CN114574941B - 一种单晶炉用cdd内置相机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉用CDD内置相机，包括外壳、第一密封垫、第二密封垫和CCD相机，所述外壳的上方固定设置有第一密封垫，所述第一密封垫外侧的外壳内固定设置有第二密封垫，所述第二密封垫的内部和第一密封垫的外侧均抓都不敢安装有第二转环，所述第二转环和相邻第二转环之间转动连接有第一转环，第二转环的表面设置有第三密封垫，所述第一转环的表面固定设置有转柄，所述第一转环的内部固定设置有第一转轮。本发明的有益效果是：该单晶炉用CDD内置相机在使用时能够在调节摄像头朝向的同时实现二次密封，提升了装置的使用效果，而且还能够从炉外调节并观察摄像头的摆放角度。

Description

一种单晶炉用CDD内置相机

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉用CDD内置相机。

背景技术

单晶炉用于生产单晶硅，单晶硅用于生产半导体材料，随着半导体的需求量增大和生产质量要求的增加，对单晶炉的功能需求也逐渐增加，单晶炉内置相机用于观察拉晶情况，一些单晶炉内置相机在使用时还存在一些问题：

现有的单晶炉内置相机在使用时不能对拍摄的角度进行大范围调节，而且不能对拍摄的位置调节，在调节拍摄位置时，容易导致装置的密封性变差，不能在调节的过程中自动进行二次密封处理，而且不能从外侧直接调节和观察内部摄像头的角度和朝向，使用效果较差。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的技术问题，提供一种单晶炉用CDD内置相机，来解决上述中提到的现有的单晶炉内置相机在使用时不能对拍摄的角度进行大范围调节，而且不能对拍摄的位置调节，在调节拍摄位置时，容易导致装置的密封性变差，不能在调节的过程中自动进行二次密封处理，而且不能从外侧直接调节和观察内部摄像头的角度和朝向的问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种单晶炉用CDD内置相机，包括外壳、第一密封垫、第二密封垫和CCD相机，所述外壳的上方固定设置有第一密封垫，所述第一密封垫外侧的外壳内固定设置有第二密封垫，所述第二密封垫的内部和第一密封垫的外侧均安装有第二转环，所述第二转环和相邻第二转环之间转动连接有第一转环，第二转环的表面设置有第三密封垫，所述第一转环的表面固定设置有转柄，所述第一转环的内部固定设置有第一转轮，所述第一转轮的表面栓接有牵引钢绳，所述牵引钢绳中间的第二转环上转动安装有第二转轮，所述第二转环的内部滑动安装有挤压板，所述第一转环左侧的内部转动安装有第一转轴，所述第一转轴的下方固定连接有连接筒，所述连接筒的底部固定设置有外衬套，所述外衬套的内部开设有活动槽，外衬套的内部贴合设置有第二转轴，所述第二转轴的底部固定设置有CCD相机，所述CCD相机的外侧设置有水冷盒。

本发明的有益效果是：

1)、该单晶炉用CDD内置相机效果更好，本发明中在现有的基础上进行改进，利用第一密封垫、第二密封垫、挤压板和第三密封垫使得装置能够对摄像头整体的朝向进行调节，从而适应不同的观察需要进行不同位置的观察，通过第一转轴和第二转轴使得摄像头的整体角度能够进行更大范围的调节，使得装置不仅能够对摄像头的朝向调节还能够对摄像头的角度进行调节，而且装置外侧的水冷盒能够避免摄像头因温度过高而损坏，提升了装置使用的安全性。

2)、该单晶炉用CDD内置相机效果更好，该装置在使用时还可以通过钢珠带动拉绳移动，从而使得装置能够通过调节外侧的轴承圈对装置内部的摄像头的整体角度进行调节，提升了装置的使用效果，能够直观的从外侧观察轴承的整体角度，从而判断装置内部的摄像头的角度，同时还能够利用第一转环在第二转环的内部转动，从而抵住第三密封垫和第一密封垫，从而完成对装置的二次密封工作，使得装置能够在调节摄像头的朝向的过程中进行二次密封。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述第二转环通过第一转环与第一密封垫之间构成转动结构，所述第一转环的中轴线和第二转环的中轴线在同一条直线上；所述牵引钢绳的前端固定连接有连接杆，所述连接杆的表面固定设置有第一衔接块，所述第一衔接块的后表面呈倾斜状，第一衔接块通过第一弹簧与第二转环相连，第一衔接块的后侧贴合设置有第二衔接块，所述第二衔接块通过第二弹簧与第二转环相连。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过装置上的第一转环的转动拉动第二衔接块后续可以通过第二衔接块抵住装置内部的密封组件，使得装置能够在调节相机角度时自动进行二次密封，提升了装置的使用效果。

进一步，所述第一衔接块通过第一弹簧与第二转环之间构成弹性结构，所述第二衔接块通过第二弹簧与第二转环之间构成弹性结构，第二衔接块通过牵引钢绳和第一衔接块与第二转环之间构成伸缩结构；所述第二衔接块和挤压板之间的连接方式为固定连接，挤压板的形状呈圆弧状，所述挤压板通过第二衔接块和第一衔接块与第二转环之间构成伸缩结构，所述第三密封垫通过挤压板与第二密封垫之间构成压紧结构。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过装置上的压紧结构使得装置在调节相机角度时，挤压板能够自动压紧第三密封垫，从而保证装置整体的密封效果。

进一步，所述第一转轴为内部设置有通孔的球体，第一转轴的上方固定连接有连接管，第一转轴、连接筒、连接管和外衬套为一体式结构，第一转轴、连接筒、连接管和外衬套的中轴线均在同一条直线上，第一转轴的外壁与第一转环的内壁互相贴合，所述第一转环的水平中心线与第一转轴的水平中心线在同一条直线上；所述第二转轴的形状为球体，第二转轴的表面固定设置有拉绳，所述拉绳贯穿于连接管的内部，所述外衬套的内部开设有用于拉绳移动的活动槽，所述第二转轴下半部分的外壁与外衬套的内壁互相贴合。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过装置上的拉绳调节第二转轴的角度，从而对装置底部的相机角度进行调节，也可以通过装置上的第一转轴对第二转轴的初始角度进行调节，从而使得装置能够对相机的角度进行更大范围的调节。

进一步，拉绳的前端固定连接有钢珠，所述钢珠的外侧设置有轴承外圈，所述轴承外圈的内侧设置有轴承内圈，所述轴承内圈的表面开设有开口，所述轴承内圈和连接管之间存在空隙；所述钢珠在连接管的外侧等角度分布，所述第二转轴和CCD相机通过钢珠和拉绳与外衬套之间构成转动结构，所述拉绳在第二转轴的表面等角度分布，所述第二转轴的球心位于外衬套的内部。

采用上述进一步方案的有益效果是，使得第二转轴在转动的过程中不会脱离外衬套的内部，提升了装置整体的稳定性，通过调节各个钢珠的整体位置使得装置能够对通过观察轴承的整体倾斜状态得知装置内部的摄像头的摆放角度，提升了装置的功能性。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的图1中A处结构示意图；

图3为本发明的第二转环俯剖视结构示意图；

图4为本发明的图3中B处结构示意图；

图5为本发明的图3中C处结构示意图；

图6为本发明的外壳与第一密封垫连接结构示意图；

图7为本发明的第一转环和第一转轴连接结构示意图；

图8为本发明的图7中D处结构示意图；

图9为本发明的第二转轴和拉绳连接结构示意图；

图10为本发明的外壳另一种结构结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、外壳，2、第一密封垫，3、第二密封垫，4、第一转环，5、第二转环，6、转柄，7、第一转轮，8、第二转轮，9、牵引钢绳，10、连接杆，11、第一衔接块，12、第一弹簧，13、第二弹簧，14、第二衔接块，15、挤压板，16、第一转轴，17、连接筒，18、连接管，19、外衬套，20、活动槽，21、第二转轴，22、拉绳，23、钢珠，24、轴承外圈，25、轴承内圈，26、开口，27、水冷盒，28、CCD相机，29、第三密封垫。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

现有的单晶炉在使用时通常之内对炉内的特定位置进行观察，不能对炉内摄像头的朝向和整体角度进行大范围调节，可调节程度低，而且不能在调节摄像头朝向的同时保证装置整体的密封效果，在使用的过程中不能直观地从装置外侧观察装置内部的摄像头的朝向，功能性较差。

对此发明人提出了一种单晶炉用CDD内置相机来解决上述问题。

本发明提供了以下优选的实施例

如图1-5和图10所示，一种单晶炉用CDD内置相机，包括外壳1、第一密封垫2、第二密封垫3和CCD相机28，外壳1的上方固定设置有第一密封垫2，第一密封垫2外侧的外壳1内固定设置有第二密封垫3，第二密封垫3的内部和第一密封垫2的外侧均安装有第二转环5，第二转环5和相邻第二转环5之间转动连接有第一转环4，第二转环5的表面设置有第三密封垫29，第一转环4的表面固定设置有转柄6，第一转环4的内部固定设置有第一转轮7，第一转轮7的表面栓接有牵引钢绳9，牵引钢绳9中间的第二转环5上转动安装有第二转轮8，第二转环5的内部滑动安装有挤压板15，第一转环4左侧的内部转动安装有第一转轴16，第一转轴16的下方固定连接有连接筒17，连接筒17的底部固定设置有外衬套19，外衬套19的内部开设有活动槽20，外衬套19的内部贴合设置有第二转轴21，第二转轴21的底部固定设置有CCD相机28，CCD相机28的外侧设置有水冷盒27，通过水冷盒27的壳体内部通入冷却液进行循环冷却工作，避免装置在使用时因温度过高导致摄像头损坏，提升了装置的使用效果。

本实施例中，如图1-5所示，为了进一步提升装置的使用效果，第二转环5通过第一转环4与第一密封垫2之间构成转动结构，第一转环4的中轴线和第二转环5的中轴线在同一条直线上；牵引钢绳9的前端固定连接有连接杆10，连接杆10的表面固定设置有第一衔接块11，第一衔接块11的后表面呈倾斜状，第一衔接块11通过第一弹簧12与第二转环5相连，第一衔接块11的后侧贴合设置有第二衔接块14，第二衔接块14通过第二弹簧13与第二转环5相连；通过装置上的第一转环4的转动拉动第二衔接块14后续可以通过第二衔接块14抵住装置内部的密封组件，使得装置能够在调节相机角度时自动进行二次密封。

本实施例中，如图1-5所示，为了进一步提升装置的实用性，第一衔接块11通过第一弹簧12与第二转环5之间构成弹性结构，第二衔接块14通过第二弹簧13与第二转环5之间构成弹性结构，第二衔接块14通过牵引钢绳9和第一衔接块11与第二转环5之间构成伸缩结构；第二衔接块14和挤压板15之间的连接方式为固定连接，挤压板15的形状呈圆弧状，挤压板15通过第二衔接块14和第一衔接块11与第二转环5之间构成伸缩结构，第三密封垫29通过挤压板15与第二密封垫3之间构成压紧结构；通过装置上的压紧结构使得装置在调节相机角度时，挤压板15能够自动压紧第三密封垫29，从而保证装置整体的密封效果。

本实施例中，如图7-9所示，为了进一步提升的可调节范围，第一转轴16为内部设置有通孔的球体，第一转轴16的上方固定连接有连接管18，第一转轴16、连接筒17、连接管18和外衬套19为一体式结构，第一转轴16、连接筒17、连接管18和外衬套19的中轴线均在同一条直线上，第一转轴16的外壁与第一转环4的内壁互相贴合，第一转环4的水平中心线与第一转轴16的水平中心线在同一条直线上；第二转轴21的形状为球体，第二转轴21的表面固定设置有拉绳22，拉绳22贯穿于连接管18的内部，外衬套19的内部开设有用于拉绳22移动的活动槽20，第二转轴21下半部分的外壁与外衬套19的内壁互相贴合；通过装置上的拉绳22调节第二转轴21的角度，从而对装置底部的相机角度进行调节，也可以通过装置上的第一转轴16对第二转轴21的初始角度进行调节，从而使得装置能够对相机的角度进行更大范围的调节。

本实施例中，如图1-2和图7-9所示，为了进一步提升装置的功能性，拉绳22的前端固定连接有钢珠23，钢珠23的外侧设置有轴承外圈24，轴承外圈24的内侧设置有轴承内圈25，轴承内圈25的表面开设有开口26，轴承内圈25和连接管18之间存在空隙；钢珠23在连接管18的外侧等角度分布，第二转轴21和CCD相机28通过钢珠23和拉绳22与外衬套19之间构成转动结构，拉绳22在第二转轴21的表面等角度分布，第二转轴21的球心位于外衬套19的内部；使得第二转轴21在转动的过程中不会脱离外衬套19的内部，提升了装置整体的稳定性，通过调节各个钢珠23的整体位置使得装置能够对通过观察轴承的整体倾斜状态得知装置内部的摄像头的摆放角度。

本发明的具体工作过程如下：

(1)对摄像头的朝向进行调节

首先，通过转柄6转动第一转环4使得第一转环4在第二转环5的内部转动，在第一转环4转动的过程中会带动CCD相机28进行朝向的调节，从而使装置能够从不同的位置观察拉晶情况。

(2)进行二次密封

装置在使用时还可以通过第一转轮7拉动牵引钢绳9，使得牵引钢绳9拉动连接杆10和第一衔接块11，从而使得第一衔接块11的前端抵住第二衔接块14，通过第二衔接块14推动挤压板15，使得挤压板15压紧第三密封垫29和第二密封垫3，使得装置能够在调节摄像头朝向的同时达到二次密封效果。

(3)调节摄像头角度

在使用时还能够通过第一转轴16对连接筒17、连接管18、外衬套19和第二转轴21的初始角度进行调节，调节完成后通过摆动钢珠23、轴承外圈24和轴承内圈25，使得钢珠23拉动拉绳22，从而通过拉绳22拉动第二转轴21转动，使得第二转轴21内的CCD相机28转动，使得装置能够对CCD相机28的角度进行大范围调节，而且通过观察连接管18外侧的轴承角度就能得知装置内部的CCD相机28的角度。

(4)进行水冷

通过外接水泵和水管向水冷盒27的壳体内部注入冷却液，使得装置在使用的过程中能够实时对装置进行冷却工作，避免CCD相机28因温度过高而损坏。

综上：本发明的有益效果具体体现在，该装置在现有的基础上进行改进，本发明的利用第一密封垫2、第二密封垫3、挤压板15和第三密封垫29使得装置能够对摄像头整体的朝向进行调节，从而适应不同的观察需要进行不同位置的观察，通过第一转轴16和第二转轴21使得摄像头的整体角度能够进行更大范围的调节，使得装置不仅能够对摄像头的朝向调节还能够对摄像头的角度进行调节，而且装置外侧的水冷盒27能够避免摄像头因温度过高而损坏，提升了装置使用的安全性；

该单晶炉用CDD内置相机效果更好，该装置在使用时还可以通过钢珠23带动拉绳22移动，从而使得装置能够通过调节外侧的轴承圈对装置内部的摄像头的整体角度进行调节，提升了装置的使用效果，能够直观的从外侧观察轴承的整体角度，从而判断装置内部的摄像头的角度，同时还能够利用第一转环4在第二转环5的内部转动，从而抵住第三密封垫29和第一密封垫2，从而完成对装置的二次密封工作，使得装置能够在调节摄像头的朝向的过程中进行二次密封。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶炉用CDD内置相机，其特征在于，包括外壳(1)、第一密封垫(2)、第二密封垫(3)和CCD相机(28)，所述外壳(1)的上方固定设置有第一密封垫(2)，所述第一密封垫(2)外侧的外壳(1)内固定设置有第二密封垫(3)，所述第二密封垫(3)的内部和第一密封垫(2)的外侧均安装有第二转环(5)，所述第二转环(5)和相邻第二转环(5)之间转动连接有第一转环(4)，第二转环(5)的表面设置有第三密封垫(29)，所述第一转环(4)的表面固定设置有转柄(6)，所述第一转环(4)的内部固定设置有第一转轮(7)，所述第一转轮(7)的表面栓接有牵引钢绳(9)，所述牵引钢绳(9)中间的第二转环(5)上转动安装有第二转轮(8)，所述第二转环(5)的内部滑动安装有挤压板(15)，所述第一转环(4)左侧的内部转动安装有第一转轴(16)，所述第一转轴(16)的下方固定连接有连接筒(17)，所述连接筒(17)的底部固定设置有外衬套(19)，所述外衬套(19)的内部开设有活动槽(20)，外衬套(19)的内部贴合设置有第二转轴(21)，所述第二转轴(21)的底部固定设置有CCD相机(28)，所述CCD相机(28)的外侧设置有水冷盒(27)；所述第二转环(5)通过第一转环(4)与第一密封垫(2)之间构成转动结构，所述第一转环(4)的中轴线和第二转环(5)的中轴线在同一条直线上；所述牵引钢绳(9)的前端固定连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)的表面固定设置有第一衔接块(11)，所述第一衔接块(11)的后表面呈倾斜状，第一衔接块(11)通过第一弹簧(12)与第二转环(5)相连，第一衔接块(11)的后侧贴合设置有第二衔接块(14)，所述第二衔接块(14)通过第二弹簧(13)与第二转环(5)相连；所述第一衔接块(11)通过第一弹簧(12)与第二转环(5)之间构成弹性结构，所述第二衔接块(14)通过第二弹簧(13)与第二转环(5)之间构成弹性结构，第二衔接块(14)通过牵引钢绳(9)和第一衔接块(11)与第二转环(5)之间构成伸缩结构；所述第二衔接块(14)和挤压板(15)之间的连接方式为固定连接，挤压板(15)的形状呈圆弧状，所述挤压板(15)通过第二衔接块(14)和第一衔接块(11)与第二转环(5)之间构成伸缩结构，所述第三密封垫(29)通过挤压板(15)与第二密封垫(3)之间构成压紧结构。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用CDD内置相机，其特征在于，所述第一转轴(16)为内部设置有通孔的球体，第一转轴(16)的上方固定连接有连接管(18)，第一转轴(16)、连接筒(17)、连接管(18)和外衬套(19)为一体式结构，第一转轴(16)、连接筒(17)、连接管(18)和外衬套(19)的中轴线均在同一条直线上，第一转轴(16)的外壁与第一转环(4)的内壁互相贴合，所述第一转环(4)的水平中心线与第一转轴(16)的水平中心线在同一条直线上。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用CDD内置相机，其特征在于，所述第二转轴(21)的形状为球体，第二转轴(21)的表面固定设置有拉绳(22)，所述拉绳(22)贯穿于连接管(18)的内部，所述外衬套(19)的内部开设有用于拉绳(22)移动的活动槽(20)，所述第二转轴(21)下半部分的外壁与外衬套(19)的内壁互相贴合。

4.根据权利要求3所述的单晶炉用CDD内置相机，其特征在于，所述拉绳(22)的前端固定连接有钢珠(23)，所述钢珠(23)的外侧设置有轴承外圈(24)，所述轴承外圈(24)的内侧设置有轴承内圈(25)，所述轴承内圈(25)的表面开设有开口(26)，所述轴承内圈(25)和连接管(18)之间存在空隙。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用CDD内置相机，其特征在于，所述钢珠(23)在连接管(18)的外侧等角度分布，所述第二转轴(21)和CCD相机(28)通过钢珠(23)和拉绳(22)与外衬套(19)之间构成转动结构，所述拉绳(22)在第二转轴(21)的表面等角度分布，所述第二转轴(21)的球心位于外衬套(19)的内部。

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