JP5397496B2 - 磁気センサ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
これにより、磁気抵抗素子部の下地材料の選択の幅が広がり、磁気抵抗素子部を構成する膜の結晶性を向上させることができる。
請求項2に記載の発明では、ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)をヒータ部毎に形成する温度検知部形成工程を有することを特徴とする。
これにより、温度検知部の検出温度を用いることにより、ヒータ部の温度に対してフィードバック制御を実施することができる。このため、ヒータ部の温度管理の精度を向上させることができる。
請求項3に記載の発明では、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法を、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さくする基板形成工程を有していることを特徴とする。
これにより、ヒータ部によって磁気抵抗素子部を加熱する際に、ヒータ部から磁気抵抗素子部側に熱を伝え易くすることができる。このため、ヒータ部の温度管理の精度を向上させることができる。
請求項4に記載の発明では、ヒータ部形成工程では、磁気抵抗素子部に対して同一平面上で、かつ磁気抵抗素子部を囲むようにヒータ部を磁気抵抗素子部毎に形成することを特徴とする。
これにより、磁気抵抗素子部の下地材料の選択の幅が広がり、磁気抵抗素子部を構成する膜の結晶性を向上させることができる。
請求項5に記載の発明では、素子部形成工程では、基板(10、14、16)のうち、複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を形成することを特徴とする。
これによると、一方のヒータ部(30)の熱がトレンチ(70)の存在によって他方のヒータ部(30)側に伝わりにくくなるので、ヒータ部(30)の熱拡散を抑制することができる。
請求項6に記載の発明では、ヒータ部形成工程では、1つの磁気抵抗素子部に対して複数のヒータ部を形成することを特徴とする。
これにより、複数のヒータ部によって磁気抵抗素子部を加熱する際に、磁気抵抗素子部の温度分布を均一にすることができる。
具体的には、請求項7に記載の発明では、ヒータ部形成工程では、基板(10、14、16)に、各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成することを特徴とする。
請求項21に記載の発明では、ヒータ部は、磁気抵抗素子部毎に磁気抵抗素子部を囲むように形成されていることを特徴とする。
これにより、磁気抵抗素子部の下地材料の選択の幅が広がり、磁気抵抗素子部を構成する膜の結晶性を向上させることができる。
請求項22に記載の発明では、ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)がヒータ部毎に設けられていることを特徴とする。
これにより、温度検知部の検出温度を用いることにより、ヒータ部の温度に対してフィードバック制御を実施することができる。このため、ヒータ部の温度管理の精度を向上させることができる。
請求項23に記載の発明では、基板のうちヒータ部および磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法は、基板のうちヒータ部および磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さいことを特徴とする。
これにより、ヒータ部によって磁気抵抗素子部を加熱する際に、ヒータ部から磁気抵抗素子部側に熱を伝え易くすることができる。このため、ヒータ部の温度管理の精度を向上させることができる。
請求項24に記載の発明では、ヒータ部および磁気抵抗素子部は、同一平面上に形成されており、ヒータ部は、磁気抵抗素子部を囲むように形成されていることを特徴とする。
これにより、磁気抵抗素子部の下地材料の選択の幅が広がり、磁気抵抗素子部を構成する膜の結晶性を向上させることができる。
請求項25に記載の発明では、基板(10、14、16)は、複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を有していることを特徴とする。
これによると、着磁の際に、加熱されたヒータ部(30)の熱がトレンチ(70)の存在によって伝わりにくくなるので、ヒータ部(30)の熱拡散が抑制される構造を提供することができる。
請求項26に記載の発明では、1つの磁気抵抗素子部に対して、複数のヒータ部が設けられていることを特徴とする。
これにより、複数のヒータ部によって磁気抵抗素子部を加熱する際に、磁気抵抗素子部の温度分布を均一にすることができる。
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る磁気センサ装置は、例えば自動車用のエンジン回転数検出やハンドル回転角検出等に使用されるものである。本実施形態では、磁気センサ装置として回転角を検出する回転角センサを例に説明する。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。第1実施形態では、各磁気抵抗素子部22の出力を外部の演算用チップに取り出して外部で回転角度を演算していたが、本実施形態では演算用の回路部を基板10に設けたことが特徴となっている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図7(a)は本実施形態に係る磁気センサ装置の平面図であり、図7(b)は図7(a)のB−B’断面図である。図7(a)および図7(b)に示されるように、磁気センサ装置はヒータ部30の熱拡散を防止するためのトレンチ70を有している。
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。図8は、本実施形態に係る磁気センサ装置の断面図であり、図7(a)のB−B’断面に相当する図である。この図に示されるように、トレンチ70に絶縁体71が埋め込まれている。この絶縁体71はヒータ部30の熱を伝達しにくくする役割を果たすものであり、酸化膜や窒化膜用の熱容量の小さい材料で構成されている。絶縁体71は、トレンチ70を形成した後にトレンチ70にCVD法等で埋め込むことができる。以上により、絶縁体71の存在によってヒータ部30の熱拡散を効果的に抑制することができる。
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。第3実施形態では、トレンチ70を直線状にレイアウトしていたが、本実施形態ではヒータ部30を囲むように形成されていることが特徴となっている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。上記第1〜第5実施形態では、2つのセンサ部20で構成された最も基本的な構成について説明した。本実施形態では実使用に近い構成について説明する。
本実施形態では、第1〜第6実施形態と異なる部分について説明する。上記各実施形態では、ポリシリコンでヒータ部30を形成していたが、本実施形態ではヒータ部30の材料として単結晶シリコンを用いることが特徴となっている。
本実施形態では、第1〜第7実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態ではヒータ部30の材料として白金(Pt)を用いることが特徴となっている。
上記第1実施形態では、センサ部20を囲むようにヒータ部30を形成した例について説明したが、これに代えて、本第9実施形態では、ヒータ部30を板状に形成した例について説明する。
本実施形態では、上記第9実施形態の磁気センサ装置の基板10のうちヒータ部30に対応する領域にメンブレンを設けた例について説明する。
凹部11aは、基板10の一面13と反対側(図示下側)から一面13側(図示上側)に凹むように形成されている。このことにより、基板10のうちヒータ部30に対応する領域は、ヒータ部30に対応する領域以外の他の領域11cに比べて板厚方向の寸法が短くなる。すなわち、基板10のうちヒータ部30に対応する領域には、メンブレン(薄膜)11bが形成されることになる。
上記第9実施形態では、ヒータ部30として基板10の板厚方向から視て四角形に形成されたものを用いた例について説明したが、これに代えて、基板10のうちヒータ部30を囲むように形成されたものを用いる例について説明する。
本実施形態では、上記第11実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30に対応する領域にメンブレンをセンサ部20毎に設ける例について説明する。
上記第9〜12の実施形態では、基板10にヒータ部30を形成した例について説明したが、これに代えて、本実施形態では、センサ部20と同一平面上にヒータ部30を形成する例について説明する。
本実施形態では、上記第13実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30に対応する領域にメンブレンをセンサ部20毎に設ける例について説明する。
上記第13、14の実施形態では、ヒータ部30およびセンサ部20を同一平面上に形成した例について説明したが、これに代えて、本実施形態では、ヒータ部30をセンサ部20の直上に形成する例について説明する。
本実施形態では、上記第15実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30に対応する領域にメンブレンをセンサ部20毎に設ける例について説明する。
上記第9実施形態では、1つのセンサ部20に対して1つのヒータ部30を設けた例について説明したが、これに代えて、本実施形態では、1つのセンサ部20に対して複数のヒータ部30を設けた例について説明する。
本実施形態では、上記第17実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30に対応する領域にメンブレンをセンサ部20毎に設ける例について説明する。
本実施形態では、上記第10実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30の側方に温度センサ90a、90bを設ける例について説明する。
本実施形態では、上記第19実施形態の磁気センサ装置において、基板10のうち、ヒータ部30に対応する領域にメンブレンをセンサ部20毎に設ける例について説明する。
上記第12、16の実施形態では、基板10のうちヒータ部30およびセンサ部20に対応する領域に凹部11a(すなわち、メンブレン11b)形成する例について説明したが、これに限らず、基板10のうちヒータ部30およびセンサ部20のうち少なくとも一方に対応する領域に凹部11a(すなわち、メンブレン11b)形成するようにしてもよい。
13 一面
14 SOI基板
15 一面
16 基板
18 一面
20 センサ部
22 磁気抵抗素子部
22a ピン磁性層
22c フリー磁性層
30 ヒータ部
60 回路部
70 トレンチ
71 絶縁体
Claims (40)
- 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記ヒータ部形成工程では、前記基板(10、14、16)に、前記各磁気抵抗素子部(22)に対応する前記ヒータ部(30)をそれぞれ形成し、
前記ヒータ部形成工程では、前記磁気抵抗素子部を囲むように前記ヒータ部を前記磁気抵抗素子部毎に形成することを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)を前記ヒータ部毎に形成する温度検知部形成工程を有することを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法を、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さくする基板形成工程を有していることを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記ヒータ部形成工程では、前記磁気抵抗素子部に対して同一平面上で、かつ前記磁気抵抗素子部を囲むように前記ヒータ部を前記磁気抵抗素子部毎に形成することを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記素子部形成工程では、前記基板(10、14、16)のうち、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を形成することを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置の製造方法であって、
前記基板(10、14、16)を用意する工程と、
前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成する素子部形成工程と、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応するヒータ部(30)をそれぞれ形成するヒータ部形成工程と、
磁場の向きが前記面方向のうちの第1の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第1の方向に着磁する第1着磁工程と、
磁場の向きが前記面方向のうち第1の方向とは異なる第2の方向に設定された磁場中に、前記各磁気抵抗素子部(22)が形成された前記基板(10、14、16)を配置し、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)を加熱して磁場中アニールを行うことにより、当該磁気抵抗素子部(22)を構成するピン磁性層(22a)の磁化の向きを前記第2の方向に着磁する第2着磁工程と、を含んでおり、
前記ヒータ部形成工程では、前記基板(10、14、16)に、前記各磁気抵抗素子部(22)に対応する前記ヒータ部(30)をそれぞれ形成し、
前記ヒータ部形成工程では、前記磁気抵抗素子部に比べて小さい前記ヒータ部を形成し、 前記ヒータ部形成工程では、1つの前記磁気抵抗素子部に対して複数の前記ヒータ部を形成することを特徴とする磁気センサ装置の製造方法。 - 前記ヒータ部形成工程では、前記基板(10、14、16)に、前記各磁気抵抗素子部(22)に対応する前記ヒータ部(30)をそれぞれ形成することを特徴とする請求項2、3、5のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記素子部形成工程では、前記ヒータ部(30)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)がそれぞれ位置するように、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)を形成することを特徴とする請求項1、2、3、5、6のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記素子部形成工程では、前記基板(10、14、16)のうち、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を形成することを特徴とする請求項2または3に記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記素子部形成工程では、前記ヒータ部(30)を囲むように前記トレンチ(70)を前記基板(10、14、16)に形成することを特徴とする請求項5または9に記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記素子部形成工程では、前記トレンチ(70)を形成した後に前記トレンチ(70)を絶縁体(71)で埋めることを特徴とする請求項5、9、10のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に共通のヒータ部(30)を形成すると共に、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に共通のヒータ部(30)を形成することを特徴とする請求項2、3、5、7、9ないし11のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)における前記ヒータ部(30)の面積が前記磁気抵抗素子部(22)よりも大きくなるように前記ヒータ部(30)を形成することを特徴とする請求項2、3、5、7、9ないし12のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記複数の前記ヒータ部を前記面方向に分散して形成することを特徴とする請求項6に記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記磁気抵抗素子部の上側に前記ヒータ部を前記磁気抵抗素子部毎に形成することを特徴とする請求項2または3に記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)を前記ヒータ部毎に形成する温度検知部形成工程を有することを特徴とする請求項1、3ないし6、10、11、14のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記温度検知部形成工程では、前記温度検知部を前記ヒータ部に対して前記面方向に形成することを特徴とする請求項2または16に記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法を、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さくする基板形成工程を有していることを特徴とする請求項1、2、4ないし6、14のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記各磁気抵抗素子部(22)の出力に基づいて前記物理量を演算する回路部(60)を前記基板(10、14、16)に形成することを特徴とする請求項1ないし18のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 前記ヒータ部形成工程では、前記ヒータ部(30)を、ポリシリコン、単結晶シリコン、白金、ニッケルクロム、窒化タンタル、炭化シリコン、タングステンのいずれかの材料で形成することを特徴とする請求項1ないし19のいずれか1つに記載の磁気センサ装置の製造方法。
- 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記ヒータ部は、前記基板に形成されており、
前記ヒータ部は、前記磁気抵抗素子部毎に前記磁気抵抗素子部を囲むように形成されていることを特徴とする磁気センサ装置。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)が前記ヒータ部毎に設けられていることを特徴とする磁気センサ装置。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法は、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さいことを特徴とする磁気センサ装置。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部は、同一平面上に形成されており、
前記ヒータ部は、前記磁気抵抗素子部を囲むように形成されていることを特徴とする磁気センサ装置。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記基板(10、14、16)は、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を有していることを特徴とする磁気センサ装置。 - 一面(13、15、18)を有する基板(10、14、16)と、
外部の磁場の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層(22c)と、磁化の向きが固定されたピン磁性層(22a)と、を有し、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に形成された複数の磁気抵抗素子部(22)と、を備え、
前記複数の磁気抵抗素子部(22)には前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)に平行な面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きが異なるものが含まれており、
前記各磁気抵抗素子部(22)が外部の磁場の影響を受けたときの前記各磁気抵抗素子部(22)の抵抗値の変化に基づいて物理量を検出する磁気センサ装置であって、
前記各磁気抵抗素子部(22)に対応して設けられ、前記ピン磁性層(22a)の着磁の際に加熱されることで、前記面方向において前記ピン磁性層(22a)の磁化の向きを、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部と、で異なる方向に着磁するためのヒータ部(30)を有しており、
前記ヒータ部は、前記基板に形成されており、
前記ヒータ部は、前記磁気抵抗素子部よりも小さいものであり、
1つの前記磁気抵抗素子部に対して、複数の前記ヒータ部が設けられていることを特徴とする磁気センサ装置。 - 前記ヒータ部は、前記基板に形成されていることを特徴とする請求項22、23、25のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記ヒータ部(30)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)がそれぞれ位置するように、前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)の上方に前記各磁気抵抗素子部(22)が形成されていることを特徴とする請求項21、22、23、25、26のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記基板(10、14、16)は、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部に対応するヒータ部(30)と、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部に対応するヒータ部(30)と、の間にトレンチ(70)を有していることを特徴とする請求項22または23に記載の磁気センサ装置。
- 前記トレンチ(70)は、前記ヒータ部(30)を囲むように前記基板(10、14、16)に形成されていることを特徴とする請求項25または29に記載の磁気センサ装置。
- 前記トレンチ(70)は、絶縁体(71)が埋め込まれていることを特徴とする請求項25、29、30のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記ヒータ部(30)は、前記複数の磁気抵抗素子部(22)のうちの一部で共通になっており、前記複数の磁気抵抗素子部(22)の一部とは異なる一部で共通になっていることを特徴とする請求項22、23、25、27、29ないし31のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記基板(10、14、16)の一面(13、15、18)における前記ヒータ部(30)の面積が前記磁気抵抗素子部(22)よりも大きいことを特徴とする請求項22、23、25、27、29ないし32のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記複数のヒータ部は、前記面方向に分散して配置されていることを特徴とする請求項26に記載の磁気センサ装置。
- 前記ヒータ部は、前記磁気抵抗素子部毎に前記磁気抵抗素子部の上側に形成されていることを特徴とする請求項22または23に記載の磁気センサ装置。
- 前記ヒータ部の温度を検出するための温度検知部(90a、90b)が前記ヒータ部毎に設けられていることを特徴とする請求項21、23ないし26、30、31、34のうちいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記温度検知部が前記ヒータ部に対して前記面方向に形成されていることを特徴とする請求項22または36に記載の磁気センサ装置。
- 前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部のうち一方に対応する部分の板厚方向の寸法は、前記基板のうち前記ヒータ部および前記磁気抵抗素子部に対応する部分以外の他の部分の板厚方向の寸法に比べて小さいことを特徴とする請求項21、22、24ないし26、34のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記基板(10、14、16)は、前記各磁気抵抗素子部(22)の出力に基づいて前記物理量を演算する回路部(60)を有していることを特徴とする請求項21ないし38のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
- 前記ヒータ部(30)は、ポリシリコン、単結晶シリコン、白金、ニッケルクロム、窒化タンタル、炭化シリコン、タングステンのいずれかの材料で形成されていることを特徴とする請求項21ないし39のいずれか1つに記載の磁気センサ装置。
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