JP5384809B2 - プリプレグ及び積層板 - Google Patents
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Description
半導体パッケージもQFPからBGA・CSPのようなエリア実装型に展開し、さらにMCP・SIP等の高機能型の出現ように、その形態は多種多様になりつつある。そのため、以前にも増して半導体パッケージ用積層板に対する高信頼性の要求が強まっている。
このビスフェノールA型シアン酸エステル樹脂は、電気特性、機械特性、耐薬品性、接着性などに優れた特性を有しているが、吸水性や吸湿耐熱性の面では、過酷な条件下では不十分な場合があり、更なる特性の向上を目指して、他の構造を有するシアン酸エステル樹脂の検討が行われている。
他の構造のシアン酸エステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアン酸エステル樹脂の事例が多く見受けられる(例えば特許文献1参照)が、フェノールノボラック型シアン酸エステル樹脂は、シアネート基当量が小さく、その剛直な骨格構造から、硬化時に未反応シアネート基が多く残存し易く、金属箔との密着性、吸水率や吸湿耐熱性などの特性において満足できるものではなかった。
また、ナフトールアラルキル型のシアン酸エステル樹脂を用いる検討も行われており(例えば特許文献2参照)、樹脂骨格の剛直構造の特性を生かし耐熱性を維持するとともに、反応阻害要因を低減させて硬化性を高め、吸水性、吸湿耐熱性に優れる特性を有する樹脂組成物が得られている。
(式中、Ar1・Ar2はフェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等の単環あるいは多環の芳香族炭化水素が置換基になったアリール基を示し、Rx・Ryは水素原子またはアルキル基、アリール基を示し、mは1〜5までの整数を示し、nは1から50までの整数を示す。)
シアン酸エステル樹脂(A)と非ハロゲン系エポキシ樹脂(B)は、樹脂組成物中のシアン酸エステル樹脂(A)のシアネート基数と非ハロゲン系エポキシ樹脂(B)のエポキシ基数の比(CN/Ep)が0.7〜2.5で配合することが好ましい。CN/Epが0.7未満では積層板の難燃性が低下し、2.5を超える配合では硬化性などが低下する場合がある。
α−ナフトールアラルキル樹脂(SN485、OH基当量:219g/eq.軟化点:86℃、新日鐵化学(株)製)の代わりにα−ナフトールアラルキル樹脂(SN4105、OH基当量:226g/eq.軟化点:105℃、新日鐵化学(株)製) 102g(OH基0.45モル)を使用し、塩化シアンの使用量を0.90モルとした以外は合成法1と同様の手法にて合成した。
ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)37重量部と合成例1で得たα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:237g/eq.)55重量部、フェノールフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(ザイロック型エポキシ樹脂,エポキシ当量:240g/eq.、日本化薬(株)製)41重量部、ナフタレン骨格型エポキシ樹脂(HP-4032D、エポキシ当量:140g/eq.、大日本インキ化学工業(株)製)4重量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、更にシリコーンパウダー(X52-1621、信越化学工業(株)製)14重量部、焼成タルク(BST-200L、日本タルク(株)製)165重量部、オクチル酸亜鉛 0.03重量部を混合してワニスを得た。このワニスをメチルエチルケトンで希釈し、厚さ 0.1mmのEガラスクロスに含浸塗工し、160℃で 4分間加熱乾燥して、樹脂含有量50重量%のプリプレグを得た。
ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)28重量部と合成例1で得たα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:237g/eq.)42重量部、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC-3000-FH,エポキシ当量:320g/eq.、日本化薬(株)製)52重量部、ナフタレン骨格型エポキシ樹脂(HP-4032D、エポキシ当量:140g/eq.、大日本インキ化学工業(株)製)6重量部、シランカップリング剤(Z6040、東レ・ダウコーニング製)4重量部、湿潤分散剤(BYK-W996、ビッグケミージャパン(株)製)4重量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、更にシリコーンパウダー(X52-1621、信越化学工業(株)製)7重量部、ガラスビーズ(EMB10、ポッターズ・バロティーニ(株)製)385重量部、オクチル酸亜鉛 0.03重量部を混合してワニスを得た。このワニスをメチルエチルケトンで希釈し、厚さ 0.1mmのEガラスクロスに含浸塗工し、160℃で 4分間加熱乾燥して、樹脂含有量50重量%のプリプレグを得た。
ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)57重量部と合成例1で得たα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:237g/eq.)38重量部、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC-3000-FH,エポキシ当量:320g/eq.、日本化薬(株)製)54重量部、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(EPICLON N-770、エポキシ当量:190 g/eq.,大日本インキ化学工業(株)製) 8重量部、シランカップリング剤(Z6040、東レ・ダウコーニング製)4重量部、湿潤分散剤(BYK-W903、ビッグケミージャパン(株)製)5重量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、更にシリコーンパウダー(トスパール130、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社 製)31重量部、モリブデン酸亜鉛をタルクにコートしたもの(ケムガード911C、モリブデン酸亜鉛担持:10重量%、シャーウィン・ウイリアムズ・ケミカルズ製)5重量部、焼成タルク(BST-200L、日本タルク(株)製)188重量部、ガラスビーズ(EMB10、ポッターズ・バロティーニ(株)製)8重量部、オクチル酸亜鉛 0.03重量部を混合してワニスを得た。このワニスをメチルエチルケトンで希釈し、厚さ 0.1mmのEガラスクロスに含浸塗工し、160℃で 4分間加熱乾燥して、樹脂含有量50重量%のプリプレグを得た。
ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)17重量部と合成例2で得たα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:244g/eq.)40重量部、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC-3000-FH,エポキシ当量:320g/eq.、日本化薬(株)製)60重量部、湿潤分散剤(BYK-W903、ビッグケミージャパン(株)製)4重量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、更にシリコーンパウダー(トスパール120、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社 製)12重量部、焼成タルク(BST-200L、日本タルク(株)製)111重量部、球状溶融シリカ(SC2050MB、アドマテックス(株)製)140重量部、オクチル酸亜鉛 0.03重量部を混合してワニスを得た。このワニスをメチルエチルケトンで希釈し、厚さ 0.1mmのEガラスクロスに含浸塗工し、160℃で 4分間加熱乾燥して、樹脂含有量50重量%のプリプレグを得た。
ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)15重量部と合成例2で得たα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:244g/eq.)60重量部、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC-3000-FH,エポキシ当量:320g/eq.、日本化薬(株)製)35重量部、ナフタレン骨格型エポキシ樹脂(HP-4032D、エポキシ当量:140g/eq.、大日本インキ化学工業(株)製)5重量部、湿潤分散剤(BYK-W996、ビッグケミージャパン(株)製)1.5重量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、更にシリコーンパウダー(トスパール120、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社 製)28重量部、モリブデン酸亜鉛をタルクにコートしたもの(ケムガード911C、モリブデン酸亜鉛担持:10重量%、シャーウィン・ウイリアムズ・ケミカルズ製)3.5重量部、球状溶融シリカ(SC2050MB、アドマテックス(株)製)63重量部、オクチル酸亜鉛 0.02重量部を混合してワニスを得た。このワニスをメチルエチルケトンで希釈し、厚さ 0.1mmのEガラスクロスに含浸塗工し、160℃で 4分間加熱乾燥して、樹脂含有量50重量%のプリプレグを得た。
実施例1において、ビス(3-エチル-5-メチル-4マレイミドフェニル)メタン(BMI-70、ケイアイ化成製)37重量部を除いた以外は実施例1と同様にプリプレグを得た。
実施例1において、シリコーンパウダー(X52-1621、信越化学工業(株)製)14重量部を除いた以外は実施例1と同様にプリプレグを得た。
比較例2において、焼成タルク(BST-200L、日本タルク(株)製)165重量部の代わりに、ギブサイト(水酸化アルミニウムCL303、住友化学(株)製)165重量部を使用する以外は、比較例2と同様にプリプレグを得た。
比較例1において、シリコーンパウダー(X52-1621、信越化学工業(株)製)14重量部を除き、焼成タルク(BST-200L、日本タルク(株)製)165重量部の代わりに、球状溶融シリカ(SC2050MB、アドマテックス(株)製)150重量部を使用する以外は比較例1と同様にプリプレグを得た。
実施例3において、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:237g/eq.)38重量部の代わりに、2,2-ビス(4-シアネートフェニル)プロパンのプレポリマー(BT2070,シアネート当量:139g/eq.、三菱ガス化学(株)製)38重量部を使用する以外は、実施例3と同様にプリプレグを得た。
実施例5において、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル樹脂(シアネート当量:237g/eq.)60重量部の代わりに、フェノールノボラック型シアネート(PT-30,シアネート当量:126g/eq.、Lonza社製)60重量部を使用する以外は、実施例5と同様にプリプレグを得た。
実施例1〜5および比較例1〜6で得られたプリプレグを、それぞれ4枚重ねて18μm厚の電解銅箔(3EC-III、三井金属鉱業(株)製)を上下に配置し、圧力30 kgf/cm2、温度 220℃で120分間の積層成形を行い、絶縁層厚さ 0.4mmの銅張り積層板を得た。
実施例1〜5および比較例1〜6で得られたプリプレグを、それぞれ8枚重ねて18μm厚の電解銅箔(3EC-III、三井金属鉱業(株)製)を上下に配置し、圧力30 kgf/cm2、温度 220℃で120分間の積層成形を行い、絶縁層厚さ 0.8mmの銅張り積層板を得た。
実施例1〜5および比較例1〜6で得られたプリプレグを、それぞれ2枚重ねて18μmの電解銅箔(3EC-III、三井金属鉱業(株)製)を上下に配置し、圧力30 kgf/cm2、温度 220℃で120分間の積層成形を行い、絶縁層厚さ 0.2mmの銅張り積層板を得た。
ガラス転移温度:JIS C6481に従い、動的粘弾性分析装置(TAインスツルメント製)で測定した。
はんだ耐熱性:5cmx5cmのサンプルを115℃で20時間乾燥した後、288℃の半田浴に浮かし、ふくれるまでの時間を計測した。
表1のはんだ耐熱性の記号は、○:30分以上ふくれ無し ×:30分未満でふくれ発生 である。
吸湿耐熱性:5cmx5cmのサンプルを115℃で20時間乾燥した後、プレッシャークッカー試験器(平山製作所製 PC-3型)で121℃、2気圧で4時間処理後、260℃の半田浴に60秒浸漬し、膨れ有無を目視観察した。
表1の吸湿耐熱性の記号は、○:異常なし △:ミーズリング発生 ×:ふくれ発生 である。
燃焼試験:UL94垂直燃焼試験法に準拠して評価した。
表1の難燃性1は金属張り積層板1、難燃性2は金属張り積層板2を用いた結果である。
耐アルカリ性:5cmx5cmのサンプルを(1)115℃で20時間乾燥し、(2)70℃の1N 水酸化ナトリウム水溶液に60分浸漬後、(3)115℃で20時間乾燥した後の重量変化率を測定した。(1)後のサンプル重量をW1、(3)後のサンプル重量をW2とし、重量変化率を以下の式で算出した。
重量変化率[wt%] = (W1-W2)x100/W1
耐酸性:5cmx5cmのサンプルを(4)115℃で20時間乾燥し、(5)60℃の4N 塩酸水溶液に60分浸漬後、(6)115℃で20時間乾燥した後の重量変化率を測定した。(4)後のサンプル重量をW3、(6)後のサンプル重量をW4とし、重量変化率を以下の式で算出した。
重量変化率[wt%] = (W3-W4)x100/W3
表1の耐アルカリ性と耐酸性の記号は、○:重量変化0.1wt%未満 ×:重量変化0.1wt%以上 である。
Claims (5)
- 前記シリコーンパウダー(D)がシアン酸エステル樹脂(A)と非ハロゲン系エポキシ樹脂(B)マレイミド化合物(C)の合計配合量100重量部に対して、5〜30重量部である請求項1記載のプリプレグ。
- 前記ケイ酸化合物(E)の配合量がシアン酸エステル樹脂(A)と非ハロゲン系エポキシ樹脂(B)、 マレイミド化合物(C)の合計配合量100重量部に対して、50〜350重量部である請求項1又は2に記載のプリプレグ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のプリプレグを硬化して得られる積層板。
- 請求項1から3のいずれかに記載のプリプレグと金属箔とを積層して硬化して得られる金属箔張り積層板
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