JP5388712B2

JP5388712B2 - 異物除去装置

Info

Publication number: JP5388712B2
Application number: JP2009142706A
Authority: JP
Inventors: 律夫樫山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2009-06-15
Filing date: 2009-06-15
Publication date: 2014-01-15
Anticipated expiration: 2029-06-15
Also published as: US20100315711A1; US8237328B2; JP2010288238A

Description

本発明は、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等の撮像装置の光学部品に付着した異物を除去する技術に関する。

近年、撮像装置においては、光学センサの分解能の向上と共に、使用中に光学系に付着するゴミ（異物）が撮影画像に影響を及ぼすことが問題となってきている。特に、ビデオカメラ、スチルカメラに搭載される撮像素子の分解能はめざましく向上している。そのため、撮像素子の近くに配置されている赤外線カットフィルタ、光学ローパスフィルタ等に、外部からの埃や内部の機械的な摺擦面で生ずる摩耗粉等の異物が付着すると、次のような現象が起こる。すなわち、撮像素子の分解能が高く、さらに撮像素子面での像のぼけが少ないため、撮影画像に異物が写り込むことがある。

撮像装置において塵埃が付着した場合、使用者が塵埃を拭き取ることで画像品位は回復するが、機器の使用中に付着した塵埃は撮影後に確認するほかない。その間に撮影した画像については塵埃の画像が映り込むため、ソフトウェアによる画像の修正が必要となる。

そこで、振動を利用した防塵機構を備えたカメラが商品化されている。ここで、この振動を利用した防塵機構は、多大な振動エネルギーを必要とする。そのため、特許文献１には次のような技術が開示されている。少なくとも１つの振動モードの振動の節と他の振動モードの振動の節との節間隔が他の節間隔より小さい節間に、支持部材を配置し、電気機械エネルギ変換素子によって光学部品に同時に複数の振動モードを生じさせる。これにより、振動エネルギの損失を抑え、塵埃除去装置の消費エネルギを低減させながら光学部品に付着した塵埃を除去すると共に、発熱による光学特性の劣化を抑制する。

特開２００７−２６７１８９号公報

特許文献１に開示されているような複数の振動モードを同時に発生させるための方法を、図７に示すようなデジタルスチルカメラに装備された塵埃除去装置の構成図を参照して説明する。

図７において、デジタルスチルカメラは、撮像素子部１４−１及びカバーガラス１４−２を有する撮像素子パッケージ１４と、塵埃除去装置とを備えている。塵埃除去装置は、振動体を構成する圧電素子２−１，２−２と、支持部材６１と、駆動回路１３と、光学フィルタ５１とを備えて構成される。

しかしながら、従来の塵埃除去機構においては、複数の振動モードを発生させるために、複数の電気機械エネルギー変換素子である圧電素子を、複数の駆動周波数で駆動する必要がある。そのため、出力周波数の異なる駆動回路を複数必要とする。また、光学フィルタ５１に圧電素子を配置する場合、撮像領域外に配置する必要があり、複数の圧電素子を配置した場合、高価な光学フィルタの必要面積が増大する問題があった。また、光学フィルタの大きさが増大すると、カメラの小型化の障害となる場合もあった。

本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光学部品に付着した異物を除去する場合の消費エネルギーを低減させるとともに、電気機械エネルギー変換素子を削減して高価な光学フィルタの面積を削減することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる異物除去装置は、光学部品に付着した異物を除去する異物除去装置であって、前記光学部品の一端に配置された圧電素子と、電源と、前記圧電素子を駆動するための電圧を生成するトランスであって、１次側巻線と、２次側巻線とを有し、前記２次側巻線が前記圧電素子に接続されているトランスと、第１の周波数の第１の駆動信号を発生する第１の駆動信号発生回路と、ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの１次側巻線の一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のポジティブ側スイッチング素子と、ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの１次側巻線の一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のネガティブ側スイッチング素子と、前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の第２の駆動信号を発生する第２の駆動信号発生回路と、ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの１次側巻線の他端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第２のポジティブ側スイッチング素子と、ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの１次側巻線の他端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第２のネガティブ側スイッチング素子と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、光学部品に付着した異物を除去する場合の消費エネルギーを低減させるとともに、電気機械エネルギー変換素子を削減して高価な光学フィルタの面積を削減することが可能となる。

本発明の第１の実施形態に係わる撮像装置としてのデジタルスチルカメラに装備された塵埃除去装置を示す図である。図１の塵埃除去装置により発生させる振動モードの振動形状を示す図である。第１の実施形態の塵埃除去装置における電気回路の構成を示す図である。第１の実施形態の塵埃除去装置における電気信号の波形を示す図である。第２の実施形態の塵埃除去装置における電気回路の構成を示す図である。第２の実施形態の塵埃除去装置における電気信号の波形を示す図である。従来のデジタルスチルカメラに装備された塵埃除去装置を示す図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係わる撮像装置としてのデジタルスチルカメラに装備された塵埃除去装置（異物除去装置）を示す図であり、図１（ａ）は、塵埃除去装置の構成を示す分解斜視図である。図１（ｂ）は、撮像素子パッケージ及び光学フィルタに対するシール部材の接合構造を示す断面図である。

図１において、デジタルスチルカメラは、撮像素子部１４−１及びカバーガラス１４−２を有する撮像素子パッケージ１４と、塵埃除去装置（異物除去装置）とを備えている。塵埃除去装置は、圧電素子２と、支持部材１１，１２と、駆動回路１３と、光学フィルタ５１（光学部品）とを備えて構成される。

本実施形態では、撮像素子部１４−１の前面に配置される光学フィルタ５１を塵埃除去装置の振動部材として用いる。光学フィルタ５１の長手方向一端部には、圧電素子２が接着されている。圧電素子２には、駆動回路１３により交番電圧（駆動信号）が印加される。撮像素子パッケージ１４は、撮像素子部１４−１をカバーガラス１４−２で封止した構造となっている。

支持部材１１，１２は、撮像素子パッケージ１４と光学フィルタ５１との間に粘着材料により固定されている。支持部材１１，１２は、撮像素子パッケージ１４と光学フィルタ５１の相対的な位置決めをすると共に、光学フィルタ５１を支持している。シール部材２１は、支持部材１１，１２の上端部同士を結ぶように接続されている。シール部材２２は、支持部材１１，１２の下端部同士を結ぶように接続されている。シール部材２１，２２は、支持部材１１，１２と共に閉じた枠形状を構成している。

シール部材２１の縦断面形状を図１（ｂ）に拡大して示す。尚、シール部材２２の断面形状も同様であり、図示は省略する。シール部材２１，２２の光学フィルタ５１に対する接触面の幅は、シール部材２１，２２の撮像素子パッケージ１４に対する接触面の幅と比較して小さく形成されている。シール部材２１，２２は、縦断面形状がリップ形状となっている。

上記のように、支持部材１１，１２を撮像素子パッケージ１４及び光学フィルタ５１に粘着材料により固定している。そのため、支持部材１１，１２及びシール部材２１，２２により、撮像素子パッケージ１４と光学フィルタ５１との間に密閉空間を構成することができる。これにより、外部の塵埃（異物）が撮像素子パッケージ１４と光学フィルタ５１の間に侵入するのを防止することができる。

図２は、塵埃除去装置により発生させる振動モードの振動形状を示す図である。図２は、圧電素子２により光学フィルタ５１に生じさせる振動モードの振動形状と支持部材１１，１２の位置関係を示している。本実施形態では、曲げ４次の振動モードを第１の振動モード、曲げ５次の振動モードを第２の振動モードとしている。即ち、第１の振動モード及び第２の振動モードは、光学フィルタ５１を厚さ方向へ曲げ変形させる面外振動モードである。第１の振動モード及び第２の振動モードの振動は、光学フィルタ５１に同時或いは順次加えられる。

第１の振動モードの振動４１の５箇所の節３１Ａ〜３１Ｅと、第２の振動モードの振動４２の６箇所の節３２Ａ〜３２Ｆの間隔は、中央付近の節３１Ｃと節３２Ｃとの間隔及び節３１Ｃと節３２Ｄとの間隔が最も広い。両端の節３１Ａと節３２Ａとの間隔及び節３１Ｅと節３２Ｆとの間隔が最も接近している。

本実施形態では、第１及び第２の振動モードの節の間隔が小さい、両端の節３１Ａと節３２Ａとの間及び節３１Ｅと節３２Ｆとの間に、それぞれ支持部材１１，１２を位置させている。支持部材１１，１２は、光学フィルタ５１と撮像素子パッケージ１４との間のギャップを管理するのに十分な剛性を有し、振動を阻害しない柔軟性を有する弾性部材からなる。支持部材１１，１２を上記の位置に配置することにより、光学フィルタ５１に加える振動が阻害されることを抑制している。

上記の支持部材１１及び１２により光学フィルタ５１の支持を行っているため、シール部材２１，２２は封止の機能だけを有すればよい。そのため、シール部材２１，２２を、柔軟性を持たせ且つ光学フィルタ５１に対する接触面積を狭く構成することができる。従って、シール部材２１，２２が第１及び第２の振動モードの振動の複数の腹位置にわたって配置されても、光学フィルタ５１に加える振動を阻害しにくい。これにより、光学フィルタ５１に付着した塵埃を振動により効果的に除去することができる。

図３は本実施形態に係る塵埃除去装置を駆動するための電気回路の回路構成を示す図である。図３において、電源１０１は圧電素子２を駆動するための電源であり、カメラの場合にはカメラ全体を駆動するための電源と共用する。第１の駆動信号発生回路１０２は圧電素子２に発生させる複数の振動モードのうち、第１の振動モードを生成するための第１の周波数の信号を発生させる。第２の駆動信号発生回路１０３は圧電素子２に発生させる複数の振動モードのうち、第２の振動モードを生成するための第２の周波数の信号を発生させる。第１及び第２の駆動信号発生回路１０２，１０３は、それぞれ、必要な振動モードのうち一つの振動モードに対応する周波数信号を発生する。また、これらの周波数信号は、それぞれ異なる振動を発生させるために異なる周波数を持つ。

第１の駆動回路１０４は第１の駆動信号発生回路１０２で発生された駆動信号で制御され、１０１を電源として、トランス１１０の１次側巻き線１１１の一端を駆動する。また、第２の駆動回路１０５は第２の駆動信号発生回路１０３で発生された駆動信号で制御され、１０１を電源として、トランス１１０の１次側巻き線１１１の他端を駆動する。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０６，１０８は第１及び第２の駆動回路１０４，１０５を構成する第１のポジティブ側スイッチング素子および第２のポジティブ側スイッチング素子である。

Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０６は、ソースが電源１０１に、ドレインがトランス１１０の１次側巻線１１１の一端、ゲートが第１の駆動信号発生回路１０２の出力に接続されている。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０８は、ソースが電源１０１に、ドレインがトランス１１０の１次側巻線１１１の他端に、ゲートが第２の駆動信号発生回路１０３の出力に接続されている。

Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０７，１０９は駆動回路１０４，１０５を構成する第１のネガティブ側スイッチング素子および第２のネガティブ側スイッチング素子である。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０７は、ソースがグランドに、ドレインがトランス１１０の１次側巻線１１１の一端に、ゲートが第１の駆動信号発生回路１０２の出力に接続されている。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０９は、ソースがグランドに、ドレインがトランス１１０の１次側巻線１１１の他端に、ゲートが第２の駆動信号発生回路１０３の出力に接続されている。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０６とＮ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０７のの組み合わせで、第１の駆動回路１０４を構成する。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０８とＮ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ１０９の組み合わせで、第２の駆動回路１０５を構成する。

トランス１１０の２次側巻線１１２は、圧電素子２に接続されており、トランス１１０の１次側巻線１１１の電流変化に従って磁気結合により電圧を発生し、圧電素子２に駆動電圧を印加する。

図４は本実施形態に係る塵埃除去装置を駆動するための電気回路の信号の状態を示す図である。具体的には、第１の駆動回路１０４の出力、第２の駆動回路１０５の出力、トランス１１０の１次側巻線１１１に流れる電流、トランス１１０の２次側巻線１１２に発生する電圧を示している。ここで、２次側巻線１１２に発生する電圧は、圧電素子２の容量成分とトランス１１０の２次側巻線１１２のインダクタンス成分により正弦波の電圧が生成される。また、トランス１１０の２次側巻線１１２に発生する電圧は、トランス１１０の１次側巻線１１１と２次側巻線１１２の巻線比により、圧電素子２を駆動するのに適正な電圧に昇圧される。

さらに、トランス１１０の２次側巻線１１２に発生した電圧は、第１の駆動回路１０４と第２の駆動回路１０５の出力周波数を合成した波形となる。つまり、第１の駆動信号発生回路１０２の出力と第２の駆動信号発生回路１０３から出力された周波数の信号の二つの周波数信号の成分を含む合成信号となっている。

この信号で、圧電素子２を駆動することで、圧電素子２に第１及び第２の振動モードの複数の振動を発生させることができる。

以上、説明したように、第１の実施形態によれば、一つの圧電素子２に同時に複数の節を発生させることができるため、必要な圧電素子の数量を削減できるとともに、高価な光学フィルタの面積を削減し、低コスト化と小型化を図ることができる。

（第２の実施形態）
上記の第１の実施形態では、トランスの１次側巻線の一端と他端を異なる周波数の駆動回路の出力で駆動することで二つの周波数の信号を合成した。これに対し、これから説明する第２の実施形態では、トランスの１次側巻き線を２つに分けて配置している。

本実施形態におけるデジタルスチルカメラに装備された塵埃除去装置の外観構成は、第１の実施形態で説明した図１、図２と同様であるためここでは説明を省略する。

図５は、本実施形態に係わる塵埃除去装置を駆動するための電気回路の回路構成を示す図である。図５において、電源２０１は圧電素子２を駆動するための電源であり、カメラの場合にはカメラ全体を駆動するための電源と共用する。第１の駆動信号発生回路２０２は圧電素子２に発生させる複数の振動モードのうち、第１の振動モードを生成するための第１の周波数の信号を発生させる。第２の駆動信号発生回路２０３は圧電素子２に発生させる複数の振動モードのうち、第２の振動モードを生成するための第２の周波数の信号を発生させる。そして、第１及び第２の駆動信号発生回路２０２，２０３は、それぞれ、必要な振動モードのうち一つの振動モードに対応する周波数信号を発生する。また、これらの周波数信号は、それぞれ異なる振動を発生させるために異なる周波数を持つ。

第１の駆動回路２０４は第１の駆動信号発生回路２０２で発生された駆動信号で制御され、２０１を電源として、トランス２１６の第１の１次側巻き線２１７を駆動する。第２の駆動回路２０５は第２の駆動信号発生回路２０３で発生された駆動信号で制御され、２０１を電源として、トランス２１６の第２の１次側巻き線２１８を駆動する。インバータ２０６，２０７（第１のインバータおよび第２のインバータ）は、第１及び第２の駆動信号発生回路２０２，２０３からの信号を反転させる。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０８，２１０，２１２，２１４は駆動回路２０４，２０５を構成する第１ないし第４のポジティブ側スイッチング素子である。

Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０８（第１のポジティブ側スイッチング素子）は、ソースが電源２０１に、ドレインがトランス２１６の第１の１次側巻線２１７の一方に、ゲートが第１の駆動信号発生回路２０２の出力に接続されている。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１０（第２のポジティブ側スイッチング素子）は、ソースが電源２０１に、ドレインがトランス２１６の第１の１次側巻線２１７他方に、ゲートがインバータ２０６に接続されている。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１２（第３のポジティブ側スイッチング素子）は、ソースが電源２０１に、ドレインがトランス２１６の第２の１次側巻線２１８の一方に、ゲートが第２の駆動信号発生回路２０３の出力に接続されている。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１４（第４のポジティブ側スイッチング素子）は、ソースが電源２０１に、ドレインがトランス２１６の第２の１次側巻線２１８の他方に、ゲートがインバータ２０７に接続されている。

Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０９，２１１，２１３，２１５は第１及び第２の駆動回路２０４，２０５を構成する第１ないし第４のネガティブ側スイッチング素子である。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０９（第１のネガティブ側スイッチング素子）は、ソースがグランドに、ドレインがトランス２１６の第１の１次側巻線２１７の一方に、ゲートが第１の駆動信号発生回路２０２の出力に接続されている。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１１（第２のネガティブ側スイッチング素子）は、ソースがグランドに、ドレインがトランス２１６の第１の１次側巻線２１７の他方に、ゲートがインバータ２０６に接続されている。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１３（第３のネガティブ側スイッチング素子）は、ソースがグランドに、ドレインがトランス２１６の第２の１次側巻線２１８の一方に、ゲートが第２の駆動信号発生回路２０３の出力に接続されている。Ｎ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１５（第４のネガティブ側スイッチング素子）は、ソースがグランドに、ドレインがトランス２１６の第２の１次側巻線２１８の他方に、ゲートがインバータ２０７に接続されている。

そして、Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０８，２１０とＮ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２０９，２１１の組み合わせで、駆動回路２０４を構成する。Ｐ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１２，２１４とＮ−ｃｈＭＯＳＦＥＴ２１３，２１５の組み合わせで、駆動回路２０５を構成する。

トランス２１６の２次側巻線２１９は、圧電素子２に接続されており、トランス２１６の第１の１次側巻線２１７及び第２の１次側巻線２１８の電流変化に従って磁気結合により電圧を発生し、圧電素子２に駆動電圧を印加する。

図６は本実施形態に係わる塵埃除去装置を駆動するための電気回路の信号の状態を示す図である。具体的には、第１の駆動信号発生回路２０２の出力、第２の駆動信号発生回路２０３の出力、トランス２１６の第１の１次側巻線２１７に流れる電流、トランス２１６の第２の１次側巻線２１８に流れる電流、トランス２１６の２次側巻線２１９に発生する電圧を示している。ここで、２次側巻線２１９に発生する電圧は、圧電素子２の容量成分とトランス２１６の２次側巻線２１９のインダクタンス成分により正弦波の電圧が生成される。また、トランス２１６の２次側巻線２１９に発生する電圧は、トランス２１６の１次側巻線２１７，２１８と２次側巻線２１９の巻線比により、圧電素子２を駆動するのに適正な電圧に昇圧される。

さらに、トランス２１６の２次側巻線２１９に発生した電圧は、第１の駆動信号発生回路２０２と第２の駆動信号発生回路２０３の出力周波数を合成した波形、つまり、二つの周波数信号の成分を含む合成信号となっている。この信号で、圧電素子２を駆動することで、圧電素子２に第１及び第２の振動モードの複数の振動を発生させることができる。

以上、説明したように、本実施形態によれば、一つの圧電素子２に同時に複数の節を発生させることができるため、必要な圧電素子の数量を削減できるとともに、高価な光学フィルタの面積を削減し、低コスト化と小型化を図ることができる。

なお、上記の第１及び第２の実施形態では、デジタルスチルカメラに塵埃除去装置を適用した場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。塵埃除去装置は、デジタルスチルカメラ以外にも、複写機、ファクシミリ、スキャナ、ビデオカメラ等の各種機器に適用することができる。

Claims

光学部品に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
前記光学部品の一端に配置された圧電素子と、
電源と、
前記圧電素子を駆動するための電圧を生成するトランスであって、１次側巻線と、２次側巻線とを有し、前記２次側巻線が前記圧電素子に接続されているトランスと、
第１の周波数の第１の駆動信号を発生する第１の駆動信号発生回路と、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの１次側巻線の一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの１次側巻線の一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のネガティブ側スイッチング素子と、
前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の第２の駆動信号を発生する第２の駆動信号発生回路と、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの１次側巻線の他端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第２のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの１次側巻線の他端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第２のネガティブ側スイッチング素子と、を備えることを特徴とする異物除去装置。
前記第１の駆動信号および前記第２の駆動信号は、それぞれ矩形波であることを特徴とする請求項１に記載の異物除去装置。
前記第１の駆動信号発生回路と前記第２の駆動信号発生回路は、前記第１の駆動信号と前記第２の駆動信号を同時に生成することを特徴とする請求項１または２に記載の異物除去装置。
光学部品に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
前記光学部品の一端に配置された圧電素子と、
電源と、
前記圧電素子を駆動するための電圧を生成するトランスであって、第１および第２の１次側巻線と、２次側巻線とを有し、前記２次側巻線が前記圧電素子に接続されているトランスと、
第１の周波数の第１の駆動信号を発生する第１の駆動信号発生回路と、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの前記第１の１次側巻線の一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの前記第１の１次側巻線の前記一端に、ゲートが前記第１の駆動信号発生回路に接続される第１のネガティブ側スイッチング素子と、
前記第１の駆動信号発生回路の出力を反転する第１のインバータと、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの前記第１の１次側巻線の他端に、ゲートが前記第１のインバータに接続される第２のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの前記第１の１次側巻線の前記他端に、ゲートが前記第１のインバータに接続される第２のネガティブ側スイッチング素子と、
前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の第２の駆動信号を発生する第２の駆動信号発生回路と、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの前記第２の１次側巻線の一端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第３のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの前記第２の１次側巻線の前記一端に、ゲートが前記第２の駆動信号発生回路に接続される第３のネガティブ側スイッチング素子と、
前記第２の駆動信号発生回路の出力を反転する第２のインバータと、
ソースが前記電源に、ドレインが前記トランスの前記第２の１次側巻線の他端に、ゲートが前記第２のインバータに接続される第４のポジティブ側スイッチング素子と、
ソースがグランドに、ドレインが前記トランスの前記第２の１次側巻線の前記他端に、ゲートが前記第２のインバータに接続される第４のネガティブ側スイッチング素子と、を備えることを特徴とする異物除去装置。
前記第１の駆動信号および前記第２の駆動信号は、それぞれ矩形波であることを特徴とする請求項４に記載の異物除去装置。
前記第１の駆動信号発生回路と前記第２の駆動信号発生回路は、前記第１の駆動信号と前記第２の駆動信号を同時に生成することを特徴とする請求項４または５に記載の異物除去装置。