JP5406881B2 - 耐熱超音波センサ及びその設置方法 - Google Patents
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Description
Proc. of 2006 IEEE Ultrasonics Symposium “A Piezoelectric Membrane Sensor for Biomedical Monitoring”pp.800-803に記載されたそれぞれの超音波センサは、エポシキ系接着剤及び樹脂、さらには前面板にポリイミドを使用しているため、上限の耐熱温度が80℃程度である。80℃を超える温度では、エポシキ系接着剤及び樹脂が熱的損傷により接着面からはく離するため、その超音波センサで超音波の送・受信ができなくなる。したがって、これらの超音波センサは、運転中において、発電プラントなどのプラントの高温の構造部材に対する検査に用いることができない。
例えば、金属薄板2がステンレス鋼製である場合、金属薄板2内の音速は約5800m/sである。圧電セラミックス膜3の圧電セラミックで生じる振動の周波数が5MHzである場合には、金属薄板3の厚みは、式(1)に5800m/s及び5MHzを代入することにより、0.29mm以下となる。この結果に基づいて、金属薄板2の厚みを0.2mmにした。
上記の例示に限らず、それぞれの配管の温度よりも高い温度のキューリ点を有する物質で構成された圧電セラミックス膜3を有する耐熱超音波センサ1であれば、そのキューリ点よりも低い温度の複数の配管に設置することができる。
Claims (9)
- 可撓性を有する金属板と、前記金属板の上に取り付けられて、厚みが0.5mm以下のキューリ点が200℃以上の圧電セラミックス部と、前記圧電セラミックス部の上に配置されて前記圧電セラミックス部に接続された電極部材と、前記金属板に取り付けられ、前記圧電セラミックス部及び前記電極部材を覆っている電気絶縁カバーとを備え、金属線メッシュが前記電極部材に取り付けられていることを特徴とする耐熱超音波センサ。
- 前記圧電セラミックス部が前記金属板の上に形成された圧電セラミックス膜である請求項1に記載の耐熱超音波センサ。
- 前記圧電セラミックス膜がゾルゲル法で形成された圧電セラミックス膜である請求項2に記載の耐熱超音波センサ。
- 前記圧電セラミックス部が前記金属板に接合された複数の結晶性圧電セラミックス片で形成されている請求項1に記載の耐熱超音波センサ。
- ケーブルの芯線が前記金属線メッシュに接続されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の耐熱超音波センサ。
- 前記芯線が前記金属線メッシュに編み込まれている請求項5に記載の耐熱超音波センサ。
- 前記圧電セラミックス部及び前記電極部材を含む複数の圧電素子部を有し、それぞれの前記圧電素子部の前記圧電セラミックス部が前記金属板の上に取り付けられており、前記電気絶縁カバーが前記複数の圧電素子部を覆っている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の耐熱超音波センサ。
- 請求項1ないし7のいずれか1項の耐熱超音波センサの前記金属板を、プラントの構造部材の曲面を有する表面の前記曲面に合わせて曲げ、前記曲げられた金属板を前記構造部材の前記曲面に沿って配置して前記曲げられた金属板を前記曲面に取り付けることを特徴とする耐熱超音波センサの設置方法。
- 前記構造部材が保温材で覆われている場合には、前記構造部材の、前記耐熱超音波センサの前記金属板を取り付ける部分に存在する前記保温材を取り外し、前記曲げられた金属板を前記曲面に取り付けて保温材を、前記金属板が取り付けられた前記耐熱超音波センサを覆った状態で前記構造部材に取り付ける請求項8に記載の耐熱超音波センサの設置方法。
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