JP5422781B2 - 発光分析装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1に係るプラズマCVDシステムについて説明する。
次に、本発明の実施の形態2に係るプラズマCVDシステムについて説明する。
実施の形態2に係るプラズマ発光分析装置100Aでは、図10に示すように、第3波長帯における直線1004と、第3波長帯以外の波長帯における分光スペクトル400とを多項式近似することにより得られる波形1002と、分光スペクトル400との差を計算することにより、基板に成膜される薄膜の分子の発光による光強度を算出した。
110 波長取得部
120、120A プラズマ光強度算出部
130 分子光強度算出部
140 比算出部
200 分光計測器
210 プラズマCVD装置
300 表示装置
400、802、804、806 分光スペクトル
402、404、1002、1006、1008、1102 波形
808、1004 直線
Claims (8)
- 発光分析装置であって、
分光計測器で計測された容器内の波長毎の光強度を示す分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記容器内の波長毎の光強度を算出する第1光強度算出部と、
波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出部が算出した光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する光強度を算出する第2光強度算出部と、
前記第2光強度算出部が算出した光強度を用いて、第1分子の分子スペクトルまたは第1原子の原子スペクトルのピーク値と、第2分子の分子スペクトルまたは第2原子の原子スペクトルのピーク値との比を算出する比算出部とを備え、
前記第1光強度算出部は、前記分光計測器で計測された、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置の前記容器内の波長毎の光強度を示す前記分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記プラズマCVD装置内に存在するプラズマが放出する光の波長毎の光強度を算出し、
前記第2光強度算出部は、波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出部が算出した前記プラズマが放出する光の光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する、基板に成膜される薄膜の分子または原子の発光による光強度を算出し、
前記発光分析装置は、さらに、
第1波長と、前記第1波長よりも大きい第2波長と、前記第2波長よりも大きい第3波長と、前記第3波長よりも大きい第4波長とを取得する波長取得部を備え、
前記第1光強度算出部は、(a)前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第1波長から前記第2波長までの波長帯である第1波長帯に含まれる分光スペクトルと、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第3波長から前記第4波長までの波長帯である第2波長帯に含まれる分光スペクトルとに所定の関数を当てはめることにより、前記第1波長帯に含まれる第1の所定波長から前記第2波長帯に含まれる第2の所定波長までの波長帯である第3波長帯の光の光強度を算出し、(b)前記第3波長帯における算出した光強度と、前記第3波長帯以外の波長帯における前記分光スペクトルとを、多項式で近似することにより、前記容器内の波長毎の光強度を算出する
発光分析装置。 - 前記第1光強度算出部は、さらに、各波長の光強度のうち、近似した前記多項式との差が大きいものから所定の割合の光強度を除外した上で、再度、前記第3波長帯における算出した光強度と、前記第3波長帯以外の波長帯における前記分光スペクトルとを、多項式で近似する
請求項1に記載の発光分析装置。 - 発光分析装置であって、
分光計測器で計測された容器内の波長毎の光強度を示す分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記容器内の波長毎の光強度を算出する第1光強度算出部と、
波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出部が算出した光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する光強度を算出する第2光強度算出部と、
前記第2光強度算出部が算出した光強度を用いて、第1分子の分子スペクトルまたは第1原子の原子スペクトルのピーク値と、第2分子の分子スペクトルまたは第2原子の原子スペクトルのピーク値との比を算出する比算出部とを備え、
前記第1光強度算出部は、前記分光計測器で計測された、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置の前記容器内の波長毎の光強度を示す前記分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記プラズマCVD装置内に存在するプラズマが放出する光の波長毎の光強度を算出し、
前記第2光強度算出部は、波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出部が算出した前記プラズマが放出する光の光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する、基板に成膜される薄膜の分子または原子の発光による光強度を算出し、
前記発光分析装置は、さらに、
第1波長と、前記第1波長よりも大きい第2波長と、前記第2波長よりも大きい第3波長と、前記第3波長よりも大きい第4波長とを取得する波長取得部を備え、
前記第1光強度算出部は、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第1波長から前記第2波長までの波長帯である第1波長帯に含まれる分光スペクトルと、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第3波長から前記第4波長までの波長帯である第2波長帯に含まれる分光スペクトルとに所定の関数を当てはめることにより、前記第1波長帯に含まれる第1の所定波長から前記第2波長帯に含まれる第2の所定波長までの波長帯である第3波長帯の光の光強度を算出し、
前記第2光強度算出部は、前記第3波長帯において、波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出部が算出した光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する光強度を算出する
発光分析装置。 - 前記第1光強度算出部は、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第1波長から前記第2波長までの波長帯である第1波長帯に含まれる分光スペクトルに直線を当てはめることにより第1直線を算出し、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第3波長から前記第4波長までの波長帯である第2波長帯に含まれる分光スペクトルに直線を当てはめることにより第2直線を算出し、前記第1直線上の前記第1の所定波長の点と前記第2直線上の前記第2の所定波長の点とを直線で結ぶことにより第3波長帯の光の光強度を算出する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光分析装置。 - 前記第1の所定波長は、(前記第1波長+前記第2波長)/2であり、
前記第2の所定波長は、(前記第3波長+前記第4波長)/2である
請求項4に記載の発光分析装置。 - 前記第1の所定波長は、第2波長であり、
前記第2の所定波長は、第3波長である
請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光分析装置。 - 発光分析方法であって、
分光計測器で計測された容器内の波長毎の光強度を示す分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記容器内の波長毎の光強度を算出する第1光強度算出ステップと、
波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出ステップで算出された光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する光強度を算出する第2光強度算出ステップと、
前記第2光強度算出ステップで算出された光強度を用いて、第1分子の分子スペクトルまたは第1原子の原子スペクトルのピーク値と、第2分子の分子スペクトルまたは第2原子の原子スペクトルのピーク値との比を算出する比算出ステップとを含み、
前記第1光強度算出ステップでは、前記分光計測器で計測された、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置の前記容器内の波長毎の光強度を示す前記分光スペクトルを多項式で近似することにより、前記プラズマCVD装置内に存在するプラズマが放出する光の波長毎の光強度を算出し、
前記第2光強度算出ステップでは、波長毎に、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルが示す光強度から、前記第1光強度算出ステップで算出された前記プラズマが放出する光の光強度を減算することにより、分子または原子の輝線スペクトルに対応する、基板に成膜される薄膜の分子または原子の発光による光強度を算出し、
前記発光分析方法は、さらに、
第1波長と、前記第1波長よりも大きい第2波長と、前記第2波長よりも大きい第3波長と、前記第3波長よりも大きい第4波長とを取得する波長取得ステップを含み、
前記第1光強度算出ステップでは、(a)前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第1波長から前記第2波長までの波長帯である第1波長帯に含まれる分光スペクトルと、前記分光計測器で計測された前記分光スペクトルのうち、前記第3波長から前記第4波長までの波長帯である第2波長帯に含まれる分光スペクトルとに所定の関数を当てはめることにより、前記第1波長帯に含まれる第1の所定波長から前記第2波長帯に含まれる第2の所定波長までの波長帯である第3波長帯の光の光強度を算出し、(b)前記第3波長帯における算出した光強度と、前記第3波長帯以外の波長帯における前記分光スペクトルとを、多項式で近似することにより、前記容器内の波長毎の光強度を算出する
発光分析方法。 - 請求項7に記載の発光分析方法に含まれる全てのステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。
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