JP5388018B2 - レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントx線発生装置及びその発生方法 - Google Patents
レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントx線発生装置及びその発生方法 Download PDFInfo
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Description
ncr=π/(2.8×10−13×λ[cm])[cm―13]と表される。
時間コヒーレント:Tcをコヒーレント時間、Δfをスペクトル幅とすれば、TcΔf〜1決まる時間内においてコヒーレントである。
更に、本発明(請求項2)でのX線透過像又は位相コントラスト像を取得するには、図1に示されるように、レーザー光の透過を阻止し、X線を透過させる窓11の後に、試料12を置き、透過したX線をX線撮像装置13により取得する。
2:真空ポンプ
3:レーザー
4:パルス圧縮器
5:集光ミラー
6:ガス供給装置
7:ガスジェツトターゲット
8:偏向磁石
9:電子
10:X線
11:レーザー阻止、X線透過窓
12:試料
13:X線撮像装置
Claims (7)
- 集光されたフェムト秒パルス幅のレーザーをガスターゲットに照射することによって特性X線を発生させるレーザープラズマX線発生装置であって、
前記ガスターゲットの位置が、制動放射に起因する連続X線に対する特性X線の強度の比が増大するように、前記レーザーの進行方向に、レーザー強度が最大になる点とは異なる、高速電子発生が抑制される位置へと調整されている、X線発生装置。 - 前記高速電子発生が抑制される位置は、前記レーザーの集光により高速電子が発生する点から前記レーザーの進行方向に前後した2つの位置のいずれかとして選択される、請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記レーザーのプリパルスは前記ガスをイオン化しない強度まで低減される、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記ガスターゲットは、超音速で噴射される、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
- 発生するX線を試料に照射し、そのX線透過像又は位相コントラスト像を取得する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
- フェムト秒パルス幅のレーザーを発生する工程と、
ガスターゲットを噴射する工程と、
前記レーザーを集光させる工程と、
集光された前記レーザーを前記ガスターゲットに照射することにより特性X線を発生させる工程と、
を備え、
前記ガスターゲットの位置が、制動放射に起因する連続X線に対する特性X線の強度の比が増大するように、前記レーザーの進行方向に、レーザー強度が最大になる点とは異なる、高速電子発生が抑制される位置へと調整されている、X線を発生させる方法。 - 前記特性X線と共に発生した電子を曲げるため、前記ガスターゲットの前記レーザーの進行方向の後方に偏向磁石を配置する工程を更に備える、請求項6に記載の方法。
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