JP5405137B2 - 半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法 - Google Patents
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また、例えばSOQ(Silicon On Quartz)のような異種複合基板では、洗浄溶液中における異種基板間のゼータ電位の違いから基板表面から除去した汚染物が他種の基板表面上への再付着が起こりやすく、洗浄後の基板表面上の清浄度の悪化の原因となる。
また、洗浄効果を向上させるために通常行われているように枚葉式スピン洗浄において超音波振動子を有するノズルから洗浄液、特にフッ化水素酸のようにシリコンの自然酸化膜を除去する効果があるものを用いると、撥水性である活性な表面が暴露される。この暴露された活性表面はパーティクルが付着しやすく汚染の原因となってしまう。
本発明は、汚染度の高い半導体基板を洗浄する際に、枚葉式スピン洗浄によりパーティクルの発生を抑えながら清浄度を向上させることができ、且つスループットの低下を抑えることができる半導体基板の洗浄方法を提供する。
なお、枚葉式は、基板を1枚ずつ処理する方式であり、プロセス処理の高精度化やウエーハの大口径化に伴い,従来のバッチ式から枚葉式へ移行する工程が増えている。
被洗浄物である半導体基板は、特に限定されないが、好ましくは、シリコン基板や、シリコン、サファイア、石英または窒化アルミニウム(AlN)等を支持基板(ベースウェーハ)としその上にシリコン膜を有するSOI(Silicon on Insulator)基板が例示できる。半導体基板のサイズや種類も、特に限定されず、目的により適宜選択できる。
一般的に印加する超音波の周波数が高くなれば被洗浄物である半導体基板へのダメージが小さく、また微粒子の除去に適している。そのため印加する超音波の周波数は、好ましくは200kHz以上、より好ましくは200kHz〜1MHz、さらに好ましくは500kHz〜1MHzである。
純水は、半導体の洗浄を可能とするものであれば良いが、好ましくは、半導体プロセスに通常用いられる超純水である。また、純水は、純水に過酸化水素水やアンモニア水等を加えたものであっても良く、オゾンや水素を加えたオゾン水や水素水であっても良い。特に、1〜10質量%の過酸化水素水が半導体基板の表面に薄い酸化層を形成し、表面への汚染物付着の抑制の点から好ましい。
ノズルの揺動範囲を半導体基板の中心部の内側まで揺動するのは、中心付近の汚染物の除去が確実に行われるようにするためである。また、外周領域より外側まで揺動させるのはノズルの揺動範囲を最外周までに留めた場合、基板の最外周部から内側に向かう溶液の流れにより一度除去した汚染物を内側に押し流し再付着するのを防ぐためである。
超音波を印加したフッ化水素酸水溶液の揺動は、例えば、フッ化水素酸水溶液を吐出する超音波振動子付ノズルを揺動させて行うことができる。
洗浄時間はスループットを考慮し30秒以上2分以内であることが好ましい。
枚葉式スピン洗浄装置は、半導体基板を保持して回転させるスピンチャックと、半導体基板の表面に超音波を印加したフッ化水素酸水溶液を供給できる少なくとも1つの超音波振動子付ノズルと、超音波振動子付ノズルを半導体基板の中心部内側から半導体基板の外郭の外側まで揺動できる超音波振動子付ノズルに接続されたアームと、半導体基板の表面に純水を供給できる、超音波振動子付ノズルとは別の少なくとも1つのノズルとを備え、半導体基板の表面の全面に純水の皮膜を形成させてパーティクル付着を防止し半導体基板の表面の洗浄を行うことができるものであればよく、特に限定されず、目的とする半導体基板の種類、サイズ等により適宜選択できる。
超音波振動子は、特に限定されないが、好ましくは200kHz以上、より好ましくは200kHz〜1MHz、さらに好ましくは500kHz〜1MHzの周波数の周波数を印加できるものがよい。一般的に印加する超音波の周波数が高くなれば被洗浄物である半導体基板へのダメージが小さく、また微粒子の除去に適しているからである。
<サンドブラスト処理により汚染されたシリコン基板の準備>
6インチシリコン基板を、アルミナ粉末(キイライト研磨材社製WA♯600、平均粒径20μm)を砥粒としてサンドブラスト装置(信越エンジニアリング社製)を用いて以下の条件で処理し、故意に汚染させたシリコン基板を得た。
サンドブラスト処理されたシリコン基板の回転数を200rpmとし、濃度が1体積%のフッ化水素酸水溶液を、基板上を中心部よりも内側から外周部よりも外側まで揺動する1MHzの振動子を有するノズルから、超音波を印加しながら1L/minの流量で供給しつつ、別のノズルから超純水を基板上に1L/minの流量で供給し洗浄を行った。洗浄時間は1分とした。その後フッ化水素酸水溶液の供給を停止し、超純水でリンスを行い基板の回転数を1200rpmまで上げ乾燥させ、洗浄されたシリコン基板を得た。
「別のノズルから超純水を基板上に1L/minの流量で供給」することを行わなかったこと以外は、実施例1と同様にして洗浄されたシリコン基板を得た。
サンドブラスト処理されたシリコン基板上を中心部より外周側、且つ外周部より内側の範囲で揺動した以外は実施1同様にして洗浄されたシリコン基板を得た。
実施例1、比較例1及び比較例2についてそれぞれの方法でシリコン基板10枚の洗浄を実施し、それぞれ洗浄後のシリコン基板の清浄度の確認を行った。
パーティクル汚染については、欠陥検査装置(TLA−Tencor社製Surfscan SP1)を用い、10回実施した各洗浄後のシリコン基板上で検出された0.19μm以上のパーティクル数の平均値を得た。金属汚染については、TRXF(Total Reflection X-ray Fluorescence:全反射蛍光X線)分析装置(テクノス社製TREX630T)を用いて、10回実施した各洗浄後のシリコン基板上の任意の5点を測定し、1×1010atom/cm2以上の汚染が検出された点数を計測した。これらの結果を表1に示す。
Claims (4)
- 半導体基板を回転させながら上記半導体基板の表面に純水を供給し、同時に上記半導体基板の表面に超音波を印加しながらフッ化水素酸水溶液を上記半導体基板の表面に供給して、上記表面の全面に上記純水の皮膜を形成させてパーティクル付着を防止し上記半導体基板の表面の洗浄を行う半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法であって、
上記フッ化水素酸水溶液の上記半導体基板の表面への供給が、上記フッ化水素酸水溶液を上記半導体基板の表面の中心部の内側から上記半導体基板の外周部よりも外側までの範囲で揺動しながら上記半導体基板の表面に供給するものである半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法。 - 上記半導体基板の表面への超音波の印加が、超音波を印加したフッ化水素酸水溶液を供給することにより行われる請求項1に記載に記載の半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法。
- 上記超音波の周波数が、200kHz以上である請求項1または請求項2に記載の半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法。
- 上記半導体基板が、シリコン基板、またはシリコン、サファイア、石英もしくは窒化アルミニウムの支持基板の上にシリコン膜が形成されたSOI基板である請求項1〜3のいずれかに記載の半導体基板の枚葉式スピン洗浄方法。
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