JP5370949B1 - ワーク搬送方法および装置 - Google Patents

ワーク搬送方法および装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5370949B1
JP5370949B1 JP2013047877A JP2013047877A JP5370949B1 JP 5370949 B1 JP5370949 B1 JP 5370949B1 JP 2013047877 A JP2013047877 A JP 2013047877A JP 2013047877 A JP2013047877 A JP 2013047877A JP 5370949 B1 JP5370949 B1 JP 5370949B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding
lowering
release
holding means
elevating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013047877A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014172739A (ja
Inventor
優市 田澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AKIM Corp
Original Assignee
AKIM Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AKIM Corp filed Critical AKIM Corp
Priority to JP2013047877A priority Critical patent/JP5370949B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5370949B1 publication Critical patent/JP5370949B1/ja
Priority to KR1020140027864A priority patent/KR101587885B1/ko
Priority to CN201410088062.2A priority patent/CN104053350B/zh
Priority to TW103108398A priority patent/TWI627122B/zh
Publication of JP2014172739A publication Critical patent/JP2014172739A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

【課題】整列されていない複数のワークを短時間で搬送する。
【解決手段】ワーク搬送装置1は、ワーク10の保持またはその解除をする保持・解除高さ、および、保持・解除高さから上昇した上昇高さ、の間で独立して昇降する複数の吸着ノズル12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hと、一つの吸着ノズル12a〜12hのみを昇降可能にして残りの吸着ノズル12a〜12hを上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態、および、全ての吸着ノズル12a〜12hを昇降可能にする全部昇降可能状態、を切り替える昇降制限機構210と、自身を昇降させることで昇降可能な吸着ノズル12a〜12hを昇降させる昇降フランジ202と、を備える。
【選択図】図4

Description

本発明は、電子部品等の組立てにおいて、ワークを所定の位置まで搬送する搬送方法および装置に関する。
ワークを組み立てて電子部品等を製造するラインでは、ワークがストックされているトレーからワークを取り出して、所定の位置まで搬送する。複数の吸着ノズルを有するマルチノズルヘッドを使用する場合、複数のワークを同時に吸着することで、複数のワークをまとめて一度に搬送できる。ひいては、搬送に掛かる時間を短縮できる(特許文献1参照)。
特開2008−147313号公報
しかしながら、トレーの上にワークが整列されていない場合には、複数のワークを同時に吸着できず、まとめて搬送することができない。すなわち、搬送に掛かる時間を短縮できない。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、整列されていない複数のワークを短時間で搬送できる搬送方法および装置を提供することを目的とする。
本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。
(1)本発明は、ワークの保持またはその解除をする保持・解除高さ、および、前記保持・解除高さから上昇した上昇高さ、の間で独立して昇降する複数の保持手段と、一部の前記保持手段を昇降可能にして残りの前記保持手段を前記上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態、および、全ての前記保持手段を昇降可能にする全部昇降可能状態、を切り替える昇降制限手段と、自身を昇降させることで昇降可能な前記保持手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記昇降制限手段は、前記上昇高さに位置する前記複数の保持手段を直接的にまたは間接的に引っ掛けて前記上昇高さに停止させるストッパを備え、前記ストッパは、前記保持手段の引っ掛かりを有効にする複数の有効部と、前記保持手段の引っ掛かりを解除する複数の解除部と、を交互に配置してなるように備えてなり、前記複数の有効部および前記複数の解除部を移動させることで前記一部昇降可能・一部昇降不能状態および前記全部昇降可能状態を切り替えることを特徴とする、ワーク搬送装置である。
)本発明はまた、前記ストッパは、前記複数の有効部および前記複数の解除部を水平面内における円周方向に沿って配置してなり、自身を水平面内で回転させることで前記一部昇降可能・一部昇降不能状態および前記全部昇降可能状態を切り替えることを特徴とする、上記()に記載のワーク搬送装置である。
)本発明はまた、前記複数の保持手段は、鉛直軸回りに回転可能に設けられ、前記昇降制限手段は、全ての前記保持手段の各々と前記ストッパとの間に介在して該保持手段が鉛直軸回りに回転することに伴って回転し、該保持手段と前記ストッパとの間の摩擦力を低減する複数の回転体を備えることを特徴とする、上記(又は記載のワーク搬送装置である。
)本発明はまた、前記保持手段が前記保持をする場合に前記昇降制限手段を前記一部昇降可能・一部昇降不能状態にしてから前記昇降手段を降下させることで一部の前記保持手段を下降させて該一部の保持手段を前記保持・解除高さにする制御ユニットを備えることを特徴とする、上記(1)乃至()のいずれかに記載のワーク搬送装置である。
)本発明はまた、前記制御ユニットは、前記保持手段が前記解除をする場合に前記昇降制限手段を前記全部昇降可能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで全ての前記保持手段を下降させて該全ての前記保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、上記()に記載のワーク搬送装置である。
)本発明はまた、上記(1)乃至()のいずれかに記載のワーク搬送装置において、前記保持手段が前記保持をする場合に前記昇降制限手段を前記一部昇降可能・一部昇降不能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで一部の前記保持手段を下降させて該一部の保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、ワーク搬送方法である。
)本発明はまた、前記保持手段が前記解除をする場合に前記昇降制限手段を前記全部昇降可能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで全ての前記保持手段を下降させて該全ての前記保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、上記()に記載のワーク搬送方法である。

本発明によれば、整列されていない複数のワークを短時間で搬送できるという優れた効果を奏し得る。
本発明の第1実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。 吸着ノズルおよびエアー配管を示す上面図である。 ノズルヘッドの構造を示す正面図であり、(A)は吸着ノズルが保持・解除高さに位置する状態を示し、(B)は吸着ノズルが上昇高さに位置する状態を示し、(C)は一つの吸着ノズルが保持・解除高さに位置すると共に残りの吸着ノズルが上昇高さに位置する状態を示す。 昇降制限手段の状態を説明する上面図であり、(A)は一部昇降可能・一部昇降不能状態を示し、(B)は全部昇降可能状態を示す。 制御ユニットの機能構成を示すブロック図である。 ワーク搬送装置を適用したラインの上面図である。 本発明の第2実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。 ノズルヘッドの構成を示す正面図であり、(A)は吸着ノズルが保持・解除高さに位置する状態を示し、(B)は吸着ノズルが上昇高さに位置する状態を示し、(C)は一つの吸着ノズルが保持・解除高さに位置すると共に残りの吸着ノズルが上昇高さに位置する状態を示す。 昇降制限手段の状態を説明する上面図であり、(A)は一部昇降可能・一部昇降不能状態を示し、(B)は全部昇降可能状態を示す。 ノズル回転機構を示す上面図である。 制御ユニットの機能構成を示すブロック図である。 ワーク搬送装置の変形例を示す正面図であり、(A)は第1実施形態の変形例を示し、(B)は第2実施形態の変形例を示す。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。なお、以下の説明では、図に示したX軸、Y軸、Z軸を基準として方向を説明する。X軸およびY軸は互いに略直角な水平軸であり、Z軸はX軸およびY軸に直角な鉛直軸である。そして、各図において、一部の構成、および断面を示すハッチングの図示を適宜省略して、図面を簡略化している。また、各図において、各構成の大きさを誇張して表現する場合がある。
図1は、本発明の第1実施形態に係るワーク搬送装置1の正面図である。図2は、吸着ノズル12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hおよびエアー配管13a,13b,13c,13d,13e,13f,13g,13hを示す上面図である。図3は、ノズルヘッド100の構造を示す正面図である。同図(A)は、吸着ノズル12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hが保持・解除高さに位置する状態を示す。同図(B)は、吸着ノズル12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hが上昇高さに位置する状態を示す。同図(C)は、一つの吸着ノズル12aが保持・解除高さに位置すると共に残りの吸着ノズル12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hが上昇高さに位置する状態を示す。図4は、昇降制限機構210の状態を説明する上面図である。同図(A)は、一部昇降可能・一部昇降不能状態を示す。同図(B)は、全部昇降可能状態を示す。図5は、制御ユニット300の機能構成を示すブロック図である。
図1および図2に示されるワーク搬送装置1は、電子部品等を製造するラインに設置され、ワーク10(図6参照)を搬送する際に使用される。具体的に、ワーク搬送装置1は、ワーク10を保持するノズルヘッド100と、このノズルヘッド100をY軸方向に移動させるヘッド移動機構(図示省略)と、制御ユニット300(図5参照)と、等を備えている。
ワーク搬送装置1の各部は、制御ユニット300によって統括的に制御される。すなわち、ワーク搬送装置1の各部は、制御ユニット300の制御下において動作して、その動作状況が制御ユニット300によって管理される。
ノズルヘッド100は、ヘッド本体110と、このヘッド本体110に対して独立して昇降する複数(本実施形態では8本)の吸着ノズル12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12hと、これら複数の吸着ノズル12a〜12hを互いに独立して昇降させる昇降機構200と、この昇降機構200による吸着ノズル12a〜12hの昇降を制限する昇降制限機構210と、各吸着ノズル12a〜12hに接続して負圧を生じさせる複数(本実施形態では8本)のエアー配管13a,13b,13c,13d,13e,13f,13g,13hと、を備えている。
ヘッド本体110は、上述のヘッド移動機構によってY軸方向に移動するように配置されている。これにより、ノズルヘッド100がY軸方向に移動可能となる。このヘッド本体110は、高さが不変となるように配置されている。
複数の吸着ノズル12a〜12hは、それぞれ、これらの先端を下方に向けて配置される。また、複数の吸着ノズル12a〜12hは、それぞれ、これらの先端でワーク10を個別に吸引する。すなわち、複数の吸着ノズル12a〜12hは、それぞれ、ワーク10を個別に保持する。これら複数の吸着ノズル12a〜12hは、ワーク10の保持またはその解除をする保持・解除高さ、および、当該保持・解除高さから上昇した上昇高さ、の間で独立して昇降する。
複数のエアー配管13a〜13hは、それぞれ、可撓性を有する材料からなり、吸着ノズル12a〜12hの昇降に追従して撓む。これら複数のエアー配管13a〜13hは、それぞれ、負圧を生じさせるポンプユニット(図示省略)に接続されて、対応する吸着ノズル12a〜12hに当該負圧を伝達する。
図3(A)、図3(B)および図3(C)に示される昇降機構200は、昇降する昇降軸201と、この昇降軸201と一体に昇降する昇降フランジ202と、動力源となる昇降用モータ203と、このモータ昇降用203の回転軸(符号省略)に取り付けられて回転する昇降用カム204と、この昇降用カム204の回転を昇降軸201の動力に変換する動力変換部材205と、を備えている。
昇降軸201は、円柱形状を呈し、鉛直方向に沿って配置されている。昇降フランジ202は、自身のフランジ部分(符号省略)で吸着ノズル12a〜12hを下方から支持する。この昇降フランジ202は、自身を昇降させることで、昇降制限機構210によって昇降不能にされていない昇降可能な吸着ノズル12a〜12hを昇降させる昇降手段として機能する。
昇降用モータ203は、ヘッド本体110に対して高さが不変となるように配置されている。また、昇降用モータ203は、回転軸(符号省略)が水平方向に沿うように配置されている。この昇降用モータ203には、パルスモータ(好ましくはサーボモータ)等を採用できる。昇降用カム204は、外形が偏心した卵型を呈し、水平方向に沿った昇降用モータ203の回転軸回りに回転する。この昇降用カム204は、動力変換部材205を下方から支持し、回転することで動力変換部材205を昇降させる。結果、昇降用カム204は、昇降軸201および昇降フランジ202を昇降させる。
昇降制限機構210は、一つの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)のみを昇降可能にして残りの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12b〜12h)を上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態(図3(C)および図4(A)参照)、および、全ての吸着ノズル12a〜12hを昇降可能にする全部昇降可能状態(図3(A)および図4(B)参照)、を切り替える。
具体的に、昇降制限機構210は、昇降軸201回りを回転するストッパ211と、このストッパ211の周囲において互いに等間隔となるように各吸着ノズル12a〜12hに取り付けられている複数の掛止片14a,14b,14c,14d,14e,14f,14g,14h(図4(A)および図4(B)参照)と、動力源となる昇降制限用モータ216と、この昇降制限用モータ216の動力をストッパ211に伝達する動力伝達ベルト217と、を備えている。
ストッパ211は、掛止片14a〜14hを介することで、上昇高さに位置する複数の吸着ノズル12a〜12hを間接的に引っ掛けて上昇高さに停止させる機能を有する。具体的に、ストッパ211は、昇降軸201に嵌まる円筒形状の軸部212と、軸部212の下端縁から水平方向外側に屈曲した中空円盤形状の天板部213と、この天板部213の外周縁から下方に屈曲した円筒部214と、この円筒部214の下端縁から水平方向外側に屈曲した円環状のフランジ部215と、からなる。
ストッパ211は、ヘッド本体110に対して高さが不変となるように配置されている。このストッパ211は、軸部212のプーリー(符号省略)に動力伝達ベルト217が引っ掛けられて、当該動力伝達ベルトの走行に伴って回転する。すなわち、動力伝達ベルトの走行に伴ってフランジ部215が回転する。昇降制限用モータ216には、パルスモータ等を採用できる。
図4(A)および図4(B)に示されるように、フランジ部215は、複数(本実施形態では16個)の領域に区分けされている。具体的に、フランジ部215は、吸着ノズル12a〜12hの引っ掛かりを有効にする複数(本実施形態では7個)の有効部22a,22b,22c,22d,22e,22f,22gと、吸着ノズル12a〜12hの引っ掛かりを解除する複数(本実施形態では9個)の解除部23a,23b,23c,23d,23e,23f,23g,23h,23iと、を備えている。より具体的に、フランジ部215は、複数の有効部22a〜22gと複数の解除部23a〜23iとを交互に配置している。すなわち、フランジ部215は、複数の有効部22a〜22gと複数の解除部23a〜23iとを、解除部23a、有効部22a、解除部23b、有効部22b、解除部23c、有効部22c、解除部23d、有効部22d、解除部23e、有効部22e、解除部23f、有効部22f、解除部23g、有効部22g、解除部23h、解除部23iの順に配置している。
複数の有効部22a〜22gは、それぞれ、掛止片14a,14b,14c,14d,14e,14f,14g,14hを引っ掛けることで、間接的に吸着ノズル12a〜12hを引っ掛ける。複数の解除部23a〜23iは、それぞれ、掛止片14a,14b,14c,14d,14e,14f,14g,14hを引っ掛けることはない。すなわち、複数の解除部23a〜23iは、それぞれ、吸着ノズル12a〜12hを引っ掛けることはない。
図4(A)に示される状態では、掛止片14aに対応する位置に有効部22aが位置して吸着ノズル12aの引っ掛かりを有効にしている。同様に、掛止片14bに対応する位置に有効部22bが位置して吸着ノズル12bの引っ掛かりを有効にしている。そして、掛止片14cに対応する位置に有効部22cが位置して吸着ノズル12cの引っ掛かりを有効にしている。また、掛止片14dに対応する位置に有効部22dが位置して吸着ノズル12dの引っ掛かりを有効にしている。さらに、掛止片14eに対応する位置に有効部22eが位置して吸着ノズル12eの引っ掛かりを有効にしている。そして、掛止片14fに対応する位置に有効部22fが位置して吸着ノズル12fの引っ掛かりを有効にしている。また、掛止片14gに対応する位置に有効部22gが位置して吸着ノズル12gの引っ掛かりを有効にしている。さらに、掛止片14hに対応する位置に解除部23iが位置して吸着ノズル12hの引っ掛かりを解除している。
すなわち、図4(A)は、一つの吸着ノズル12hのみを昇降可能にして残りの吸着ノズル12a〜12gを上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態を示している。なお、図4(A)および図4(B)では、引っ掛かりが有効な吸着ノズルにハッチングを施して、引っ掛かりの有効および解除を区別して図示している。
図4(B)に示される状態では、掛止片14aに対応する位置に解除部23aが位置して吸着ノズル12aの引っ掛かりを解除している。同様に、掛止片14bに対応する位置に解除部23bが位置して吸着ノズル12bの引っ掛かりを解除している。そして、掛止片14cに対応する位置に解除部23cが位置して吸着ノズル12cの引っ掛かりを解除している。また、掛止片14dに対応する位置に解除部23dが位置して吸着ノズル12dの引っ掛かりを解除している。さらに、掛止片14eに対応する位置に解除部23eが位置して吸着ノズル12eの引っ掛かりを解除している。そして、掛止片14fに対応する位置に解除部23fが位置して吸着ノズル12fの引っ掛かりを解除している。また、掛止片14gに対応する位置に解除部23gが位置して吸着ノズル12gの引っ掛かりを解除している。さらに、掛止片14hに対応する位置に解除部23hが位置して吸着ノズル12hの引っ掛かりを解除している。
すなわち、図4(B)は、全ての吸着ノズル12a〜12hを昇降可能にする全部昇降可能状態を示している。
以上のストッパ211は、自身を水平面内で回転させることで、複数の有効部22a〜22gおよび複数の解除部23a〜23iを移動させて、図4(A)に示されるような一部昇降可能・一部昇降不能状態と、図4(B)に示されるような全部昇降可能状態と、を切り替える。
制御ユニット300は、CPU、RAMおよびROM等(いずれも図示省略)から構成され、各種制御を実行する。CPUは、いわゆる中央演算処理装置であり、各種プログラムが実行されて各種機能を実現する。RAMは、CPUの作業領域として使用される。ROMは、CPUで実行されるプログラムを記憶する。
図5に示されるように、制御ユニット300は、プログラム実行後の機能構成として、センシング部301と、ヘッド移動機構制御部302と、昇降機構制御部303と、昇降制限機構制御部304と、ポンプユニット制御部305と、等を備えている。
センシング部301は、ワーク搬送装置1の各部の状態を検知する各種センサ(図示省略)や、ワーク10の状態を検知する各種センサ(図示省略)のセンシングデータを常に取得して、ヘッド移動機構制御部302、昇降機構制御部303、昇降制限機構制御部304、およびポンプユニット制御部305に伝達する。
ヘッド移動機構制御部302は、センシング部301で取得したセンシングデータを参照して、ノズルヘッド100が目標の位置となるようにヘッド移動機構(図示省略)を制御する。
そして、昇降機構制御部303は、センシング部301で取得したセンシングデータを参照して、吸着ノズル12a〜12hが目標の高さとなるように昇降機構200を制御する。
また、昇降制限機構制御部304は、センシング部301で取得したセンシングデータを参照して、吸着ノズル12a〜12hが目標の高さとなるように昇降制限機構210を制御する。
さらに、ポンプユニット制御部305は、センシング部301で取得したセンシングデータを参照して、吸着ノズル12a〜12hによるワーク10の保持またはその解除が目標の状態となるようにポンプユニット(図示省略)を制御する。
例えば、吸着ノズル12a〜12hがワーク10を一つずつ保持する場合、昇降制限機構制御部304は、昇降制限機構210が一部昇降可能・一部昇降不能状態(図4(A)参照)となるように、当該昇降制限機構210を制御する。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が下降するように昇降機構200を制御する。これにより、一つの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)のみが下降して、当該一つの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)のみが保持・解除高さに位置する。その後、ポンプユニット制御部305は、吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)の先端に負圧が生じるようにポンプユニット(図示省略)を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)の先端にワーク10が保持される。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が上昇するように昇降機構200を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)の先端に保持されているワーク10が持ち上げられる。このような制御は、他の吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12b〜12h)について順次行われる。
また、吸着ノズル12a〜12hがワーク10をまとめて保持する場合、昇降制限機構制御部304は、昇降制限機構210が全部昇降可能状態(図4(B)参照)となるように、当該昇降制限機構210を制御する。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が下降するように昇降機構200を制御する。これにより、全ての吸着ノズル12a〜12hが下降して、当該全ての吸着ノズル12a〜12hが保持・解除高さに位置する。その後、ポンプユニット制御部305は、吸着ノズル12a〜12hの先端に負圧が生じるようにポンプユニット(図示省略)を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12hの先端にワーク10が保持される。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が上昇するように昇降機構200を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12hの先端に保持されているワーク10が持ち上げられる。
あるいは、吸着ノズル12a〜12hがワーク10の保持をまとめて解除する場合、昇降制限機構制御部304は、昇降制限機構210が全部昇降可能状態(図4(B)参照)となるように、当該昇降制限機構210を制御する。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が下降するように昇降機構200を制御する。これにより、全ての吸着ノズル12a〜12hが下降して、当該全ての吸着ノズル12a〜12hが保持・解除高さに位置する。その後、ポンプユニット制御部305は、吸着ノズル12a〜12hの先端の負圧を解除するようにポンプユニット(図示省略)を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12hの先端のワーク10の保持が解除される。そして、昇降機構制御部303は、昇降フランジ202が上昇するように昇降機構200を制御する。これにより、吸着ノズル12a〜12hが持ち上げられてワーク10から退避する。
なお、説明は省略するが、吸着ノズル12a〜12hがワーク10の保持を一つずつ解除することも可能である。
次に、ワーク搬送装置1を適用したライン400について、図6に基づいて説明する。図6は、ワーク搬送装置1を適用したライン400の上面図である。
図6に示されるライン400は、電子部品等の製造時におけるワーク10の検査ラインである。このライン400では、検査装置420にワーク10が供給されて所望の検査が行われる。具体的に、ライン400は、供給トレー411を搬送する供給トレー搬送ロボット410と、供給ロボットとして機能するワーク搬送装置1と、検査装置420と、収納ロボットとして機能するワーク搬送装置1と、収納トレー431を搬送する収納トレー搬送ロボット430と、を備えている。
供給トレー搬送ロボット410は、供給トレー411をX軸方向に搬送する。供給トレー411は、X軸方向およびY軸方向のマトリクス状に配列された複数の収容部412を備えている。これら複数の収容部412は、それぞれ、ワーク10と比較して一回り大きな穴であり、ワーク10を収容する。複数のワーク10を収容部412に収容した供給トレー411は、供給トレー搬送ロボット410によって所定の位置に搬送される。
供給ロボットとして機能するワーク搬送装置1は、供給トレー411上のワーク10を1個ずつ合計で8個まで保持する。そして、ワーク搬送装置1は、検査装置420に向けてY軸方向にワーク10を搬送する。その後、ワーク搬送装置1は、検査装置420においてワーク10の保持を解除する。
検査装置420は、複数の検査テーブル421が円周を描くように連続して配置されている。これら複数の検査テーブル421には、供給ロボットとして機能するワーク搬送装置1によって、複数のワーク10が配置される。複数のワーク10が配置された検査テーブル421は、隣の検査テーブル421に追従しながら、円周を描くように走行することで、複数のワーク10を所定の位置に搬送する。
収納ロボットとして機能するワーク搬送装置1は、検査テーブル421上のワーク10をまとめて保持する。そして、ワーク搬送装置1は、検査装置420からY軸方向にワーク10を搬送する。その後、ワーク搬送装置1は、収納トレー431においてワーク10の保持を解除する。
なお、ワーク搬送装置1は、再び検査装置420で検査すると判定されるワーク10については、再投入トレー(図示省略)においてワーク10の保持を解除する。このように、再投入トレーには、再び検査装置420に投入されるワーク10がストックされる。
収納トレー搬送ロボット430は、収納トレー431をX軸方向に搬送する。搬送トレー431は、供給トレー411と同様、X軸方向およびY軸方向のマトリクス状に配列された複数の収容部432を備えている。これら複数の収容部432は、それぞれ、ワーク10と比較して一回り大きな穴であり、ワーク10を収容する。複数のワーク10を収容した収納トレー431は、収納トレー搬送ロボット430によって所定の位置に搬送される。
以上説明したように、本実施形態に係るワーク搬送装置1は、ワーク10の保持またはその解除をする保持・解除高さ、および、保持・解除高さから上昇した上昇高さ、の間で独立して昇降する複数の吸着ノズル12a〜12hと、一つの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)のみを昇降可能にして残りの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12b〜12h)を上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態、および、全ての吸着ノズル12a〜12hを昇降可能にする全部昇降可能状態、を切り替える昇降制限機構210と、自身を昇降させることで昇降可能な吸着ノズル12a〜12hを昇降させる昇降フランジ202と、を備えている。
このため、昇降制限機構210を一部昇降可能・一部昇降不能状態にして、複数の吸着ノズル12a〜12hを一つずつ順次昇降させられる。ワーク10に対して、昇降させる吸着ノズル12a〜12hを順次対応させることで、整列されていない複数のワーク10であっても順次保持できる。また、ワーク10の保持を解除する場合には、昇降制限機構210を全部昇降可能状態にすることで、全ての吸着ノズル12a〜12hをまとめて昇降させられる。すなわち、全てのワーク10の保持をまとめて解除できる。ひいては、整列されていない複数のワーク10を短時間で搬送できる。
そして、昇降制限機構210は、上昇高さに位置する複数の吸着ノズル12a〜12hを直接的にまたは間接的に引っ掛けて上昇高さに停止させるストッパ211を備えている。このため、簡単な構造で昇降制限機構210を実現できる。
また、ストッパ211は、吸着ノズル12a〜12hの引っ掛かりを有効にする複数の有効部22a〜22gと、吸着ノズル12a〜12hの引っ掛かりを解除する複数の解除部23a〜23iと、を備えている。ストッパ211は、複数の有効部22a〜22gおよび複数の解除部23a〜23iを移動させることで一部昇降可能・一部昇降不能状態および全部昇降可能状態を切り替える。このため、簡単な動作で一部昇降可能・一部昇降不能状態および全部昇降可能状態を切り替えられる。
さらに、ストッパ211は、複数の有効部22a〜22gおよび複数の解除部23a〜23iを水平面内における円周方向に沿って配置してなり、自身を水平面内で回転させることで一部昇降可能・一部昇降不能状態および全部昇降可能状態を切り替える。このため、ストッパが直線的に移動する場合と比較して、コンパクトな構造で昇降制限機構210を実現できる。また、昇降する吸着ノズル12a〜12hを循環させられる。このため、一つずつ昇降させる吸着ノズル12a〜12hを、どの吸着ノズル12a〜12hから開始してもよい。
そして、ストッパ211は、複数の有効部22a〜22gおよび複数の解除部23a〜23iを交互に配置してなる。すなわち、ストッパ211は、複数の有効部22a〜22gおよび複数の解除部23a〜23iを簡単な順序に配置してなる。このため、より簡単な構造で昇降制限機構210を実現できる。
図7は、本発明の第2実施形態に係るワーク搬送装置2の正面図である。図8は、ノズルヘッド500の構成を示す正面図である。同図(A)は、吸着ノズル52a,52b,52c,52d,52eが保持・解除高さに位置する状態を示す。同図(B)は、吸着ノズル52a,52b,52c,52d,52eが上昇高さに位置する状態を示す。図9は、昇降制限機構610の状態を説明する上面図である。同図(A)は、一部昇降可能・一部昇降不能状態を示す。同図(B)は、全部昇降可能状態を示す。図10は、ノズル回転機構650を示す上面図である。図11は、制御ユニット700の機能構成を示すブロック図である。
なお、第2実施形態に係るワーク搬送装置2の特徴部分のみを説明し、第1実施形態と同様の構成、作用および効果についての説明は適宜省略する。
図7に示されるワーク搬送装置2は、ノズルヘッド500と、ヘッド移動機構(図示省略)と、制御ユニット700(図11参照)と、等を備えている。
ノズルヘッド500は、ヘッド本体510と、複数(本実施形態では5本)の吸着ノズル52a,52b,52c,52d,52eと、昇降機構600と、昇降制限機構610と、複数(本実施形態では5本)のエアー配管53a,53b,53c,53d,53e(図9(A)および図9(B)参照)と、ノズル回転機構650と、を備えている。
図8(A)および図8(B)に示される昇降機構600は、昇降軸601と、昇降手段として機能する昇降フランジ602と、昇降用モータ603と、昇降用カム604と、動力変換部材605と、を備えている。
昇降制限機構610は、ストッパ611と、このストッパ611の周囲において互いに等間隔となるように各吸着ノズル52a〜52eに対応して配置された複数の掛止片54a,54b,54c,54d,54eと、これら複数の掛止片54a〜54eの各々が取り付けられる複数のアーム55a,55b,55c,55d,55eと、これら複数のアーム55a,55b,55c,55d,55eの各々に回転自在に取り付けられて吸着ノズル52a〜52eを引っ掛ける掛止回転体56a,56b,56c,56d,56e(図9(A)および図9(B)参照)と、昇降制限用モータ616と、動力伝達ベルト617と、を備えている。
ストッパ611は、掛止片54a〜54e、アーム55a〜55eおよび掛止回転体56a〜56eを介することで、上昇高さに位置する複数の吸着ノズル52a〜52eを間接的に引っ掛けて上昇高さに停止させる機能を有する。具体的に、ストッパ611は、軸部612と、天板部613と、円筒部614と、フランジ部615と、からなる。
図9(A)および図9(B)に示されるように、フランジ部615は、複数(本実施形態では7個)の有効部62a,62b,62c,62d,62e,62f,62gと、複数(本実施形態では9個)の解除部63a,63b,63c,63d,63e,63f,63g,63h,63iと、を備えている。
図9(A)は、一つの吸着ノズル52eのみを昇降可能にして残りの吸着ノズル52a〜52dを上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態を示している。なお、図9(A)および図9(B)では、引っ掛かりが有効な吸着ノズルにハッチングを施して、引っ掛かりの有効および解除を区別して図示している。
図9(B)は、全ての吸着ノズル52a〜52eを昇降可能にする全部昇降可能状態を示している。
以上のストッパ611は、図9(A)に示されるような一部昇降可能・一部昇降不能状態と、図9(B)に示されるような全部昇降可能状態と、を切り替える。
複数の掛止回転体56a,56b,56c,56d,56eの各々は、吸着ノズル52a〜52eが鉛直軸回りに回転することに伴って自身が回転することで、吸着ノズル52a〜52eとストッパ611との間の摩擦力を低減する。
図10に示されるように、ノズル回転機構650は、複数の吸着ノズル52a〜52eと一体となって回転する複数(本実施形態では5個)の従動ギア65a,65b,65c,65d,65eと、これら複数の従動ギア65a〜65eと並べて配置された駆動ギア656と、複数の従動ギア65a〜65eおよび駆動ギア656に引っ掛けられて走行する環状のギアベルト657と、ギアベルト657を従動ギア65a〜65eに密着させる複数のガイドギア66a,66b,66c,66dと、動力源となるノズル回転用モータ(図示省略)と、ベース662と、を備えている。
駆動ギア656は、ノズル回転用モータの駆動によって回転する。複数の従動ギア65a〜65eは、ギアベルト657の走行によって、駆動ギア656に連動して回転する。すなわち、複数の従動ギア65a〜65eと一体となって回転する複数の吸着ノズル52a〜52eは、ギアベルト657の走行によって、駆動ギア656に連動して回転する。ノズル回転用モータは、駆動ギア656の回転によって循環するように走行する。複数のガイドギア66a〜66dは、ギアベルト657を複数の従動ギア65a〜65eとの間に挟み込む位置に配置されている。これら複数のガイドギア66a〜66dは、ギアベルト657の走行と共に回転する。すなわち、複数のガイドギア66a〜66dは、ギアベルト657の円滑な走行を阻害することはない。ベース662は、ヘッド本体510に対して高さが不変となるように配置されている。
図11に示されるように、制御ユニット700は、プログラム実行後の機能構成として、センシング部701と、ヘッド移動機構制御部702と、昇降機構制御部703と、昇降制限機構制御部704と、ポンプユニット制御部705と、ノズル回転機構制御部706と、等を備えている。
センシング部701は、各種センサ(図示省略)のセンシングデータを常に取得して、ヘッド移動機構制御部702、昇降機構制御部703、昇降制限機構制御部704、ポンプユニット制御部705、およびノズル回転機構制御部706に伝達する。
ノズル回転機構制御部706は、センシング部701で取得したセンシングデータを参照して、吸着ノズル52a〜52eが目標の向きとなるようにノズル回転機構650を制御する。
具体的に、ノズル回転機構制御部706は、昇降機構制御部703が、昇降フランジ602が下降するように昇降機構600を制御する前に、ノズル回転機構650を制御する。また、ノズル回転機構制御部706は、昇降機構制御部703が、昇降フランジ602が上昇するように昇降機構600を制御した後に、ノズル回転機構650を制御する。
以上説明したように、本実施形態に係るワーク搬送装置2において、複数の吸着ノズル52a〜52eの各々は、鉛直軸回りに回転可能に設けられている。そして、昇降制限機構610は、全ての吸着ノズル52a〜52eの各々とストッパ611との間に介在して吸着ノズル52a〜52eが鉛直軸回りに回転することに伴って回転することで当該吸着ノズル52a〜52eとストッパ611との間の摩擦力を低減する複数の掛止回転体56a〜56eを備えている。
このため、鉛直軸回りに回転する複数の吸着ノズル52a〜52eと、これら複数の吸着ノズル52a〜52eの各々を間接的に引っ掛けるストッパ611と、の間の摩擦力を低減できる。これにより、吸着ノズル52a〜52eの鉛直軸回りの回転を円滑に行うことができる。
本発明は、上記各実施形態に限られるものではなく、その趣旨および技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
すなわち、上記各実施形態において、各構成の配置、大きさ、形状、材質、向き、数量などは適宜変更できる。例えば、吸着ノズルの配置や数量などが挙げられる。また、昇降制限機構210による一部昇降可能・一部昇降不能状態として、一つの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12a)のみを昇降可能にして残りの吸着ノズル12a〜12h(例えば、吸着ノズル12b〜12h)を上昇高さで昇降不能にする状態を例に説明したが、本発明の一部昇降可能・一部昇降不能状態は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明の一部昇降可能・一部昇降不能状態は、一部の吸着ノズル(例えば、2つの吸着ノズル12a,12b)を昇降可能にして残りの吸着ノズル(例えば、残りの吸着ノズル12c〜12h)を上昇高さで昇降不能にする状態であればよい。
あるいは、上記各実施形態において、他の実施形態の構成を可能な範囲で適用してもよい。
あるいは、上記各実施形態において、ストッパ211,611は、複数の吸着ノズル12a〜12h,52a〜52eを間接的に引っ掛ける場合を例に説明したが、複数の吸着ノズル12a〜12h,52a〜52eを直接的に引っ掛けるようにしてもよい。
あるいは、上記各実施形態では、吸着ノズル12a〜12h,52a〜52eは、自重によって下降する場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されず、バネなどの付勢部材による付勢力によって積極的に下降するようにしてもよい。
具体的に、第1実施形態の変形例では、図12(A)に示されるように、吸着ノズル12a〜12h(図示は12a)を下方に付勢するコイルスプリング18を、当該吸着ノズル12a〜12hのそれぞれに設けている。同様に、第2実施形態の変形例では、図12(B)に示されるように、吸着ノズル52a〜52e(図示は52a)を下方に付勢するコイルスプリング58を、当該吸着ノズル52a〜52eのそれぞれに設けている。
本発明のワーク搬送装置は、電子機器や電子部品もしくはその他の各種物品の製造、または物流の分野において利用できる。
1,2 ワーク搬送装置
10 ワーク
12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12h 吸着ノズル
202 昇降フランジ(昇降手段)
210 昇降制限機構(昇降制限手段)
211 ストッパ
22a〜22g 有効部
23a〜23i 解除部
230 昇降フランジ(昇降手段)
300 制御ユニット
52a,52b,52c,52d,52e 吸着ノズル
56a,56b,56c,56d,56e 掛止回転体(回転体)
602 昇降フランジ(昇降手段)
610 昇降制限機構(昇降制限手段)
611 ストッパ
62a〜62g 有効部
63a〜63i 解除部
650 ノズル回転機構
700 制御ユニット

Claims (7)

  1. ワークの保持またはその解除をする保持・解除高さ、および、前記保持・解除高さから上昇した上昇高さ、の間で独立して昇降する複数の保持手段と、
    一部の前記保持手段を昇降可能にして残りの前記保持手段を前記上昇高さで昇降不能にする一部昇降可能・一部昇降不能状態、および、全ての前記保持手段を昇降可能にする全部昇降可能状態、を切り替える昇降制限手段と、
    自身を昇降させることで昇降可能な前記保持手段を昇降させる昇降手段と、を備え
    前記昇降制限手段は、前記上昇高さに位置する前記複数の保持手段を直接的にまたは間接的に引っ掛けて前記上昇高さに停止させるストッパを備え、
    前記ストッパは、前記保持手段の引っ掛かりを有効にする複数の有効部と、前記保持手段の引っ掛かりを解除する複数の解除部と、を交互に配置してなるように備えてなり、前記複数の有効部および前記複数の解除部を移動させることで前記一部昇降可能・一部昇降不能状態および前記全部昇降可能状態を切り替えることを特徴とする、
    ワーク搬送装置。
  2. 前記ストッパは、前記複数の有効部および前記複数の解除部を水平面内における円周方向に沿って配置してなり、自身を水平面内で回転させることで前記一部昇降可能・一部昇降不能状態および前記全部昇降可能状態を切り替えることを特徴とする、
    請求項に記載のワーク搬送装置。
  3. 前記複数の保持手段の各々は、鉛直軸回りに回転可能に設けられ、
    前記昇降制限手段は、全ての前記保持手段の各々と前記ストッパとの間に介在して該保持手段が鉛直軸回りに回転することに伴って回転することで該保持手段と前記ストッパとの間の摩擦力を低減する複数の回転体を備えることを特徴とする、
    請求項1又は2に記載のワーク搬送装置。
  4. 前記保持手段が前記保持をする場合に前記昇降制限手段を前記一部昇降可能・一部昇降不能状態にしてから前記昇降手段を降下させることで一部の前記保持手段を下降させて該一部の保持手段を前記保持・解除高さにする制御ユニットを備えることを特徴とする、
    請求項1乃至のいずれかに記載のワーク搬送装置。
  5. 前記制御ユニットは、前記保持手段が前記解除をする場合に前記昇降制限手段を前記全部昇降可能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで全ての前記保持手段を下降させて該全ての前記保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、
    請求項に記載のワーク搬送装置。
  6. 請求項1乃至のいずれかに記載のワーク搬送装置において、前記保持手段が前記保持をする場合に前記昇降制限手段を前記一部昇降可能・一部昇降不能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで一部の前記保持手段を下降させて該一部の保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、
    ワーク搬送方法。
  7. 前記保持手段が前記解除をする場合に前記昇降制限手段を前記全部昇降可能状態にしてから前記昇降手段を下降させることで全ての前記保持手段を下降させて該全ての前記保持手段を前記保持・解除高さにすることを特徴とする、
    請求項に記載のワーク搬送方法。
JP2013047877A 2013-03-11 2013-03-11 ワーク搬送方法および装置 Active JP5370949B1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013047877A JP5370949B1 (ja) 2013-03-11 2013-03-11 ワーク搬送方法および装置
KR1020140027864A KR101587885B1 (ko) 2013-03-11 2014-03-10 워크 반송 방법 및 장치
CN201410088062.2A CN104053350B (zh) 2013-03-11 2014-03-11 工件搬送方法及装置
TW103108398A TWI627122B (zh) 2013-03-11 2014-03-11 Workpiece handling method and device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013047877A JP5370949B1 (ja) 2013-03-11 2013-03-11 ワーク搬送方法および装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP5370949B1 true JP5370949B1 (ja) 2013-12-18
JP2014172739A JP2014172739A (ja) 2014-09-22

Family

ID=49954908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013047877A Active JP5370949B1 (ja) 2013-03-11 2013-03-11 ワーク搬送方法および装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5370949B1 (ja)
KR (1) KR101587885B1 (ja)
CN (1) CN104053350B (ja)
TW (1) TWI627122B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107662818A (zh) * 2017-10-26 2018-02-06 苏州均华精密机械有限公司 全自动高速填盘机
CN108190499A (zh) * 2018-01-24 2018-06-22 广东顺力智能物流装备股份有限公司 搬运装置
CN111765984A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 亚企睦自动设备有限公司 部件处理系统

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102180211B1 (ko) * 2019-01-07 2020-11-18 주식회사 아바코 마스크 정렬장치용 기판 리프트 장치
JP6817648B1 (ja) * 2019-09-20 2021-01-20 上野精機株式会社 電子部品の処理装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04239200A (ja) * 1991-01-11 1992-08-27 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品自動装着装置
JP2010087446A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Panasonic Corp 部品実装機

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1140989A (ja) * 1997-07-22 1999-02-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装装置
KR100627054B1 (ko) * 2004-09-06 2006-09-25 삼성테크윈 주식회사 부품실장기용 헤드 어셈블리
KR100651816B1 (ko) * 2005-01-14 2006-12-01 삼성테크윈 주식회사 부품 실장기용 헤드 모듈 및 이를 구비한 부품 실장기
WO2008023560A1 (fr) * 2006-08-21 2008-02-28 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Robot à bras doubles
JP2008147313A (ja) 2006-12-07 2008-06-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 実装条件決定方法
JP5017148B2 (ja) * 2008-03-06 2012-09-05 ユニ・チャーム株式会社 加工装置
CN202412277U (zh) * 2012-02-01 2012-09-05 昆山华恒焊接股份有限公司 搬运机器人系统

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04239200A (ja) * 1991-01-11 1992-08-27 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品自動装着装置
JP2010087446A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Panasonic Corp 部品実装機

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107662818A (zh) * 2017-10-26 2018-02-06 苏州均华精密机械有限公司 全自动高速填盘机
CN107662818B (zh) * 2017-10-26 2023-06-23 苏州均华精密机械有限公司 全自动高速填盘机
CN108190499A (zh) * 2018-01-24 2018-06-22 广东顺力智能物流装备股份有限公司 搬运装置
CN108190499B (zh) * 2018-01-24 2024-03-19 广东顺力智能物流装备股份有限公司 搬运装置
CN111765984A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 亚企睦自动设备有限公司 部件处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
KR101587885B1 (ko) 2016-01-22
TW201505949A (zh) 2015-02-16
JP2014172739A (ja) 2014-09-22
KR20140112420A (ko) 2014-09-23
CN104053350B (zh) 2018-06-15
CN104053350A (zh) 2014-09-17
TWI627122B (zh) 2018-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5370949B1 (ja) ワーク搬送方法および装置
JP6586936B2 (ja) 物品搬送設備
JP6850725B2 (ja) 基板搬送ロボットおよび基板処理システム
KR101268261B1 (ko) 기판 버퍼 장치, 기판 버퍼링 방법, 기판 처리 장치 및컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
JP6773494B2 (ja) 搬送装置および搬送方法
US8788088B2 (en) Production system, processed object manufacturing method, and container transferring method
TW200539349A (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
US20130156531A1 (en) Plate-shaped member storage rack, plate-shaped member transfer facility, and plate-shaped member storing method
CN101459101A (zh) 翻转式晶圆自动传输装置
US20160351434A1 (en) Substrate conveying system and method
JP2011042024A (ja) タイヤ又はタイヤ構成部材の製造装置及び製造方法
JP6874514B2 (ja) 搬送システム
JP2020093894A (ja) 搬送システム
JP2010046706A (ja) ワーク搬送装置
JP5978937B2 (ja) 基板搬送用ハンド及び基板搬送方法
JP2015063408A (ja) 施釉装置
JP7515066B2 (ja) 部品実装装置
JP6260461B2 (ja) 半導体製造装置
WO2020009214A1 (ja) 基板搬送ロボット及びその制御方法
CN108568692A (zh) 一种机位上下料设备
TW201109255A (en) Loading and unloading method between loading and unloading machine, transfer cart and device
WO2024095538A1 (ja) 移載システム、移載システムの制御方法および制御プログラム
KR20230099611A (ko) 이송 장치 및 이송 방법
JP2022057451A (ja) 産業用ロボット及びその制御方法
JP2018188309A (ja) パレタイザー

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130909

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5370949

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250