den Wellenübergang zwischen
einem Normaldruckraum und einem Hochvakuumraum abdichtet und dennoch
einen vergleichsweise einfachen Aufbau aufweist.
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Die
gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Patentanspruch
1 angegebenen Merkmale gelöst.
Vorteilhafte oder zweckmäßige Weiterbildungen
gehen aus den Unteransprüchen
hervor und werden nachfolgend ebenfalls näher beschrieben.
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Ausgehend
von der eingangs angegebenen Ausbildung des Wellendichtungsmoduls
ist dieses gemäß Anspruch
1 dadurch gekennzeichnet, daß die Welle
dazu bestimmt ist, von einem Normaldruckraum aus drehend antreibbar
in einen Hochvakuumraum hineinzureichen, wobei die Buchse ausschließlich durch
die elastischen Ringe auf der Welle im Reibschluß gehalten ist, und daß zwischen
den Radialwellendichtringen ein Vorvakuumraum mit Zwischenabsaugung
für eine
zweistufige dynamische Abdichtung vorgesehen ist, der mit den Räumen zwischen
den elastischen Ringen durch in der Buchse angebrachte Kanäle verbunden
ist.
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Mit
der Erfindung wird ein getrennt von der Welle und der Wellendurchführung durch
die den Normaldruckraum von dem Hochvakuumraum trennende Behälterwandung
od.dgl. herstellbares und handhabbares Wellendichtungsmodul bereitgestellt, das
im wesentlichen auf die passende Welle aufgeschoben und an der Behälterwandung
od.dgl. dicht zu befestigen ist.
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Durch
die Anordnung mehrerer Radialwellendichtringe wird vorteilhaft die
Schaffung eines Vorvakuumraums für
eine Zwischenabsaugung ermöglicht.
Dadurch ergibt sich einerseits eine zweistufige dynamische Abdichtung,
und andererseits wird der Vorvakuumraum auch mit den zwischen den
elastischen Ringen, der Welle und der Buchse gebildeten Räumen verbunden,
wodurch mit einer einzigen Zwischenabsaugung sowohl auf die dynamische
als auch auf die statische Abdichtung im Sinne einer Erhöhung der
Abdichtwirkung eingewirkt wird.
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Die
elastischen Ringe, die vorzugsweise als O-Ringe ausgebildet sind,
sind gemäß Anspruch
2 zweckmäßig in Ringnuten
der Buchse gehalten. Über die
Wahl der Nuttiefe, der Nutbreite und der O-Ringabmessungen ist die
Anpressung festlegbar, mit der die Welle mit der Buchse im Reibschluß verbunden ist.
Die erforderliche Höhe
der Anpreßkraft
richtet sich nach dem Reibmoment, welches die Radialwellendichtringe
durch die Anpressung der Dichtlippen auf die Buchse unter Betriebsbedingungen ausübt, zuzüglich der
Rollreibung der Wälzlager, über welche die
Buchse gemäß Anspruch
3 drehbar im Gehäuse gelagert
ist. Die Wälzlager,
vorzugsweise zwei aneinanderliegende Rillenkugellager, sind dem
Normaldruckraum benachbart angeordnet und daher keinem Unterdruck
ausgesetzt.
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Um
HF-Überschläge zwischen
dem feststehenden Teil und den beweglichen Teilen des Wellendichtungsmoduls
zu verhindern, sind Buchse und Welle gegenüber dem Gehäuse in Weiterführung des Erfindungsgedankens
elektrisch isoliert, wie das aus Anspruch 4 hervorgeht. Hierfür ist die
Anordnung entsprechend Anspruch 5 zweckmäßig so getroffen, daß die äußeren Wälzlagerringe
in einer am Gehäuse
abgestützten
Isolierbuchse sitzen. Dadurch sind HF-Übergänge an den Wälzlagerkörpern, ggf.
den Kugeln, und eine Zerstörung
der Lagerung durch HF-Überschlag
ausgeschlossen. Durch die im Anspruch 6 aufgeführten Maßnahmen wird sichergestellt,
daß die
Buchse das gleiche elektrische Potential hat wie die Welle.
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Die
bevorzugte Anzahl und Anordnung der Radialwellendichtringe sowie
die Bildung des Vorvakuumraums mittels eines Distanzrings innerhalb
der Radialringanordnung geht aus Anspruch 7 hervor. Der Distanzring
kann zur Verbindung des Vorvakuumraums mit einer Vakuumpumpe auf
die im Anspruch 8 angegebene Weise ausgebildet sein.
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Die
Verbindung des Vorvakuumraums mit den Räumen zwischen den elastischen
Ringen kann durch die im Anspruch 9 angegebene besondere Ausgestaltung
der Buchse realisiert werden.
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Die
Ansprüche
10 und 11 betreffen die bevorzugte Anordnung der Wälzlager
an der Buchse bzw. im Gehäuse.
Die im Anspruch 12 aufgeführten
Maßnahmen
dienen der zentrierenden Anbringung des Wellendichtungsmoduls an
einer den Hochvakuumraum begrenzenden Wandung und der Abdichtung gegenüber dieser
Wandung.
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Eine
erste Atmosphärenbohrung
im Gehäuse
sorgt gemäß Anspruch
13 dafür,
daß vor
dem den Wälzlagern
benachbarten ersten Radialwellendichtring atmosphärischer
Druck anliegt. Die im Anspruch 14 angegebene zweite Atmosphärenbohrung
stellt sicher, daß auch
vor dem äußeren elastischen
Ring Normaldruck vorhanden ist. Die Atmosphärenbohrungen dienen auch als
Kanäle
für die
Zuführung
von Helium bei der Dichtheitsprüfung
des Wellendichtungsmoduls durch Messung der Leckrate.
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Eine
Demontagebohrung entsprechend Anspruch 15 ermöglicht eine Entfernung der
Radialwellendichtringe aus dem Gehäuse, beispielsweise für Wartungsarbeiten.
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Weitere
Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend anhand der ein bevorzugtes
Ausführungsbeispiel
des Wellendichtungsmoduls darstellenden Zeichnungen näher erläutert. Darin
zeigt:
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1 eine
Axialansicht des Wellendichtungsmoduls von der Hochvakuumseite her
gesehen und ohne Welle,
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2 den
Schnitt durch das Wellendichtungsmodul entsprechend der abgeknickten
Schnittverlaufslinie II-II in 1 mit eingezeichneter
Welle und
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3 den
in einem vergrößerten Maßstab dargestellten
abgebrochenen Schnitt durch das Wellendichtungsmodul entsprechend
der Schnittverlaufslinie III-III
in 1, ohne Wellendarstellung.
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Wie
aus den 2 und 3 hervorgeht, besitzt
das Wellendichtungsmodul ein Gehäuse 1, dessen
Außenumfang
im wesentlichen zylindrisch ausgebildet ist. Im Gehäuse 1 und über dessen axiale
Länge durchgehend
ist eine mit dem zylindrischen Außenumfang konzentrische Stufenbohrung 2 vorgesehen,
welche auf noch zu beschreibende Weise die übrigen Teile des Wellendichtungsmoduls
aufnimmt. Das Gehäuse 1 besitzt
auf seiner dem Hochvakuumraum 3 zugekehrten Seite einen
mit der Stufenbohrung 2 konzentrischen zylindrischen Montagevorsprung 4,
der zur passenden Aufnahme in einer entsprechenden hohlzylindrischen
Vertiefung 5 in der den Hochvakuumraum 3 begrenzenden
bzw. einschließenden
Wandung 6 vorgesehen ist. Der Montagevorsprung 4 schließt mit einer
planen Stirnfläche 7 ab,
in welcher sich eine Aufnahmenut 8 für einen Dichtring 9 befindet,
welcher der statischen Abdichtung gegenüber der Wandung 6 dient,
wenn das Wellendichtungsmodul an der Wandung 6 montiert
ist. Die Montage des Wellendichtungsmoduls erfolgt durch mehrere
Schrauben 10, die durch die Wandung 6 hindurchreichen
und in entsprechende Gewindebohrungen 11 des Gehäuses 1 eingeschraubt sind.
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Innerhalb
des Gehäuses 1 ist
eine im wesentlichen hohlzylindrische Buchse 12 drehbar
gelagert. Hierfür
sind zwei dem Normaldruckraum 13 benachbart angeordnete
Wälzlager 14,
im gezeigten Beispiel Rillenkugellager, vorgesehen. Einerseits stützt sich
der eine innere Wälzlagerring 15 der
Wälzlager 14 an
einer Ringschulter 16 der Buchse 12 ab, während andererseits
der andere außenliegende
innere Wälzlagerring 15 einer
Ringmutter 17 anliegt, die auf ein Außengewinde 18 der
Buchse 12 aufgeschraubt ist.
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Die äußeren Wälzlagerringe 19 sitzen
in einer Isolierbuchse 20 aus elektrisch nichtleitendem Material
ausreichender Festigkeit. Die Isolierbuchse 20 besitzt
einen nach innen gerichteten Ringflansch 21, an welchem
sich die beiden äußeren Wälzlagerringe 19 abstützen. Zwischen
den beiden äußeren Wälzlagerringen 19 befindet
sich ein Zwischenring 55, wie am besten in 3 zu
erkennen ist. Die Isolierbuchse 20 ihrerseits stützt sich
axial an einer Ringstufe 22 der Stufenbohrung 2 ab.
Radial stützt sich
die Isolierbuchse 20 an einem mittleren Durchmesserabschnitt 23 der
Stufenbohrung 2 ab. Auf ein Innen gewinde 24 der
Stufenbohrung 2 ist ein Gewindering 25 aus elektrisch
isolierendem Material ausreichender Festigkeit aufgeschraubt, welcher dem
außenliegenden
der äußeren Wälzlagerringe 19 anliegt.
Auf diese Weise sind die Buchse 12 und die durch die Buchse 12 auf
noch zu beschreibende Weise hindurchgeführte Welle 26 gegenüber dem
Gehäuse 1 elektrisch
isoliert. Die Buchse 12 ist mit der Welle 26 über einen
metallischen Federring 27, der in einer Aufnahmenut 28 der
Buchse 12 sitzt, elektrisch leitend verbunden.
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Die
Buchse 12 ist auf der Welle 26 durch eine Mehrzahl
elastischer Ringe 29, im gezeichneten Ausführungsbeispiel
durch acht O-Ringe, statisch abgedichtet im Reibschluß gehalten.
Die elastischen Ringe 29 sind in Ringnuten 30 eingelegt,
die sich in der Innenwandfläche 31 der
Buchse 12 befinden.
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Gegenüber dem
Gehäuse 1 ist
die Buchse 12 durch mehrere Radialwellendichtringe 32, 33 und 34 abgedichtet.
Diese Radialwellendichtringe sind von an sich bekannter Bauart und
besitzen Dichtlippen 35 bzw. 36 bzw. 37,
die jeweils durch Schraubenzugfedern 38 an die Buchse 12 angedrückt werden. Im
Ausführungsbeispiel
sind drei Radialdichtringe 32, 33 und 34 vorgesehen,
wobei zwischen ihnen auf die nachfolgend noch näher beschriebene Weise ein Vorvakuumraum 39 mit
Zwischenabsaugung für
eine zweistufige dynamische Abdichtung zwischen der Buchse 12 und
dem Gehäuse 1 vorgesehen
ist.
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Wie
am besten aus 3 hervorgeht, ist die Anordnung
der Radialwellendichtringe 32, 33 und 34 so
getroffen, daß der
den Wälzlagern 14 benachbarte Radialwellendichtring 32 mit
seiner Dichtlippe 35 dem Normaldruckraum 13 zugekehrt
ist und mit seiner Rückenfläche 40 einem
Distanzring 41 anliegt. Dieser zwischen die Radialwellendichtringe 32 und 33 eingelegte
Distanzring 41 bildet den Vorvakuumraum 39. Die
beiden anderen Radialwellendichtringe 33 und 34 sind
dem Hochvakuumraum 3 benachbart und liegen mit ihren Rückenflächen aneinander.
Dabei stützen
sie sich einerseits, nämlich
mit dem Radialwellendichtring 33, an dem Distanzring 41 und
andererseits, nämlich mit
dem Radialwellendichtring 34, an einer Ringstufe 42 der
Stufenbohrung 2 ab. Mit ihren Außenumfangsflächen stützen sich
die Radialwellendichtringe 32, 33 und 34 an
einem Durchmesserabschnitt 47 der Stufenbohrung 2 ab,
dessen Durchmesser kleiner ist als derjenige des mittleren Durchmesserabschnitts 23.
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Im
Distanzring 41 sind Radialbohrungen 43 vorgesehen,
die von einer Umfangsnut 44 des Distanzringes 41 ausgehend
den Vorvakuumraum 39 mit einem in eine Gehäusebohrung 45 dicht
eingesetzten Vakuumanschlußstutzen 46 verbinden.
Der Vorvakuumraum 39 wird von dem Distanzring 41 und den
beiden benachbarten Radialwellendichtungen 32 und 33 begrenzt
und steht über
einen Kanal 48 in der Wand der Buchse 12 mit einem
Sammelkanal 49 in Verbindung, der sich ebenfalls in der
Wand der Buchse 12 befindet. Der Sammelkanal 49 wird
von einer zur Buchsenachse parallel verlaufenden Sackbohrung gebildet,
die nach dem Einbringen in die Buchsenwand dicht verschlossen wird,
z.B. durch einen Schweißpunkt
oder durch einen Verschlußstopfen 56.
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Der
Sammelkanal 49 steht über
Radialkanäle 50 mit
den Räumen
zwischen den elastischen Ringen 29 in Verbindung, so daß ein über den
Vakuumanschlußstutzen 46 angelegtes
Vorvakuum sich bis zu den Räumen
zwischen den elastischen Ringen 29 auswirkt. Diese Räume sind
enge Spalträume,
die seitlich jeweils von zwei elastischen Ringen 29 und durch
axiale Umfangsabschnitte der Innenwandfläche 31 der Buchse 12 und
des Außenumfangs
der Welle 26 begrenzt sind.
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Die
Betriebsweise des an der Wandung 6 dicht montierten Wellendichtungsmoduls
wird nachfolgend näher
beschrieben.
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Die
Welle 26, die bei den meisten Anwendungen mit niedriger
Drehzahl angetrieben wird, beispielsweise mit 20 min–1,
nimmt über
den beschriebenen Reibschluß die
Buchse 12 schlupffrei drehend mit. Über den Vakuumanschlußstutzen 46 wird
ein in der Regel durch eine Spaltringpumpe erzeugtes Vorvakuum angelegt,
dessen Qualität
im Vergleich zu dem durch Turbomolekularpumpen erzeugten Vakuum
im Hochvakuumraum 3 geringer ist. Unter der Einwirkung
des Vorvakuums legt sich die durch den Atmosphärendruck beaufschlagte Dichtlippe 35 des ersten
Radialwellendichtrings 32 dicht an die sich mit der Welle
drehende Buchse an. Gleichzeitig wirkt das Vorvakuum auf die Räume zwischen
den elastischen Ringen 29 und bildet eine Gassperre für von außen aus
dem Normaldruckraum 13 über
die statische Abdichtung eindringende Gase.
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Die
beiden anderen Radialwellendichtringe 33 und 34 entfalten
ihre Wirksamkeit auf zweierlei Weise. Bei Betrieb mit Vorvakuum
legt sich die Dichtlippe 36 des zweiten Radialwellendichtrings 33 infolge
der Druckdifferenz zwischen dem Vorvakuum im Vorvakuumraum 39 und
dem hinter dem Radialwellendichtring 33 anstehenden Hochvakuum
dicht an die Buchse 12 an. Die beiderseits mit dem Hochvakuum
beaufschlagte Dichtlippe 37 des dritten Radialwellendichtrings 34 wird
von der zugeordneten Schraubenzugfeder 38 an die Buchse 12 angedrückt. Falls
das Vorvakuum gebrochen wird, steht der Atmosphärendruck vor dem zweiten Radialwellendichtring 33 an
und legt dessen Dichtlippe 36 unter der Einwirkung der
großen
Druckdifferenz zwischen Atmosphärendruck
und Hochvakuum dicht der Buchse 12 an, wodurch mit der
gleichen Intensität
abgesperrt wird wie im Betrieb mit Vorvakuum. Auch hierbei wird die
Dichtlippe 37 des letzten Radialwellendichtrings 34 durch
die zugehörige
Schraubenzugfeder 38 der Buchse 12 angelegt. Auf
diese Weise besitzt das erfindungsgemäße Wellendichtungsmodul eine
Sicherheitsreserve.
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Weitere
Moduleinheiten, z.B. zum gezielten Einbringen von Prozeßgasen oder
Kühlflüssigkeiten, lassen
sich mit dem gleichen Funktionsprinzip auf der Welle 26 montieren
und hintereinander mit dem Wellendichtungsmodul statisch abgedichtet
verbinden.
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Wie
aus 2 hervorgeht ist im Gehäuse 1 unweit des Vakuumanschlußstutzens 46 eine
erste radial gerichtete Atmosphärenbohrung 51 angeordnet,
welchen den das Wellendichtungsmodul umgebenden Normaldruckraum 13 mit
der Stufenbohrung 2 des Gehäuses 1 vor dem den
Wälzlagern 14 benachbarten
ersten Radialwellendichtring 32 über eine radial angeordnete
Entgasungsnut 54 in der Isolierbuchse 20 verbindet,
wie in 2 angedeutet ist. Aus 3 geht eine
zweite Atmosphärenbohrung 52 hervor,
die ebenfalls radial gerichtet im Gehäuse 1 angeordnet ist.
Die Atmosphärenbohrung 52 ist
außen
vor den Wälzlagern 14 vorgesehen
und stellt sicher, daß auch
vor dem äußeren elastischen
Ring 29 zwischen Buchse 12 und Welle 26 Normaldruck
anliegt, insbesondere wenn an das Wellendichtungsmodul eine weitere
Moduleinheit statisch abgedichtet angeschlossen ist (nicht dargestellt).
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Durch
die Atmosphärenbohrungen 51 und 52 hindurch
kann bei der Dichtheitsprüfung
des Wellendichtungsmoduls Helium zugeführt werden. Die Leckrate, d.h.
die Menge des durch das Wellendichtungsmodul hindurchgetretenen
Heliums, kann dann mittels eines mit dem Hochvakuumraum 3 verbundenen
bzw. verbindbaren Heliumdetektors (nicht dargestellt) nachgewiesen
werden. Die mit dem erfindungsgemäßen Wellendichtungsmodul erzielbaren Leckraten
sind außerordentlich
niedrig. Es wurden Leckraten von nur Q < 10–6 mbar1s nachgewiesen.
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Wie
aus den 1 und 3 hervorgeht, können im
Gehäuse 1 achsparallel
zu der Stufenbohrung 2 mehrere Demontagebohrungen 53 vorgesehen
sein, beispielsweise vier umfänglich
mit gleichen Winkelabständen
gleichmäßig verteilt
angeordnete Demontagebohrungen, von denen in 3 nur eine dargestellt
ist. Durch die Montagebohrungen 53 hindurch können die
Radialwellendichtringe 32 bis 34 mittels geeigneter
Werkzeuge (nicht dargestellt) aus der Stufenbohrung 2 ausgeschoben
werden.
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Vorgeschlagen
wird ein Wellendichtungsmodul zum Abdichten einer Welle, die von
einem Normaldruckraum aus drehend antreibbar in einen Hochvakuumraum
hineinreicht. Wesentlich für
das erfindungsgemäße Wellendichtungsmodul
ist, daß die
dynamische Abdichtung der Welle nicht an der Welle selbst erfolgt,
son dern an einer drehbar in einem Gehäuse gelagerten Buchse, durch
welche die Welle hindurchgeführt
ist und die auf der Welle durch elastische Ringe statisch abgedichtet
im Reibschluß gehalten
ist, so daß sich
die Buchse mit der Welle dreht. Die dynamische Abdichtung zwischen
Buchse und Gehäuse übernehmen
mehrere Radialwellendichtringe, deren Anordnung vorzugsweise so
getroffen ist, daß zwischen
ihnen ein Vorvakuumraum mit Zwischenabsaugung vorgesehen ist, so
daß eine zweistufige
dynamische Abdichtung vorhanden ist, wobei das Vorvakuum auch auf
die statische Abdichtung zwischen Buchse und Welle im Sinne einer
Gasdurchtrittssperre zum Hochvakuumraum hin einwirkt.
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- 1
- Gehäuse
- 2
- Stufenbohrung
- 3
- Hochvakuumraum
- 4
- Montagevorsprung
- 5
- Vertiefung
- 6
- Wandung
- 7
- Stirnfläche
- 8
- Aufnahmenut
- 9
- Dichtring
- 10
- Schrauben
- 11
- Gewindebohrungen
- 12
- Buchse
- 13
- Normaldruckraum
- 14
- Wälzlager
- 15
- innere
Wälzlagerringe
- 16
- Ringschulter
- 17
- Ringmutter
- 18
- Außengewinde
- 19
- äußere Wälzlagerringe
- 20
- Isolierbuchse
- 21
- Ringflansch
- 22
- Ringstufe
- 23
- mittlerer
Durchmesserabschnitt
- 24
- Innengewinde
- 25
- Gewindering
- 26
- Welle
- 27
- Federring
- 28
- Aufnahmenut
- 29
- elastische
Ringe
- 30
- Ringnuten
- 31
- Innenwandfläche
- 32
- Radialwellendichtring
- 33
- Radialwellendichtring
- 34
- Radialwellendichtring
- 35
- Dichtlippe
- 36
- Dichtlippe
- 37
- Dichtlippe
- 38
- Schraubenzugfeder
- 39
- Vorvakuumraum
- 40
- Rückenfläche
- 41
- Distanzring
- 42
- Ringstufe
- 43
- Radialbohrungen
- 44
- Umfangsnut
- 45
- Gehäusebohrung
- 46
- Vakuumanschlußstutzen
- 47
- Durchmesserabschnitt
- 48
- Kanal
- 49
- Sammelkanal
- 50
- Radialkanäle
- 51
- erste
Atmosphärenbohrung
- 52
- zweite
Atmosphärenbohrung
- 53
- Demontagebohrung
- 54
- Entgasungsnut
- 55
- Zwischenring
- 56
- Verschlußstopfen