JP5443286B2 - フェイスアップ型光半導体装置 - Google Patents
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Description
また、同様な透明絶縁層を外側独立電極と中央独立電極との間に設ける。この透明絶縁層は電流を装置の中央へ拡散して光半導体装置の中央部の弱発光領域をさらに縮小させる。
Vd = J(d)・r1 + J(d)・ρITO・d + J(d)・r2 + J(d)・ρp-GaN・t + VQW
+ J(d)・ρn-GaN・(350μm-d) + J(d)・r3 (1)
但し、r1:p側電極6と透明電極層5との接触抵抗率たとえば2×10-4Ω・cm2
ρITO:透明電極層5のシート抵抗たとえば10〜15Ω/□(膜厚220nm相当)
r2:透明電極層5とp型GaN層4との接触抵抗率たとえば7×10-4Ω・cm2
ρp-GaN:p型GaN層(GaN:Mg)4のシート抵抗(キャリア密度10×1018/cm3、キャリア移動度1.45cm2/V・sec、厚さ150nmより換算)
t:p型GaN層4の厚さ、
VQW:活性層3の電圧降下、
ρn-GaN:n型GaN層(GaN:Si)2のシート抵抗(キャリア密度5.0×1018/cm3、キャリア移動度200cm2/V・sec、厚さ6μmより換算)
r3:n型GaN層2とn側電極7との接触抵抗率たとえば2×10-4Ω・cm2
で表わされる。供給電流Isの基で(1)式を用いてシミュレーションソフトSpeCLED(商標)によってJ(d)を演算した結果が図30の上図に示されている。
J'(d)= (J(d)−J(Dm))/(J(0)−J(Dm))
である。
L1 +ΔL1< Dm
好ましくは、
L1 +ΔL1< D
但し、L1は補助電極部62a(62b)と外側独立電極81a(81b)との半径方向距離である。尚、L1 +ΔL1≧DmもしくはDであると、補助電極部62a(62b)からの電流Ia0(Ib0)の外側への拡散電流Ia1(Ib1)が外側独立電極81a(81b)に到達できなくなる。さらに、交点Pa1(Pb1)と透明絶縁層11a(11b)の内側端部との距離をΔL1’とすれば、
ΔL1 ≦ ΔL1’
となる。尚、ΔL1>ΔL1’であると、補助電極部62a(62b)からの電流Ia0(Ib0)は光半導体装置の端部よりも中央部へ拡散されるようになり、有効な発光領域の拡大が減少する。
L2 +ΔL2< Dm
好ましくは、
L2 +ΔL2< D
但し、L2は外側独立電極81a(81b)と外側独立電極82a(82b)との距離である。尚、L2+ΔL2≧DmもしくはDであると、外側独立電極81a(81b)からの電流Ia2(Ib2)の外側への拡散電流Ia3(Ib3)が外側独立電極82a(82b)に到達できなくなる。同様に、交点Pa2’(Pb2’)と透明絶縁層12a(12b)の内側端部との距離をΔL2’とすれば、
L2 +ΔL2’ < Dm
好ましくは、
L2 +ΔL2’ < D
である。さらに、交点Pa2(Pb2)と交点Pa2’(Pb2’)との距離をΔL2”とすれば、
ΔL2 ≦ ΔL2” +ΔL2’
ΔL2’ ≦ ΔL2” +ΔL2
となる。尚、ΔL2>ΔL2”+ΔL2’であると、外側独立電極81a(81b)からの電流Ia2(Ib2)の大部分は光半導体装置の端部よりも中央部へ拡散されて電流が外側独立電極82bに到達しない。また、ΔL2’> ΔL2”+ΔL2であると、外側独立電極81a(81b)からの電流Ia2’(Ib2’)の大部分は中央独立電極9側よりも外側へ拡散され、十分な量の電流が中央独立電極9に到達しなくなり、有効な発光領域の拡大が減少する。
L3 +ΔL3< Dm
好ましくは、
L3 +ΔL3< D
但し、L3は外側独立電極82a(82b)と外側独立電極83a(83b)との距離
である。尚、L3 +ΔL3≧Dであると、外側独立電極82a(82b)からの電流Ia4(Ib4)の外側への拡散電流Ia5(Ib5)が外側独立電極83a(83b)に到達できなくなる。さらに、交点Pa3(Pb3)と透明絶縁層13a(13b)の内側端部との距離をΔL3’とすれば、
ΔL3 ≦ ΔL3’
となる。尚、ΔL3>ΔL3’であると、外側独立電極82a(82b)からの電流Ia4(Ib4)は光半導体装置の端部よりも中央部へ拡散されるようになり、有効な発光領域の拡大が減少する。
L1 +ΔL1= 110 < DmもしくはD
L2 +ΔL2(又はΔL2’)= 120 < DmもしくはD
L3 +ΔL3= 110 < DmもしくはD
であり、電流は外側独立電極83a(83b)及び中央独立電極9に到達することができる。
2:n型GaN層
3:活性層
4:p型GaN層
5:透明電極層
6,6’:p側電極
11a、11b、12a、12b、13a、13b:透明絶縁層
61,61’:パッド部
61’a:開口部
62a,62b、62a’、62b’:補助電極部
7:n側電極
81a,81b、82a,82b、83a,83b、81a’、81b’、82a’、82b’、83a’、83b’:外側独立電極
9:中央独立電極
101:成長基板
102:n型半導体層
103、103’:活性層
104、104’:p型半導体層
105、105’:透明電極層
106、106’:p側電極
1061:パッド部(電極台座部)
1062a,1062b:補助電極部(2次延伸部)
108、108a、108b:弱発光領域
201a、201b、202:弱発光領域
2301、2401、2501:フェイスアップ型光半導体装置アセンブリ
2302、2402、2502:螢光体
2303、2403、2503:導光板
2304、2404、2504:ボンディングワイヤ
2305、2405、2505:正電極端子
2306、2406、2506:負電極端子
Dm:極小値距離
D:電流拡散距離
Claims (19)
- 第1の導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられた第2の導電型の第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に設けられた透明電極層と、
前記第2の半導体層上あるいは前記透明電極層上に設けられ、パッド部及び該パッド部に接続された補助電極部を有する第1の電極と、
前記第1の半導体層の露出した領域に設けられた第2の電極と、
前記補助電極部と前記第2の電極との間に位置し、前記補助電極部と物理的に独立し、前記透明電極層に接して設けられた少なくとも1つの外側独立電極と
を具備し、
前記補助電極部は前記第2の電極を中心とする第1の円周もしくはその接線上に設けられ、
前記外側独立電極は、前記第2の電極を中心とする第2の円周もしくはその接線上に、該第2の円周もしくはその接線に沿うように円弧状あるいは直線状に設けられ、
前記外側独立電極は前記第1の電極と前記第2の電極とが形成する電場の等電位線上に形成され、
前記外側独立電極は前記透明電極層のシート抵抗より小さいシート抵抗を有し、
前記補助電極部の第1の円周と前記外側独立電極の第2の円周との前記第2の電極を中心とする円の第1の半径方向距離は、前記外側独立電極が設けられていないと仮定した場合における前記透明電極層の電流密度が極小値を示す領域と前記第1の電極のパッド電極との距離である極小値距離より小さいフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記第1の半径方向距離は、前記外側独立電極が設けられていないと仮定した場合において前記パッド部直下の電流密度と極小値となる電流密度との電流密度差を1としたときに、前記極小値との電流密度との差が0.01となる電流密度を示す電流拡散距離以下である請求項1に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記透明電極層のシート抵抗は約10Ω/□〜25Ω/□であり、
前記第2の半導体層と前記透明電極層との接触抵抗率は約5×10-4Ωcm2〜7×10-3 Ωcm2であり、
前記電流拡散距離は約170μmである請求項2に記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記第1の半径方向距離は前記電流拡散距離の15〜90%である請求項2または請求項3に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記外側独立電極は、前記第2の半導体層と前記透明電極層との間、あるいは前記透明電極層上に設けられた請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記外側独立電極の内側端部は、前記第2の円周と、前記補助電極部の外側端部と前記第2の電極の中心とを結ぶ直線と、の交点、あるいは該交点より内側に位置する請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記外側独立電極の内側端部は、前記第1の電極のパッド部と前記第2の電極で挟まれる領域より外側に位置する請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- さらに、前記補助電極部と前記第2の電極との間に設けられた少なくとも1つの中央独立電極を具備し、
前記中央独立電極は前記第2の電極を中心とする第3の円周もしくはその接線上に、該第3の円周もしくはその接線に沿うように設けられた請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記中央独立電極は、前記第2の半導体層上あるいは前記透明電極層上に、前記透明電極層に接して設けられる請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記第1の円周と前記第3の円周との前記第2の電極を中心とする第2の半径方向距離は、前記電流拡散距離より大きく、
および前記第2の円周と前記第3の円周との前記第2の電極を中心とする第3の半径方向距離は、前記極小値距離より小さく、
前記第1の円周の半径、前記第2の円周の半径、前記第3の円周の半径は、前記第1の円周の半径>前記第2の円周の半径>前記第3の円周の半径である請求項9に記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記第1の円周と前記第3の円周との前記第2の電極を中心とする第2の半径方向距離は、前記極小値距離より大きく、
および前記第2の円周と前記第3の円周との前記第2の電極を中心とする第3の半径方向距離は、前記電流拡散距離より小さく、
前記第1の円周の半径、前記第2の円周の半径、前記第3の円周の半径は、前記第1の円周の半径>前記第2の円周の半径>前記第3の円周の半径である請求項9に記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記中央独立電極の端部は、前記第3の円周と、前記外側独立電極の内側の端部と前記第2の電極の中心とを結ぶ直線と、の交点、あるいは該交点より外側に位置する請求項8乃至請求項11のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- さらに、前記補助電極部及び該補助電極部に隣接する外側独立電極の間あるいは隣接する2つの外側独立電極の間に設けられ、かつ前記第2の電極を中心とする第4の円周もしくは接線上に該第4の円周もしくはその接線上に沿うように設けられた少なくとも1つの透明絶縁層を具備し、
該透明絶縁層は、前記第4の円周と、前記補助電極部の外側端部あるいは前記隣接する2つの外側独立電極の前記第1の電極側の外側独立電極の外側端部と前記第2の電極の中心とを結ぶ直線と、の交点を含むように形成され、
前記交点から前記透明絶縁層の外側端部までの距離と、前記第1の円周と前記補助電極部が隣接する外側独立電極が形成された前記第2の円周との前記第2の電極を中心とする第4の半径方向距離あるいは前記隣接する2つの外側独立電極が形成された2つの前記第2の円周の前記第2の電極を中心とする第5の半径方向距離と、の合計が前記極小値距離より小さい請求項1に記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記透明絶縁層の外側端部と前記交点との距離は該交点と前記透明絶縁層の内側端部との距離より小さい請求項13に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記第2の電極の中心、前記透明絶縁層の外側端部、及び前記補助電極部に隣接する外側独立電極の内側端部あるいは前記隣接する2つの外側独立電極の前記第2の電極側の外側独立電極の内側端部が一直線上に配列されている請求項13または請求項14に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- さらに、前記外側独立電極と前記中央独立電極の間に設けられ、かつ前記第2の電極を中心とする第5の円周もしくは接線上に該第5の円周もしくはその接線上に沿うように設けられた少なくとも1つの透明絶縁層を具備し、
該透明絶縁層は、前記第5の円周と、前記第1の電極側の前記外側独立電極の内側端部と前記第2の電極の中心とを結ぶ直線と、の交点を含むように形成され、
前記交点から前記透明絶縁層の内側端部までの距離と、前記第1の円周と前記補助電極部が隣接する前記外側独立電極が形成された前記第2の円周との前記第2の電極を中心とする第6の半径方向距離あるいは前記第2の円周の半径及び前記中央独立電極が形成された前記第5の円周の第7の半径方向距離と、の合計が前記極小値距離より小さい請求項10に記載のフェイスアップ型光半導体装置。 - 前記透明絶縁層の内側端部と前記交点との距離は該交点と前記透明絶縁層の外側端部との距離より小さい請求項16に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記第2の電極の中心、前記透明絶縁層の内側端部、及び前記中央独立電極の外側端部が一直線上に配列されている請求項16または請求項17に記載のフェイスアップ型光半導体装置。
- 前記フェイスアップ型光半導体装置は長方形をなしており、
前記第1、第2の電極は前記フェイスアップ型光半導体装置の短手方向中央に位置する請求項1乃至請求項18のいずれかに記載のフェイスアップ型光半導体装置。
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