JP3191355U - 疾患を検出するためのマイクロデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2011年3月24日出願の米国特許出願シリアル番号61/467,097、2011年6月20日出願の米国特許出願シリアル番号61/498,954、2011年6月30日出願の国際出願PCT/US2011/042637、および2011年10月5日出願の国際出願PCT/US2011/054979の優先権を主張し、その内容全体を参照によって援用する。
ある態様では、第一マイクロデバイスは、導電材料、電気的絶縁材料、生物学的材料、または半導体材料から構成される
ある態様では、各装置は、少なくとも一つまたは複数の追加マイクロデバイスをさらに備える。これらの態様では、装置に含まれる各マイクロデバイスは、導電性材料、電気的絶縁材料または半導体材料を備え、各マイクロデバイスは、同じまたは異なる材料を備えることができ、同じまたは異なる時間に同じまたは異なる特性を測定できる。
装置のある態様では、プロービング・検出デバイスは、一以上のさらなるマイクロデバイスを備える。さらなるマイクロデバイスのそれぞれは、生物学的実体の電気的特性、磁気的特性、電磁気特性、熱的特性、光学的特性、音響特性、生物学的特性、化学的特性、電気機械的特性、電気化学的特性、生物化学的特性、生物物理的特性、生物機械的特性、生物電気機械的特性、生物電気化学的特性、生物電気化学機械的特性、光電気特性、物理的特性もしくは機械的特性、またはその組み合わせを微視的なレベルで測定できる。電気的特性は、表面電荷、表面電位、静止電位、電流、電場分布、電気双極子、電気四重極子、三次元電気的分布もしくは電荷雲分布、DNAおよび染色体のテロメアの電気的特性、静電容量、またはインピーダンスであってもよい。熱的特性は、温度、または生物学的なものもしくは分子の振動周波数であってもよい。光学的特性は、光学的吸収、光学的透過、光学的反射、光学電気的特性、明るさ、蛍光発光または光電気的パラメータであってもよい。化学的特性は、pH値、化学的反応、生物化学的反応、生物電気化学的反応、生物熱的パラメータ、生物光学的パラメータ、反応速度、反応エネルギー、酸素濃度、酸素消費速度、イオン強度、触媒挙動または結合強さであってもよい。物理的特性は、密度または幾何学的なサイズ(例えば体積または表面積)であってもよい。音響的特性は、周波数、音波の速度、音響周波数および強度スペクトル分布、音の強さ、音の吸収、もしくは音響共鳴であってもよい。機械的特性は、内圧、硬度、剪断断強さ、引き延ばし強度、破壊応力、粘着性、機械的共振周波数、弾力性、塑性、または圧縮性であってもよい。
本考案によって提供されるさらに他のセットの生体被検体における疾患を検出するための装置は、基板を配置し、第一材料および第二材料を基板上に二つの層として順次積層し材料スタックを形成し、第一所望特徴を形成するよう第二材料をパターン化し、第二材料を覆うよう第三材料を材料スタック上に積層し、任意選択的に第二所望特徴を形成するよう第一材料および第三材料をパターン化し、任意選択的に第四材料を材料スタック上に積層する方法によって製造される。検出デバイスは、生体被検体と相互作用し、応答信号を生成することができる。所望により、装置の機能性、装置における検出器などの構成要素の密度、および装置の測定速度を高めるために、一以上の上記ステップを繰り返すことができる。一の態様では、上記のフローを、このような特徴の垂直に積み重ねられ複数の層(構成要素)を生成するよう繰り返すことができ、これにより、多くの生体試料を同時に測定し、測定速度および効率を大きく向上できる。これは、例えば、典型的には非常に低い濃度(例えば10億当たり一つ)で存在する循環腫瘍細胞(CTC)の検出には、有用となろう。
二つのマイクロシリンダは、二つのパネルの間に配置され、二つのパネルと接合される。マイクロシリンダのそれぞれは、中実、中空または多孔性である。
基板を配置するステップと、
第一材料を基板上に積層するステップと、
第一材料上に第二材料を積層し、そしてマイクロエレクトロニクスプロセスで第二材料をパターン化するステップと、
以前に積層された材料のうちのいずれかと同じまたは異なる材料で第二ステップを少なくとも一度繰り返すステップと、を含む。
第二材料を積層する前に、マイクロエレクトロニクスプロセスによって少なくとも一つのパターンを残し基板表面の一部分を第一材料によって被覆されない状態とするステップと、
第二材料に開口部を形成し、第一材料の残されたパターンの一部分を露出させるステップと、
第二材料の開口部を第三材料で埋めるステップであって、第二材料は非導電材料であるステップと、
任意選択的に、第三材料は第二材料の凹溝に残るよう、第三材料を平坦化するステップと、
任意選択的に、第四材料を積層するステップと、
任意選択的に、第四材料に開口部を形成するステップと、
任意選択的に、第一材料、第二材料および第四材料が十分に残るよう、選択的に第三材料を十分に除去するステップと、
任意選択的に、第五材料を積層することにより第四材料における開口部を封止するステップと、を含むことができる。
基板を配置するステップと、
第一材料および第二材料を基板上に二つの層として順次積層し材料スタックを形成するステップと、
第一所望特徴を形成するよう第二材料をマイクロエレクトロニクスプロセスによってパターン化するステップと、第三材料を材料スタック上に積層するステップと、
任意選択的に第二所望特徴を形成するよう第一材料および第三材料をマイクロエレクトロニクスプロセスによってパターン化するステップと、
任意選択的に第四材料を材料スタック上に積層するステップと、を含むことができる。
第一材料および第二材料を層として基板に順次積層する前に、少なくとも一のさらなる構成要素を基板に製造するステップを含む。そのさらなる構成要素は、データ記憶構成要素、信号処理構成要素、メモリ記憶構成要素、信号受信器、信号送信構成要素、論理処理構成要素、データデコーダ、アプリケーション専用チップ構成要素またはRF構成要素を備える。あるいは、方法はさらに、
第一材料および第二材料を層として基板に順次積層する前に、少なくとも集積回路を基板に製造するステップを含む。その集積回路は、データ記憶回路、信号処理回路、メモリ記憶回路、信号送信回路、センサまたは論理処理回路を備える。あるいは、上記構成要素(データ記憶構成要素、信号処理構成要素、メモリ記憶構成要素、信号受信器、信号送信構成要素、論理処理構成要素、データデコーダ、アプリケーション専用チップ構成要素またはRF構成要素を備える、さらなる構成要素)を、別の基板上にチップとして製造することができ、そしてその後、材料スタック(チャンバ、チャネルおよび検出構成要素を備える)を有する基板に接合または集積できる。これは、フリップチップ、ウェハボンディング、シリコン貫通(TSV)技術などの技術を利用して、達成できる。
基板を配置するステップと、
第一材料および第二材料を基板上に層として順次積層し材料スタックを形成するステップと、
第二材料における凹溝の少なくとも一部を形成するよう(例えば検出のための下位構成要素を有するプローブ、検出器または集積化ユニットを形成するよう)、マイクロエレクトロニクスプロセスによって第二材料をパターン化するステップと、
第二材料を覆うよう第三材料を材料スタック上に積層し、エッチバックまたは研磨プロセスによって第二材料上の第三材料の一部を除去するステップと、
少なくとも第三材料の一部を除去するよう、リソグラフィおよびエッチングプロセスによって第三材料をパターン化するステップと、
第二材料および第三材料を覆うよう第四材料を材料スタック上に積層し、エッチバックまたは研磨プロセスによって第二材料および第三材料上の第四材料の一部を除去するステップと、
任意選択的に、第五材料を積層し、第三材料に用いた上記プロセスシーケンスを繰り返すステップと、を含む。
基板を配置するステップと、
第一材料を基板上に積層するステップと、
任意選択的に、第一材料を平坦化するステップと、
任意選択的に平坦化された第一材料上に第二材料を積層するステップであって、第二材料が、圧電的でなく、ピエゾ・フォトロニックでなく、圧電・フォトロニックでなく、導電性でもないステップと、
第二材料に少なくとも一つの凹溝を形成するよう、第二材料をパターン化するステップと、
第二材料における凹溝を埋めるとともに第二材料を覆うよう、第二材料上に、第三の、圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料を積層するステップと、
圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料に少なくとも一つの凹溝を形成するよう、第三の、圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料をパターン化するステップと、
第三の、圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料上に、その凹溝を埋めるよう、そして任意選択的に第三の、圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料を覆うよう、第四材料を積層するステップであって、第四材料は第二材料と同じまたは異なる材料でありうるし、第四材料が、圧電的でなく、ピエゾ・フォトロニックでなく、圧電・フォトロニックでなく、導電性でもないステップと、
任意選択的に第四材料を、ある構成とするよう、パターン化するステップと、
任意選択的にパターン化された第四材料上に第五材料を任意選択的に積層するステップであって、第五材料は第二材料と同じまたは異なる材料でありうるし、第五材料は第四材料とは異なる材料であり、第五材料が、圧電的でなく、ピエゾ・フォトロニックでなく、圧電・フォトロニックでなく、導電性でもないステップと、
第三の、圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料を露出させる開口部を形成するよう、第四材料および任意選択的な第五材料をパターン化するステップと、
第四材料および任意選択的な第五材料における開口部を埋めるよう、そして任意選択的に第五材料の一部分を覆うよう、第六の導電性材料を積層するステップと、
材料をすべて露出させるよう、基板上の材料をすべてパターン化するステップと、
圧電材料、ピエゾ・フォトロニック材料または圧電・フォトロニック材料を間に挟持している第二材料および第四材料を、少なくとも圧電材料の一部を露出させるよう、パターン化するステップと、を含む。
本考案を、詳細な説明によって説明したが、上記の説明は例示のためのものであり、本考案の範囲を限定するものではなく、添付の特許請求の範囲によって定義されることは理解されよう。他の態様、利点および変更は、特許請求の範囲によって定義される範囲に含まれる。ここに引用したすべての参照は、その全体が参照によって援用される。
Claims (42)
- 疾患を検出または治療するためのマイクロデバイスであって、生体試料の特性を微視的なレベルで検出する第一マイクロセンサと、チャネルを形成する内壁と、を備え、
第一マイクロセンサは、内壁に配置され、生体試料の特性を微視的なレベルで検出し、生体試料はチャネル内で輸送され、
第一マイクロセンサは、内壁の一体的部分として製造され、あるいは、第一マイクロセンサは、内壁とは別体として製造された後、内壁に接合された、
マイクロデバイス。 - 請求項1のマイクロデバイスであって、さらに、第一マイクロセンサと近接して同じ内壁に配置される少なくとも一のさらなるマイクロセンサを備えているマイクロデバイス。
- 請求項1のマイクロデバイスであって、さらに、第一マイクロセンサと近接して第一マイクロセンサと同じ内壁に配置される少なくとも三つのさらなるマイクロセンサを備えているマイクロデバイス。
- 請求項3に記載のマイクロデバイスであって、すべてのマイクロセンサは一のグループとして配置されるマイクロデバイス。
- 請求項3に記載のマイクロデバイスであって、すべてのマイクロセンサは少なくとも二つのグループとして配置されるマイクロデバイス。
- 請求項2に記載のマイクロデバイスであって、少なくとも二つのマイクロセンサは、生体試料の異なる特性を検出し、異なる特性のそれぞれは、生体被検体の独立した、電気的特性、磁気的特性、電磁気特性、熱的特性、光学的特性、音響特性、生物学的特性、化学的特性、電気機械的特性、電気化学的特性、電気光学的特性、電気熱的特性、電気化学機械的特性、生物化学的特性、生物機械的特性、生物光学的特性、生物熱的特性、生物物理的特性、生物電気機械的特性、生物電気化学的特性、生物電気光学的特性、生物電気熱的特性、生物機械光学的特性、生物機械熱的特性、生物熱光学的特性、生物電気化学光学的特性、生物電気機械光学的特性、生物電気熱光学的特性、生物電気化学機械的特性、物理的特性もしくは機械的特性、またはその組み合わせである、または、少なくとも二つのマイクロセンサは異なる機能を実行するマイクロデバイス。
- 請求項6に記載のマイクロデバイスであって、電気的特性は、表面電荷、表面電位、静止電位、電流、電場分布、電気双極子、電気四重極子、三次元電気的分布もしくは電荷雲分布、DNAおよび染色体のテロメアの電気的特性、静電容量、またはインピーダンスであり、熱的特性は、温度または振動周波数であり、光学的特性は、光学的吸収、光学的透過、光学的反射、光学電気的特性、明るさ、または蛍光発光であり、化学的特性は、pH値、化学反応、生物化学反応、生物電気化学反応、反応速度、反応エネルギー、反応の速度、酸素濃度、酸素消費速度、イオン強度、触媒挙動、高い信号応答を引き起こす化学添加物、高い信号応答を引き起こす生物化学的添加物、高い信号応答を引き起こす生物学的添加物、検出感度を高める化学薬品、検出感度を高める生物化学薬品、検出感度を高める生物学的添加物、または結合強さであり、物理的特性は、密度、形状、体積、または表面積であり、生物学的特性は、表面形状、表面積、表面電荷、表面の生物学的特性、表面の化学的特性、pH値、電解質、イオン強度、電気固有抵抗、細胞濃度、または溶液の生物学的、電気的、物理的もしくは化学的特性であり、音響的特性は、周波数、音波の速度、音響周波数および強度スペクトル分布、音の強さ、音の吸収、または音響共鳴であり、機械的特性は、内圧、硬度、流量、粘度、剪断断強さ、引き延ばし強度、破壊応力、粘着性、機械的共振周波数、弾力性、塑性、または圧縮性である、マイクロデバイス。
- 請求項6に記載のマイクロデバイスであって、マイクロセンサの少なくとも一つは、プロービングセンサであり、生体試料に擾乱信号を印加することができる、マイクロデバイス。
- 請求項1に記載のマイクロデバイスであって、第一マイクロセンサは平坦なパネル上に製造され、内壁によって形成されたチャネルに露出される、マイクロデバイス。
- 請求項1に記載のマイクロデバイスであって、対称な内部チャネルまたは外部構成を有するマイクロデバイス。
- 請求項10に記載のマイクロデバイスであって、楕円形、円形、三角形、正方形もしくは長方形の内部チャネルまたは外部構成を有するマイクロデバイス。
- 請求項11に記載のマイクロデバイスであって、正方形または長方形の内部のチャネルを有し、内壁には4つの側面があるマイクロデバイス。
- 請求項12に記載のマイクロデバイスであって、すべてのマイクロセンサは、内壁の一側面または対向する二つの側面に配置されるマイクロデバイス。
- 請求項12に記載のマイクロデバイスであって、二つのパネルを備え、マイクロセンサと読出し回路とを備えており、マイクロセンサはパネルの内壁に配置されており、該内壁はマイクロデバイスの他の内壁とともにマイクロデバイスの内部チャネルを形成しているマイクロデバイス。
- 請求項14のマイクロデバイスであって、さらに、前記二つのパネルの間に配置され、前記二つのパネルと接合される二つのマイクロシリンダを備え、
マイクロシリンダのそれぞれは、中実、中空または多孔性であるマイクロデバイス。 - 請求項15に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダは中実であるマイクロセンサを備えるマイクロデバイス。
- 請求項16に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダにおけるマイクロセンサは、マイクロデバイスのパネルのマイクロセンサと同じまたは異なる特性を検出するマイクロデバイス。
- 請求項16に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダにおけるマイクロセンサは、検査される生体試料に探測信号を印加するマイクロデバイス。
- 請求項16に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダの少なくとも一つは、少なくとも二つのマイクロセンサを備え、少なくとも二つのマイクロセンサのシリンダ内における位置は、パネルにおけるアレイ状のマイクロセンサがマイクロシリンダ内の二つのマイクロセンサの間に位置するように配置されるマイクロデバイス。
- 請求項19に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダにおける二つのセンサの間隔は、0.1ミクロン〜500ミクロン、0.1ミクロン〜50ミクロン、1ミクロン〜100ミクロン、2.5ミクロン〜100ミクロン、5ミクロン〜250ミクロンの範囲で、距離を空けて配置されるマイクロデバイス。
- 請求項20に記載のマイクロデバイスであって、パネルの少なくとも一つは、少なくとも二つのアレイ状に配置される少なくとも二つのマイクロセンサを備えており、該アレイ状の少なくとも二つのマイクロセンサはそれぞれシリンダにおける少なくとも一のマイクロセンサによって分離されているマイクロデバイス。
- 請求項20に記載のマイクロデバイスであって、パネルにおける少なくとも一つのアレイ状のマイクロセンサは、二つ以上のマイクロセンサを備えるマイクロデバイス。
- 請求項22に記載のマイクロデバイスであって、マイクロデバイスは二つのパネルを備え、二つのパネルのそれぞれは少なくとも一のマイクロセンサと読出し回路とを備えており、マイクロセンサは各パネルの内壁に配置されており、該内壁はマイクロデバイスの他の内壁とともにマイクロデバイスの内部チャネルを形成しているマイクロデバイス。
- 請求項23に記載のマイクロデバイスであって、各パネルは、アレイ状に配置された少なくとも二つのマイクロセンサを備えるマイクロデバイス。
- 請求項24のマイクロデバイスであって、さらに、前記二つのパネルの間に配置され、前記二つのパネルと接合される二つのマイクロシリンダを備え、
マイクロシリンダのそれぞれは、中実、中空または多孔性であるマイクロデバイス。 - 請求項25に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダは中実であり、マイクロシリンダの少なくとも一つはマイクロエレクトロニクス技術によって製造されたマイクロセンサを備えるマイクロデバイス。
- 請求項26に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダにおけるマイクロセンサは、マイクロデバイスのパネルのマイクロセンサと同じまたは異なる特性を検出し、
各特性は、独立した、生体被検体の電気的特性、磁気的特性、電磁気特性、熱的特性、光学的特性、音響特性、生物学的特性、化学的特性、電気機械的特性、電気化学的特性、電気光学的特性、電気熱的特性、電気化学機械的特性、生物化学的特性、生物機械的特性、生物光学的特性、生物熱的特性、生物物理的特性、生物電気機械的特性、生物電気化学的特性、生物電気光学的特性、生物電気熱的特性、生物機械光学的特性、生物機械熱的特性、生物熱光学的特性、生物電気化学光学的特性、生物電気機械光学的特性、生物電気熱光学的特性、生物電気化学機械的特性、物理的特性もしくは機械的特性、またはその組み合わせであるマイクロデバイス。 - 請求項27に記載のマイクロデバイスであって、電気的特性は、表面電荷、表面電位、静止電位、電流、電場分布、電気双極子、電気四重極子、三次元電気的分布もしくは電荷雲分布、DNAおよび染色体のテロメアの電気的特性、静電容量、またはインピーダンスであり、熱的特性は、温度または振動周波数であり、光学的特性は、光学的吸収、光学的透過、光学的反射、光学電気的特性、明るさ、または蛍光発光であり、化学的特性は、pH値、化学反応、生物化学反応、生物電気化学反応、反応速度、反応エネルギー、反応の速度、酸素濃度、酸素消費速度、イオン強度、触媒挙動、高い信号応答を引き起こす化学添加物、高い信号応答を引き起こす生物化学的添加物、高い信号応答を引き起こす生物学的添加物、検出感度を高める化学薬品、検出感度を高める生物化学薬品、検出感度を高める生物学的添加物、または結合強さであり、物理的特性は、密度、形状、体積、または表面積であり、生物学的特性は、表面形状、表面積、表面電荷、表面の生物学的特性、表面の化学的特性、pH、電解質、イオン強度、電気固有抵抗、細胞濃度、または溶液の生物学的、電気的、物理的もしくは化学的特性であり、音響的特性は、周波数、音波の速度、音響周波数および強度スペクトル分布、音の強さ、音の吸収、または音響共鳴であり、機械的特性は、内圧、硬度、流量、粘度、剪断断強さ、引き延ばし強度、破壊応力、粘着性、機械的共振周波数、弾力性、塑性、または圧縮性であるマイクロデバイス。
- 請求項27に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダにおけるマイクロセンサは、検査される生体試料にプロービング信号を印加し、そして生体試料が信号を生成することにより応答するマイクロデバイス。
- 請求項29に記載のマイクロデバイスであって、マイクロシリンダの少なくとも一つは、マイクロエレクトロニクス技術によって製造された少なくとも二つのマイクロセンサを備え、少なくとも二つのマイクロセンサのシリンダ内における位置は、パネルにおけるアレイ状のマイクロセンサがマイクロシリンダ内の二つのマイクロセンサの間に位置するよう配置されるマイクロデバイス。
- 請求項30に記載のマイクロデバイスであって、パネルの少なくとも一つは、少なくとも二つのアレイ状に配置される少なくとも二つのマイクロセンサを備えており、該アレイ状の少なくとも二つのマイクロセンサはそれぞれシリンダにおける少なくとも一のマイクロセンサによって分離されているマイクロデバイス。
- 請求項31に記載のマイクロデバイスであって、パネルにおける少なくとも一つのアレイ状のマイクロセンサは、二つ以上のマイクロセンサを備えるマイクロデバイス。
- 請求項1に記載のマイクロデバイスであって、マイクロデバイスは二つのパネルを備え、パネルの少なくとも一方はマイクロセンサと読出し回路とを備えており、マイクロセンサはパネルの内壁に配置されており、該内壁はマイクロデバイスの他の内壁とともにマイクロデバイスの内部チャネルを形成しており、
前記二つのパネルの間に配置され、前記二つのパネルと接合される二つのマイクロシリンダを備え、
マイクロシリンダのそれぞれは、中実、中空または多孔性であり、任意選択的にマイクロエレクトロニクス技術によって製造され、
マイクロデバイスの他の構成要素とともに、パネルの一つまたはマイクロシリンダに内部に接合されるまたは集積されるアプリケーション専用集積回路チップが、マイクロデバイスの内部チャネルを形成するマイクロデバイス。 - 請求項33のマイクロデバイスであって、さらに、パネルまたはマイクロシリンダに集積される光学デバイス、撮像デバイス、カメラ、観察ステーション、音響検出器、圧電的検出器、ピエゾフォトロニック検出器、圧電フォトロニック検出器、電気光学検出器、電気熱検出器、生物電気的検出器、バイオマーカ検出器、生物化学的検出器、化学的センサ、熱検出器、イオン放出検出器、または熱レコーダを備えるマイクロデバイス。
- 請求項33に記載のマイクロデバイスであって、各マイクロセンサは、独立した電気的センサ、磁気的センサ、電磁気センサ、熱的センサ、光学的センサ、音響センサ、生物学的センサ、化学的センサ、電気機械的センサ、電気化学的センサ、電気光学的センサ、電気熱的センサ、電気化学機械的センサ、生物化学的センサ、生物機械的センサ、生物光学的センサ、生物熱的センサ、生物物理的特性、生物電気機械的センサ、生物電気化学的センサ、生物電気光学的センサ、生物電気熱的センサ、生物機械光学的センサ、生物機械熱的センサ、生物熱光学的センサ、生物電気化学光学的センサ、生物電気機械光学的センサ、生物電気熱光学的センサ、生物電気化学機械的センサ、物理的センサ、機械的センサ、圧電的センサ、圧電フォトロニックセンサ、ピエゾフォトロニックセンサ、圧電光学センサ、生物電気的センサ、バイオマーカセンサ、イメージセンサ、または放射センサであるマイクロデバイス。
- 請求項1に記載のマイクロデバイスであって、第一マイクロセンサは、電気的センサ、磁気的センサ、電磁気センサ、熱的センサ、光学的センサ、音響センサ、生物学的センサ、化学的センサ、電気機械的センサ、電気化学的センサ、電気光学的センサ、電気熱的センサ、電気化学機械的センサ、生物化学的センサ、生物機械的センサ、生物光学的センサ、生物熱的センサ、生物物理的特性、生物電気機械的センサ、生物電気化学的センサ、生物電気光学的センサ、生物電気熱的センサ、生物機械光学的センサ、生物機械熱的センサ、生物熱光学的センサ、生物電気化学光学的センサ、生物電気機械光学的センサ、生物電気熱光学的センサ、生物電気化学機械的センサ、物理的センサ、機械的センサ、圧電的センサ、圧電フォトロニックセンサ、ピエゾフォトロニックセンサ、圧電光学センサ、生物電気的センサ、バイオマーカセンサ、イメージセンサ、または放射センサであるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、熱的センサには、抵抗性温度マイクロセンサ、マイクロ熱電対、熱ダイオードおよび熱トランジスタ、および表面弾性波(SAW)温度センサが含まれるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、イメージセンサは、電荷結合素子(CCD)またはCMOS画像センサ(CIS)から構成されるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、放射センサは、光導電デバイス、光起電デバイス、ピロ電気デバイス、またはマイクロアンテナから構成されるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、機械的センサは、圧力マイクロセンサ、マイクロ加速度測定器、フロー計測器、粘度測定ツール、マイクロジャイロメータ、またはマイクロフローセンサから構成されるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、磁気センサは、磁気ガルヴァニック・マイクロセンサ、磁気抵抗性センサ、磁気ダイオードまたは磁気トランジスタから構成されるマイクロデバイス。
- 請求項36に記載のマイクロデバイスであって、生物化学的センサは、伝導性測定デバイスまたは電位差計デバイスから構成されるマイクロデバイス。
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