JP5361569B2 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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3 基板
5 n型半導体層(第一導電型半導体層)
7 活性層
9 p型半導体層(第二導電型半導体層)
11 第一電極層
13 第一電極パッド
15 第二電極層
15a 第一材料層
15ai 領域
15b 第二材料層
17 第二電極パッド
x n型半導体層の第一の部分
y n型半導体層の第二の部分
R 間隙
Claims (10)
- 第一導電型半導体層と、
前記第一導電型半導体層上の第一の部分に形成される第二導電型半導体層と、
前記第一導電型半導体層上において、前記第一の部分とは異なる第二の部分に形成される第一電極層と、
前記第二導電型半導体層上に形成される電極パッドおよび第二電極層と、
を備え、
前記第二電極層は、第一材料層と、該第一材料層上に積層され、該第一材料層とは組成の異なる第二材料層とを有し、
前記第一材料層は、間隙によって少なくとも部分的に分離された複数の領域で形成され、
前記第二材料層は、前記電極パッドと接触するとともに、前記複数の領域上に跨って形成されていることを特徴とする、半導体発光素子。 - 前記第一材料層において、隣接する前記複数の領域は、完全に分離されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第二導電型半導体層は、窒化ガリウム系化合物半導体からなることを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 前記第一材料層は、銀単体又は銀を含有する合金からなることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記銀を含有する合金は、銀を主成分として形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の半導体発光素子。
- 前記第二材料層は、アルミニウムを主成分として形成されていることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記銀を含有する合金は、銅を主成分として形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の半導体発光素子。
- 前記第二材料層は、前記第一材料層が露出しないように、該第一材料層を被覆していることを特徴とする、請求項1から7のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 光透過性を有する基板をさらに備え、
前記第一導電型半導体層が前記基板上に形成されていることを特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載の半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法であって、
前記第一材料層を、銀を含有する層で形成し、該第一材料層上に金属からなる前記第二材料層を形成した後、前記第一材料層を熱処理することにより合金化する工程を備えることを特徴とする、半導体発光素子の製造方法。
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