JP5388700B2 - 真空吸着部材及び真空吸着部材の製造方法 - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態による真空吸着部材の構成例を示す斜視図である。また、図2(a)は、図1の真空吸着部材の上面図であり、図2(b)は、図2(a)のA−A線における断面図である。図1,図2に示すように、本実施の形態による真空吸着部材1は、吸着面2を有する吸着体3と、隔離部4とを有する。隔離部4は、吸着体3を複数の吸着部3a,2bにそれぞれ区画する。本実施形態において、吸着部3aは円板状、吸着部3bは環状であり、吸着部3bは、中央の吸着部3aの外周に設けられている。吸着体3は、全体として円板状の部材である。
2 吸着面
3 吸着体
3a,3b 吸着部
4 隔離部
4a 隔離部の上端部
4b 隔離部の下端部
5 支持部
6 吸引孔
8 封止部
Claims (10)
- 多孔質材料をそれぞれ含んだ複数の吸着部と、前記複数の吸着部の間に設けられる隔離部とを備え、
前記隔離部は、該隔離部に含まれる粒子が前記複数の吸着部の孔部内に入り込むことにより前記複数の吸着部に接合されている真空吸着部材。 - 前記複数の吸着部は、吸着面をそれぞれ有し、
前記隔離部は、前記吸着面側に配された上端部と、前記吸着面とは反対側に配された下端部とを有し、
前記孔部内に入り込んだ前記粒子は、前記上端部および前記下端部のうち、前記上端部のみに含まれている請求項1に記載の真空吸着部材。 - 前記上端部は、前記下端部よりも前記複数の吸着部のうち少なくとも1つに向かって突出しているとともに前記孔部内に入り込んだ複数の前記粒子を含む凸部を有する請求項2に記載の真空吸着部材。
- 前記吸着部の前記吸着面とは反対側の下面を支持する支持部をさらに備え、
前記下端部は、前記支持部と一体的に形成されている請求項2に記載の真空吸着部材。 - 前記粒子は、扁平状であり、
前記扁平状の粒子の端部が、前記孔部内に入り込んでいる請求項1に記載の真空吸着部材。 - 前記粒子は、溶射粒子である請求項1又は請求項5に記載の真空吸着部材。
- 前記上端部は、前記複数の吸着部よりも気孔率が小さく、前記下端部よりも気孔率が大きい請求項2から請求項4のいずれかに記載の真空吸着部材。
- 多孔質材料をそれぞれ含んだ複数の吸着部と、前記複数の吸着部の間に設けられる隔離部とを有する真空吸着部材の製造方法であって、
前記隔離部が設けられる位置に隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁よって区画された複数の空間に、多孔質材料をそれぞれ含む前記複数の吸着部を形成する吸着部形成工程と、
前記隔壁の前記隔離部の端部に対応する部位を除去して、溝部を形成する溝部形成工程
と、
前記溝部に所定材料からなる粒子を溶射し、前記隔離部を形成するとともに、前記複数の吸着部の気孔内に前記粒子を入り込ませる溶射工程と
を有する真空吸着部材の製造方法。 - 前記隔壁は、緻密質セラミックスからなり、
前記溶射工程において、前記溝部に溶射する前記粒子は、セラミックスからなる請求項8に記載の真空吸着部材の製造方法。 - 前記溝部形成工程において、前記隔壁の前記端部に対応する部分とともに、前記隔壁によって区画された前記複数の吸着部の一部を除去して、より大きな前記溝部を形成する請求項8又は請求項9に記載の真空吸着部材の製造方法。
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