JP5439224B2 - 基準器およびそれを用いた検査方法 - Google Patents
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Description
また、測長手段が本体内に設けられているため、測長手段を基準器の外部に配置するときのような煩雑な配置調整作業を行わなくて済み、測長手段を基準器の外部に配置した基準器では対応が難しい空間的な測定軸における測定が可能となる。
また、単一の基準片の位置を変化させながら測定するため、測定部位の均一性などの管理が不要となる。
このような構成によれば、基準片の位置をより高精度に測定できる。
このような構成によれば、基準器を空間的に傾けた状態でも、測定面を水平な姿勢に設定できるので、画像プローブを有する画像測定機の精度検査に好適である。
しかし、上記本願のような構成によれば、基準器を水平面に対して傾けたときに、画像プローブの測定光の光軸に対して別の基準片の測定面を垂直にするので、測定面からの測定光の反射光を画像プローブで確実に集光でき、基準片の位置を画像測定機で確実に測定できる。つまり、基準器を空間的に傾けた姿勢でも検査することができる。
なお、各実施形態において、同一の構成部分には同じ符合を付すとともに、それらの説明を省略または簡略化する。
また、図1や図2に示すZ1方向が上側でZ2方向が下側であり、X1−X2軸とY1−Y2軸は互いに直交する座標軸であり且つそれぞれがZ1−Z2軸と直交する座標軸である。
図1と図2に示すように、基準器1は、上側が開放された略箱型の本体3と、本体3に直線的に設けられるガイド機構6と、ガイド機構6に沿って移動可能且つ固定可能な基準片7と、本体3に設けられて基準片7の位置を測定する測長手段とを有する。
レーザ発振器2からレーザLが発振されると、レーザLは光ファイバ5を通ってレーザ干渉計4に導かれる。レーザLはビームスプリッタ41によって反射ミラー42に向かって進む参照光L1と反射ミラー8に向かって進む測定光L2とに分割される。
干渉光L3を検出器43で検出することにより、反射ミラー8までの距離、すなわち基準片7のX1―X2方向における距離が測定される。これによって、基準片7を所定位置からX1方向またはX2方向に移動させると、その移動距離を測定することができ、よって、基準片7のX1―X2方向における位置が測定できる。
図3に示すように、本実施形態及び後述する第2実施形態の検査方法では、画像測定機に設けられる画像プローブ10が使用される。画像プローブ10は、測定面71に測定光L4を照射することなどを行う対物レンズなどの光学系が配置された本体部11と、測定面71からの反射光を集光して検出するカメラ12とを有している。
次に、図4に基づき、本発明の第2実施形態の基準器1とそれを用いた検査方法について説明する。
図4に示すように、本実施形態の基準器1では、第1実施形態の基準器1と異なり、基準片7の上側部分が削られて傾斜面が形成されている。そして、この傾斜面上に測定面71が形成される。測定面71はガイド機構6の直線方向に対して傾斜している。このような本実施形態の基準片7は、第1実施形態の基準片7と交換可能となっている。
前記実施形態では、非接触式の画像プローブを有する画像測定機について説明したが、本発明は、接触式のプローブを有する3次元測定機についても適用できる。
2…レーザ発振器、
3…本体、
4…レーザ干渉計、
6…ガイド機構、
7…基準片、
10…画像プローブ、
71…測定面、
L4…測定光
Claims (4)
- 少なくとも1軸方向に動く画像プローブを有する画像測定機の検査を行うために利用される基準器であって、
本体と、
前記本体に直線的に設けられるガイド機構と、
前記ガイド機構に沿って移動可能且つ固定可能な基準片と、
前記本体に設けられて前記基準片の位置を測定する測長手段と、を有し、
前記基準片は別の基準片と交換可能であり、
前記別の基準片は、前記ガイド機構の直線方向に対して傾斜する測定面、及び、前記測定面を任意の角度に傾ける調整機構を有する
ことを特徴とする基準器。 - 請求項1に記載の基準器において、
前記測長手段は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から発振されるレーザを用いたレーザ干渉計を含む、ことを特徴とする基準器。 - 請求項1または2に記載の基準器を用いて、少なくとも1軸方向に動く画像プローブを有する画像測定機の検査を行う検査方法であって、
前記基準片を前記ガイド機構に沿って異なる位置に移動させたときの前記基準片の位置を前記測長手段によって測定する工程と、
前記基準片が前記異なる位置に移動されたときの前記基準片の位置を前記画像測定機の前記画像プローブによって測定する工程と、
前記測長手段によって測定された基準片の各位置測定値と、前記画像測定機の前記画像プローブによって測定された基準片の各位置測定値との差を求める工程と、を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項1または請求項2に記載の基準器を用いて、画像プローブを有する画像測定機の検査を行う検査方法であって、
前記基準片を前記別の基準片に交換する工程と、
前記基準器を水平面に対して傾け、前記画像プローブの測定光の光軸に対して前記別の基準片の測定面を垂直にする工程と、
前記別の基準片を前記ガイド機構に沿って異なる位置に移動させたときの前記別の基準片の位置を前記測長手段によって測定する工程と、
前記別の基準片が前記異なる位置に移動されたときの前記別の基準片の位置を、前記画像プローブの測定光の前記測定面からの反射光を利用して前記画像測定機によって測定する工程と、
前記測長手段によって測定された別の基準片の各位置測定値と、前記画像測定機によって測定された別の基準片の各位置測定値との差を求める工程と、を備えることを特徴とする検査方法。
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