JP5405988B2 - 石英ガラス被加工品の剥離方法 - Google Patents

石英ガラス被加工品の剥離方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5405988B2
JP5405988B2 JP2009264606A JP2009264606A JP5405988B2 JP 5405988 B2 JP5405988 B2 JP 5405988B2 JP 2009264606 A JP2009264606 A JP 2009264606A JP 2009264606 A JP2009264606 A JP 2009264606A JP 5405988 B2 JP5405988 B2 JP 5405988B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
quartz glass
surface plate
peeling
workpiece
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009264606A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011104747A (ja
Inventor
和幸 千葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tosoh Quartz Corp
Original Assignee
Tosoh Quartz Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tosoh Quartz Corp filed Critical Tosoh Quartz Corp
Priority to JP2009264606A priority Critical patent/JP5405988B2/ja
Publication of JP2011104747A publication Critical patent/JP2011104747A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5405988B2 publication Critical patent/JP5405988B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Description

本発明は、機械加工を施した石英ガラスを定盤から剥離する方法に関し、特に機械加工のために定盤に強固に固定した石英ガラスを破損することなく、かつ、特殊な器具を使用することなく簡単に剥離する方法に関する。
ウェハー処理用治具や分光光度計用セルなどの材料として、一般に石英ガラス表面を研削、あるいは、溝切りなどの機械加工を施した石英ガラスが用いられている。石英ガラスに研削あるいは溝切りなどの機械加工をする場合には、機械加工前の被加工物である様々な形状の石英ガラスを定盤に固定した後、定盤ごと加工機テーブル上に設置し、ダイヤモンドホイールなどにより加工している。
従来の機械加工前の被加工物である石英ガラスを定盤に固定する方法としては、加工後の被加工品である石英ガラスを破損しないように剥離させることを考慮して、適当な融点(80〜100℃)を有するワックス、エポキシ樹脂、あるいはロジン(マツ科の樹幹から得られた樹液を精製したもの)などのホットメルト系接着剤が固定剤として使用されている。
これらのホットメルト系接着剤を用いて被加工物を定盤に固定し、そして、加工後に剥離するという原理は、ホットメルト系接着剤の加熱による溶解と冷却による固化の現象を利用したものである。
しかしながら、上述のホットメルト系接着剤を用いた固定方法では、機械加工時の発熱のために接着剤が溶融し、この結果、被加工品の固定力が低下して僅かながら移動し、加工精度の低下やバリ・カケが発生するという問題があった。
この問題を解決するために、例えば、引用文献1(特開平8−112753号公報)では、油性の研削液を使用する石英ガラスの研削および溝切り加工において、定盤に石英ガラスを固定するための手段として水溶性の光硬化性樹脂からなる接着剤を使用することが提案されている。
特開平8−112753号公報
近年では、環境問題の高まりから、水溶性研削液を使用することが望まれており、順次、油性から水溶性に切り替わっている。このため、水溶性研削液に対しても接着力が保持される固定剤を使用し、更には、被加工品を破損させることなく剥離する方法の開発が要求されてきている。また、被加工物の移動を防止するためにより大きな固定力を発揮する固定剤が必要とされている。
本発明は、石英ガラス被加工物が定盤に強固に固定されると共に、容易に剥離することができる方法を提供するものである。
本発明は上記問題を解決するために、鋭意検討の結果、油性あるいは水溶性研削液を用いた研削、あるいは、溝切り等の機械加工が可能な接着強度を有する固定剤を使用して被加工物を定盤に固定して加工した後、定盤から被加工品を加熱によって剥離する方法であって、剥離のための適当な前処理を施すことによって被加工品を容易に剥離することができるという知見に基づくものである。
固定剤は、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、シアノアクリル系接着剤、シリコーン系接着剤などの一般の接着剤を例示することができ、その接着方法は、通常の接着方法でよく、例えば、紫外線硬化型接着剤を用いる場合は、被加工物を接着剤で定盤に設置した後、紫外線を照射することによって固定するものである。
剥離の前処理は、被加工物を接着剤で定盤に固定する前、あるいは、被加工品を定盤から剥離する前に実施する。
前処理を固定前に実施するか、あるいは、剥離前に実施するかは使用する接着剤の種類や、剥離のための加熱条件、およびその際に許容される処理時間に依存する。
光硬化型あるいは反応硬化型の接着剤を用いる場合は剥離前に前処理をするのが望ましく、水分硬化型の接着剤の場合は、固定前に剥離のための前処理をおこなうことが望ましい。
光硬化型、あるいは、反応硬化型の接着剤を用いる場合は、被加工物の機械加工後に、剥離のための前処理として、固定剤を含ハロゲン有機溶媒に浸漬あるいは含ハロゲン有機溶媒を固定剤に塗布するものである。そして、使用される含ハロゲン有機溶媒としては、ジクロロエタンあるいはジクロロメタンを主成分とするものが望ましい。また、処理方法としてはそれぞれの溶媒への浸漬や含ハロゲン有機溶媒と適当な溶媒からなる混合液をスプレー法により噴霧することが有効である。
水分硬化型の瞬間接着剤を用いる場合は、被加工物の固定前の前処理として硬化促進剤を定盤、あるいは、被加工物にスプレー等により塗布するものである。
剥離のための前処理をおこなった被加工品は加熱により容易に定盤から剥離することができる。具体的加熱手段は、定盤に固定された被加工品を温水に浸漬するか、または、ホットプレート上で加熱することであるが、他の加熱手段によっても剥離することが可能である。
以上説明したように、本発明は、油性あるいは水溶性研削液を用いた研削あるいは溝切り等の加工が可能な接着強度を有する固定剤を使用しているために、環境への負荷が小さく、高い加工精度の加工品が得られるだけでなく、定盤からの剥離も加工品を破損することなく、加熱するだけでよいので容易におこなうことができる。
また、高い接着強度を有する接着剤を用いることができるため、接着面積の小さい被加工品に対しても適用することが可能である。
以下、本発明を実施例に基づいて更に詳しく説明する。
脱脂により清浄化した石英ガラス定盤に、脱脂により清浄化した被加工物の石英ガラス板を紫外線硬化型エポキシ系樹脂(スリーボンド社製TB3114)を介して設置した。これに500Wの高圧水銀灯より発生する紫外線を30秒間照射して定盤と石英ガラス板を接着して固定した。接着後、ダイヤモンドホイールを用いて、石英ガラス板の接着面の反対面を研削加工した。その後、定盤と一体になった石英ガラス板にジクロロメタンを主成分とする有機溶媒(スリーボンド社製パンドー391D)をスプレー法により噴霧した後、水の中で加熱した。水が沸騰してから約10分後に定盤から石英ガラス板が剥がれた。
固定剤を紫外線硬化型アクリル系樹脂(スリーボンド社製TB3014)にした以外は、実施例1と同様に石英ガラス板を定盤に接着固定した後、石英ガラス板の溝切り加工を行った。続いて、ジクロロメタン(関東化学社製鹿1級)ヘ3分間浸浸した。表面のジクロロメタンを拭き取った後、水の入った容器に移し、加熱した。水が沸騰してから約15分後に、定盤から石英ガラス板が剥がれた。
固定剤を紫外線硬化型アクリル系樹脂(スリーホンド社製TB3052)にした以外は、実施例2と同様に石英ガラス板を定盤に接着固定した後、石英ガラス板の溝切り加工を行った。続いて、ジクロロエタン(関東化学社製鹿1級)へ3分間浸浸した。表面のジクロロエタンを拭き取った後、150℃に設定したホットプレートに載せた。約20分後に、定盤から石英ガラス板が剥がれた。
脱脂により清浄化した石英ガラス定盤に硬化促進剤(スリーボンド社製TB1796F)を塗布した後、脱脂により清浄化した石英ガラス板をシアノアクリル系瞬間接着剤(水硬化型、スリーボンド社製TB7781)を用いて被加工物の石英ガラス板を固定した。固定後、ダイヤモンドツールを用いて、石英ガラス板の接着面の反対面を研削加工した。その後、定盤と一体になった石英ガラス板を水の入った容器に入れ、加熱した。水が沸騰してから約5分後に、定盤から石英ガラス板が剥がれた。
実施例4と同様の方法で被加工物の石英ガラス板を定盤に接着固定し、石英ガラス板の接着面の反対面を研削加工した。その後、200℃に設定したホットプレートに載せた。約15分後に定盤から石英ガラス板が剥がれた。
比較例1
実施例1と同様の方法により定盤に被加工物の石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、一体となった定盤と石英ガラス板を水中にいれ、加熱して沸騰させたが、沸騰後30分経過しても剥離することなく、両者は強固に接着されていた。
比較例2
実施例3と同様の方法により定盤と石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、一体となった定盤と石英ガラス板を150℃に設定したホットプレートに載せた。60分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。
比較例3
硬化促進剤を塗布しない以外は、実施例4と同様の方法によって定盤と石英ガラス板を接着固定して研削加工をおこなった。加工後、定盤から石英ガラス板を剥離するために水に浸して加熱し、沸騰させた。沸騰から30分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。
比較例4
比較例2と同様に定盤に石英ガラス板を接着固定し、石英ガラス板の研削加工をおこなった。加工後、200℃に設定したホットプレートに一体となっている定盤と石英ガラス板を載せて加熱した。30分経過後も定盤から石英ガラス板は剥離することなく強固に接着されていた。

Claims (4)

  1. 石英ガラスの被加工物を固定剤で定盤に固定し、機械加工した後に加熱によって定盤から被加工品を剥離する方法であって、固定剤が紫外線硬化樹脂であり、被加工品を定盤から剥離する前に含ハロゲン有機溶媒を固定剤に含浸させることを特徴とする剥離方法。
  2. 請求項1において、紫外線硬化型樹脂が、アクリル系樹脂、またはエポキシ系樹脂のいずれかであることを特徴とする剥離方法。
  3. 請求項1または2において、含ハロゲン有機溶媒がポリクロロメタンあるいはポリクロロエタンであることを特徴とする石英ガラスの剥離方法。
  4. 石英ガラスの被加工物を固定剤で定盤に固定し、機械加工した後に加熱によって定盤から石英ガラス被加工品を剥離する方法であって、固定剤がシアノアクリル系水硬化型樹脂であり、石英ガラスの被加工物を定盤に固定剤を使用して固定する前に樹脂の硬化促進剤を定盤または被加工物に塗布することを特徴とする剥離方法。
JP2009264606A 2009-11-20 2009-11-20 石英ガラス被加工品の剥離方法 Expired - Fee Related JP5405988B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009264606A JP5405988B2 (ja) 2009-11-20 2009-11-20 石英ガラス被加工品の剥離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009264606A JP5405988B2 (ja) 2009-11-20 2009-11-20 石英ガラス被加工品の剥離方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011104747A JP2011104747A (ja) 2011-06-02
JP5405988B2 true JP5405988B2 (ja) 2014-02-05

Family

ID=44228838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009264606A Expired - Fee Related JP5405988B2 (ja) 2009-11-20 2009-11-20 石英ガラス被加工品の剥離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5405988B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019156227A1 (ja) 2018-02-09 2019-08-15 東亞合成株式会社 水易解体性接着剤組成物
WO2021025037A1 (ja) 2019-08-08 2021-02-11 東亞合成株式会社 水易解体性接着剤組成物

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61249261A (ja) * 1985-04-26 1986-11-06 Canon Inc 光学ガラスの加工方法
JPH08112753A (ja) * 1994-10-13 1996-05-07 Nippon Sekiei Glass Kk 石英ガラスの加工方法
JP2000073015A (ja) * 1998-08-31 2000-03-07 Matsumoto Seiyaku Kogyo Kk シアノアクリレート接着剤組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011104747A (ja) 2011-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900003822B1 (ko) 표면들 사이에 증강된 접착을 제공하는 방법 및 이 방법에 의해 제조된 제품
KR101811920B1 (ko) 지지체 분리 방법
JP5871904B2 (ja) アブレシブエッチングおよびカッティングのためのフォトレジスト膜および方法
KR20120052866A (ko) 적층체, 및 분리 방법
WO2004014587A3 (en) System and method for bonding and debonding a workpiece to a manufacturing fixture
JP5405988B2 (ja) 石英ガラス被加工品の剥離方法
CN103302572B (zh) 板状物的磨削方法
Digby et al. The international collaborative programme on organosilane coupling agents: an introduction
JP2019107811A (ja) ゴム部材の取付方法、及び、センサ付きタイヤ
WO2003013739A3 (en) Process for repairing coated substrate surfaces
WO2021126580A1 (en) Adhesive tapes for receiving discrete components
US7235593B2 (en) Command-cure adhesives
ATE337380T1 (de) Verfahren zum kleben von substraten unter verwendung einer uv-aktivierbaren klebfolie, sowie eine uv- bestrahlungsvorrichtung.
JP7016091B1 (ja) 保護膜形成用組成物の使用方法
ES2270202T3 (es) Procedimiento para el pegado tolerante con la contaminacion de piezas e alas.
Müller Research on surface treatment of alloy AlCu4Mg adhesive bonded with structural single-component epoxy adhesives
JP2011125949A (ja) 定盤からの石英ガラス被加工品の剥離方法
CN110330918A (zh) 一种用于uv膜的可快速失去粘性的uv胶配方、uv膜
WO2022194241A1 (zh) 保护胶体及其使用方法
US6864154B2 (en) Process for lapping wafer and method for processing backside of wafer using the same
ATE300417T1 (de) Verfahren zum aufbringen einer polymermaterial enthaltenden schicht
JP2973991B2 (ja) 小物品の加工方法
JPH08112753A (ja) 石英ガラスの加工方法
US3398046A (en) Chlorinated polyethylene adhesive compositions for bonding paper to non porous surfaces
JPH03197028A (ja) ポリフェニレンサルファイド成形品の接着方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120831

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130917

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130924

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131022

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131031

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees