JP5429827B2 - 中空マイクロチューブ構造体およびその作製方法ならびに生体検査装置 - Google Patents
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Description
ことが要求されるものの、これでは電極先端の表面積が小さくなり、生体溶液中での電気的なインピーダンスが大きくなるものであった。そのため、プローブ電極内において信号の減衰を招来し、微差な細胞信号を測定する際には、神経電位が減衰して測定が困難となるという問題があった。
位の電位の変化を計測することが可能となる。
導通させることにより、電気信号の減衰を低減させることができる。
れる。すなわち、基板2の表面側全体に形成された膜28の一部を除去して円形の空隙部が形成されたが、プローブ24は、その空隙部よりも小さな径で形成されることから、膜28とプローブ24の間には、空隙部の一部が間隙を構成することとなり、金属被膜層6を形成する際に、この間隙の表面が被膜される(現実的には金属被膜層6が間隙部分全体に侵入する)のである。ここで、上記の金属被膜層6を形成するためには、堆積法またはスパッタ法を用いることができる。また、使用される金属としては、金または白金を用いることができるが、イリジウム、銀または銀−塩化銀を使用することができる。特に、中空マクロチューブ構造体を細胞計測に使用する場合には、列記の材料による金属被膜層6を形成することが望ましい。なお、基板2の表面側に構成された金属被膜層6は、基板2との間に膜28が介在することとなり、電気的に絶縁された状態である。また、基板2の表面側にこのような金属被膜層6を部分的に形成しない場合には、当該基板2の表面に形成された金属被膜をエッチングにより除去される。
チューブ構造体の実施の形態について説明する。図3は、シリコン基板を使用して上記作成方法により構成した中空マイクロチューブ構造体の概略図である。
的計測手段(化学的計測器)を配置し、これらを機能させることができる。さらに、薬液注入手段(薬液注入器)としてシリンジを使用する場合には、薬液もしくは体液の吸引抽出する液体抽出手段(液体抽出器)として機能させることができる。
〔実験例1〕
まず、上記実施形態により作製した中空チューブ電極による電位計測時における信号の出力−入力比評価を行った。実験装置を図5に示す。このときの中空チューブ内には生理食塩水を充満させており、シリンジのシリンダ内に金のワイヤによって電極を設け、パルス発生器によって発生させた1kHzの正弦波(100mVp−p)の電気信号を抵抗減衰器により約1/1250まで減衰させ(減衰後は約80μVp−p)、これを中空チューブ先端付近に与えて実験した。その結果は図6のとおりとなった。また、図6には、参考のために径の異なる同種の中空チューブにおける実験結果を示している。従来から使用されるプローブ電極の実験結果を比較例として示している。この実験結果によれば、従来のプローブ電極では、直径を小さくすると出力−入力比が極端に減少するが、本実施例による中空チューブ電極では、外径を小さくしてもほとんど変化がないことが判明した。
〔実験例2〕
次に、溶液の吐出・吸引の可能性を実験した。実験装置は、図8に示すように、シリンジポンプ(Harvard社製Model11PicoPlus)によってプラスチックシリンジに圧力を加え、微小流量をセンシング可能なフローセンサ(Senssirion社製SLG1430)により流量を観測する構成とした。実験に使用した中空チューブは、内径が2.5μm、4.1μm、4.6μmおよび6.4μmで、いずれも長さを22μmとした4種類のものを使用した。その結果、いずれの中空チューブにおいても溶液の吐出が可能であった。そこで、さらに、内径2μmの中空チューブについての吐出・吸引の可能性を実験した。そのときの状態を図9に示す。図9は、中空チューブの先端側から撮影した写真である。この図において明らかなとおり、液体の吐出においても吸引においても、中空チューブを使用して可能であることが判明した。
〔実験例3〕
また、光の透過性について、基板2の裏面側から発光ダイオードを用いて光を照射し、中空チューブ先端に到達する光の状態を実験した。使用した中空チューブの内径は2μmであり、透過させる光は、波長470nm(青)、525nm(緑)および595nm(赤)に分けて行った。その結果を図10に示す。この実験結果により、いずれの波長の光についても中空チューブを透過することが確認された。
〔実験例4〕
さらに、神経細胞のように微小なターゲットを中空チューブの先端に固定できるか否か
について、マイクロビーズを用いて実験したところ、図11に示すように、マイクロビーズを完全に固定化していることを確認した。これにより、神経細胞のような微小なターゲットを固定化することが可能となった。なお、実験に使用する中空マイクロチューブ構造体の中空チューブが、金属被膜層の先端よりも絶縁被膜層の先端を突出させた構成のものであるとき、マイクロビーズと金属被膜層とのシール抵抗を測定したところ、数ギガオームであった。これは、マイクロビーズが金属被膜層に接していないことを示すものである。
4 中空チューブ
6 金属被膜層
8 絶縁被膜層
10 発光素子
12 薬液
14 注射器
16 アンプ・フィルター
18 光
20 フレキシブルチューブ
22 金属膜
24 プローブ
26 金属合金膜
28 膜
30 金属線
32 生理食塩水
34 コネクタ
36 テスト用マイクロビーズ
38 マイクロチャンネル付き樹脂
Claims (11)
- 半導体基板と、
該半導体基板の表面に対して直交方向に直線状に中空部を形成してなり、かつ、マイクロスケールの筒状に該表面上に設けられた少なくとも1つの中空チューブと、
該中空チューブの内部表面を構成する金属被膜層と、
前記中空チューブの外部表面を構成する絶縁被膜層と、
前記中空チューブの中空部の延長上に連通しつつ前記半導体基板の裏面で開口する貫通孔と、
を備えたことを特徴とする中空マイクロチューブ構造体。 - 前記半導体基板がシリコン基板であり、前記中空チューブが金属被膜層と絶縁被膜層を積層してなる二層構造の中空チューブであり、該中空チューブを構成する各層に連続し、かつ、金属被膜層および絶縁被膜層による積層体を該絶縁被膜層が外側に配置されつつ前記シリコン基板表面に積層してなることを特徴とする請求項1記載の中空マイクロチューブ構造体。
- 前記中空チューブが前記基板の表面にアレイ状に形成されたことを特徴とする請求項1または2に記載の中空マイクロチューブ構造体。
- 半導体基板の表裏両面を浸食する浸食工程と、
前記半導体基板の表面側で浸食された範囲に柱体を形成する擬制層形成工程と、
前記柱体の周囲に金属被膜層を形成する金属被膜層形成工程と、
前記柱体とは異なる材料の絶縁被膜層を前記金属被膜層の周囲に形成する絶縁被膜層形成工程と、
前記柱体の先端における絶縁被膜層および金属被膜層を除去し、前記柱体の先端部を露出させる先端除去工程と、
前記柱体を除去するとともに半導体基板を穿孔する穿孔工程と、
からなることを特徴とする中空マイクロチューブ構造体の作製方法。 - 前記浸食工程は、半導体基板の表裏両面に膜を形成する工程と、前記膜の一部を除去する工程と、膜を除去された範囲の前記半導体基板を浸食する工程とを含み、
前記穿孔工程は、前記柱体を除去するとともに、前記半導体基板が浸食された領域に到達するまで該半導体基板を穿孔する穿孔工程であることを特徴とする請求項4に記載の中空マイクロチューブ構造体の作製方法。 - 前記金属被膜層形成工程は、前記柱体の周囲に金属被膜層を形成すると同時に前記基板表面にも金属被膜層を形成し、前記絶縁被膜層形成工程は、前記金属被膜層の周囲に絶縁被膜層を形成すると同時に前記基板表面の金属被膜層に重ねて絶縁被膜層を形成することを特徴とする請求項4または5に記載の中空マイクロチューブ構造体の作成方法。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の中空マイクロチューブ構造体を使用する生体検査装置であって、
前記中空マイクロチューブ構造体と、
前記貫通孔の基板裏面側に開口する開口部に連続して設けられ、前記中空チューブの中空内部に薬液を供給する薬液注入手段と、
前記中空チューブに導通する電気信号発信手段および電気的計測手段と、
を備えたことを特徴とする生体検査装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の中空マイクロチューブ構造体を使用する生体検査装置であって、
前記中空マイクロチューブ構造体と、
前記貫通孔の基板裏面側に開口する開口部から前記中空チューブを透過する光源を発信する光学的信号発信手段と、
前記中空チューブの中空内部を経由して前記基板裏面側に到達する前記光源の反射光を受信する光学的計測手段と、
を備えたことを特徴とする生体検査装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の中空マイクロチューブ構造体を使用する生体検査装置であって、
前記中空マイクロチューブ構造体と、
前記貫通孔の基板裏面側に開口する開口部から前記中空チューブを透過する光源を発信する光学的信号発信手段と、
前記中空チューブに導通する電気的計測手段を備えたことを特徴とする生体検査装置。 - 請求項8または9に記載の生体検査装置であって、さらに、前記貫通孔の基板裏面側に開口する開口部に連続して設けられ、前記中空チューブ内部を経由して薬液を供給する薬液注入手段を備えたことを特徴とする生体検査装置。
- 請求項7ないし10のいずれか1項に記載の生体検査装置であって、さらに、前記貫通孔の基板裏面側に開口する開口部に連続して設けられ、前記中空チューブ内部を経由して体液または薬液を吸引抽出する液体抽出手段と、該液体抽出手段に連続しまたはその途中に設けられた化学的計測手段とを備えたことを特徴とする生体検査装置。
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