JP2005337756A - マルチプローブ、これによって形成されるマルチセンサおよびマルチプローブの製造方法 - Google Patents
マルチプローブ、これによって形成されるマルチセンサおよびマルチプローブの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 半導体基板1の拡散層を下地として結晶成長させた突起(プローブ)を複数有するマルチプローブであって、異なる高さを有するプローブ2が配列されて形成されることを特徴とする。前記半導体基板1に、少なくとも1以上の増幅回路あるいは/および信号処理回路3を形成することを特徴とする。前記マルチプローブによって形成されるマルチセンサであって、前記プローブの内の少なくとも1つの先端部4に所定の処理を施すことによってセンシング部を形成することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図1は、この発明に係るマルチプローブの基本的な構成を例示している。
(1)化学顕微鏡としての応用分野;イオン濃度計測・電気化学的分野、ガス分布計測分野・滴定の二次元的動的観察および解析
(2)環境計測・環境;バイオリメディエーションへの適用
(3)食品検査・食品、微生物
(4)ME分野・医学・生態組織;組織細胞表面および内部のイオン濃度計測、細胞表面および内部電位計測、DNA計測
(5)バイオ分野
(6)動植物分野・植物;カルスの表面および内部電位分布計測・生物・正面図動物
(7)腐蝕計測分野・金属;金属腐蝕と塗装・コーティング
(8)ゼータ電位等表面解析・粉体、セラミックスのゼータ電位。
2 プローブ
3 信号処理回路
Claims (4)
- 半導体基板を下地として結晶成長させた突起(プローブ)を複数有するマルチプローブであって、異なる高さを有するプローブが配列されて形成されることを特徴とするマルチプローブ。
- 前記半導体基板に、少なくとも1以上の増幅回路あるいは/および信号処理回路を形成することを特徴とする請求項1記載のマルチプローブ。
- 請求項1または2記載のマルチプローブによって形成されるマルチセンサであって、前記プローブの内の少なくとも1つの先端部に所定の処理を施すことによってセンシング部を形成することを特徴とするマルチセンサ。
- マルチプローブの製造方法であって、複数のプローブの内、少なくとも1つの同じ高さのプローブごとに結晶成長を形成することを特徴とするマルチプローブの製造方法。
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2004
- 2004-05-24 JP JP2004153752A patent/JP2005337756A/ja active Pending
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