JP5401343B2 - 静電チャック用電源回路、及び静電チャック装置 - Google Patents
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Description
11 正極出力電圧:Vpo=Ap×Vpc
20 負極高電圧回路
21 負極出力電圧:Vno=−An×Vnc
30 アンバランサ抵抗
31 電流検出抵抗
32 負極側電圧検出抵抗
33 微分回路
40 静電チャックホルダ
41 静電チャック正電極
42 静電チャック負電極
43 誘電体
44 半導体ウェハ
45 真空チャンバ
46 ウェハ−チャンバ天板間容量
47 チャック電極−真空チャンバ内壁間容量
50 正極側出力分圧回路:分圧値=Vpo/Ap
60 負極側出力分圧回路:分圧値=−Vno/An
70 正極側吸着良否判定回路
71 正極側各種ピーク検出回路
72 正極側バッファ
74 電流検出絶縁アンプ
80 負極側吸着良否判定回路
81 負極側各種ピーク検出回路
82 負極側バッファ
83 負極出力電圧低下ピーク検出回路
84 吸着ピーク検出回路
85 吸着解除ピーク検出回路
90 半導体ウェハ印加電圧電源
91 半導体ウェハ導通部
92 半導体ウェハ導通部−ウェハ印加電圧間抵抗
Claims (7)
- 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極との間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間のそれぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記電極の電圧変化を示すピーク波形を検出することを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 請求項1において、
前記電圧検出器は、所定の閾値との比較に基づいて、前記ピーク波形を検出することを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極との間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間のそれぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記試料が吸着したことを示すピーク波形を検出する回路を含んでいることを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極との間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間のそれぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記電源回路から印加される電圧の低下を示すピーク波形を検出する回路を含んでいることを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極との間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間のそれぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記電源回路から前記電極に電圧を印加している状態にて、前記試料の脱着を示すピーク波形を検出する回路を含んでいることを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極との間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間のそれぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記試料の吸着解除を示すピーク波形を検出する回路を含んでいることを特徴とする静電チャック用電源回路。 - 試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャック部と、前記正電極、及び負電極に電圧を印加する静電チャック用電源回路を備えた静電チャック装置において、
前記正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、前記負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、前記第1の電源回路と前記正電極の間、及び前記第2の電源回路と前記負電極との間に、それぞれに接続される抵抗と、前記正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、当該電圧検出器が接続される電極と、前記電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有し、前記電圧検出器は、前記電極の電圧変化を示すピーク波形、前記試料が吸着したことを示すピーク波形、前記電源回路から印加される電圧の低下を示すピーク波形、前記電源回路から前記電極に電圧を印加している状態にて、前記試料の脱着を示すピーク波形、及び前記試料の吸着解除を示すピーク波形の少なくとも1つを検出する回路を含んでいることを特徴とする静電チャック装置。
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JP2010016136A JP5401343B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | 静電チャック用電源回路、及び静電チャック装置 |
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