JP5410040B2

JP5410040B2 - Substrate processing equipment

Info

Publication number: JP5410040B2
Application number: JP2008167268A
Authority: JP
Inventors: 伸康平岡
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2008-06-26
Filing date: 2008-06-26
Publication date: 2014-02-05
Anticipated expiration: 2028-06-26
Also published as: JP2010010348A

Description

この発明は、処理液ノズルを用いて基板に処理液を供給する基板処理装置に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等が含まれる。 The present invention relates to a substrate processing apparatus that supplies a processing liquid to a substrate using a processing liquid nozzle. Examples of substrates to be processed include semiconductor wafers, liquid crystal display substrates, glass substrates for plasma displays, FED (Field Emission Display) substrates, optical disk substrates, magnetic disk substrates, magneto-optical disk substrates, A photomask substrate or the like is included.

半導体装置や液晶表示装置の製造工程には、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板に対して処理液を用いた処理を施す基板処理装置が用いられる。このような基板処理装置には、複数枚の基板に対して一括して処理を施すバッチ型のものと、１枚ずつの基板に対して処理を施す枚葉型のものとがある。
枚葉型の基板処理装置は、基板をほぼ水平に保持して回転させるスピンチャックと、このスピンチャックに保持された基板に対して処理液を供給する処理液ノズルとを備えている。 In a manufacturing process of a semiconductor device or a liquid crystal display device, a substrate processing apparatus that performs processing using a processing liquid on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display panel is used. Such substrate processing apparatuses include a batch type that performs processing on a plurality of substrates at once and a single-wafer type that performs processing on each substrate.
The single wafer type substrate processing apparatus includes a spin chuck that rotates while holding the substrate substantially horizontally, and a processing liquid nozzle that supplies a processing liquid to the substrate held by the spin chuck.

図１１は、従来の処理液ノズル５０の構成を示す図解図である。処理液ノズル５０には、処理液供給配管５１が接続され、この処理液供給配管５１の途中部には、処理液バルブ５２が介装されている。そして、この処理液バルブ５２の開閉によって、基板Ｗへの処理液の供給および供給停止が制御されるようになっている。
処理液ノズル５０は、処理液吐出管５３を備えている。この処理液吐出管５３は、水平部５４と、この水平部５４の先端部から垂下した垂下部５５とを有している。垂下部５５は、円筒形状に形成されており、この垂下部５５の下端に吐出口５６が形成されている。処理液ノズル５０は、基板Ｗの上方位置に、吐出口５６を基板Ｗの表面に向けて配置されている。 FIG. 11 is an illustrative view showing a configuration of a conventional processing liquid nozzle 50. A processing liquid supply pipe 51 is connected to the processing liquid nozzle 50, and a processing liquid valve 52 is interposed in the middle of the processing liquid supply pipe 51. The supply and stop of the processing liquid to the substrate W is controlled by opening and closing the processing liquid valve 52.
The processing liquid nozzle 50 includes a processing liquid discharge pipe 53. The processing liquid discharge pipe 53 has a horizontal portion 54 and a hanging portion 55 that hangs down from the tip of the horizontal portion 54. The hanging portion 55 is formed in a cylindrical shape, and a discharge port 56 is formed at the lower end of the hanging portion 55. The processing liquid nozzle 50 is disposed above the substrate W with the discharge port 56 facing the surface of the substrate W.

処理液バルブ５２と処理液ノズル５０との間の処理液供給配管５１からは、吸引配管５７が分岐している。この吸引配管５７は、吸引バルブ５８を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。
処理液バルブ５２を閉じて処理液５９の供給を停止するときには、吸引バルブ５８が開かれ、処理液バルブ５２よりも処理液ノズル５０側の処理液５９が吸引される。処理液５９の吸引は、処理液５９の先端面が水平部５４にある所定の待機位置に後退するまで行われる。
特開２００５−２７７２１１号公報 A suction pipe 57 is branched from the processing liquid supply pipe 51 between the processing liquid valve 52 and the processing liquid nozzle 50. The suction pipe 57 is connected to a suction device (not shown) via a suction valve 58.
When the processing liquid valve 52 is closed and the supply of the processing liquid 59 is stopped, the suction valve 58 is opened, and the processing liquid 59 closer to the processing liquid nozzle 50 than the processing liquid valve 52 is sucked. The suction of the processing liquid 59 is performed until the front end surface of the processing liquid 59 moves back to a predetermined standby position in the horizontal portion 54.
JP 2005-277111 A

しかしながら、処理液ノズル５０から吐出される処理液５９が、粘性（表面張力）の低いもの（たとえば、ふっ酸やバファードふっ酸）である場合、処理液吐出管５３内の処理液５９が十分に吸引されずに、垂下部５５の内壁に処理液５９が残留するおそれがある。そして、処理液５９の供給停止後に、垂下部５５に残留する処理液５９が内壁を伝って流下し、吐出口５６から液滴となって基板Ｗ上にぼた落ちすることがある。この基板Ｗ上への処理液５９のぼた落ちは、パーティクルの発生や基板Ｗの処理不良の原因になるおそれがある。 However, when the processing liquid 59 discharged from the processing liquid nozzle 50 has a low viscosity (surface tension) (for example, hydrofluoric acid or buffed hydrofluoric acid), the processing liquid 59 in the processing liquid discharge pipe 53 is sufficient. The processing liquid 59 may remain on the inner wall of the hanging part 55 without being sucked. Then, after the supply of the processing liquid 59 is stopped, the processing liquid 59 remaining in the hanging part 55 may flow down along the inner wall and may drop as droplets from the discharge port 56 onto the substrate W. The dripping of the processing liquid 59 on the substrate W may cause generation of particles or processing defects of the substrate W.

また、処理液ノズル５０から吐出される処理液５９が薬液（たとえば、ふっ酸やバファードふっ酸）である場合には、処理液吐出管５３の先端部の内壁でこれらの薬液が乾燥して結晶化するおそれがある。こうした薬液結晶は、パーティクル発生の原因になるおそれがある。
そこで、この発明の目的は、処理液ノズルの吐出口からの処理液のぼた落ち、および処理液ノズルにおける処理液の結晶化を防止または抑制することができる基板処理装置を提供することである。 Further, when the processing liquid 59 discharged from the processing liquid nozzle 50 is a chemical liquid (for example, hydrofluoric acid or buffered hydrofluoric acid), these chemical liquids are dried and crystallized on the inner wall of the distal end portion of the processing liquid discharge pipe 53. There is a risk of becoming. Such chemical crystals may cause particle generation.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of preventing or suppressing the dripping of the processing liquid from the discharge port of the processing liquid nozzle and the crystallization of the processing liquid at the processing liquid nozzle. .

前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、先端部（２３Ａ）に形成された吐出口（２９）から基板（Ｗ）に向けて処理液を吐出する処理液吐出管（２３）と、前記先端部の管壁を伝う処理液を捕獲する捕獲部（３０，８３，９１，１０１）とを備えた処理液ノズル（４，８０，９０，１００）と、前記処理液ノズルに処理液を供給するための処理液供給手段（１４）とを含み、前記先端部の管壁に、処理液が通過可能であって、前記捕獲部が形成される前記先端部の内壁に開口する通過孔が形成されており、前記捕獲部に捕獲された処理液を、前記通過孔を通して前記処理液吐出管の外部に向けて吸引する吸引手段（３１，３２，３５）をさらに含む、基板処理装置である。 In order to achieve the above object, the invention as set forth in claim 1 is directed to a processing liquid discharge pipe (23) for discharging a processing liquid from a discharge port (29) formed in a tip end portion (23A) toward a substrate (W). And a processing liquid nozzle (4 , 80, 90 , 100) including a capturing section (30 , 83 , 91 , 101) for capturing the processing liquid transmitted through the tube wall at the tip, and the processing liquid nozzle And a processing liquid supply means (14) for supplying the processing liquid to the tube wall of the tip portion, the processing liquid can pass through the tube wall of the tip portion, and an opening is formed in the inner wall of the tip portion where the capture portion is formed. The substrate further includes suction means (31, 32, 35) for sucking the processing liquid captured by the trapping portion through the passage hole toward the outside of the processing liquid discharge pipe. It is a processing device.

なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、処理液吐出管の先端部の管壁を伝う処理液が、捕獲部によって捕獲される。そして、捕獲部によって捕獲された処理液が、吸引手段によって吸引されて、先端部の管壁から除去される。したがって、先端部の管壁に処理液がほとんど残留しない。これにより、処理液ノズルの吐出口からの処理液のぼた落ち、および処理液ノズルにおける処理液の結晶化を防止または抑制することができる。 In addition, the alphanumeric characters in parentheses represent corresponding components in the embodiments described later. The same applies hereinafter.
According to this configuration, the processing liquid that is transmitted through the tube wall at the tip of the processing liquid discharge pipe is captured by the capturing unit. Then, the processing liquid captured by the capturing unit is sucked by the suction unit and removed from the tube wall at the tip. Therefore, almost no treatment liquid remains on the tube wall at the tip. Thereby, the dripping of the treatment liquid from the discharge port of the treatment liquid nozzle and the crystallization of the treatment liquid at the treatment liquid nozzle can be prevented or suppressed.

請求項２記載の発明は、前記捕獲部が、前記先端部の管壁の少なくとも一部をなす多孔質体（３０）を含み、前記通過孔が、前記多孔質体に含まれる空孔を含み、前記吸引手段が、前記多孔質体に捕獲された処理液を、当該多孔質体を通して吸引する手段（３１，３２，３５）を含む、請求項１記載の基板処理装置である。
この構成によれば、処理液吐出管の先端部の管壁が多孔質体によって構成されている。そのため、多孔質体を通過させることにより、処理液を処理液吐出管の管壁の内外を移動させることが可能である。したがって、処理液吐出管内で多孔質体により捕獲された処理液が、吸引手段によって多孔質体を通過して吸引されて処理液吐出管の外部に移動する。つまり、処理液吐出管内の処理液を、吐出口を経由せずに処理液吐出管外に除去することができる。これにより、基板上への処理液のぼた落ちをより一層抑制することができる。 In the invention according to claim 2, the capture part includes a porous body (30) forming at least a part of a tube wall of the tip part, and the passage hole includes a hole included in the porous body. the suction means, the porous body captured treatment liquid, including means (31, 32, 35) for sucking through the porous body, a substrate processing apparatus according to claim 1.
According to this configuration, the tube wall at the tip of the processing liquid discharge tube is configured by the porous body. Therefore, by passing the porous body, the processing liquid can be moved inside and outside the tube wall of the processing liquid discharge pipe. Therefore, the processing liquid captured by the porous body in the processing liquid discharge pipe passes through the porous body by the suction means and is sucked and moves to the outside of the processing liquid discharge pipe. That is, the processing liquid in the processing liquid discharge pipe can be removed outside the processing liquid discharge pipe without going through the discharge port. Thereby, the dripping of the processing liquid on the substrate can be further suppressed.

請求項３に記載のように、前記捕獲部が、前記先端部の内壁に形成された受け溝（８３，９１）を含み、前記通過孔が、前記管壁の内外を貫通し、前記受け溝に受けられた処理液を通過させるための貫通孔（８１）を含んでいてもよい。 The capture portion includes a receiving groove (83, 91) formed in an inner wall of the tip portion, and the passage hole penetrates the inside and outside of the tube wall, and the receiving groove The through-hole (81) for allowing the processing liquid received to pass through may be included.

請求項４に記載のように、前記捕獲部が、前記管壁の内外を貫通する貫通孔（１０１）を含み、前記貫通孔に捕獲された処理液が、前記吸引手段によって、当該通過孔を通して吸引されてもよい。 As described in claim 4, the capture part includes a through hole (101) penetrating the inside and outside of the tube wall, and the processing liquid captured in the through hole passes through the through hole by the suction means. It may be aspirated.

以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。
基板処理装置は、処理液を用いて、半導体ウエハなどの基板Ｗから汚染物質を除去するための洗浄処理を実行するための装置である。処理液として、たとえば、薬液とリンス液としてのＤＩＷ（脱イオン化された水）とを用いることができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
The substrate processing apparatus is an apparatus for performing a cleaning process for removing contaminants from a substrate W such as a semiconductor wafer using a processing liquid. As the treatment liquid, for example, a chemical liquid and DIW (deionized water) as a rinse liquid can be used.

この基板処理装置は、隔壁（図示せず）により区画された処理室２内に、基板Ｗをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック３と、スピンチャック３に保持された基板Ｗの表面（上面）に向けて薬液を供給するための薬液ノズル４と、スピンチャック３に保持された基板Ｗの表面（上面）に向けてＤＩＷを供給するためのＤＩＷノズル５と、スピンチャック３の周囲を取り囲み、基板Ｗをから飛散する薬液およびＤＩＷを受け止めるためのカップ６とを備えている。 This substrate processing apparatus includes a spin chuck 3 for holding and rotating a substrate W in a processing chamber 2 partitioned by a partition wall (not shown), and a substrate W held on the spin chuck 3. A chemical nozzle 4 for supplying a chemical toward the surface (upper surface), a DIW nozzle 5 for supplying DIW toward the surface (upper surface) of the substrate W held by the spin chuck 3, A cup 6 is provided that surrounds the periphery and receives the chemical solution and DIW scattered from the substrate W.

スピンチャック３は、モータ７と、このモータ７の回転駆動力によって鉛直軸線まわりに回転される円盤状のスピンベース８と、スピンベース８の周縁部の複数箇所にほぼ等間隔で設けられ、基板Ｗをほぼ水平な姿勢で挟持するための複数個の挟持部材９とを備えている。これにより、スピンチャック３は、複数個の挟持部材９によって基板Ｗを挟持した状態で、モータ７の回転駆動力によってスピンベース８を回転させることにより、その基板Ｗを、ほぼ水平な姿勢を保った状態で、スピンベース８とともに鉛直軸線まわりに回転させることができる。 The spin chuck 3 is provided at substantially equal intervals at a plurality of locations around the motor 7, a disk-shaped spin base 8 that is rotated around the vertical axis by the rotational driving force of the motor 7, and a peripheral portion of the spin base 8. And a plurality of clamping members 9 for clamping W in a substantially horizontal posture. As a result, the spin chuck 3 keeps the substrate W in a substantially horizontal posture by rotating the spin base 8 with the rotational driving force of the motor 7 while the substrate W is sandwiched between the plurality of sandwiching members 9. In this state, it can be rotated around the vertical axis together with the spin base 8.

なお、スピンチャック３としては、このような構成のものに限らず、たとえば、基板Ｗの裏面を真空吸着することにより基板Ｗをほぼ水平な姿勢で保持し、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持した基板Ｗを回転させることができる真空吸着式のもの（バキュームチャック）が採用されてもよい。
薬液ノズル４は、スピンチャック３の上方でほぼ水平に延びるノズルアーム１０の先端部に取り付けられている。このノズルアーム１０は、カップ６の側方でほぼ鉛直に延びたアーム支持軸１１に支持されている。アーム支持軸１１には、モータ（図示せず）を含むノズル駆動機構１２が結合されている。ノズル駆動機構１２からアーム支持軸１１に回転力を入力して、アーム支持軸１１を回動させることにより、スピンチャック３の上方でノズルアーム１０を揺動させることができる。薬液ノズル４は、薬液の供給が行われないときには、カップ６の側方の退避位置に退避しており、薬液の供給時には、基板Ｗの上面に対向する処理位置へと移動する。 The spin chuck 3 is not limited to such a configuration. For example, the back surface of the substrate W is vacuum-sucked to hold the substrate W in a substantially horizontal posture, and in this state, the spin chuck 3 has a substantially vertical axis. Alternatively, a vacuum chucking type (vacuum chuck) that can rotate the held substrate W may be employed.
The chemical nozzle 4 is attached to the tip of a nozzle arm 10 that extends substantially horizontally above the spin chuck 3. The nozzle arm 10 is supported by an arm support shaft 11 extending substantially vertically on the side of the cup 6. A nozzle drive mechanism 12 including a motor (not shown) is coupled to the arm support shaft 11. By inputting rotational force from the nozzle drive mechanism 12 to the arm support shaft 11 and rotating the arm support shaft 11, the nozzle arm 10 can be swung over the spin chuck 3. When the chemical solution is not supplied, the chemical nozzle 4 is retracted to the side retracted position of the cup 6, and when the chemical solution is supplied, the chemical nozzle 4 moves to a processing position facing the upper surface of the substrate W.

薬液ノズル４には、薬液供給源からの薬液が供給される薬液供給管（処理液供給手段）１４が接続されている。薬液供給管１４の途中部には、薬液ノズル４からの薬液の吐出／吐出停止を切り換えるための薬液バルブ１５が介装されている。薬液バルブ１５が開かれると、薬液バルブ１５から薬液ノズル４に薬液が供給され、薬液ノズル４から薬液が吐出される。薬液ノズル４と薬液バルブ１５との間の薬液供給管１４からは、第１吸引配管１６が分岐している。この第１吸引配管１６は、第１吸引バルブ１７を介して、処理室２の外部に配置された第１真空発生装置１８に接続されている。そして、第１真空発生装置１８に吸引された薬液および雰囲気は、図示しない排気液設備により処理される。この実施形態では、薬液供給源から薬液供給管１４に供給される薬液が低粘性（低表面張力）の薬液（ふっ酸（HF）、バファードふっ酸（Buffered HF：ふっ酸とフッ化アンモニウムとの混合液）など）である場合を例にとって説明する。 A chemical liquid supply pipe (processing liquid supply means) 14 to which a chemical liquid from a chemical liquid supply source is supplied is connected to the chemical liquid nozzle 4. In the middle of the chemical liquid supply pipe 14, a chemical liquid valve 15 for switching the discharge / stop of discharge of the chemical liquid from the chemical liquid nozzle 4 is interposed. When the chemical liquid valve 15 is opened, the chemical liquid is supplied from the chemical liquid valve 15 to the chemical liquid nozzle 4, and the chemical liquid is discharged from the chemical liquid nozzle 4. A first suction pipe 16 branches from a chemical liquid supply pipe 14 between the chemical liquid nozzle 4 and the chemical liquid valve 15. The first suction pipe 16 is connected via a first suction valve 17 to a first vacuum generator 18 disposed outside the processing chamber 2. And the chemical | medical solution and atmosphere attracted | sucked by the 1st vacuum generator 18 are processed by the exhaust-gas equipment which is not shown in figure. In this embodiment, the chemical supplied from the chemical supply source to the chemical supply pipe 14 is a low-viscosity (low surface tension) chemical (hydrofluoric acid (HF), buffered HF (Buffered HF): The case of a mixed solution)) will be described as an example.

スピンチャック３に基板Ｗが保持され、その基板Ｗの上方に薬液ノズル４が配置された状態で、薬液ノズル４から薬液を吐出させることにより、基板Ｗの表面に薬液を供給することができる。そして、この薬液ノズル４から基板Ｗの表面への薬液の供給時に、ノズルアーム１０を所定の角度範囲内で揺動させることにより、基板Ｗの表面における薬液の供給位置を、基板Ｗの回転中心から基板Ｗの周縁部に至る範囲内を円弧状の軌跡を描きつつ移動させることができる。 The chemical liquid can be supplied to the surface of the substrate W by discharging the chemical liquid from the chemical liquid nozzle 4 while the substrate W is held on the spin chuck 3 and the chemical liquid nozzle 4 is disposed above the substrate W. Then, when the chemical liquid is supplied from the chemical liquid nozzle 4 to the surface of the substrate W, the nozzle arm 10 is swung within a predetermined angle range, whereby the supply position of the chemical liquid on the surface of the substrate W is set to the rotation center of the substrate W. Can be moved while drawing an arc-shaped trajectory within a range from the peripheral edge of the substrate W to the peripheral edge of the substrate W.

ＤＩＷノズル５は、スピンチャック３の上方に、その吐出口をスピンチャック３の上面に向けて固定的に配置されている。
ＤＩＷノズル５には、ＤＩＷ供給ラインからのＤＩＷが供給されるＤＩＷ供給管２０が接続されている。このＤＩＷ供給管２０には、ＤＩＷバルブ２１が介装されている。ＤＩＷバルブ２１が開かれると、ＤＩＷ供給管２０からＤＩＷノズル５にＤＩＷが供給され、ＤＩＷノズル５からＤＩＷが吐出される。スピンチャック３に基板Ｗが保持された状態で、ＤＩＷノズル５からＤＩＷを吐出させることにより、基板Ｗの表面にＤＩＷを供給することができる。 The DIW nozzle 5 is fixedly disposed above the spin chuck 3 with its discharge port facing the upper surface of the spin chuck 3.
A DIW supply pipe 20 to which DIW is supplied from the DIW supply line is connected to the DIW nozzle 5. A DIW valve 21 is interposed in the DIW supply pipe 20. When the DIW valve 21 is opened, DIW is supplied from the DIW supply pipe 20 to the DIW nozzle 5, and DIW is discharged from the DIW nozzle 5. DIW can be supplied to the surface of the substrate W by discharging DIW from the DIW nozzle 5 while the substrate W is held on the spin chuck 3.

図２は、薬液ノズル４の構造を図解的に示す縦断面図である。
薬液ノズル４は、横断面形状が円環状の薬液吐出管２３と、薬液吐出管２３の先端部（後述する垂下部２７の下部領域２７Ａ）の周囲を取り囲んで被覆するカバー２４とを備えている。
薬液吐出管２３は、内部に薬液流路２５が形成されており、水平方向に延びる円筒状の水平部２６と、この水平部２６の先端部から垂下した円筒状の垂下部２７とを備えている。薬液流路２５は、水平部２６の基端部で導入口２８として開口するとともに、垂下部２７の下端部２７Ｂで吐出口２９としてほぼ円形状に開口している。導入口２８を介して薬液流路２５に導入された薬液が、薬液流路２５を流通した後、吐出口２９から吐出される。 FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing the structure of the chemical liquid nozzle 4.
The chemical liquid nozzle 4 includes a chemical liquid discharge pipe 23 having an annular cross-sectional shape, and a cover 24 that surrounds and covers the periphery of the tip of the chemical liquid discharge pipe 23 (a lower region 27A of a hanging part 27 described later). .
The chemical liquid discharge pipe 23 has a chemical flow path 25 formed therein, and includes a cylindrical horizontal portion 26 extending in the horizontal direction and a cylindrical hanging portion 27 depending from the tip of the horizontal portion 26. Yes. The chemical liquid channel 25 opens as an introduction port 28 at the base end portion of the horizontal portion 26 and opens in a substantially circular shape as a discharge port 29 at the lower end portion 27 B of the hanging portion 27. The chemical liquid introduced into the chemical liquid flow path 25 through the introduction port 28 flows through the chemical liquid flow path 25 and is then discharged from the discharge port 29.

薬液吐出管２３の垂下部２７のほぼ下半分を占める下部領域２７Ａは、多孔質体（捕獲部）３０によって形成されている。多孔質体３０は、たとえばＰＶＡ（polyvinyl alcohol）製のスポンジであり、多数の空孔（通過孔）を有している。この多孔質体３０の空孔は、薬液（たとえば、ふっ酸やバファードふっ酸）が通過することができる大きさ（たとえば、０．０５〜１００μｍの径）である。このため、多孔質体３０を通過させて、薬液を薬液吐出管２３の管壁の内外を移動させることが可能である。なお、多孔質体３０として、ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、アクリル樹脂、シリコン、またはゴムなど、薬液吐出管２３を流通する薬液に対する耐性がある他の材質のスポンジを採用することもできる。多孔質体３０を除く薬液吐出管２３は、ＰＶＣ（poly−vinyl−chloride）、ＰＴＦＥ（poly tetra-fluoro ethylene）およびＰＦＡ（perfluoro−alkylvinyl−ether−tetrafluoro−ethlene−copolymer）などの樹脂材料によって形成されている。 A lower region 27 A occupying almost the lower half of the hanging portion 27 of the chemical solution discharge pipe 23 is formed by a porous body (capturing portion) 30. The porous body 30 is a sponge made of PVA (polyvinyl alcohol), for example, and has a large number of holes (passage holes) . The pores of the porous body 30 have a size (for example, a diameter of 0.05 to 100 μm) through which a chemical solution (for example, hydrofluoric acid or buffered hydrofluoric acid) can pass. For this reason, it is possible to move the inside and outside of the tube wall of the chemical solution discharge pipe 23 through the porous body 30. In addition, as the porous body 30, a sponge made of another material that is resistant to the chemical liquid flowing through the chemical liquid discharge pipe 23, such as urethane resin, polyethylene resin, acrylic resin, silicon, or rubber, may be used. The chemical solution discharge pipe 23 excluding the porous body 30 is formed of a resin material such as PVC (poly-vinyl-chloride), PTFE (polytetra-fluoroethylene), and PFA (perfluoro-alkylvinyl-ether-tetrafluoro-ethlene-copolymer). Has been.

カバー２４は、垂下部２７の中心軸線Ｊと共通の中心軸線を有する円筒状のものであり、薬液吐出管２３の外壁と空隙Ｓを隔てて配置されている。カバー２４の内壁と薬液吐出管２３の外壁とによって排気空間３７が区画されている。排気空間３７は、薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）に隣接して形成されており、垂下部２７の中心軸線Ｊと共通の中心軸線を有する円筒状の間隙である。この排気空間３７は、カバー２４の上端部および下端部で閉塞されている。 The cover 24 has a cylindrical shape having a central axis common to the central axis J of the hanging portion 27, and is arranged with the outer wall of the chemical solution discharge pipe 23 and the gap S therebetween. An exhaust space 37 is defined by the inner wall of the cover 24 and the outer wall of the chemical solution discharge pipe 23. The exhaust space 37 is formed adjacent to the distal end portion (lower region 27 A) of the chemical solution discharge pipe 23 and is a cylindrical gap having a central axis common to the central axis J of the drooping portion 27. The exhaust space 37 is closed at the upper end and the lower end of the cover 24.

カバー２４には、その内外壁を貫通して形成される排気孔３１が形成されている。排気孔３１がカバー２４の内壁に開口して排気口３１Ａが形成されている。排気孔３１には、継ぎ手３３を介して第２吸引配管３２が接続されている。
第２吸引配管３２は、処理室２の外部へ延びており、その先端は、第２吸引配管３２内を真空吸引するための第２真空発生装置３５に接続されている。第２吸引配管３２の途中部には、第２吸引バルブ３６が介装されている。 The cover 24 is formed with an exhaust hole 31 formed through the inner and outer walls. An exhaust port 31 A is formed by opening the exhaust hole 31 in the inner wall of the cover 24. A second suction pipe 32 is connected to the exhaust hole 31 via a joint 33.
The second suction pipe 32 extends to the outside of the processing chamber 2, and the tip thereof is connected to a second vacuum generator 35 for vacuum suction inside the second suction pipe 32. A second suction valve 36 is interposed in the middle of the second suction pipe 32.

第２真空発生装置３５が駆動された状態で第２吸引バルブ３６が開かれると、排気空間３７内が吸引される。これにより、薬液吐出管２３内の薬液は、排気空間３７、排気孔３１および第２吸引配管３２を介して第２真空発生装置３５に吸引される。第２真空発生装置３５に吸引された雰囲気および薬液は、図示しない排気液設備により処理される。
図３は、図１に示す基板処理装置の電気的構成を示すブロック図である。 When the second suction valve 36 is opened while the second vacuum generator 35 is driven, the inside of the exhaust space 37 is sucked. Thereby, the chemical solution in the chemical solution discharge pipe 23 is sucked into the second vacuum generator 35 through the exhaust space 37, the exhaust hole 31 and the second suction pipe 32. The atmosphere and the chemical liquid sucked into the second vacuum generator 35 are processed by an exhaust liquid facility (not shown).
FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of the substrate processing apparatus shown in FIG.

基板処理装置は、マイクロコンピュータを含む構成の制御装置４０を備えている。この制御装置４０には、モータ７、ノズル駆動機構１２、薬液バルブ１５、ＤＩＷバルブ２１、第１吸引バルブ１７、第２吸引バルブ３６、第１真空発生装置１８および第２真空発生装置３５などが、制御対象として接続される。
図４は、図１に示す基板処理装置の処理例を示す工程図であり、図５は、薬液処理工程を説明するためのフローチャートである。第１および第２真空発生装置１８，３５は、基板処理装置の電源オン時に駆動開始されている。 The substrate processing apparatus includes a control device 40 having a configuration including a microcomputer. The control device 40 includes a motor 7, a nozzle drive mechanism 12, a chemical liquid valve 15, a DIW valve 21, a first suction valve 17, a second suction valve 36, a first vacuum generator 18, a second vacuum generator 35, and the like. Connected as a control target.
FIG. 4 is a process diagram showing a processing example of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a flowchart for explaining a chemical solution processing process. The first and second vacuum generators 18 and 35 are driven when the substrate processing apparatus is turned on.

処理対象の基板Ｗは、図示しない搬送ロボットによって処理室２に搬入されて（ステップＳ１）、その表面を上方に向けた状態でスピンチャック３に保持される。また、制御装置４０は、ノズル駆動機構１２を制御してノズルアーム１０を揺動させて、薬液ノズル４を、カップ６の側方の退避位置から基板Ｗの上方位置へと移動させる。
基板Ｗがスピンチャック３に保持された後、制御装置４０は、モータ７を制御して、基板Ｗを回転開始させる（ステップＳ２）。基板Ｗの回転速度が１５００ｒｐｍに達すると、基板Ｗの表面に薬液が供給されて、薬液を用いた薬液処理（ステップＳ３）が基板Ｗに施される。 The substrate W to be processed is carried into the processing chamber 2 by a transfer robot (not shown) (step S1), and is held by the spin chuck 3 with its surface facing upward. Further, the control device 40 controls the nozzle driving mechanism 12 to swing the nozzle arm 10 to move the chemical liquid nozzle 4 from the side retreat position of the cup 6 to the position above the substrate W.
After the substrate W is held by the spin chuck 3, the control device 40 controls the motor 7 to start rotating the substrate W (step S2). When the rotation speed of the substrate W reaches 1500 rpm, a chemical solution is supplied to the surface of the substrate W, and a chemical solution treatment (step S3) using the chemical solution is performed on the substrate W.

この薬液処理工程について具体的に説明する。薬液の吐出タイミングになると（ステップＳ１１）、制御装置４０は、薬液バルブ１５を開いて（ステップＳ１２）、薬液ノズル４から薬液を吐出する。また、制御装置４０は、基板Ｗへの薬液の吐出とともに、ノズル駆動機構１２を制御して、基板Ｗの上方で薬液ノズル４を所定のスキャン速度で移動させる。より具体的には、基板Ｗの表面の回転中心に対向する位置と、基板Ｗの表面の周縁部に対向する位置との間で薬液ノズル４を往復して移動させたり、基板Ｗの表面の周縁部に対向する位置から基板Ｗの表面の回転中心に対向する位置を通って反対側の周縁部に対向する位置まで薬液ノズル４を往復して移動させたりする。これにより、基板Ｗへの薬液の供給位置が移動され、基板Ｗの表面全域に薬液が供給される。その結果、基板Ｗの表面に付着しているパーティクル等の異物が基板Ｗの表面全域から物理的に除去される。 This chemical treatment process will be specifically described. When it is time to discharge the chemical liquid (step S11), the control device 40 opens the chemical liquid valve 15 (step S12) and discharges the chemical liquid from the chemical liquid nozzle 4. Further, the control device 40 controls the nozzle driving mechanism 12 together with the discharge of the chemical liquid onto the substrate W, and moves the chemical liquid nozzle 4 above the substrate W at a predetermined scanning speed. More specifically, the chemical nozzle 4 is moved back and forth between a position facing the rotation center of the surface of the substrate W and a position facing the peripheral edge of the surface of the substrate W, The chemical solution nozzle 4 is moved back and forth from a position facing the peripheral edge to a position facing the opposite peripheral edge through a position facing the rotational center of the surface of the substrate W. Thereby, the supply position of the chemical solution to the substrate W is moved, and the chemical solution is supplied to the entire surface of the substrate W. As a result, foreign matters such as particles adhering to the surface of the substrate W are physically removed from the entire surface of the substrate W.

薬液の供給開始から所定の薬液処理時間が経過すると（ステップＳ１３でＹＥＳ）、制御装置４０は、薬液バルブ１５を閉じて（ステップＳ１４）、薬液ノズル４からの薬液の吐出を停止させる。また、制御装置４０は、薬液バルブ１５の閉塞と同じタイミングで、第１および第２吸引バルブ１７，３６を開く（ステップＳ１５）。第１吸引バルブ１７が開かれることにより、薬液バルブ１５よりも薬液ノズル４側の薬液が吸引されて、薬液吐出管２３内の薬液の先端面が水平部２６にある所定の待機位置まで後退されるようになる。そして、第１真空発生装置１８に吸引されて、排気液設備により処理される。第１真空発生装置１８による吸引によっては除去されずに垂下部２７に残留した薬液は、垂下部２７の内壁を伝って流下して多孔質体３０によって捕獲される。 When a predetermined chemical solution processing time has elapsed from the start of supply of the chemical solution (YES in step S13), the control device 40 closes the chemical solution valve 15 (step S14) and stops the discharge of the chemical solution from the chemical solution nozzle 4. Further, the control device 40 opens the first and second suction valves 17, 36 at the same timing as the closing of the chemical liquid valve 15 (step S15). By opening the first suction valve 17, the chemical liquid on the chemical liquid nozzle 4 side is sucked from the chemical liquid valve 15, and the distal end surface of the chemical liquid in the chemical liquid discharge pipe 23 is retracted to a predetermined standby position in the horizontal portion 26. Become so. And it is attracted | sucked by the 1st vacuum generator 18 and processed by exhaust-gas equipment. The chemical liquid remaining in the hanging part 27 without being removed by the suction by the first vacuum generator 18 flows down along the inner wall of the hanging part 27 and is captured by the porous body 30.

一方、第２吸引バルブ３６が開かれることに伴い、薬液吐出管２３の多孔質体３０に捕獲された薬液が、多孔質体３０を通過して（多数の空孔を通って）、薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）に隣接する排気空間３７に移動する。そして、排気空間３７、排気孔３１および第２吸引配管３２を通して第２真空発生装置３５に吸引されて、排気液設備により処理される。したがって、薬液吐出管２３内の薬液を、吐出口２９を経由せずに薬液吐出管２３外に除去することができる。 On the other hand, as the second suction valve 36 is opened, the chemical liquid captured by the porous body 30 of the chemical liquid discharge pipe 23 passes through the porous body 30 (through a large number of holes) and discharges the chemical liquid. It moves to the exhaust space 37 adjacent to the tip of the tube 23 (lower region 27A). Then, the air is sucked into the second vacuum generator 35 through the exhaust space 37, the exhaust hole 31, and the second suction pipe 32 and processed by the exhaust liquid equipment. Therefore, the chemical liquid in the chemical liquid discharge pipe 23 can be removed outside the chemical liquid discharge pipe 23 without going through the discharge port 29.

その後、吸引の開始から所定の第１吸引時間が経過すると（ステップＳ１６でＹＥＳ）、第１吸引バルブ１７が閉じられて、薬液吐出管２３の内部の吸引が停止される（ステップＳ１７）。また、吸引の開始から所定の第２吸引時間が経過すると（ステップＳ１８でＹＥＳ）、第２吸引バルブ３６が閉じられて、カバー２４内の吸引が停止される（ステップＳ１９）。この第２吸引バルブ３６の停止タイミング（第２吸引時間）は、第１真空発生装置１８による吸引後に薬液吐出管２３の内壁の残留薬液を除去することができるタイミングに設定されている。 Thereafter, when a predetermined first suction time has elapsed from the start of suction (YES in step S16), the first suction valve 17 is closed and suction inside the chemical liquid discharge tube 23 is stopped (step S17). When a predetermined second suction time has elapsed from the start of suction (YES in step S18), the second suction valve 36 is closed and suction in the cover 24 is stopped (step S19). The stop timing (second suction time) of the second suction valve 36 is set to a timing at which the residual chemical solution on the inner wall of the chemical solution discharge pipe 23 can be removed after suction by the first vacuum generator 18.

また、制御装置４０は、ＤＩＷバルブ２１を開いて、ＤＩＷノズル５から基板Ｗの表面の回転中心に向けてＤＩＷが供給される。基板Ｗの表面に供給されたＤＩＷが、基板Ｗの回転による遠心力を受けて基板Ｗの周縁に向けて流れ、このＤＩＷによって基板Ｗの表面に付着している薬液が洗い流される（Ｓ４：リンス処理）。
ＤＩＷの供給開始から所定のリンス時間が経過すると、制御装置４０は、ＤＩＷバルブ２１を閉じて、基板ＷへのＤＩＷの供給を停止する。また、制御装置４０は、スピンチャック３をスピンドライ回転速度（たとえば３０００ｒｐｍ）まで加速する。これにより、リンス処理後の基板Ｗの表面に付着しているＤＩＷを遠心力で振り切って乾燥させるスピンドライ処理が実施される（ステップＳ５）。スピンドライ処理が所定のスピンドライ時間にわたって行われると、スピンチャック３の回転が停止され（ステップＳ６）、その後、図示しない搬送ロボットによって基板Ｗが搬出される（ステップＳ７）。 Further, the control device 40 opens the DIW valve 21 and DIW is supplied from the DIW nozzle 5 toward the rotation center of the surface of the substrate W. The DIW supplied to the surface of the substrate W receives a centrifugal force due to the rotation of the substrate W and flows toward the peripheral edge of the substrate W, and the chemical liquid adhering to the surface of the substrate W is washed away by this DIW (S4: rinse) processing).
When a predetermined rinse time has elapsed from the start of DIW supply, the control device 40 closes the DIW valve 21 and stops supplying DIW to the substrate W. Further, the control device 40 accelerates the spin chuck 3 to a spin dry rotation speed (for example, 3000 rpm). Thereby, a spin dry process is performed in which DIW adhering to the surface of the substrate W after the rinse process is spun off by a centrifugal force and dried (step S5). When the spin dry process is performed for a predetermined spin dry time, the rotation of the spin chuck 3 is stopped (step S6), and then the substrate W is unloaded by a transfer robot (not shown) (step S7).

この実施形態によれば、薬液吐出管２３の内壁を伝う薬液が、多孔質体３０によって捕獲される。そして、多孔質体３０によって捕獲された薬液が、第２真空発生装置３５に吸引されて、薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）の内壁から除去される。したがって、薬液吐出管２３の先端部の内壁に薬液がほとんど残留しない。これにより、薬液ノズル４の吐出口２９からの薬液のぼた落ち、および薬液ノズル４における薬液の結晶化を防止または抑制することができる。 According to this embodiment, the chemical liquid that travels along the inner wall of the chemical liquid discharge pipe 23 is captured by the porous body 30. Then, the chemical liquid captured by the porous body 30 is sucked into the second vacuum generator 35 and removed from the inner wall of the distal end portion (lower region 27A) of the chemical liquid discharge pipe 23. Therefore, almost no chemical liquid remains on the inner wall of the distal end portion of the chemical liquid discharge pipe 23. Thereby, the dripping of the chemical solution from the discharge port 29 of the chemical solution nozzle 4 and the crystallization of the chemical solution in the chemical solution nozzle 4 can be prevented or suppressed.

また、薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）の管壁が、多孔質体３０によって構成されている。そのため、多孔質体３０を通過させて、薬液を薬液吐出管２３の管壁の内外を移動させることが可能である。したがって、薬液吐出管２３内で多孔質体３０により捕獲された薬液が、多孔質体３０を通過して吸引されて薬液吐出管２３外に移動する。つまり、薬液吐出管２３内の薬液を、吐出口２９を経由せずに薬液吐出管２３外に除去することができる。これにより、基板Ｗ上への薬液のぼた落ちをより一層抑制することができる。 The tube wall of the distal end portion (lower region 27 A) of the chemical solution discharge tube 23 is configured by the porous body 30. Therefore, it is possible to move the chemical liquid inside and outside the tube wall of the chemical liquid discharge pipe 23 through the porous body 30. Therefore, the chemical liquid captured by the porous body 30 in the chemical liquid discharge pipe 23 is sucked through the porous body 30 and moves out of the chemical liquid discharge pipe 23. That is, the chemical liquid in the chemical liquid discharge pipe 23 can be removed outside the chemical liquid discharge pipe 23 without going through the discharge port 29. Thereby, the dripping of the chemical | medical solution on the board | substrate W can be suppressed further.

さらに、薬液吐出管２３の先端部に隣接して、カバー２４と薬液吐出管２３とで区画される排気空間３７が形成されている。したがって、この排気空間３７内が第２真空発生装置３５によって吸引されると、多孔質体３０によって捕獲された薬液が、多孔質体３０を通過して排気空間３７に移動するようになる。これにより、薬液吐出管２３の先端部から薬液をスムーズに除去することができる。 Further, an exhaust space 37 defined by the cover 24 and the chemical liquid discharge pipe 23 is formed adjacent to the tip of the chemical liquid discharge pipe 23. Therefore, when the exhaust space 37 is sucked by the second vacuum generator 35, the chemical liquid captured by the porous body 30 passes through the porous body 30 and moves to the exhaust space 37. Thereby, the chemical liquid can be smoothly removed from the tip of the chemical liquid discharge pipe 23.

図６は、本発明の他の実施形態（第２実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズル６０の構成を図解的に示す断面図である。この第２実施形態において、図１〜図５に示す実施形態（第１実施形態）に示された各部に対応する部分には、図１〜図５と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この第２実施形態に係る薬液ノズル６０では、薬液吐出管２３全体が、ＰＶＣ（poly−vinyl−chloride）、ＰＴＦＥ（poly tetra-fluoro ethylene）およびＰＦＡ（perfluoro−alkylvinyl−ether−tetrafluoro−ethlene−copolymer）などの樹脂材料によって形成されている。 FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a chemical nozzle 60 used in a substrate processing apparatus according to another embodiment (second embodiment) of the present invention. In the second embodiment, parts corresponding to those shown in the embodiment (first embodiment) shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. Description is omitted.
In the chemical solution nozzle 60 according to the second embodiment, the entire chemical solution discharge pipe 23 is composed of PVC (poly-vinyl-chloride), PTFE (polytetra-fluoroethylene), and PFA (perfluoro-alkylvinyl-ether-tetrafluoro-ethlene-copolymer). ) Or the like.

垂下部２７の下端部２７Ｂ（薬液吐出管２３の先端部）の内壁には、雌ねじ（凹凸部）６１が形成されている。この雌ねじ６１によって、垂下部２７の下端部２７Ｂの内壁を伝う薬液が捕獲される。この雌ねじ６１は、たとえば、垂下部２７の下端部２７Ｂ（吐出口２９）側からタップ（図示しない）を挿入することにより形成される。このため、薬液を捕獲するための雌ねじ６１を、垂下部２７の下端部２７Ｂの内壁に比較的容易に形成することができる。 A female screw (uneven portion) 61 is formed on the inner wall of the lower end portion 27 B of the drooping portion 27 (the tip portion of the chemical solution discharge pipe 23). The female screw 61 captures the chemical solution that travels along the inner wall of the lower end portion 27 B of the hanging portion 27. The female screw 61 is formed, for example, by inserting a tap (not shown) from the lower end 27B (discharge port 29) side of the hanging part 27. For this reason, the internal thread 61 for capturing the chemical solution can be formed relatively easily on the inner wall of the lower end portion 27 B of the hanging portion 27.

また、カバー２４の先端部には、カバー２４から中心軸線Ｊ側の斜め下方に向けて突出する環状突起６２が形成されている。この環状突起６２には、下方に向かうに従って小径となるテーパ状の内壁６３が設けられており、これにより、排気空間３７が下方に向かうに従って小径にされている。
カバー２４と薬液吐出管２３との間に形成される排気空間３７の下端部は、吐出口２９を取り囲む円環状の吸引口６４として開口している。この吸引口６４は、吐出口２９よりも基板Ｗ寄りに配置され、吐出口２９に対向している。このため、排気空間３７内が吸引されると、吸引口６４の周囲の雰囲気が吸引されて、雌ねじ６１に捕獲された薬液が、吐出口２９を介して、吸引口６４によって捕捉される。 In addition, an annular protrusion 62 that protrudes obliquely downward from the cover 24 toward the central axis J side is formed at the tip of the cover 24. The annular protrusion 62 is provided with a tapered inner wall 63 having a smaller diameter as it goes downward, so that the exhaust space 37 becomes smaller as it goes downward.
A lower end portion of the exhaust space 37 formed between the cover 24 and the chemical solution discharge pipe 23 is opened as an annular suction port 64 surrounding the discharge port 29. The suction port 64 is disposed closer to the substrate W than the discharge port 29 and faces the discharge port 29. For this reason, when the exhaust space 37 is sucked, the atmosphere around the suction port 64 is sucked, and the chemical liquid captured by the female screw 61 is captured by the suction port 64 via the discharge port 29.

図７は、本発明のさらに他の実施形態（第３実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズル７０の構成を図解的に示す断面図である。この第３実施形態において、第１および第２実施形態に示された各部に対応する部分には、図１〜図６と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この第３実施形態に係る薬液ノズル７０が第２実施形態に係る薬液ノズル６０と相違する点は、カバー２４に代えて吸引管（カバー）７１を設けた点にある。 FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a chemical nozzle 70 used in a substrate processing apparatus according to still another embodiment (third embodiment) of the present invention. In the third embodiment, portions corresponding to the respective portions shown in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 6 and description thereof is omitted.
The chemical nozzle 70 according to the third embodiment is different from the chemical nozzle 60 according to the second embodiment in that a suction pipe (cover) 71 is provided instead of the cover 24.

薬液吐出管２３および吸引管７１は、吸引管７１内に薬液吐出管２３が挿通されることにより二重配管構造を形成している。薬液吐出管２３の外壁と、吸引管７１の内壁との間には、横断面形状が円環状の排気空間７２が形成されている。吸引管７１は、薬液吐出管２３とほぼ整合する形状を有しており、薬液吐出管２３の水平部２６の周囲を取り囲む円筒状の水平部７３と、薬液吐出管２３の垂下部２７の周囲を取り囲む円筒状の垂下部７４とを備えている。吸引管７１には、垂下部７４の下端部７４Ｂから中心軸線Ｊ側の斜め下方に向けて突出する環状突起７５が形成されている。この環状突起７５には、下方に向かうに従って小径となるテーパ状の内壁７６が設けられており、これにより、排出空間７２が下方に向かうに従って小径にされている。排出空間７２の下端部が、吐出口２９を取り囲む円環状の吸引口７７として開口している。そのため、吸引口７７は、吐出口２９よりも基板Ｗ寄りに、吐出口２９に対向して配置されている。排気空間７２の水平部７３の基端部側には、第２吸引配管３２が接続されている。第２吸引配管３２は、第２吸引バルブ３６（図示しない）を介して第２真空発生装置３５に接続されている。 The chemical liquid discharge pipe 23 and the suction pipe 71 form a double pipe structure by inserting the chemical liquid discharge pipe 23 into the suction pipe 71. Between the outer wall of the chemical solution discharge pipe 23 and the inner wall of the suction pipe 71, an exhaust space 72 having an annular cross section is formed. The suction pipe 71 has a shape that is substantially aligned with the chemical liquid discharge pipe 23, a cylindrical horizontal portion 73 that surrounds the periphery of the horizontal portion 26 of the chemical liquid discharge pipe 23, and the periphery of the drooping portion 27 of the chemical liquid discharge pipe 23. And a cylindrical drooping portion 74 surrounding the. The suction pipe 71 is formed with an annular protrusion 75 that protrudes obliquely downward from the lower end portion 74B of the hanging portion 74 toward the central axis J side. The annular projection 75 is provided with a tapered inner wall 76 that decreases in diameter toward the lower side, and thereby the discharge space 72 decreases in diameter toward the lower side. A lower end portion of the discharge space 72 is opened as an annular suction port 77 surrounding the discharge port 29. Therefore, the suction port 77 is disposed closer to the substrate W than the discharge port 29 and facing the discharge port 29. A second suction pipe 32 is connected to the base end side of the horizontal portion 73 of the exhaust space 72. The second suction pipe 32 is connected to the second vacuum generator 35 via a second suction valve 36 (not shown).

第２真空発生装置３５が駆動された状態で第２吸引バルブ３６が開かれると、排気空間７２内が吸引される。これにより、吸引口７７の周囲の雰囲気が吸引されて、雌ねじ６１に捕獲された薬液が、吐出口２９を介して、吸引口６４によって捕捉される。そして、第２吸引配管３２を通して第２真空発生装置３５に吸引されて、排気液設備により処理される。 When the second suction valve 36 is opened while the second vacuum generator 35 is driven, the exhaust space 72 is sucked. Thereby, the atmosphere around the suction port 77 is sucked, and the chemical liquid captured by the female screw 61 is captured by the suction port 64 via the discharge port 29. Then, the air is sucked into the second vacuum generator 35 through the second suction pipe 32 and processed by the exhaust liquid equipment.

図８は、本発明のさらに他の実施形態（第４実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズル８０の構成を図解的に示す断面図である。この第４実施形態において、第１実施形態に示された各部に対応する部分には、図１〜図５と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この第４実施形態に係る薬液ノズル８０が第１実施形態に係る薬液ノズル４と相違する点は、薬液吐出管２３全体が、ＰＶＣ（poly−vinyl−chloride）、ＰＴＦＥ（poly tetra-fluoro ethylene）およびＰＦＡ（perfluoro−alkylvinyl−ether−tetrafluoro−ethlene−copolymer）などの樹脂材料によって形成されているとともに、垂下部２７の下端部２７Ｂの管壁に、その内外壁を貫通する複数の貫通孔（通過孔）８１が形成されたことにある。 FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a chemical nozzle 80 used in a substrate processing apparatus according to still another embodiment (fourth embodiment) of the present invention. In the fourth embodiment, parts corresponding to those shown in the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 5, and description thereof is omitted.
The chemical nozzle 80 according to the fourth embodiment is different from the chemical nozzle 4 according to the first embodiment in that the entire chemical discharge pipe 23 is made of PVC (poly-vinyl-chloride), PTFE (poly tetra-fluoroethylene). And a plurality of through-holes (passing through the inner and outer walls of the tube wall of the lower end portion 27B of the drooping portion 27, while being formed of a resin material such as PFA (perfluoro-alkylvinyl-ether-tetrafluoro-ethlene-copolymer) Hole) 81 is formed.

また、薬液ノズル８０が薬液ノズル４と相違する他の点は、垂下部２７の下端部２７Ｂ（薬液吐出管２３の先端部）に、断面Ｌ字形状の受け部８２が突出形成されたことにある。受け部８２は、垂下部２７の下端部２７Ｂから中心軸線Ｊ側に向けて水平に延びる底部８２Ａと、その底部８２Ａの先端から鉛直上方に向けて立ち上がる円環状の立上部８２Ｂとを備えている。この立上部８２Ｂと薬液吐出管２３の内壁とによって、液を溜めることが可能な円環状の受け溝（捕獲部）８３が形成されている。受け溝８３の縦断面形状がほぼＵ字形状である。薬液吐出管２３の先端部（下端部２７Ｂ）において内壁を伝って流下する薬液は、この受け溝８３によって受け止められる。そして、受け溝８３によって受け止められた薬液は、排気空間３７内が吸引されることにより、貫通孔８１を通して排気空間３７に移動した後、排液される。この貫通孔８１は、丸孔であってもよいし、薬液吐出管２３の周方向に長い長孔であってもよい。 In addition, the chemical nozzle 80 is different from the chemical nozzle 4 in that a receiving portion 82 having an L-shaped cross section is formed at the lower end portion 27B of the hanging portion 27 (the distal end portion of the chemical solution discharge pipe 23). is there. The receiving portion 82 includes a bottom portion 82A that extends horizontally from the lower end portion 27B of the hanging portion 27 toward the central axis J side, and an annular upright portion 82B that rises vertically upward from the tip of the bottom portion 82A. . An annular receiving groove (capturing portion) 83 capable of accumulating liquid is formed by the upright portion 82B and the inner wall of the chemical solution discharge pipe 23. The longitudinal cross-sectional shape of the receiving groove 83 is substantially U-shaped. The chemical liquid flowing down along the inner wall at the tip end portion (lower end portion 27 B) of the chemical solution discharge pipe 23 is received by the receiving groove 83. Then, the chemical liquid received by the receiving groove 83 is sucked in the exhaust space 37, moves to the exhaust space 37 through the through hole 81, and then is discharged. The through hole 81 may be a round hole or a long hole that is long in the circumferential direction of the chemical solution discharge pipe 23.

図９は、本発明のさらに他の実施形態（第５実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズル９０の構成を図解的に示す断面図である。この第５実施形態において、第１および第４実施形態に示された各部に対応する部分には、図１〜図５および図８と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この第５実施形態に係る薬液ノズル９０が第４実施形態に係る薬液ノズル８０と相違する点は、縦断面形状がＶ字形状の受け溝（捕獲部）９１が形成されている点である。薬液吐出管２３の先端部（下端部２７Ｂ）には、ほぼ円環状の先端構成部材９２が内嵌されている。この先端構成部材９２の上端部の外壁には外方に向かうに従って低くなるテーパ面９３が形成されている。薬液吐出管２３の内壁と先端構成部材９２のテーパ面９３とによって断面Ｖ字形状を有する円環状の受け溝９１が形成されている。この受け溝９１によって、薬液吐出管２３の内壁を伝う薬液が捕獲される。また、先端構成部材９２の下端部の外壁は、先端に向かうに従って細くなるテーパ面９４が形成されている。受け溝９１によって受け止められた薬液は、排気空間３７内が吸引されることにより、貫通孔８１を通して排気空間３７に移動した後、排液される。また、薬液ノズル９０の先端部分に先細りのテーパ面９４が形成されているので、薬液の液切れがよい。したがって、この第５実施形態の薬液ノズル９０では、液切れがよく、かつ、薬液吐出管２３の内壁を伝う薬液の落下を防ぐことができるので、ぼた落ちを一層効果的に抑制できる。 FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a chemical nozzle 90 used in a substrate processing apparatus according to still another embodiment (fifth embodiment) of the present invention. In the fifth embodiment, parts corresponding to those shown in the first and fourth embodiments are denoted by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 5 and FIG. 8, and description thereof is omitted.
The chemical nozzle 90 according to the fifth embodiment is different from the chemical nozzle 80 according to the fourth embodiment in that a receiving groove (capturing portion) 91 having a V-shaped longitudinal section is formed. A substantially annular tip constituent member 92 is fitted into the tip portion (lower end portion 27B) of the chemical solution discharge pipe 23. A tapered surface 93 is formed on the outer wall of the upper end portion of the tip constituting member 92 so as to become lower toward the outside. An annular receiving groove 91 having a V-shaped cross section is formed by the inner wall of the chemical solution discharge pipe 23 and the tapered surface 93 of the tip constituting member 92. By this receiving groove 91, the chemical liquid that travels along the inner wall of the chemical liquid discharge pipe 23 is captured. In addition, the outer wall at the lower end of the tip component member 92 is formed with a tapered surface 94 that becomes narrower toward the tip. The chemical liquid received by the receiving groove 91 is drawn into the exhaust space 37 and then moved to the exhaust space 37 through the through hole 81 and then discharged. Moreover, since the taper taper surface 94 is formed in the front-end | tip part of the chemical | medical solution nozzle 90, the liquid cutting | disconnection of a chemical | medical solution is good. Therefore, in the chemical liquid nozzle 90 of the fifth embodiment, the liquid is well drained and the chemical liquid that travels along the inner wall of the chemical liquid discharge pipe 23 can be prevented from dropping, so that the dripping can be more effectively suppressed.

図１０は、本発明のさらに他の実施形態（第６実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズル１００の構成を図解的に示す断面図である。この第６実施形態において、図１〜図５に示す実施形態（第１実施形態）に示された各部に対応する部分には、図１〜図５と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この第６実施形態に係る薬液ノズル１００では、薬液吐出管２３全体が、ＰＶＣ（poly−vinyl−chloride）、ＰＴＦＥ（poly tetra-fluoro ethylene）およびＰＦＡ（perfluoro−alkylvinyl−ether−tetrafluoro−ethlene−copolymer）などの樹脂材料によって形成されている。 FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a chemical nozzle 100 used in a substrate processing apparatus according to still another embodiment (sixth embodiment) of the present invention. In the sixth embodiment, parts corresponding to those shown in the embodiment (first embodiment) shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. Description is omitted.
In the chemical liquid nozzle 100 according to the sixth embodiment, the entire chemical liquid discharge pipe 23 is composed of PVC (poly-vinyl-chloride), PTFE (polytetra-fluoroethylene), and PFA (perfluoro-alkylvinyl-ether-tetrafluoro-ethlene-copolymer). ) Or the like.

この第６実施形態に係る薬液ノズル１００が第１実施形態に係る薬液ノズル４と相違する点は、薬液吐出管２３全体が、ＰＶＣ（poly−vinyl−chloride）、ＰＴＦＥ（poly tetra-fluoro ethylene）およびＰＦＡ（perfluoro−alkylvinyl−ether−tetrafluoro−ethlene−copolymer）などの樹脂材料によって形成されているとともに、垂下部２７の下部領域２７Ａの管壁に、その内外壁を貫通する多数個の貫通孔（捕獲部、通過孔）１０１が形成されたことにある。薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）において内壁を伝って流下する薬液は、これら多数個の貫通孔１０１によって捕獲される。そして、貫通孔１０１によって捕獲された薬液は、排気空間３７内が吸引されることにより、貫通孔１０１を通して排気空間３７に移動した後、排液される。この貫通孔１０１は、丸孔であってもよいし、薬液吐出管２３の周方向に長い長孔であってもよい。
The chemical nozzle 100 according to the sixth embodiment is different from the chemical nozzle 4 according to the first embodiment in that the entire chemical discharge pipe 23 is made of PVC (poly-vinyl-chloride), PTFE (poly tetra-fluoroethylene). And a plurality of through-holes that penetrate the inner and outer walls of the tube wall of the lower region 27A of the drooping portion 27, and are formed of a resin material such as PFA (perfluoro-alkylvinyl-ether-tetrafluoro-ethlene-copolymer). (Capture part , passage hole ) 101 is formed. The chemical liquid that flows down along the inner wall at the distal end portion (lower region 27 A) of the chemical liquid discharge pipe 23 is captured by the multiple through holes 101. And the chemical | medical solution captured by the through-hole 101 is discharged | emitted after moving to the exhaust space 37 through the through-hole 101 by the inside of the exhaust space 37 being attracted | sucked. The through hole 101 may be a round hole or a long hole that is long in the circumferential direction of the chemical liquid discharge pipe 23.

以上、この発明の６つの実施形態について説明したが、この発明は、さらに他の形態で実施することもできる。
たとえば、前述の第２および第３実施形態では、薬液吐出管２３の先端部（下端部２７Ｂ）の内壁に形成された雌ねじ６１を例に挙げて説明したが、薬液吐出管２３の先端部（下端部２７Ｂ）の内壁に、互いに平行な複数本の円環状の凹部が形成された構成であってもよい。 Although the six embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be implemented in other forms.
For example, in the second and third embodiments described above, the female screw 61 formed on the inner wall of the distal end portion (lower end portion 27B) of the chemical solution discharge pipe 23 has been described as an example, but the distal end portion ( A configuration in which a plurality of annular concave portions parallel to each other is formed on the inner wall of the lower end portion 27B) may be employed.

また、第２および第３実施形態において、薬液吐出管２３の先端部（下端部２７Ｂを除く下部領域２７Ａ）の管壁が多孔質体で構成されていてもよい。この場合、薬液吐出管２３の内壁を伝って流下する薬液は、多孔質体および雌ねじ６１の双方によって捕獲される。そして、排気空間３７，７２内が吸引されることにより、多孔質体によって捕獲された薬液が、多孔質体を透過して排気空間３７に移動され、一方、雌ねじ６１によって捕獲された薬液が、吸引口６４，７７を介して排気空間３７，７２に移動される。これにより、薬液吐出管２３の先端部２７Ａ，２７Ｂの内壁から薬液を確実に除去することができる。 In the second and third embodiments, the tube wall of the distal end portion (the lower region 27A excluding the lower end portion 27B) of the chemical solution discharge tube 23 may be formed of a porous body. In this case, the chemical solution flowing down along the inner wall of the chemical solution discharge pipe 23 is captured by both the porous body and the female screw 61. Then, by sucking the inside of the exhaust spaces 37 and 72, the chemical liquid captured by the porous body passes through the porous body and is moved to the exhaust space 37, while the chemical liquid captured by the female screw 61 is It is moved to the exhaust spaces 37 and 72 through the suction ports 64 and 77. Thereby, a chemical | medical solution can be reliably removed from the inner wall of front-end | tip part 27A, 27B of the chemical | medical solution discharge tube 23. FIG.

また、第４および第５実施形態において、第１実施形態のように薬液吐出管２３の先端部（下部領域２７Ａ）を多孔質体３０で構成し、多孔質体３０を通して薬液を、薬液吐出管２３外の排気空間３７に移動させる構成が採用されていてもよい。
また、前述の各実施形態では、第２吸引バルブ３６の開タイミングを、薬液バルブ１５の閉タイミングと同期させるものとして説明したが、たとえば、第２吸引バルブ３６の開タイミングを、薬液バルブ１５の閉タイミングよりも、所定時間（たとえば１秒間）だけ早いものとしてもよい。この場合、薬液吐出管２３への薬液の供給停止時に、薬液吐出管２３の先端部２７Ａ，２７Ｂにおける吸引（第２真空発生装置３５による吸引）が既に開始されているので、薬液吐出管２３の先端部２７Ａ，２７Ｂの内壁から薬液を、より確実に除去することができる。 Further, in the fourth and fifth embodiments, as in the first embodiment, the distal end portion (lower region 27A) of the chemical solution discharge tube 23 is configured by the porous body 30, and the chemical solution is supplied through the porous body 30 to the chemical solution discharge tube. A configuration of moving to the exhaust space 37 outside 23 may be adopted.
In each of the above-described embodiments, the opening timing of the second suction valve 36 is described as being synchronized with the closing timing of the chemical valve 15. For example, the opening timing of the second suction valve 36 is set to It may be earlier than the closing timing by a predetermined time (for example, 1 second). In this case, when supply of the chemical liquid to the chemical liquid discharge pipe 23 is stopped, suction (suction by the second vacuum generator 35) at the distal end portions 27A and 27B of the chemical liquid discharge pipe 23 has already been started. The chemical solution can be more reliably removed from the inner walls of the tip portions 27A and 27B.

また、薬液吐出管２３から吐出される薬液として、ふっ酸やバファードふっ酸以外に、ＳＣ１（アンモニア過酸化水素水混合液）やＳＣ２（塩酸過酸化水素水混合液）などを例示することができる。
また、かかる発明が薬液ノズル４，６０，７０，８０，９０，１００だけでなく、リンス液を吐出するためのＤＩＷノズル５に適用されていてもよい。 In addition to hydrofluoric acid and buffered hydrofluoric acid, SC1 (ammonia hydrogen peroxide solution mixture), SC2 (hydrochloric acid hydrogen peroxide solution mixture), and the like can be exemplified as the chemical solution discharged from the chemical solution discharge pipe 23. .
Moreover, this invention may be applied not only to the chemical nozzles 4, 60, 70, 80, 90, 100 but also to the DIW nozzle 5 for discharging the rinse liquid.

その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 In addition, various design changes can be made within the scope of matters described in the claims.

本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を図解的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図１に示す薬液ノズルの構造を図解的に示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the chemical | medical solution nozzle shown in FIG. 図１に示す基板処理装置の電気的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electric constitution of the substrate processing apparatus shown in FIG. 図１に示す基板処理装置の処理例を示す工程図である。It is process drawing which shows the process example of the substrate processing apparatus shown in FIG. 基板処理装置の薬液処理工程を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the chemical | medical solution processing process of a substrate processing apparatus. 本発明の他の実施形態（第２実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズルの構成を図解的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the structure of the chemical | medical solution nozzle used for the substrate processing apparatus which concerns on other embodiment (2nd Embodiment) of this invention. 本発明のさらに他の実施形態（第３実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズルの構成を図解的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the chemical | medical solution nozzle used for the substrate processing apparatus which concerns on further another embodiment (3rd Embodiment) of this invention. 本発明のさらに他の実施形態（第４実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズルの構成を図解的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the chemical | medical solution nozzle used for the substrate processing apparatus which concerns on further another embodiment (4th Embodiment) of this invention. 本発明のさらに他の実施形態（第５実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズルの構成を図解的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the chemical | medical solution nozzle used for the substrate processing apparatus which concerns on further another embodiment (5th Embodiment) of this invention. 本発明のさらに他の実施形態（第６実施形態）に係る基板処理装置に用いられる薬液ノズルの構成を図解的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the chemical | medical solution nozzle used for the substrate processing apparatus which concerns on further another embodiment (6th Embodiment) of this invention. 供給ノズルの従来の構成を示す図解図である。It is an illustration figure which shows the conventional structure of a supply nozzle.

Explanation of symbols

４，６０，７０，８０，９０，１００薬液ノズル（処理液ノズル）
１４薬液供給管（処理液供給手段）
２３処理液吐出管
２４カバー
２７Ａ下部領域（先端部）
２７Ｂ下端部（先端部）
２９吐出口
３０多孔質体
３１排気口（カバー内吸引手段、吸引手段）
３２第２吸引配管（カバー内吸引手段、吸引手段）
３５第２真空発生装置（カバー内吸引手段、吸引手段）
３７，７２排気空間（空間）
６１雌ねじ（凹凸部）
６４，７７吸引口
７１吸引管（カバー）
８３受け溝（捕獲部）
９１受け溝（捕獲部）
１０１貫通孔（捕獲部）
Ｓ空隙
Ｗ基板 4, 60, 70, 80, 90, 100 Chemical nozzle (treatment liquid nozzle)
14 Chemical liquid supply pipe (Processing liquid supply means)
23 Treatment liquid discharge pipe 24 Cover 27A Lower region (tip)
27B Lower end (tip)
29 Discharge port 30 Porous body 31 Exhaust port (in-cover suction means, suction means)
32 Second suction pipe (in-cover suction means, suction means)
35 Second vacuum generator (in-cover suction means, suction means)
37,72 Exhaust space (space)
61 Female thread (uneven portion)
64,77 Suction port 71 Suction tube (cover)
83 Receiving groove (capture part)
91 Receiving groove (capture part)
101 Through hole (capture part)
S Air gap W Substrate

Claims

A processing liquid discharge pipe for discharging the processing liquid from the discharge port formed at the tip portion toward the substrate;
A treatment liquid nozzle provided with a capture unit for capturing the treatment liquid that travels along the tube wall of the tip part;
A treatment liquid supply means for supplying the treatment liquid to the treatment liquid nozzle ,
A processing hole can pass through the tube wall of the tip, and a passage hole is formed in the inner wall of the tip where the capturing part is formed.
Wherein the processing liquid trapped in the trap portion, further comprising a suction means to suction toward the outside of the treatment liquid discharge pipe through the passage hole, the substrate processing apparatus.

The capture part includes a porous body that forms at least a part of the tube wall of the tip part,
The passage hole includes a hole included in the porous body;
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the suction means includes means for sucking the processing liquid captured in the porous body through the porous body.

The capture part includes a receiving groove formed on the inner wall of the tip part,
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the through hole includes a through hole that passes through the inside and outside of the tube wall and allows the processing liquid received in the receiving groove to pass therethrough.

The capture part includes a through-hole penetrating the inside and outside of the tube wall;
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the processing liquid captured in the through hole is sucked through the passage hole by the suction unit.