JP5389169B2 - 平面導波路型レーザ装置およびそれを用いたディスプレイ装置 - Google Patents
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Description
平面導波路型レーザ装置においては、平板面内でレーザ光軸に対して垂直方向に空間モードでレーザ発振させ、この方向にレーザ光のビーム径を広げることや、レーザ光をマルチ化することにより、高出力化を図っている。
なお、基本波レーザ光は、平面導波路型のレーザ媒質を用い、利得を発生させてレーザ共振を行うことにより発生させることができる。また、高調波は、平面導波路型の波長変換素子(非線形材料)を用いて基本波レーザ光を波長変換することにより得られる。
このとき、平板面内でレーザ光軸に対して垂直方向に幅の広いブロードエリア型の半導体レーザを励起源に使用している場合、または、発光点を複数配置したマルチエミッタ型の半導体レーザを励起源に使用している場合には、平板面内でレーザ光軸に対して垂直方向の成分を含む角度に伝搬する自然放出光が受ける利得が大きくなるので、意図しない寄生発振や寄生増幅が生じることがある。この結果、意図しないエネルギーの抽出により、レーザ光軸方向への利得が減少し、高出力のレーザ出力が得られないなどの問題がある。
また、基板上部の空気との接触面においても、基板を通過する角度成分の光の一部がフレネル反射によりレーザ媒質側に戻り、戻った光は、レーザ媒質で増幅される。これにより、エネルギーが抽出されて、レーザ光軸方向への利得を減少させるので、高出力のレーザ光が得られないなどの問題がある。
以下、図面を参照しながら、この発明の実施例1について説明する。
図1、図2はこの発明の実施例1に係る平面導波路型レーザ装置の構成を示す側面図および要部平面図である。
接合剤3は、金属半田や光学接着剤または熱伝導接着剤などからなり、レーザ媒質5から発生して第2クラッド4bを介した放出熱を、ヒートシンク2に排熱する。
半導体レーザ1の発光点(活性層)は、図2に示すように、レーザ光軸6に対して垂直方向(x軸方向)に沿って配列されている。
入射端面5aおよび出射端面5bの各形状は長方形であり、典型的には、y軸方向の厚さが数μm〜数10μm、x軸方向の幅が数100μm〜数mmの大きさを有する。ここでは、入射端面5aおよび出射端面5bの長方形の長辺方向をx軸、短辺方向をy軸、レーザ光軸6の方向をz軸とした座標系を用いている。
第1クラッド4aおよび第2クラッド4bは、たとえば、光学材料を原料とした膜を蒸着やスパッタなどの製法により形成するか、オプティカルコンタクトまたは拡散接合などにより、レーザ媒質5に光学材料を光学的に接合することにより構成される。
また、ヒートシンク2を光学材料で構成した場合には、たとえばオプティカルコンタクトまたは拡散接合などにより、第2クラッド4bとヒートシンク2とを直接接合してもよい。
半導体レーザ1のx軸方向の大きさは、図2に示したように、レーザ媒質5のx軸方向の大きさとほぼ等しく、x軸方向にほぼ一様に励起光Lを出射する。
半導体レーザ1からx−z平面方向に出射された励起光Lは、入射端面5aからレーザ媒質5に入射されて、レーザ媒質5に吸収される。
具体的には、非線形材料7は、レーザ光軸6に対して垂直方向の断面がレーザ媒質5とほぼ同じ形状を有し、レーザ光軸6に対して垂直方向の入射端面7aと、入射端面7aに対向した出射端面7bとを有する。非線形材料7の入射端面7aは、レーザ媒質5の出射端面5bに近接して配置される。
なお、半導体レーザ1から出射される励起光Lを、レーザ媒質5の入射端面5aから入射する場合には、入射端面5aの全反射膜は、励起光Lを透過し、基本波レーザ光L1を反射する光学膜となる。
ここで、空気の屈折率をn0、レーザ媒質5の屈折率をn1、第1クラッド4aの屈折率をn2、第2クラッド4bの屈折率をn3、基板22の屈折率をn4とする。
このとき、基板22の屈折率n4と、第1クラッド4aの屈折率n2との関係は、以下の条件式(1)で表される。
まず、レーザ媒質5の入射端面5aから入射した励起光Lは、レーザ媒質5で吸収されて、レーザ媒質5の内部で基本波レーザ光L1に対する利得を発生する。
したがって、基本波レーザ光L1は、高い屈折率n1のレーザ媒質5に閉じ込められて、導波路モードで選択的に発振する。
レーザ媒質5の導波路モードおよび非線形材料7の導波路モードは、それぞれ、材料の厚さや、上下面に接合されたクラッドとの屈折率差などにより、任意に設定可能であり、低次モードまたは単一モードのみ導波させて、高輝度発振を実現することが可能である。
たとえば、いずれか一方の導波モードをマルチモードとし、他方の導波モードを単一モードとすれば、レーザ発振のモードが最も低次のモードで制限されるので、単一モードで選択的に発振することが可能である。
また、複数の空間モードを形成するために、ヒートシンク2の接合面の形状を、レーザ光軸6の方向に沿って櫛型として、熱レンズを形成してもよい。
図3はこの発明の実施例1における自然放出光Lnの放射および散乱状態を示す説明図であり、図2内のA−A’線による断面図を拡大して示している。
また、y軸方向に角度を有する成分(2点鎖線矢印)は、第1クラッド4aを通過し、さらに基板22を通り、平面導波路型レーザ装置の固体レーザ素子の外部に漏れる。
また、第1クラッド4aにSiO2を用いた場合には、屈折率n2が1.45となるので、第1クラッド4aと基板22との間において、垂直入射の場合、7%のフレネル反射が生じる。また、このとき、基板22の上面と空気との間の界面でのフレネル反射は、13.4%も生じる。
これにより、第1クラッド4aと基板22との境界面で垂直入射した場合に、フレネル反射を1%程度に低減させることができる。また、基板22と空気との境界面でのフレネル反射成分の4%程度に低減される。
この結果、意図しない寄生増幅が抑制され、レーザ光軸6方向の利得が向上するので、高効率で高出力のレーザ光が得られるなどの顕著な効果を奏することができる。
したがって、前述と同様に、レーザ媒質5を再度通過する自然放出光Lnを低減させることができ、意図しない寄生増幅が抑制されて、レーザ光軸6方向の利得が向上するので、高効率で高出力のレーザ光が得られるなどの効果を奏することができる。
たとえば、第1クラッド4aをSiO2とし、第2クラッドをTa2O5で構成すれば、Ta2O5の屈折率は2.08程度であり、Nd:YVO4の異常屈折率2.16よりも低く、かつNd:YVO4の常屈折率1.96よりも高いので、異常屈折率が得られる方向の直線偏光が得られる。
また、レーザ媒質5と第2クラッド4bとの屈折率差「n1−n3」が小さいことから、高次モード光は伝搬ができなくなり、低次モードの高輝度レーザが得られるなどの効果がある。
また、第1クラッド4aと基板22との屈折率差「n4−n2」が小さいことから、上述したようにフレネル反射が小さくなり、高効率で高出力のレーザ光が得られるなどの効果がある。
たとえば、活性媒質としてNdを用いたレーザ媒質5においては、1μm帯、0.9μm帯および1.3μm帯のレーザ発振が可能となる。
また、非線形材料7において、基本波レーザ光L1を第2高調波レーザ光L2に波長変換することにより、0.4μm帯の青色レーザが得られる。
なお、上記実施例1(図1〜図3)では、特に言及しなかったが、図4に示すように、x軸に対して垂直方向(レーザ光軸6(z軸方向)にほぼ平行)となる側端面に荒し面16が形成された固体レーザ素子において、上記条件式(1)、(2)の構成を適用してもよい。
したがって、特に対策を施さなければ、荒し面16での散乱光(1点鎖線)に起因した寄生増幅により、荒し面16の近傍のレーザ媒質5の利得を減少させる可能性がある。
図5から明らかなように、荒らし面16の近傍のレーザ媒質5の利得が減少するので、荒らし面16に近いエミッタではレーザ出力が低くなることが分かる。
なお、上記実施例2(図4)では、側端面に垂直の荒し面16を有する固体レーザ素子に適用した場合を示したが、図7に示すように、傾斜した荒し面(荒し傾斜面)16Aを有する固体レーザ素子に、上記条件式(1)、(2)の構成を適用してもよい。
そこで、レーザ光軸6に対してほぼ平行となる固体レーザ素子の側端面に、図7に示すように、ほぼ45°の角度を有する荒し傾斜面16Aを形成することが望ましい。
したがって、レーザ媒質5を再度通過する自然放出光(点線矢印)による寄生増幅が発生し、レーザ効率を低下させる可能性がある。
なお、上記実施例3(図7)では、側端面に荒し傾斜面16Aを有する固体レーザ素子に適用した場合を示したが、図8に示すように、傾斜した鏡面(傾斜鏡面)16Bを有する固体レーザ素子に、上記条件式(1)、(2)の構成を適用してもよい。
図8のように、側端面に傾斜鏡面16Bを形成することにより、傾斜鏡面16Bにおいては、散乱光が発生しなくなり、基板22側に反射するレーザ光軸成分(実線矢印)のみの反射光が発生することになる。
なお、上記実施例1〜4(図1〜図8)では、平面導波路型レーザ装置の具体的な用途について言及しなかったが、たとえば、図9に示すように、ディスプレイ装置として機能するレーザTV(テレビ)25に適用してもよい。
赤色光源26、緑色光源27および青色光源28から出射された各レーザ光は、光伝搬手段29を介して結合された後、光学系30に出射され、光学系30からスクリーン31に投影される。
Claims (7)
- 水平方向に延長された平板状のレーザ媒質と、
前記レーザ媒質の入射端面に近接配置されて前記レーザ媒質に励起光を入射する半導体レーザと、
前記レーザ媒質の上面に接合されて前記レーザ媒質の垂直方向に第1のマルチモード導波路を形成する第1クラッドと、
前記レーザ媒質の下面に接合されて前記レーザ媒質の垂直方向に第2のマルチモード導波路を形成する第2クラッドと、
前記第1クラッドの上面に接合された基板と
を備えた平面導波路型レーザ装置において、
前記基板の屈折率n4は、前記第1クラッドの屈折率n2と比較して、0〜+0.1の範囲内となるように、以下の条件式、
n2≦n4<n2+0.1
を満たす値に設定されたことを特徴とする平面導波路型レーザ装置。 - 前記レーザ媒質の出射端面のレーザ光軸上に近接配置された非線形材料を備え、
前記非線形材料は、垂直方向に導波路構造を有し、
垂直方向に関しては、前記レーザ媒質または前記非線形材料の導波路モードでレーザ発振し、
水平方向に関しては、複数の共振器モードでレーザ発振し、
前記レーザ媒質から前記非線形材料に入射された基本波レーザ光は、前記非線形材料により、異なる波長のレーザ光に変換されて出射されることを特徴とする請求項1に記載の平面導波路型レーザ装置。 - 垂直方向に関しては、前記レーザ媒質の導波路モードでレーザ発振し、
水平方向に関しては、複数の共振器モードでレーザ発振することを特徴とする請求項1または2に記載の平面導波路型レーザ装置。 - 前記レーザ媒質の側端面に設けられた荒し面を備え、
前記荒し傾斜面は、前記レーザ媒質が放射する自然放出光のうち、前記レーザ媒質の平板状の主面に対して平行であって、前記レーザ発振光のレーザ光軸と直交する方向に進む自然放出光を散乱させることを特徴とする前記請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の平面導波路型レーザ装置。 - 前記レーザ媒質の側端面に設けられた荒し傾斜面を備え、
前記荒し傾斜面は、前記レーザ媒質が放射する自然放出光のうち、前記レーザ媒質の平板状の主面に対して平行であって、前記レーザ発振光のレーザ光軸と直交する方向に進む自然放出光を、前記平板状の主面側に反射するように、所定角度だけ傾斜されたことを特徴とする前記請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の平面導波路型レーザ装置。 - 前記レーザ媒質の側端面に設けられた傾斜鏡面を備え、
前記傾斜鏡面は、前記レーザ媒質が放射する自然放出光のうち、前記レーザ媒質の平板状の主面に対して平行であって、前記レーザ発振光のレーザ光軸と直交する方向に進む自然放出光を、前記平板状の主面側に反射するように、所定角度だけ傾斜されたことを特徴とする前記請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の平面導波路型レーザ装置。 - 請求項1に記載の平面導波路型レーザ装置を光源として用いたことを特徴とするディスプレイ装置。
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