JP5433118B2 - 非平面形状試料の複屈折測定装置 - Google Patents
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Description
非平面形状の測定試料の複屈折特性を測定する非平面形状試料の複屈折測定装置であって、
光ビームを発する光源と、
前記光源からの光ビームを偏光とする偏光子と、
前記測定試料をセットされ、該測定試料の所望位置に前記偏光子を経由した光ビームが入射するように該測定試料の位置を変化させることができる試料ステージと、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持された検光子と、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持されており、前記測定試料から出射された光ビームを前記検光子を介して入射されると、該光を信号に変換する検知器とを有してなるものである。
2 光源
3 偏光子
4 光弾性変調器
5 試料ステージ
6 ホルダ
7 測定試料
8 XY移動装置
9 回転装置
10 Y方向移動部
11 Y方向駆動装置
12 X方向移動部
13 X方向駆動装置
14 回転台
15 回転駆動装置
16 検光子
17 検知器
18 受光部支持部
19 受光部位置駆動装置
20 受光部角度駆動装置
21 ロックインアンプ
22 コンピュータ(複屈折特性および透過率演算処理装置並びに受光部制御装置)
23 円弧軌道
24 演算回路
A 変調光ビーム(測定試料への入射光ビーム)
B 測定試料から出射された光ビーム
Claims (9)
- 非平面形状の測定試料の複屈折特性を測定する非平面形状試料の複屈折測定装置であって、
光ビームを発する光源と、
前記光源からの光ビームを偏光とする偏光子と、
前記測定試料をセットされ、該測定試料の所望位置に前記偏光子を経由した光ビームが入射するように該測定試料の位置を変化させることができる試料ステージと、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持された検光子と、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持されており、前記測定試料から出射された光ビームを前記検光子を介して入射されると、該光を信号に変換する検知器と、
前記測定試料から出射された光ビームが前記検光子を介して前記検知器に入射するように前記検光子および前記検知器の位置を移動させることができる受光部位置駆動装置と、
前記測定試料から出射された光ビームが前記検知器に垂直に入射するように前記検光子および前記検知器の角度を変えることができる受光部角度駆動装置と、
前記検知器に入射する受光量が最大となるように前記受光部位置駆動装置および前記受光部角度駆動装置を介して前記検光子および前記検知器の位置および角度を制御する受光部制御装置とを有してなる非平面形状試料の複屈折測定装置。 - 前記試料ステージは、前記光源から出射される光ビームに対し垂直でかつ互いに直交する2つの直線方向に前記測定試料を移動可能、かつ前記光源から出射される光ビームに対し平行に延びる回転軸周りに前記測定試料を回転可能である請求項1記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
- 前記検光子および前記検知器は、前記互いに直交する2つの直線方向のうちの1つの直線方向に移動可能とされている請求項2記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
- 前記検光子および前記検知器は、前記互いに直交する2つの直線方向のうちの1つの直線方向に対し垂直な平面内の曲線軌道に沿って移動可能とされている請求項2記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
- 光弾性変調法を用いて前記測定試料の複屈折特性を測定する複屈折測定装置であって、前記偏光子からの偏光ビームを変調する光弾性変調器を有し、この光弾性変調器により変調された変調光ビームが前記測定試料に入射されるようになっている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
- 非平面形状の測定試料の複屈折特性を測定する非平面形状試料の複屈折測定装置であって、
光ビームを発する光源と、
前記光源からの光ビームを偏光とする偏光子と、
前記測定試料をセットされ、該測定試料の所望位置に前記偏光子を経由した光ビームが入射するように該測定試料の位置を変化させることができる試料ステージと、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持された検光子と、
前記測定試料への入射光ビームおよび前記試料ステージにセットされた前記測定試料に対し位置を可変、かつ傾斜角度を可変に支持されており、前記測定試料から出射された光ビームを前記検光子を介して入射されると、該光を信号に変換する検知器とを有してなり、
前記試料ステージは、前記光源から出射される光ビームに対し垂直でかつ互いに直交する2つの直線方向に前記測定試料を移動可能、かつ前記光源から出射される光ビームに対し平行に延びる回転軸周りに前記測定試料を回転可能であり、
前記検光子および前記検知器は、前記互いに直交する2つの直線方向のうちの1つの直線方向に対し垂直な平面内の曲線軌道に沿って移動可能とされている非平面形状試料の複屈折測定装置。 - 前記測定試料から出射された光ビームが前記検光子を介して前記検知器に入射するように前記検光子および前記検知器の位置を移動させることができる受光部位置駆動装置と、
前記測定試料から出射された光ビームが前記検知器に垂直に入射するように前記検光子および前記検知器の角度を変えることができる受光部角度駆動装置とを有する請求項6記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。 - 前記検知器に入射する受光量が最大となるように前記受光部位置駆動装置および前記受光部角度駆動装置を介して前記検光子および前記検知器の位置および角度を制御する受光部制御装置を有する請求項7記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
- 光弾性変調法を用いて前記測定試料の複屈折特性を測定する複屈折測定装置であって、前記偏光子からの偏光ビームを変調する光弾性変調器を有し、この光弾性変調器により変調された変調光ビームが前記測定試料に入射されるようになっている請求項6乃至8のいずれか1項に記載の非平面形状試料の複屈折測定装置。
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