JP5418099B2 - 両面研磨装置の研磨布の洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Description
なお、上述の洗浄工程では、アーム11を上下の回転定盤4、5間に挿入した後に、昇降手段12によりキャリア3を上の回転定盤5側に移動させて、キャリア3とアーム11とを所定の位置に配置しているが、かかる工程に限定されるものではなく、例えば、図示は省略するが、昇降手段12によりキャリア3を上の回転定盤5側に移動させてから、アーム11を上下の回転定盤4、5間に挿入し、キャリア3に対してアーム11を所定の位置に配置することも可能である。
2 ホール
3 キャリア
30 キャリアの内周面
4 上の回転定盤
5 下の回転定盤
6 研磨布
7 ギア
8 洗浄装置
9 二股の先端部分
90 上側の先端部分
90’ 下側の先端部分
10 ノズル
11 アーム
12 昇降手段
W ワーク
Claims (4)
- ワークを嵌め込むホールを有するキャリアと、該キャリアを挟んで対向する上下一対の回転定盤とを具え、該回転定盤の対向面に、ワークを研磨するための、研磨布を夫々有する両面研磨装置において、該上下の回転定盤の研磨布に対し流体を吹き付けて研磨布を洗浄するにあたり、
前記上下の回転定盤を離間させた後、ワークをキャリアのホールから取り出し、
該離間させた上下の回転定盤間に、二股の先端部分に研磨布に対し流体を吹付ける一対のノズルを有するアームを挿入し、キャリアを、下の回転定盤から、上の回転定盤側へと移動させて、該ノズルをキャリアのホール内に配置し、
上下の回転定盤を回転させ、ノズルをホール内にてホール径方向に往復移動させつつ、ノズルから該上下の回転定盤の研磨布に向かって流体を吹き付けて、両研磨布を洗浄することを特徴とする研磨布の洗浄方法。 - 前記研磨布を洗浄する工程において、前記ノズルをホール内にてホール径方向に往復移動させる際に、前記アームの先端部分の股内にキャリアを受け入れて、ノズルの往復移動経路をキャリア内へと延長させる、請求項1に記載の研磨布の洗浄方法。
- ワークを嵌め込むホールを有するキャリアと、該キャリアを挟んで対向する上下一対の回転定盤とを具え、該回転定盤の対向面に、ワークを研磨するための、研磨布を夫々有する両面研磨装置に使用され、研磨布に対し流体を吹き付けて、該研磨布を洗浄する装置であって、
二股の先端部分に研磨布に流体を吹付けるノズルを有し、離間した上下の回転定盤間の空間に進退し、かつ、該ノズルをキャリアのホール内にてホールの径方向に往復動させるための揺動が可能なアームと、
前記キャリアを上下の回転定盤間において昇降させる昇降手段と、を具えることを特徴とする、両面研磨装置の研磨布の洗浄装置。 - 前記二股の先端部分間の距離が、キャリアの厚さよりも大きい、請求項3に記載の両面研磨装置の研磨布の洗浄装置。
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