JP6668956B2 - 磁化固定方法及び強磁性素子の製造方法 - Google Patents
磁化固定方法及び強磁性素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図1は、本実施形態にかかる磁化固定方法を説明するための斜視模式図である。
図1に示すように、本実施形態にかかる磁化固定方法は、複数の加熱配線1を複数の強磁性体2に対して配設する配設工程と、外部磁場を印加しながら所定の加熱配線1を加熱し、所定の強磁性体2の磁化を固定する磁化固定工程と、を有する。磁化固定工程は、加熱する加熱配線1を変えながら複数回行われる。図1では、加熱配線1の両端には、電極パッド3を設けている。
配設工程では、複数の加熱配線1を複数の強磁性体2に対して所定の配置で配設する。図2は、配設工程における複数の加熱配線の配置を説明するための模式図である。図2は、図示略の基板に対して強磁性体2が積層されている積層方向から加熱配線1及び強磁性体2を平面視した図である。
磁化固定工程では、外部磁場を印加しながら所定の加熱配線1を加熱し、所定の強磁性体2の磁化を固定する。加熱配線1の加熱は、例えば、電極パッド3を介した加熱配線1への電流印加により行うことができる。
第2加熱配線1Bは、第1加熱配線1Aにより第1磁化方向Maに磁化固定された第1強磁性体2Aへ加熱の影響を及ぼさない位置であれば、いずれの位置に配設されていてもよい。第2加熱配線1Bを加熱することにより、第3強磁性体2Cまたは第4強磁性体2Dの磁化が第2磁化方向Mbに固定されたとしても、第3強磁性体2Cまたは第4強磁性体2Dを加熱する後工程で、磁化を上書きできる。
加熱配線1を加熱する際は、加熱配線1の抵抗値を測定する抵抗測定工程をさらに有することが好ましい。加熱配線1の抵抗値を測定しておくことで、加熱配線1が充分発熱しているかを工程の途中で確認することができる。
強磁性素子は、強磁性体を用いた素子である。例えば、磁気センサは、外部から印加される磁場の角度を正確に求めるために、2つ以上の方向に磁化が固定された磁化固定層が必要になる。また例えば、磁壁駆動型又は磁壁移動型と呼ばれるMRAMは、磁壁が駆動する磁壁駆動層に対して磁壁を供給する反平行な2つの磁化固定層が必要となる。
Claims (8)
- 複数の強磁性体のそれぞれに対して、いずれか一つの加熱配線が最近接するように複数の加熱配線を配設する配設工程と、
外部磁場を印加しながら、前記複数の加熱配線のうち1又は複数の加熱配線を加熱し、前記複数の強磁性体のうち加熱された加熱配線に近接する強磁性体の磁化を固定する磁化固定工程と、を有し、
前記磁化固定工程を印加する前記外部磁場を変えながら複数回行い、前記複数の強磁性体の磁化を複数の方向に固定した後、加熱配線を除去する磁化固定方法。
- 前記複数の強磁性体のうち同一の方向に磁化を固定する強磁性体に対し、1本の加熱配線を配設する請求項1に記載の磁化固定方法。
- 前記複数の強磁性体に対して、いずれか一つの加熱配線を接触させる請求項1又は2のいずれかに記載の磁化固定方法。
- 隣接する強磁性体の間に、遮熱体を設ける請求項1から3のいずれか一項に記載の磁化固定方法。
- 前記強磁性体と積層方向重なる位置において、前記複数の加熱配線を交差させない請求項1から4のいずれか一項に記載の磁化固定方法。
- 前記強磁性体と積層方向重なる位置において、前記加熱配線が狭窄する請求項1から5のいずれか一項に記載の磁化固定方法。
- 加熱した加熱配線の抵抗値を測定する工程をさらに有する請求項1から6のいずれか一項に記載の磁化固定方法。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の磁化固定方法を用いた強磁性素子の製造方法。
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