JP5405988B2 - 石英ガラス被加工品の剥離方法 - Google Patents
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Description
これらのホットメルト系接着剤を用いて被加工物を定盤に固定し、そして、加工後に剥離するという原理は、ホットメルト系接着剤の加熱による溶解と冷却による固化の現象を利用したものである。
しかしながら、上述のホットメルト系接着剤を用いた固定方法では、機械加工時の発熱のために接着剤が溶融し、この結果、被加工品の固定力が低下して僅かながら移動し、加工精度の低下やバリ・カケが発生するという問題があった。
この問題を解決するために、例えば、引用文献1(特開平8−112753号公報)では、油性の研削液を使用する石英ガラスの研削および溝切り加工において、定盤に石英ガラスを固定するための手段として水溶性の光硬化性樹脂からなる接着剤を使用することが提案されている。
本発明は、石英ガラス被加工物が定盤に強固に固定されると共に、容易に剥離することができる方法を提供するものである。
前処理を固定前に実施するか、あるいは、剥離前に実施するかは使用する接着剤の種類や、剥離のための加熱条件、およびその際に許容される処理時間に依存する。
光硬化型あるいは反応硬化型の接着剤を用いる場合は剥離前に前処理をするのが望ましく、水分硬化型の接着剤の場合は、固定前に剥離のための前処理をおこなうことが望ましい。
水分硬化型の瞬間接着剤を用いる場合は、被加工物の固定前の前処理として硬化促進剤を定盤、あるいは、被加工物にスプレー等により塗布するものである。
また、高い接着強度を有する接着剤を用いることができるため、接着面積の小さい被加工品に対しても適用することが可能である。
実施例1と同様の方法により定盤に被加工物の石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、一体となった定盤と石英ガラス板を水中にいれ、加熱して沸騰させたが、沸騰後30分経過しても剥離することなく、両者は強固に接着されていた。
実施例3と同様の方法により定盤と石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、一体となった定盤と石英ガラス板を150℃に設定したホットプレートに載せた。60分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。
硬化促進剤を塗布しない以外は、実施例4と同様の方法によって定盤と石英ガラス板を接着固定して研削加工をおこなった。加工後、定盤から石英ガラス板を剥離するために水に浸して加熱し、沸騰させた。沸騰から30分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。
比較例2と同様に定盤に石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、200℃に設定したホットプレートに一体となっている定盤と石英ガラス板を載せて加熱した。30分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。
Claims (4)
- 石英ガラスの被加工物を固定剤で定盤に固定し、機械加工した後に加熱によって定盤から被加工品を剥離する方法であって、固定剤が紫外線硬化樹脂であり、被加工品を定盤から剥離する前に含ハロゲン有機溶媒を固定剤に含浸させることを特徴とする剥離方法。
- 請求項1において、紫外線硬化型樹脂が、アクリル系樹脂、またはエポキシ系樹脂のいずれかであることを特徴とする剥離方法。
- 請求項1または2において、含ハロゲン有機溶媒がポリクロロメタンあるいはポリクロロエタンであることを特徴とする石英ガラスの剥離方法。
- 石英ガラスの被加工物を固定剤で定盤に固定し、機械加工した後に加熱によって定盤から石英ガラス被加工品を剥離する方法であって、固定剤がシアノアクリル系水硬化型樹脂であり、石英ガラスの被加工物を定盤に固定剤を使用して固定する前に樹脂の硬化促進剤を定盤または被加工物に塗布することを特徴とする剥離方法。
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