JP5356179B2 - 微小物体の外観検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、カプセル剤、錠剤、並びにＩＣチップ及びチップ型コンデンサ等の電子部品等の微小物体の外観検査を行うための微小物体の外観検査装置の技術分野に関する。

この種の外観検査装置には、被検査体たる微小物体の外観についての不具合（例えば、遺物付着、傷、バリ、変色、異品種混入等）の有無を、微小物体の表面をカメラ等の撮影手段によって撮影された画像に基づいて判定するものがある。このような外観検査装置では、被検査体を搬送することによって撮影手段に対する被検査体の姿勢を変更しながら、複数の方向から撮影が行われ、被検査体の表面の広い領域に亘って検査が実施される。

例えば特許文献１には、回転インデクサの表面上に設けられた溝内に被検査体を固定しつつ、当該回転インデクサを回転することによって搬送されている被検査体を、複数台のカメラによって多角的に撮影する技術が開示されている。また、特許文献２には、回転インデクサの側面に設けられたスリット間を通過する被検査体に対し、照明によって光を照らしながら、複数台のカメラで多角的な撮影を行う技術が開示されている。

特許第３５１１０２５号 特許第３７２４５８３号

上述の各特許文献では、被検査体の周辺に配置された溝やスリットによって、被検査体の表面に輝度ムラや影が生じたり、カメラの配置方向によっては溝やスリットが障害物となって被検査体の表面を少なからず隠してしまうおそれがある。このような外観検査装置において、不具合の有無は撮影された画像に基づいて行われるため、このような影や障害物が画像中に移りこんでしまうと、検査精度を低下させてしまうという技術的問題点がある。このような問題点は、被検査体の表面を明るく鮮明に写し出すべく、照明等によって被検査体に光を照射した場合に、より顕著となる。

また、特許文献２ではカメラのレンズ付近に取り付けられた（即ち、被検査体から見てカメラ側に配置されている）照明によって被検査体の表面を照らすことで、被検査体の表面からの反射光を取得し、鮮明な画像を撮影することができるとされている。しかしながら、被検査体が例えば光透過性に優れた特性を有する場合（例えば、被検査体が透明である場合）など、被検査体の表面から良好な反射光が得ることができない場合に対応することが困難であるという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、例えば、カプセル剤、錠剤及び電子部品等の微小物体の外観検査装置であって、多様な仕様の微小物体に広く対応可能で、外観の広い領域に亘って高精度な検査を行うことが可能な微小物体の外観検査装置を提供することを課題とする。

本発明の微小物体の外観検査装置は上記課題を解決するために、第１の表面に設けられた第１の吸着部によって微小物体を吸着しつつ、前記第１の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第１のドラムと、前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の吸着部に吸着された微小物体及び前記第１の表面の中央部を通る第１の基準線上のうち、前記第１の吸着部に吸着された微小物体及び前記第１の表面の中央部間の一の領域に配置され、前記第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第１の撮影手段と、前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の基準線上のうち前記一の領域を除く他の領域に配置され、前記第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第２の撮影手段と、（ｉ）前記第１の表面に平行な第２の表面及び（ｉｉ）第２の側面を有し、当該第２の側面に設けられた第２の吸着部によって前記第１のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、前記第２の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第２のドラムと、前記第２のドラムの表側及び裏側の一方から、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第３の撮影手段と、前記第２のドラムの表側及び裏側の他方から、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第４の撮影手段と、（ｉ）前記第２の表面に平行な面に交差する第３の表面及び（ｉｉ）第３の側面を有し、当該第３の側面に設けられた第３の吸着部によって前記第２のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、前記第３の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第３のドラムと、前記第３のドラムの表側及び裏側の一方から、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第５の撮影手段と、前記第３のドラムの表側及び裏側の他方から、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第６の撮影手段と、前記第１乃至第６の撮影手段によって撮影されることにより取得した画像情報に基づいて、前記微小物体の表面状態における不具合の有無を判定する判定手段とを備える。

本発明に係る微小物体の外観検査装置は、第１乃至第３のドラム、第１乃至第６の撮影手段、及び判定手段を備える。

第１乃至第３のドラムは、いずれも円盤状、例えば、円形状の表面及び側面部を有する円筒形の形状を有しており、表面の中心に取り付けられた回転軸によって回転可能に構成されている。

第１乃至第６の撮影手段は、微小物体を撮影することによって画像に関する情報を取得可能な範囲において限定されず、例えばＣＣＤカメラ等の各種カメラである。その表面状態を認識可能な程度の解像度を有することが好ましく、カラー及びモノクロを問わない。

被検査体たる微小物体は、例えば、カプセル剤、錠剤、並びにＩＣチップ及びチップ型コンデンサ等の電子部品等を微小な有形物を幅広く含む。尚、カプセル剤について詳しく説明すると、ハードカプセル、ソフトカプセル、印刷カプセルのいずれであってもよく、キャップ及びボディから形成されていてもよく、形状は、球状又はオーバル形状等であってもよい。また、その色彩は単数又は複数（透明を含む）に着色されていてもよい。更には、微小物体は単一種類である必要は必ずしもなく、複数種類が混在していてもよい。

本発明に係る「第１のドラム」は、第１の表面に設けられた第１の吸着部によって微小物体を吸着しつつ、第１の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送する。

第１のドラムには、例えば供給レーン等から微小物体が供給される。ここで、供給された微小物体は、第１の表面に設けられた吸着部によって保持される。

第１の吸着部は、吸着によって供給された微小物体を保持する。従って、微小物体が第１のドラムによって搬送されている間、微小物体の姿勢は安定的に保持される。技術的思想として、微小物体をローラー上において転がすことによって微小物体の撮影角度を変化させることも考えられるが、この場合、微小物体の姿勢は不安定であり、ユーザ側が撮影角度を制御することは困難である。その点、本発明では、微小物体を吸着によって安定的に保つことができるので、ユーザ側が微小物体の姿勢を制御することができ、後述する各撮影手段によって意図する方向から微小物体の画像を取得することができる。

本発明に係る「第１の撮影手段」は、第１の表面の法線方向から見て、第１の吸着部に吸着された微小物体及び第１の表面の中央部を通る第１の基準線上のうち、第１の吸着部に吸着された微小物体及び第１の表面の中央部間の一の領域に配置され、第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する。ここで、「第１の表面の中央部」とは、第１の表面の法線方向から見た場合に、当該第１の表面の中心を含む一の領域を意味する。また、「第１の基準線」は、円形の形状を有する第１のドラムの表面の半径方向に平行な線であって、第１の吸着部に吸着された微小物体の位置の変化に伴って、絶対的な位置が時間的に変化する基準線である。言い換えると、一の微小物体を基準として第１の基準線を見た場合、相対的な第１の基準線の位置は不変であるものの、微小物体は第１のドラムの回転に伴って移動するため、第１の基準線の絶対的な位置は時間的に変化することとなる。

第１の撮影手段は、第１の基準線上のうち、第１の吸着部に吸着された微小物体及び第１の表面の中央部間の一の領域に配置され、第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する。即ち、第１の撮影手段は、第１の表面部の法線方向から平面的に見た場合に、微小物体を第１のドラムの内側から撮影する。

本発明に係る「第２の撮影手段」は、第１の表面の法線方向から見て、第１の基準線上のうち一の領域を除く他の領域に配置され、第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する。即ち、第１の撮影手段は、第１の表面部の法線方向から平面的に見た場合、微小物体を第１のドラムの外側から撮影する。

補足して説明すると、上述の通り第１の基準線は時間的に絶対的な位置が変化するため、必ずしも第１及び第２の撮影手段は、その絶対的な位置が対向する必要はない。つまり、第１及び第２の撮影手段の両者は、第１のドラムの表面部の半径方向に沿って延在する一の線上において互いに対向するように配置されていてもよいし、第１の撮影手段は第１のドラムの表面部の半径方向に沿って延在する一の線上に第１のドラムの内側に配置されると共に、第２の撮影手段は第１のドラムの表面部の半径方向に沿って延在する他の線上に第１のドラムの外側に配置されてもよい。

本発明に係る「第２のドラム」は、第１の表面に平行な第２の表面、及び第２の側面を有し、当該第２の側面に設けられた第２の吸着部によって第１のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、第２の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送する。つまり、第２のドラムには、第１のドラムによって搬送された微小物体が供給され、当該供給された微小物体を第２の吸着部に吸着することによって搬送する。ここで、第２の吸着部もまた、上述の第１の吸着部と同様に、吸着によって微小物体を保持するので、微小物体が第２のドラムによって搬送されている間、微小物体の姿勢を安定的に保持することができる。

本発明に係る「第３の撮影手段」及び「第４の撮影手段」は、夫々、第２のドラムの表側及び裏側から、第２の吸着部に吸着された微小物体を撮影する。上述の第１及び第２の撮影手段では、第１のドラムの表面（即ち、第１の表面）上に保持された状態の微小
物体を撮影しているが、ここでは、第２のドラムの側面上に保持された状態の微小物体を撮影する。そのため、第１及び第２の撮影手段とは異なる２つの角度から、微小物体を撮影することができる。

本発明に係る「第３のドラム」は、第２の表面に平行な面に交差する第３の表面及び第３の側面を有し、当該第３の側面に設けられた第３の吸着部によって第２のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、第３の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送する。つまり、第３のドラムには、第２のドラムによって搬送された微小物体が供給され、当該供給された微小物体は、第３の吸着部に吸着することによって搬送される。ここで、第３の吸着部もまた、上述の第１及び第２の吸着部と同様に、吸着によって微小物体を保持するので、微小物体が第３のドラムによって搬送されている間、微小物体の姿勢を安定的に保持することができる。

尚、上記各吸着部の吸着力は、微小物体の形状、重量及び安定度によって、吸着部から微小物体が落下しない程度に設定されているとよい。

本発明に係る「第５の撮影手段」及び「第６の撮影手段」は、夫々、第３のドラムの表側及び裏側から、第３の吸着部に吸着された微小物体を撮影する。上述の第１及び第２の撮影手段並びに第３及び第４の撮影手段では、第１の表面及び第１の表面に平行な第２の表面の側面に保持された状態の微小物体を撮影しているが、ここでは、第２の表面に平行な一の面に交わる第３の表面に隣接する側面上に保持された状態の微小物体を撮影する。そのため、第１及び第２の撮影手段並び第３及び第４の撮影手段にとは異なる２つの角度から、微小物体を撮影することができる。

このように、第１乃至第６の撮影手段によって撮影が行われる方向は互いに異なる。即ち、撮影対象たる微小物体を基準とする相対的位置が互いに異なる６つの撮影手段によって、微小物体の外観を広く撮影することができる。特に、６つの撮影手段の相対的位置は、各ドラムや撮影手段の配置によってユーザ側が積極的に設定することが可能である。そのため、ローラー上で被検査体を転がしてランダムに表面を撮影する場合に比べて、微小物体の表面について検査漏れが生じることを防止することができる。

上述の各吸着部では微小物体が吸着されることにより保持されるが、微小物体の表面のうち当該吸着されている面以外の表面は、大気中に露出しており、その周辺にはスリットや溝などの構成要素は存在しない。従って、各撮影手段によって微小物体の表面を撮影する際に、影や障害物の写りこみの極めて少ない又はまったくない画像を取得することができる。このような画像に基づいて不具合の判定を行うことにより、高精度な外観検査を実施することが可能となる。

本発明に係る「判定手段」は、第１乃至第６の撮影手段によって撮影されることにより取得された画像情報に基づいて、微小物体の表面に係る不具合の有無を判定する。ここで、「微小物体の表面に係る不具合」とは、予め正常である表面を表わすものとして規定された基準パラメータに対して、各撮影手段によって取得された画像に基づいて得られた当該基準パラメータに対応するパラメータを比べることによって、両者に差異がある場合をいう。ここで、当該差異の有無は、例えば、予め決められた閾値に比べて、基準パラメータと得られたパラメータとの差異が大きいか否かによって判定してもよい。具体例な不具合として、例えば、汚点、異物付着、バリ、傷、つぶれ、へこみ、ささくれ、気泡、黒点、ダブルキャップ、変色、印刷不良等の各種表面欠陥や異品種混入等がある。

尚、判定手段は不具合の有無に加えて、その不具合の内容について具体的な出力を行ってもよい。例えば、上述の検査項目について、夫々、数値化したデータを出力又はメ
モリー等の記憶手段に電子データとして格納してもよい。尚、判定手段は、画像情報をそのまま解析するだけでなく、フィルター処理等の画像処理を行った上で判定を行ってもよい。

尚、不具合の有無を判定するために用いるパラメータとしては、例えば、被検査体のサイズ、光透過率及び光反射率等の上記各撮影手段によって得られた画像に基づいて認識可能な被検査体の特徴が広く含まれる。

尚、このような判定手段は、ＰＣ等のコントローラに画像処理用のソフトウェアをインストールすることによって実現されていてもよい。

以上説明したように、本発明に係る検査装置によれば、外観の広い領域に亘って高精度な検査を行うことが可能となる。

本発明の微小物体の外観検査装置の一態様では、前記第３及び第４の撮影手段は、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を通り、前記第２の表面部の法線方向に平行な第２の基準線上に設けられている。

この態様によれば、第３及び第４の撮影手段は、第２の基準線上に設けられるので、微小物体を基準として相対的に見た場合に、互いに対向する位置から微小物体を撮影する。つまり、第２の基準線上において第３及び第４の撮影手段は、微小物体を挟んで両側に配置されることによって、夫々の方向から微小物体を撮影する。

第２の基準線もまた、第２の吸着部に吸着された微小物体の位置の変化に伴って、絶対的な位置が時間的に変化する基準線である。言い換えると、一の微小物体を基準として第２の基準線を見たときの相対的な第２の基準線の位置は不変であるものの、微小物体は第２のドラムの回転に伴って移動するため、第２の基準線の絶対的な位置は時間的に変化する。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第５及び第６の撮影手段は、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を通り、前記第３の表面部の法線方向に平行な第３の基準線上に設けられている。

この態様によれば、第５及び第６の撮影手段は、第３の基準線上に設けられるので、微小物体を基準として相対的に見た場合に、互いに対向する位置から微小物体を撮影する。つまり、第３の基準線上において第５及び第６の撮影手段は、微小物体を挟んで両側に配置されることによって、夫々の方向から微小物体を撮影する。

第３の基準線もまた、第３の吸着部に吸着された微小物体の位置の変化に伴って、絶対的な位置が時間的に変化する基準線である。言い換えると、一の微小物体を基準として第２の基準線を見たときの相対的な第３の基準線の位置は不変であるものの、微小物体は第３のドラムの回転に伴って移動するため、第３の基準線の絶対的な位置は時間的に変化する。

このように第１の基準線、第２の基準線及び第３の基準線に基づいて、各撮影手段が配置されている態様では、前記第１の基準線、前記第２の基準線及び前記第３の基準線は、前記微小物体を基準として相対的に見た場合に、互いに直角に交わるとよい。

この場合、上述の６つの撮影手段は、検査対象たる微小物体から相対的に見て、互いに９０度ずつ異なる線上に配置されている。従って、６つの撮影手段は、立体的な形状
を有する微小物体の表面の全体をもれなく画像データとして取り込むことができる。つまり、６つの撮影手段の撮影によって、所謂、微小物体の６面図を画像として取得することができる。その結果、微小物体の表面の全体を確実に検査することが可能となり、信頼性の高い検査を実行することができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第３の表面部は、前記第１の表面及び前記第２の表面に対して直角に交わる。

この態様によれば、上述の第１の基準線、前記第２の基準線及び前記第３の基準線が、前記微小物体を基準として相対的に見た場合に、互いに直角に交わるように構成することが容易となる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１乃至第６撮影手段の各々は、当該第１乃至第６の撮影手段の各々によって撮影される前記微小物体の手前側及び向こう側の少なくとも一方に、前記微小物体に光を照射するための照射手段を備える。

この態様によれば、上述の各撮影手段は、夫々、当該撮影手段から見て、微小物体より手前側に照射手段を備える場合、微小物体の表側（即ち、撮影手段側の微小物体の表面）に光を照射することができる。その結果、微小物体の表面において反射された光を撮影手段がとらえることにより、微小物体の表面を良好に撮影することができる。特に、微小物体の構成材料が光を反射しやすい（又は光を透過しにくい）性質を有する場合には、微小物体の表面において光を反射させることによって、撮影手段は撮影に必要な光を微小物体からの反射光として得ることができるので、より高品位な撮影を行うことが可能となる。

一方、微小物体より向こう側に照射手段を備える場合、微小物体の裏側（即ち、上述の表側の反対の面）に光を照射することができる。その結果、微小物体を裏側から透過する透過光を撮影手段がとらえることにより、微小物体の表面状態を良好に撮影することができる。特に、微小物体の構成材料が光を透過しやすい性質を有する場合、撮影手段は撮影に必要な光を微小物体からの透過光として得ることができるので、より高品位な撮影を行うことが可能となる。つまり、微小物体の表面において反射光を十分に得られない場合に有利である。

このように、高品位な撮影によって取得された画像に基づいて検査を実行することにより、検査精度をより向上させることができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１のドラム及び前記第２のドラムは、前記第１のドラムによって搬送された微小物体が前記第２の吸着部に吸着される際に、前記第１の吸着部に吸着された微小物体が前記第２の側面に面するように配置されている。

この態様によれば、第１の吸着部に吸着された微小物体は、第１のドラムの回転によって搬送されることにより、第２の吸着部に面する位置に自動的に移動される。その結果、第１のドラムによって搬送されていた微小物体をスムーズに第２のドラムに引き渡すことが可能となる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第２のドラム及び前記第３のドラムは、前記第２のドラムによって搬送された微小物体が前記第３の吸着部に吸着される際に、前記第２の吸着部に吸着された微小物体が前記第３の側面に面するように配置されている。

この態様によれば、第２の吸着部に吸着された微小物体は、第２のドラムの回転によって搬送されることにより、第３の吸着部に面する位置に自動的に移動される。その結果、第２のドラムによって搬送されていた微小物体をスムーズに第３のドラムに引き渡すことが可能となる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１及び第２の撮影手段、前記第３及び第４の撮影手段、並びに前記第５及び第６の撮影手段は、夫々、互いに対向するように配置されている。

この態様によれば、第１の撮影手段及び第２の撮影手段は対向するように配置されているので、第１のドラム上で搬送されている微小物体を、互いに同じタイミングで撮影することとなる。仮に、互いに異なるタイミングで微小物体撮影を撮影すると、第１のドラムの回転ブレ等の要因によって、第１の撮影手段及び第２の撮影手段によって撮影される微小物体の状態が変化してしまっているおそれがある。つまり、微小物体の状態が、第１の撮影手段による撮影タイミングから第２の撮影手段による撮影タイミングまでの間に変化してしまうと、第１の撮影手段及び第２の撮影手段によって夫々取得された画像データの整合性が合わないおそれがある。本態様では、第１の撮影手段及び第２の撮影手段を対向するように配置することにより、夫々の撮影タイミングを合わせ、このようなおそれを効果的に排除することで、検査精度を向上させることができる。

尚、第３及び第４の撮影手段、並びに第５及び第６の撮影手段についても、第１及び第２の撮影手段と同様であるため、ここでは説明を省略する。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１の吸着部は、前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の表面の中央部から一定の距離に複数設けられている。

この態様によれば、第１のドラムから第２のドラムに微小物体を引き渡す際に、第１のドラムが回転していても、微小物体が第２のドラムに引き渡される位置が一定箇所に固定される。仮に、複数の第１の吸着部毎に、第１の表面部の中央部からの距離が異なると、第２のドラムへの引き渡し位置が、第１の吸着部毎に変化するため、第１及び第２のドラム間における微小物体の引き渡し動作が極めて煩雑となる。本態様では、複数の第１の吸着部の第１の表面部の中央部からの距離を一定に設定することにより、このような煩雑さを回避することができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第２の吸着部は、前記第２の側面のうち前記第２の表面に平行な一の平面と交差する線上に沿って複数設けられている。

この態様によれば、上述の第１のドラムにおける第２のドラムに対する微小物体の引き渡し位置と同様に、第２のドラムにおける第３のドラムに対する微小物体の引き渡し位置が第２の吸着部毎に変化しないので、第２及び第３のドラム間における微小物体の引き渡し動作の煩雑さを回避することができる。

また、第１のドラムに対しても、第１のドラムからの微小物体の受け取り位置も変化しないので、第１及び第２のドラム間における微小物体の引き渡し動作の煩雑さも同時に回避することができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第３の吸着部は、前記第３
の側面部のうち前記第３の表面部に平行な一の平面と交差する線上に沿って複数設けられている。

この態様によれば、上述の第１のドラムにおける第２のドラムに対する微小物体の引き渡し位置と同様に、第３のドラムにおける第２のドラムに対する微小物体の引き受け位置が第３の吸着部毎に変化しないので、第２及び第３のドラム間における微小物体の引き渡し動作の煩雑さを回避することができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１の吸着部、第２の吸着部及び第３の吸着部は、前記微小物体に対して負圧を印加することにより、前記微小物体を吸着する。

この態様によれば、例えば、吸着部が設けられるドラムの表面部又は側面部に開口部を設け、当該開口部の内側から負圧を課す（即ち、吸引する）ことによって、開口部の外側から微小物体を吸着することができる。この場合、微小物体に負圧を印加するための開口部の形状は、微小物体の形状に合わせて適宜変更可能であり、例えば円形、楕円形、矩形等の各種形状を採用することができる。また、吸着部の各々は互いに独立している必要はなく、例えば隣り合う一部の吸着部同士が一体的に結合していてもよいし、多数の吸着部が一体的に結合することによりストライプ状の形状を有していてもよい。

上述の負圧によって被検査体を吸着する態様では、前記第１の吸着部は、前記第１のドラムによって搬送された微小物体が前記第２の吸着部に吸着される際に、当該微小物体に印加された負圧を軽減するとよい。

この態様では、微小物体を第１の吸着部に第２の吸着部に受け渡されるタイミングにおいて、第１の吸着部における負圧が第２の吸着部における負圧に比べて小さくなるように設定される。当該タイミングでは、微小物体には、第１の吸着部及び第２の吸着部の双方から負圧が印加されるが、第２の吸着部の方が負圧が大きいため、微小物体は第１の吸着部から解放され、第２の吸着部に吸着される。このようにして、本態様では、微小物体を第１の吸着部から第２の吸着部にスムーズに移動することができる。

尚、当該タイミングにおいて第１の吸着部において、負圧の代わりに加圧を印加することによって、第１の吸着部において微小物体をより積極的に解放してもよい。

また、前記第２の吸着部は、前記第２のドラムによって搬送された微小物体が前記第３の吸着部に吸着される際に、当該微小物体に印加された負圧を軽減するとよい。

この態様では、上述の第１及び第２の吸着部の場合と同様に、微小物体を第２の吸着部に第３の吸着部に受け渡されるタイミングにおいて、第２の吸着部における負圧が第３の吸着部における負圧に比べて小さくなるように設定されることにより、微小物体を第２の吸着部から第３の吸着部にスムーズに移動することができる。

尚、当該タイミングにおいて第２の吸着部において、負圧の代わりに加圧を印加することによって、第２の吸着部において微小物体をより積極的に解放してもよい。

また、前記第１の吸着部、第２の吸着部及び第３の吸着部は、吸着された前記微小物体との間に生じる隙間を埋めるための保持部材を備えるとよい。

この場合、吸着部の吸着力を向上させるための保持部材が備えられている。微小物体の形状によっては、吸着部に微小物体が吸着された場合であっても、その間に隙間が生
じることがある。吸着部は負圧によって微小物体を吸着するため、このような隙間が存在すると、当該隙間から空気が漏れ、吸着力が低下してしまう。すると、吸着部に微小物体を吸着することができずに、微小物体が落下してしまうおそれがある。本態様では、吸着部に微小物体が吸着された場合に隙間が生じることを防ぐための保持部材を備えることにより、このようなおそれを効果的に排除又は減少することができる。

尚、保持部材は、柔軟性に優れた材料で形成するとよい。この場合、様々な形状を有する微小物体に対して、隙間を埋めるようにフィットするため、吸着能力を確保することができる。また、予め微小物体の形状にフィットするように保持部材の形状を個別に規定することで、更に吸着能力を向上させることができる。

尚、柔軟性の少ない材料で保持部材を形成した場合であっても、予め微小物体の形状にフィットするように形成することによって、吸着部の吸着能力を確保してもよい。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、互いに平行な第４及び第５表面を夫々有すると共に、互いに逆方向に回転する円盤状の第４及び第５のドラムを更に備え、当該第４及び第５のドラムは、前記第４及び第５表面上で平面的に見て、第４のドラム及び第５のドラム間の隙間を前記微小物体が通過するように配置されている。

この態様によれば、第４及び第５のドラム間の隙間を微小物体が通過することによって、複数の微小物体間の姿勢のバラツキを抑制することができる。例えば、微小物体が長径及び短径を有する形状を有している場合、当該隙間を当該長径方向の直径より小さく設定することにより、姿勢の乱れた微小物体は第４及び第５のドラムの少なくとも一方に接触することとなる。すると、微小物体は、接触したドラムの回転方向に沿って姿勢が矯正される。

このように第４及び第５のドラムにより微小物体の姿勢を整えることによって、姿勢のバラツキに起因する誤差を抑制又は排除することができる。その結果、本発明に係る検査装置によって実行される検査の精度をより効果的に高めることが可能となる。

上述の第４及び第５のドラムを備える態様では、前記第１の表面に平行な第６の表面及び第６の側面を有し、当該第６の側面に設けられた第６の吸着部によって微小物体を吸着しつつ、前記第６の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第６のドラムを更に備え、前記第４及び第５のドラムは、前記第６の吸着部によって吸着された微小物体が第４及び第５のドラム間の隙間を通過するように配置されており、前記第１のドラムは、前記第１の吸着部が前記第６のドラムによって搬送された微小物体を吸着するように配置されているとよい。

この場合、各撮影手段によって微小物体の撮影が行われる第１のドラムの前段に、第６のドラムが備えられている。第６のドラムでは、第４及び第５のドラムによって微小物体の姿勢が整えられるので、その後段に配置されている第１乃至第３のドラムにおいて、微小物体の検査を精度よく実行することができる。

本発明の微小物体の外観検査装置の他の態様では、前記第１乃至第６の撮影手段は、前記微小物体を一つずつ撮影する。

この態様によれば、複数の微小物体について夫々６方向から詳細な画像を撮影することができるため、より高精度な検査を実現することが可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。

本実施形態に係る外観検査装置の全体構成を示す平面図である。 本実施形態に係る外観検査装置の全体構成を示す側面図である。 本実施形態に係る外観検査装置の第１ドラムが備える吸着部の拡大断面図である。 本実施形態に係る外観検査装置の補助ドラムの構成を示す拡大側面図である。 本実施形態に係る外観検査装置の第１及び第２ドラム間におけるソフトカプセルの挙動を模式的に示す斜視図である。 本実施形態に係る外観検査装置の第２及び第３ドラム間におけるソフトカプセルの挙動を模式的に示す斜視図である。 本実施形態に係る外観検査装置の第３及び第４ドラム間におけるソフトカプセルの挙動を模式的に示す斜視図である。 ソフトカプセルを基準とした各種ＣＣＤカメラの相対的配置を示す模式図である。

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明に係る微小物体の外観検査装置を適用したソフトカプセルを被検査体とするソフトカプセル用の外観検査装置を例にとる。

先ず、本実施形態に係る外観検査装置１００の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１及び図２は、夫々、本実施形態に係る外観検査装置の全体構成を示す平面図及び側面図である。

外観検査装置１００は、台座１上に、被検査体であるソフトカプセル５０を搬送するための第１ドラム３、第２ドラム７、第３ドラム９及び第４ドラム１１を備える。ここで、第１ドラム３は本発明に係る「第６のドラム」の一例であり、第２ドラム７は本発明に係る「第１のドラム」の一例であり、第３ドラム９は本発明に係る「第２のドラム」の一例であり、第４ドラム１１は本発明に係る「第３のドラム」の一例である。

ソフトカプセル５０は、本発明に係る「微小物体」の一例であり、薬剤や補助栄養剤等の液体をソフトゼラチンカプセル内に封入し、オーバル状の外観形状を有するソフトカプセルである。

外観検査装置１００によって検査対象とされるソフトカプセル５０は、検査の前段階において予め供給レーン２に格納されている。供給レーン２には、表面にらせん状の溝を有し、供給レーン２に沿って延びるように配置された搬送棒（図不示）を備えており、ソフトカプセル５０は当該溝内に沿って配列されている。このように配列されたソフトカプセル５０は、搬送棒の回転に伴って溝内を進行し、順次第１ドラム３に供給される。また、このようなソフトカプセル５０の供給は、例えば、供給レーン２に備えられたピストン（図不示）によって押し出されることにより行われてもよい。本実施形態では特に、１５個／秒（５４，０００個／時）のペースでソフトカプセル５０が第１ドラム３に供給される。第１ドラム３へのソフトカプセル５０の供給タイミングは、第１ドラム３の回転速度に同期するように設定するとよい。

供給レーン２は、ソフトカプセル５０の短径方向に沿った直径に応じた（典型的には、短径方向に沿った長さに比べてわずかに大きく設定された）幅を有する。このように供給レーンの幅を設定することによって、供給レーン２にソフトカプセル５０が格納されている段階において（即ち、第１ドラム３にソフトカプセル５０が供給される前段階において）、ソフトカプセル５０の姿勢をある程度均一に整えることができる。つまり、供給レーン２内において、供給レーン２の長さ方向にソフトカプセル５０の長径方向が揃えられるように、ソフトカプセル５０の姿勢が整えられる。

補足して説明すると、外観検査装置１００において実行される検査の精度は、ソフトカプセル５０の姿勢のバラツキの程度によって影響される。後述するように、外観検査装置１００は、第１ドラム３によってソフトカプセル５０が搬送されている間にソフトカプセルの姿勢を整えるための、補助ドラムシステム５を備えている。しかしながら、補助ドラムシステム５に到達する際にソフトカプセル５０の姿勢が過度に乱れていると、補助ドラムシステム５において、ソフトカプセル５０が補助ドラムシステム５を構成するドラム間に引っかかることによって目詰まりが生じたり、仮に補助ドラム５を通過できたとしてもソフトカプセル５０の姿勢を十分に整えることができないおそれがある。そこで、本実施形態では、供給レーン２にソフトカプセル５０が格納されている段階で、供給レーン２の形状によって予めソフトカプセル５０の姿勢をある程度均一に整えておくことによって、補助ドラムシステム５を通過した後のソフトカプセル５０の姿勢が、より均一になるように構成されている。

第１ドラム３は、供給レーン２から供給されたソフトカプセル５０を、吸着部２１に吸着することによって保持しつつ、図示の方向（図１に示す矢印を参照）に回転することによって、ソフトカプセル５０を搬送する。第１ドラム３は、台座１上に回転軸４を介して設置されている。

吸着部２１は、第１ドラム３の側面のうち、Ｘ−Ｙ平面に平行な一の面と交差する線上に沿って、複数設けられている。ここで、隣り合う吸着部２１間の距離は、供給レーン２のソフトカプセル５０の供給タイミングに同期させて吸着部２１の位置を制御可能である限りにおいて自由に変更することが可能である。本実施形態では特に、隣り合う吸着部２１間の距離は一定に設定されている。

尚、本実施形態では複数の吸着部２１は互いに独立して設けられているが、隣り合う吸着部２１同士が一体的に結合していてもよい。例えば、一連の複数の吸着部２１が全て一体的に結合しており、第１ドラム３の側面に沿ってストライプ状に形成されていてもよい。

ここで、図３を参照して、ソフトカプセル５０が吸着部２１に吸着されるメカニズムについて詳細に説明する。

図３（ａ）は、本実施形態に係る外観検査装置１００の第１ドラム３が備える吸着部２１の断面構造の一の例を示す拡大断面図である。吸着部２１は、第１ドラム３の側面上に開口部２２を有している。開口部２１の奥（即ち、図３（ａ）において下側）には大気を吸引可能な吸引ポンプ（図不示）が備えられており、当該吸引ポンプの動作によって、開口部２２の内部及びその付近の大気を吸引することができる。尚、吸引ポンプの動作は、当該吸引ポンプに接続されたＰＣ等のコントローラによって制御可能であり、例えば、吸引の開始タイミング、吸引力の大きさ等を制御することができる。このように、吸引ポンプによって開口部２２の内部及びその付近を減圧することにより、ソフトカプセル５０を第１ドラム３の側面上に吸着することができる。

図３（ｂ）は、本実施形態に係る外観検査装置１００の第１ドラム３が備える吸着部２１の断面構造の他の例を示す拡大断面図である。この例では、開口部２２の大きさが第１ドラム３の表面に近づくにつれて大きくなるように（即ち、吸着部２２の中央部に近づくにつれて、開口部２２の深さが深くなるように）形成されている。言い換えると、開口部２２の表面形状がテーパ状に形成されている。このように開口部２２を形成することによって、ソフトカプセル５０が吸着部２１に吸着された場合において、ソフトカプセル５０と開口部２２とが接触する面積を増加させることができる。その結果、ソフトカプセル５０が吸着部２１に吸着された際に、開口部２２の内部に大気中から空気が侵入することによって、吸着部２１の吸着力が低下することを防止することができる。図３（ｂ）では特に、開口部２２の形状をソフトカプセル５０の表面形状にフィットするように形成しているため、ソフトカプセル５０と開口部２２との接触面積は格段に増加し、ソフトカプセル５０をより確実に吸着部２１に吸着することができる。

また、図３（ｃ）は、本実施形態に係る外観検査装置１００の第１ドラム３が備える吸着部２１の断面構造の更に他の例を示す拡大断面図である。この例では、開口部２２の角部付近（即ち、開口部２２のうち第１ドラムの表面付近）に沿って柔軟部材６０が設けられている。これにより、ソフトカプセル５０が第１ドラム３の側面に吸着された際に、ソフトカプセル５０と開口部２２との形状にズレに起因して隙間が生じたとしても、その隙間を埋めるように柔軟部材６０が変形する。その結果、ソフトカプセル５０が吸着部２１に吸着された際に、開口部２２の内部に大気中から空気が侵入することによって、吸着部２１の吸着力が低下することを防止することができる。また、柔軟部材６０は柔軟性に優れた材料により形成されているため、互いに異なる表面形状を有する複数種類のソフトカプセル５０を、特定の形状を有する開口部２２に吸着させることができる。つまり、被検査体に異なる形状を有するものが混在している場合、例えば被検査体が複数種類のソフトカプセル等からなる場合であっても、対応することが可能となる。

尚、柔軟部材６０に代えて、吸着されるソフトカプセル５０の表面形状にフィットするように予め形状が特定された非柔軟部材（即ち、優れた柔軟性を有していない材料によって形成された部材）を配置してもよい。この場合、柔軟性が少なくとも、部材自体の形状が被検査体にフィットするように形成されているので、実質的に、上述の柔軟部材と同様の効果を得ることができる。

尚、吸着部２１の構造に関するその他の態様については、図３（ａ）乃至（ｃ）の組み合わせも当然に含まれ、上述の各種例と同様に、吸着部２１の吸着力が低下することを効果的に防止することができる。

再び図１及び図２に戻って、第１ドラム３における吸着部２１によって保持されたソフトカプセル５０は、第１ドラム３の回転によって搬送されることにより、補助ドラムシステム５に送られる。ここで、補助ドラムシステム５は、回転部材６、固定治具１７及び支柱１８を介して、台座１上に設置されている。

ここで、図４を参照して、補助ドラムシステム５の構成及び機能について詳細に説明する。図４は、本実施形態に係る外観検査装置１００の補助ドラムシステム５の構成を示す拡大側面図である。

補助ドラムシステム５は、第１補助ドラム５ａ及び第２補助ドラム５ｂを含んで構成されている。第１補助ドラム５ａ及び第２補助ドラム５ｂは、夫々、回転軸６ａ及び６
ｂを中心にＸ−Ｚ平面において回転しており、その回転方向は互いに逆向きに設定されている。第１補助ドラム５ａ及び第２補助ドラム５ｂ間には、ソフトカプセル５０の短径方向の直径程度（典型的には、ソフトカプセル５０の短径方向の直径より若干大きい程度）の隙間５１が確保されている。

補助ドラムシステム５を未通過のソフトカプセル５０の姿勢は、供給レーン２においてある程度整えられているものの、多かれ少なかれバラツキが存在する。このような姿勢のバラツキは、ソフトカプセル５０が補助ドラムシステム５を通過することによって、解消又は軽減することができる。例えば、長径方向が紙面上にて右下（又は左上）を向いているソフトカプセル５０は、第１補助ドラム５ａに比べて第２補助ドラム５ｂに先に接触するため、第２補助ドラム５ｂの回転によって、長径方向がＸ方向に近づくようにその姿勢が変更される。一方、長径方向が紙面上にて右上（又は左下）を向いているソフトカプセル５０は、第２補助ドラム５ｂに比べて第１補助ドラム５ａに先に接触するため、第１補助ドラム５ａの回転によって、長径方向がＸ方向に近づくようにその姿勢が変更される。その結果、補助ドラムシステム５を通過後の一連のソフトカプセル５０の姿勢は、長径方向がＸ方向に揃えられることとなる。

尚、補助ドラムシステム５における隙間５１の大きさは、被検査体たるソフトカプセル５０の形状や、補助ドラムシステム５を通過後の一連のソフトカプセル５０に要求される姿勢の均一性（即ち、十分な検査精度を得るために許容される姿勢のバラツキ）の程度によって適宜変更するとよい。例えば、固定治具１７において回転軸６ａ及び６ｂの間隔を変更することによって、隙間５１の大きさを変更するとよい。

再び図１及び図２に戻って、第１ドラム３に保持されたソフトカプセル５０は、第１ドラム３が回転することによって搬送される。そして、当該搬送されたソフトカプセル５０は、第２ドラム７に最も接近するタイミングで、第１ドラム３から第２ドラム７に引き渡される。

第２ドラム７は、第１ドラム３によって搬送されてきたソフトカプセル５０を、吸着部２２によって吸着することで、第１ドラム３からソフトカプセル５０を引き受ける。第２ドラム７は、図示の方向（図１に示す矢印を参照）に回転しており、第１ドラム３から引き受けたソフトカプセル５０を搬送する。第２ドラム７は、台座１上に回転軸８を介して設置されている。

吸着部２２は、第２ドラム７の表面（即ち、回転軸８が接続されていない側の面）の縁部に沿って複数設けられている。ここで、隣り合う吸着部２２間の距離もまた、上述の吸着部２１と同様に、供給レーン２のソフトカプセル５０の供給タイミングに同期させて吸着部２２の位置を制御可能である限りにおいて自由に変更することが可能であり、隣り合う吸着部２２同士が一体的に結合していてもよい。

尚、第２ドラム７における吸着部２２の詳細な構造については、上述の吸着部２１の構造と同様であるので、ここでは説明を省略する。

ここで、図５を参照して、第１ドラム３から第２ドラム７にソフトカプセル５０が引き渡される際における、ソフトカプセル５０の挙動を詳細に説明する。図５は、本実施形態に係る外観検査装置１００の第１及び第２ドラム間におけるソフトカプセルの挙動を模式的に示す斜視図である。

ソフトカプセル５０は、第２ドラム７に引き渡される前段階では、第１ドラム３の
吸着部２１に吸着されることによって、第１ドラム３に保持されつつ搬送されている（図５（ａ）参照）。

ソフトカプセル５０が第１ドラム３によって搬送され、第２ドラム７に最も接近すると、ソフトカプセル５０は第１ドラム３から第２ドラム７に引き渡される（図５（ｂ）参照）。このタイミングで、第１ドラム３の吸着部２１は吸着力を軽減又は排除すると共に、第２ドラム７の吸着部２２は吸着力を増加させる。このような吸着力の制御は、上述のコントローラによって吸着部２１及び２２に備えられた吸引ポンプ（図不示）を制御することによって、実現することができる。すると、第１ドラム３の吸着部２１に比べて、第２ドラム７の吸着部２２における吸着力が勝るため、第１ドラム３の吸着部２１からソフトカプセル５０は解放されると共に、第２ドラム７の吸着部２２に吸着される。

尚、第１ドラム３から第２ドラム７にソフトカプセル５０が引き渡される際に、第１ドラム３の吸着部２１では、開口部２１の内側において加圧が行わるように、上述のコントローラによって吸引ポンプが制御されてもよい（つまり、吸引ポンプを逆回転させてもよい）。上述のように、吸着部２１にソフトカプセル５０を吸着する際には、吸着部２１に備えられた吸引ポンプで開口部２２内の減圧が行われる。第１ドラム３から第２ドラム７にソフトカプセル５０が引き渡される際に、仮に吸引ポンプの減圧動作を緩和又は停止した場合であっても、当該開口部２２内の空気圧は直ちに常圧に回復せずに、多かれ少なかれ減圧状態が保持されることとなる。すると、ソフトカプセル５０を第２ドラム７に引き渡すタイミングが訪れたとしても、吸引部２１には吸引力が残存しているため、ソフトカプセル５０がスムーズに第１ドラム３の吸引部２１から解放されないおそれがある。このようなおそれを防止するために、開口部２１の内側を積極的に加圧することにより、減圧状態を解消するように吸引ポンプを制御するとよい。

ここで、第２ドラム７は、第１ドラム３に比べてＺ方向にソフトカプセル５０の短径方向の直径分だけ下側に配置されている。つまり、第１ドラム３に保持されたソフトカプセル５０が、第１ドラム３によって回転搬送されることにより、第２ドラム７に最も接近した際に、ソフトカプセル５０が第２ドラム７の吸着部２２上に必然的に配置されるように、第１ドラム３及び第２ドラム７の高さ及び位置が設定されている。例えば、検査対象たるソフトカプセル５０の形状によって、第１ドラム３及び第２ドラム７のＺ方向の高さを調整可能なように、回転軸４及び８の長さを変更可能に形成してもよい。

このように、第２ドラム７に引き渡されたソフトカプセル５０は、第２ドラム７の吸着部２２に吸着されることによって、第２ドラム７上に保持される（図５（ｃ）参照）。その後、ソフトカプセル５０は、第２ドラム７が回転することにより搬送される。

再び図１及び図２に戻って、ソフトカプセル５０は、第２ドラム７によって回転搬送されている間に、第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２によって２方向から撮影される。ここで、第１ＣＣＤカメラは本発明に係る「第１の撮影手段」の一例であり、第２ＣＣＤカメラは本発明に係る「第２の撮影手段」の一例である。

第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２は、Ｘ−Ｙ平面上における第２ドラム７の半径方向に沿って、ソフトカプセル５０を撮影する（図１参照）。第１ＣＣＤカメラ３１は、ソフトカプセル５０の外観のうち、第２ドラム７の内側から第２ドラム７の半径方向に沿って見たときの様子を、画像データとして取得する。一方、第２ＣＣＤカメラ３２は、ソフトカプセル５０の外観のうち第２ドラム７の外側から、第２ドラム７の半径方向に沿って見たときの様子を、画像データとして取得する。このように、第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２によって取得された画像データは、例えば電気信号としてＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）に転送され、当該画像データを解析するこ
とによって、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無を判定することができる。ここで、コントローラは、本発明に係る「判定手段」の一例である。

ここで、第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２によって撮影される被検査体５０の表面は、吸着部２２に吸着されている面を除いて、大気中に露出している。また、被検査体５０は上述の背景技術のように、溝部の内側に配置されていないため、大気中への露出量が非常に多い状態で撮影が行われる。

ここで、第１ＣＣＤカメラ３１による撮影を補助するために、第２ドラム３には第１内側照明４１ａ及び第１外側照明４１ｂが備えられている。第１内側照明４１ａは、Ｘ−Ｙ平面内で平面的に見て、第１ＣＣＤカメラ３１の撮影対象であるソフトカプセル５０より第１ＣＣＤカメラ３１寄りに配置されている。一方、第１外側照明４１ｂは、第２ドラム７の表面側から平面的に見て、ソフトカプセル５０に対して第１内側照明４１ａの線対称となる位置に配置されている。

第１内側照明４１ａは、第１ＣＣＤカメラ３１から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の手前側から、ソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を反射しやすい（又は光を透過しにくい）性質を有する場合には、第１内側照明４１ａによって光を照射することによって、第１ＣＣＤカメラ３１は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの反射光として得ることができる。

一方、第１外側照明４１ｂは、第１ＣＣＤカメラ３１から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の向こう側（即ち、手前側に対向する側）からソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を透過しやすい性質を有する場合には、第１外側照明４１ｂによって光を照射することによって、第１ＣＣＤカメラ３１は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの透過光として得ることができる。

このように被検査体であるソフトカプセル５０の構成材料の反射率及び透過率によって、ソフトカプセル５０の照射される光を、第１内側照明４１ａ及び第１外側照明４１ｂを適宜切り替え制御することによって、第１ＣＣＤカメラ３１はソフトカプセル５０の状態を良好に撮影することができる。このような撮影によって取得された画像データに基づいて、例えばＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により解析を行うことで、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無をより高精度で検査することが可能となる。尚、このような第１内側照明４１ａ及び第１外側照明４１ｂの切り替え制御もまた、ＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により実行するとよい。

本実施形態では特に、上述のように撮影が行われる際に、被検査体５０の表面が大気中に多く露出しているため、このような照明によって光が照射された場合であっても、撮影対象となる被検査体５０の表面に影ができにくい。また、被検査体５０の位置を制御するための溝部やスリット等の障害物もない。その結果、被検査体５０の表面を照明によって照射しながら、非常に高精度に撮影することが可能である。

尚、第１内側照明４１ａ及び第１外側照明４１ｂのどちらか一方が、周辺に配置されたその他の構成要素との配置関係によって、上述の位置に設置することが困難な場合には、当該一方の照明に変えてミラーを配置し、他方の照明の光を反射することで被検査体に光を照射してもよい。

一方、第２ＣＣＤカメラ３２による撮影を補助するために、第２ドラム３には第２内側照明４２ａ及び第２外側照明４２ｂが備えられている。第２外側照明４２ｂは、第２
ドラム７の表面側から平面的に見て、第２ＣＣＤカメラ３２の撮影対象であるソフトカプセル５０より第２ＣＣＤカメラ３２寄りに配置されている。一方、第２内側照明４２ａは、Ｘ−Ｙ平面内で平面的に見て、ソフトカプセル５０に対して第２外側照明４２ｂの線対称となる位置に配置されている。第２ＣＣＤカメラ３２、第２内側照明４２ａ及び第２外側照明４２ｂの詳細については、上述の第１ＣＣＤカメラ３１、第１内側照明４１ａ及び第２外側照明４１ｂと同様であるので、ここでは説明を省略する。

第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２による撮影が完了したソフトカプセル５０は、第２ドラム７によって搬送され、第３ドラム９に最も接近するタイミングで、第２ドラム７から第３ドラム９に引き渡される。

第３ドラム９は、第２ドラム７によって搬送されてきたソフトカプセル５０を、吸着部２３によって吸着することで、第２ドラム７からソフトカプセル５０を引き受ける。第３ドラム９は、図示の方向（図１に示す矢印を参照）に回転しており、第２ドラム７から引き受けたソフトカプセル５０を搬送する。第３ドラム９は、台座１上に回転軸１０を介して設置されている。

吸着部２３は、第１ドラム３の吸着部２１と同様に、第３ドラム９の側面に沿って複数設けられている。ここで、隣り合う吸着部２３間の距離は、第２ドラム７からのソフトカプセル５０の受け取りタイミングに同期させて吸着部２３の位置を制御可能である限りにおいて自由に変更することが可能であり、隣り合う吸着部２１同士が一体的に結合していてもよい。

尚、第３ドラム９の吸着部２３の詳細な構造については、上述の吸着部２１及び２２の構造と同様であるので、ここでは説明を省略する。

ここで、図６を参照して、第２ドラム７から第３ドラム９にソフトカプセル５０が引き渡される際における、ソフトカプセル５０の挙動を詳細に説明する。図６は、本実施形態に係る外観検査装置１００の第２及び第３ドラム間におけるソフトカプセル５０の挙動を模式的に示す斜視図である。

ソフトカプセル５０は、第３ドラム９に引き渡される前段階では、第２ドラム７の吸着部２２に吸着されることによって、第２ドラム７に保持されつつ搬送されている（図６（ａ）参照）。

ソフトカプセル５０が第２ドラム７によって搬送され、第３ドラム９に最も接近すると、ソフトカプセル５０は第２ドラム７から第３ドラム９に引き渡される（図６（ｂ）参照）。このタイミングで、第２ドラム７の吸着部２２は吸着力を減少又は解除すると共に、第３ドラム９の吸着部２３は吸着力を増加させる。このような吸着力の制御もまた、上述のコントローラによって吸着部２２及び２３に備えられた吸引ポンプ（図不示）を制御することによって、実現することができる。すると、第２ドラム７の吸着部２２に比べて、第３ドラム９の吸着部２３における吸着力が勝るため、第２ドラム７の吸着部２２からソフトカプセル５０は解放され、第３ドラム９の吸着部２３に吸着される。

尚、第２ドラム７から第３ドラム９へのソフトカプセル５０の引き渡しを行う際に、第２ドラム７の吸着部２２では、上述の吸着部２１と同様に、開口部の内側に供えられた吸引ポンプ（図不示）により加圧を行ってもよい。

また、第３ドラム９は、第２ドラム７に比べてＺ方向に沿って、ソフトカプセル５
０の短径方向の直径分だけ上側に配置されている。つまり、第２ドラム７に保持されたソフトカプセル５０が、第２ドラム７によって回転搬送させることにより、第３ドラム９に最も接近した際に、ソフトカプセル５０が第３ドラム９の吸着部２３上に必然的に配置されるように、第２ドラム７及び第３ドラム９の高さ及び位置を設定するとよい。

このように、第３ドラム９に引き渡されたソフトカプセル５０は、第３ドラム９の吸着部２３に吸着されることによって、第３ドラム９上に保持される（図６（ｃ）参照）。その後、ソフトカプセル５０は、第３ドラム９の回転に合わせて搬送される。

再び図１及び図２に戻って、ソフトカプセル５０は、第３ドラム９によって回転搬送されている間に、第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４によって撮影される。ここで、第３ＣＣＤカメラ３３は本発明に係る「第３の撮影手段」の一例であり、第４ＣＣＤカメラ３４は本発明に係る「第４の撮影手段」の一例である。

第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４は、共に、Ｚ軸に平行な方向に沿ってソフトカプセル５０を撮影する。第３ＣＣＤカメラ３３は、ソフトカプセル５０の外観のうち、第３ドラム９の裏側（即ち、回転軸１０が接続されている側）からＺ軸に沿って見たときの様子を、画像データとして取得することができる。一方、第２ＣＣＤカメラ３２は、ソフトカプセル５０の外観のうち、第３ドラム９の表側（即ち、回転軸１０が接続されていない側）からＺ軸に沿って見たときの様子を、画像データとして取得することができる。このように、第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４によって取得された画像データは、例えば電気信号としてＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）に転送され、当該画像データを解析することによって、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無を判定することができる。

ここで、第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４によって撮影される被検査体５０の表面は、吸着部２３に吸着されている面を除いて、大気中に露出している。また、被検査体５０は上述の背景技術のように、溝部の内側に配置されていないため、大気中への露出量が非常に多い状態で撮影が行われる。

第３ドラム９には、第３ＣＣＤカメラ３３による撮影を補助するために、第３下側照明４３ａ及び第３上側照明４３ｂが備えられている。第３下側照明４３ａは、第３ドラム９の裏側から平面的に見て、第３ＣＣＤカメラ３３の撮影対象であるソフトカプセル５０より第３ＣＣＤカメラ３３寄りに配置されている。一方、第３上側照明４３ｂは、ソフトカプセル５０に対して第３下側照明４３ａの線対称となる位置に配置されている。

第３下側照明４３ａは、第３ＣＣＤカメラ３３から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の手前側から、ソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を反射しやすい（又は光を透過しにくい）性質を有する場合には、第３下側照明４３ａによって光を照射することによって、第３ＣＣＤカメラ３３は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの反射光として得ることができる。

一方、第３上側照明４３ｂは、第３ＣＣＤカメラ３３から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の向こう側（即ち、手前側の反対側）からソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を透過しやすい性質を有する場合には、第３上側照明４３ｂによって光を照射することによって、第３ＣＣＤカメラ３３は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの透過光として得ることができる。

このように被検査体であるソフトカプセル５０の構成材料の反射率及び透過率によ
って、ソフトカプセル５０の照射される光を、第３下側照明４３ａ及び第３上側照明４３ｂを適宜切り替えることによって制御することによって、第３ＣＣＤカメラ３３はソフトカプセル５０の状態を良好に撮影することができる。このような撮影によって取得された画像データに基づいて、例えばＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により解析を行うことで、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無をより高精度で検査することが可能となる。尚、このような第３下側照明４３ａ及び第３上側照明４３ｂの切り替え制御もまた、ＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により実行するとよい。

本実施形態では特に、上述のように撮影が行われる際に、被検査体５０の表面が大気中に多く露出しているため、このような照明によって光が照射された場合であっても、撮影対象となる被検査体５０の表面に影ができにくい。また、被検査体５０の位置を制御するための溝部やスリット等の障害物もない。その結果、被検査体５０の表面を照明によって照射しながら、非常に高精度に撮影することが可能である。

尚、第３上側照明４３ｂ及び第３下側照明４３ａのどちらか一方が、周辺に配置されたその他の構成要素との配置関係によって、上述の位置に設置することが困難な場合には、当該一方の照明に変えてミラーを配置し、他方の照明の光を反射することで被検査体に光を照射してもよい。

一方、第４ＣＣＤカメラ３４による撮影を補助するために、第３ドラム９には第４下側照明４４ａ及び第４上側照明４４ｂが備えられている。第４上側照明４４ｂは、第３ドラム９の表側から平面的に見て、第４ＣＣＤカメラ３４の撮影対象であるソフトカプセル５０より第４ＣＣＤカメラ３４寄りに配置されている。一方、第４下側照明４４ａは、第３ドラム９の表側から平面的に見て、ソフトカプセル５０に対して第４上側照明４４ｂの線対称となる位置に配置されている。第４ＣＣＤカメラ３４、第４下側照明４４ａ及び第４上側照明４４ｂの詳細については、上述の第３ＣＣＤカメラ３３、第３下側照明４３ａ及び第３上側照明４３ｂと同様であるので、ここでは説明を省略する。

第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４による撮影が完了したソフトカプセル５０は、第３ドラム９によって搬送され、第４ドラム１１に最も接近するタイミングで、第３ドラム９から第４ドラム１１に引き渡される。

第４ドラム１１は、第３ドラム９によって搬送されてきたソフトカプセル５０を、吸着部２４によって吸着することで、第３ドラム９からソフトカプセル５０を引き受ける。第４ドラム１１は、図示の方向（図１に示す矢印を参照）に回転しており、第３ドラム９から引き受けたソフトカプセル５０を搬送する。第４ドラム１１は、台座１上に回転軸１２、固定治具１３及び支柱１４を介して設置されている。

吸着部２４は、第１ドラム２１の吸着部２１及び第３ドラム９の吸着部２３と同様に、第４ドラム１１の側面に沿って複数設けられている。ここで、隣り合う吸着部２４間の距離は、第３ドラム９からのソフトカプセル５０の受け取りタイミングに同期させて吸着部２４の位置を制御可能である限りにおいて自由に変更することが可能であり、隣り合う吸着部２４同士が一体的に結合していてもよい。

尚、第４ドラム１１の吸着部２４の詳細な構造については、上述の吸着部２１、２２及び２３の構造と同様であるので、ここでは説明を省略する。

ここで、図７を参照して、第３ドラム９から第４ドラム１１にソフトカプセル５０が引き渡される際における、ソフトカプセル５０の挙動を詳細に説明する。図７は、本実
施形態に係る外観検査装置１００の第３及び第４ドラム間におけるソフトカプセル５０の挙動を模式的に示す斜視図である。

ソフトカプセル５０は、第４ドラム１１に引き渡される前段階では、第３ドラム９の吸着部２３に吸着されることによって、第３ドラム９に保持されつつ搬送されている（図７（ａ）参照）。

ソフトカプセル５０が第３ドラム９によって搬送され、第４ドラム１１に最も接近すると、ソフトカプセル５０は第３ドラム９から第４ドラム１１に引き渡される（図７（ｂ）参照）。このタイミングで、第３ドラム９の吸着部２３は吸着力を減少又は解除すると共に、第４ドラム１１の吸着部２４は吸着力を増加させる。このような吸着力の制御もまた、上述のコントローラによって吸着部２３及び２４に備えられた吸引ポンプ（図不示）を制御することによって、実現することができる。すると、第３ドラム９の吸着部２３に比べて、第４ドラム１１の吸着部２４における吸着力が勝るため、第３ドラム９の吸着部２３からソフトカプセル５０は解放され、第４ドラム１１の吸着部２４に吸着される。

尚、第３ドラム９から第４ドラム１１へのソフトカプセル５０の引き渡しを行う際に、第３ドラム９の吸着部２３では、上述の吸着部２１及び２２と同様に、開口部の内側に供えられた吸引ポンプ（図不示）により加圧を行ってもよい。

ここで、第３ドラム９及び第４ドラム１１は、第３ドラム９に保持されたソフトカプセル５０が、第４ドラム１１によって回転搬送されることにより、第４ドラム１１に最も接近した際に、ソフトカプセル５０が第４ドラム１１の側面上に必然的に配置されるように、高さ及び位置が設定されている。尚、第３ドラム９から第４ドラム１１にソフトカプセル５０が確実に引き渡される限りにおいて、第３ドラム９及び第４ドラム１１の高さ及び位置を変更してもよい。

このように、第４ドラム１１に引き渡されたソフトカプセル５０は、第４ドラム１１の吸着部２４に吸着されることによって、第４ドラム１１の側面上に保持される（図７（ｃ）参照）。その後、ソフトカプセル５０は、第４ドラム１１の回転に合わせて搬送される。

再び図１及び図２に戻って、ソフトカプセル５０は、第４ドラム１１によって回転搬送されている際に、第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６によって撮影される。ここで、第５ＣＣＤカメラ３５は本発明に係る「第５の撮影手段」の一例であり、第６ＣＣＤカメラ３６は本発明に係る「第６の撮影手段」の一例である。

第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６は、共に、Ｙ軸に平行な方向からソフトカプセル５０を撮影する。第５ＣＣＤカメラ３５は、ソフトカプセル５０の外観のうち、第４ドラム１１の裏側（即ち、回転軸１２が接続されている側）からＹ軸に沿って見たときの様子を、画像データとして取得することができる。一方、第６ＣＣＤカメラ３６は、ソフトカプセル５０の外観のうち、第４ドラム１１の表側（即ち、回転軸１２が接続されていない側）からＹ軸に沿って見たときの様子を、画像データとして取得することができる。このように、第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６によって取得された画像データは、例えば電気信号としてＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）に転送され、当該画像データを解析することによって、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無を判定することができる。

ここで、第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６によって撮影される被検
査体５０の表面は、吸着部２４に吸着されている面を除いて、大気中に露出している。また、被検査体５０は上述の背景技術のように、溝部の内側に配置されていないため、大気中への露出量が非常に多い状態で撮影が行われる。

第４ドラム１１には、第５ＣＣＤカメラ３５による撮影を補助するために、第５表側照明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂが備えられている。第５裏側照明４５ｂは、第４ドラム１１の裏側から平面的に見て、第５ＣＣＤカメラ３５の撮影対象であるソフトカプセル５０より第５ＣＣＤカメラ３５寄りに配置されている。一方、第５表側照明４５ａは、ソフトカプセル５０に対して第５裏側照明４５ｂの線対称となる位置に配置されている。

第５裏側照明４５ｂは、第５ＣＣＤカメラ３５から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の手前側から、ソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を反射しやすい（又は光を透過しにくい）性質を有する場合には、第５裏側照明４５ｂによって光を照射することによって、第５ＣＣＤカメラ３５は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの反射光として得ることができる。

一方、第５表側照明４５ａは、第５ＣＣＤカメラ３５から見て、撮影対象であるソフトカプセル５０の向こう側（即ち、手前側の反対側）からソフトカプセル５０に対して光を照射する。例えば、ソフトカプセル５０の表面が光を透過しやすい性質を有する場合には、第５表側照明４５ａによって光を照射することによって、第５ＣＣＤカメラ３５は撮影に必要な光を、ソフトカプセル５０からの透過光として得ることができる。

このように被検査体であるソフトカプセル５０の構成材料の反射率及び透過率によって、ソフトカプセル５０の照射される光を、第５表側照明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂを適宜切り替えることによって制御することによって、第５ＣＣＤカメラ３５はソフトカプセル５０の状態を良好に撮影することができる。このような撮影によって取得された画像データに基づいて、例えばＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により解析を行うことで、ソフトカプセル５０の外観における不具合の有無をより高精度で検査することが可能となる。尚、このような第５表側照明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂの切り替え制御もまた、ＰＣ等の付属のコントローラ（図不示）により実行するとよい。

本実施形態では特に、上述のように撮影が行われる際に、被検査体５０の表面が大気中に多く露出しているため、このような照明によって光が照射された場合であっても、撮影対象となる被検査体５０の表面に影ができにくい。また、被検査体５０の位置を制御するための溝部やスリット等の障害物もない。その結果、被検査体５０の表面を照明によって照射しながら、精度よく撮影することが可能である。

尚、第５表側照明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂのどちらか一方が、周辺に配置されたその他の構成要素との配置関係によって、上述の位置に設置することが困難な場合には、当該一方の照明に変えてミラーを配置し、他方の照明の光を反射することで被検査体に光を照射してもよい。

一方、第６ＣＣＤカメラ３６による撮影を補助するために、第４ドラム１１には第６表側照明４６ａ及び第６裏側照明４６ｂが備えられている。第６表側照明４６ａは、第４ドラム１１の表側から平面的に見て、第６ＣＣＤカメラ３６の撮影対象であるソフトカプセル５０より第６ＣＣＤカメラ３６寄りに配置されている。一方、第６裏側照明４６ｂは、第４ドラム１１の表側から平面的に見て、ソフトカプセル５０に対して第６表側照明４６ａの線対称となる位置に配置されている。第６ＣＣＤカメラ３６、第６表側照明４６ａ及び第６裏側照明４６ｂの詳細については、上述の第５ＣＣＤカメラ３５、第５表側照
明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂと同様であるので、ここでは説明を省略する。

尚、第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６は、Ｘ―Ｚ平面において見た場合に、ソフトカプセル５０を挟んで互いに対向するように配置し、第５表側照明４５ａ及び第５裏側照明４５ｂ、並びに第６表側照明４６ａ及び第６裏側照明４６ｂを共用してもよい。

第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６による撮影が完了したソフトカプセル５０は、第４ドラム１１によって搬送され、噴射装置１６に最も接近した際に、噴射装置１６から噴射される空気圧によって、第４ドラム１１の備える吸着部２４に保持されていたソフトカプセル５０が放出される。このとき、噴射装置１６から空気が噴射されると同時に吸着部２４の吸着力を減少又は解除したり、逆に加圧することによって、より確実にソフトカプセル５０を第４ドラム１１から解放してもよい。

第４ドラム１１から解放されたソフトカプセル５０は、ベルトコンベアー１５上に落下し、ベルトコンベアーによって格納庫（図不示）に格納される。このようにして、本実施形態にかかる外見検査装置１００によって実行される検査が終了する。

ここで、図８を参照して、上述の各種ＣＣＤカメラによって撮影される方向について、詳細に説明する。図８は、被検査体であるソフトカプセル５０を基準とした上述の各種ＣＣＤカメラの相対的配置を示す模式図である。

ここで、検査が行われたソフトカプセル５０について、不具合の有無によって第４ドラム１１からソフトカプセル５０が解放される位置を変え、夫々異なる格納庫に不具合の有無によって分別しながらソフトカプセル５０を格納してもよい。つまり、判定結果によってソフトカプセル５０を自動的に分別できるように、ソフトカプセル５０の第４ドラム１１上における解放位置を変化させてもよい。更には、不具合の有無の他、被検査体中に複数の種類のソフトカプセル５０が含まれている場合にはその種類毎、又は複数の異なる種類の不具合の検査を行った場合には、その検査結果の内容によって、夫々異なる格納庫に検査結果に応じて格納されるように構成してもよい。その結果、検査結果に応じた分別を自動的な処理にて迅速に行うことができるので、検査効率をより一層高めることが可能となる。

上述した各種ＣＣＤカメラによって撮影される方向をまとめて述べると以下の通りである。第１ＣＣＤカメラ３１及び第２ＣＣＤカメラ３２は、第２ドラム３の半径方向に沿って実質的に相対向するように配置されており、当該方向からソフトカプセル５０の裏表を夫々撮影する。第３ＣＣＤカメラ３３及び第４ＣＣＤカメラ３４は、Ｚ軸に沿って実質的に相対向するように配置されており、当該方向からソフトカプセル５０の裏表を夫々撮影する。また、第５ＣＣＤカメラ３５及び第６ＣＣＤカメラ３６は、Ｙ軸に沿って実質的に相対向するように配置されており、当該方向からソフトカプセル５０の裏表を夫々撮影する。

以上説明したように、本実施形態に係る概観検査装置１００では、６つのＣＣＤカメラによって６方向からソフトカプセル５０を撮影することができる。ここで、第２ドラム７の半径方向、Ｙ軸及びＺ軸は、ソフトカプセル５０から見た場合に、相対的に互いに９０度で交差していることと、実質的に等価であるとみなすことができる。従って、上述の６つのＣＣＤカメラによってソフトカプセル５０の表面全体を満遍なく撮影することが可能である。また、各ＣＣＤカメラにはソフトカプセル５０の光透過性の程度によって切り替え可能な照明が二つずつ備えられているため、透明及び不透明な被検査体の双方につ
いて高品位な検査を実施することができる。更には、各ドラム上において、ソフトカプセル５０は吸着部以外の面が大気中に広く露出しているので、周辺に配置された他の構成要素等が障害となってソフトカプセル５０の表面を部分的に隠したり、影となって写りこむこともない。その結果、このように６つのＣＣＤカメラによって撮影された画像を夫々解析することにより、ソフトカプセル５０の表面全体における不具合の有無について、非常に高精度な検査を行うことができる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う検査装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

３ 第１ドラム、 ７ 第２ドラム、 ９ 第３ドラム、 １１ 第４ドラム、 ５ 補助ドラムシステム、 １６ 噴射装置、 ２１・２２・２３・２４ 吸着部、 ３１・３２・３３・３４・３５・３６ ＣＣＤカメラ、 ４１・４２・４３・４４・４５・４６
照明、 ５０ ソフトカプセル、 ６０ 柔軟部材、 １００ 外観検査装置

Claims (19)

1. 第１の表面に設けられた第１の吸着部によって微小物体を吸着しつつ、前記第１の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第１のドラムと、
   前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の吸着部に吸着された微小物体及び前記第１の表面の中央部を通る第１の基準線上のうち、前記第１の吸着部に吸着された微小物体及び前記第１の表面の中央部間の一の領域に配置され、前記第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第１の撮影手段と、
   前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の基準線上のうち前記一の領域を除く他の領域に配置され、前記第１の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第２の撮影手段と、
   （ｉ）前記第１の表面に平行な第２の表面及び（ｉｉ）第２の側面を有し、当該第２の側面に設けられた第２の吸着部によって前記第１のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、前記第２の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第２のドラムと、
   前記第２のドラムの表側及び裏側の一方から、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第３の撮影手段と、
   前記第２のドラムの表側及び裏側の他方から、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第４の撮影手段と、
   （ｉ）前記第２の表面に平行な面に交差する第３の表面及び（ｉｉ）第３の側面を有し、当該第３の側面に設けられた第３の吸着部によって前記第２のドラムによって搬送された微小物体を吸着しつつ、前記第３の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第３のドラムと、
   前記第３のドラムの表側及び裏側の一方から、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第５の撮影手段と、
   前記第３のドラムの表側及び裏側の他方から、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を撮影する第６の撮影手段と、
   前記第１乃至第６の撮影手段によって撮影されることにより取得した画像情報に基づいて、前記微小物体の表面状態における不具合の有無を判定する判定手段と
   を備えることを特徴とする微小物体の外観検査装置。
2. 前記第３及び第４の撮影手段は、前記第２の吸着部に吸着された微小物体を通り、前記第２の表面部の法線方向に平行な第２の基準線上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の微小物体の外観検査装置。
3. 前記第５及び第６の撮影手段は、前記第３の吸着部に吸着された微小物体を通り、前記第３の表面部の法線方向に平行な第３の基準線上に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の微小物体の外観検査装置。
4. 前記第１の基準線、前記第２の基準線及び前記第３の基準線は、前記微小物体を基準として相対的に見た場合に、互いに直角に交わることを特徴とする請求項３に記載の微小物体の外観検査装置。
5. 前記第３の表面部は、前記第１の表面及び前記第２の表面に対して直角に交わることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
6. 前記第１乃至第６撮影手段の各々は、当該第１乃至第６の撮影手段の各々によって撮影される前記微小物体の手前側及び向こう側の少なくとも一方に、前記微小物体に光を照射するための照射手段を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
7. 前記第１のドラム及び前記第２のドラムは、前記第１のドラムによって搬送された微小物体が前記第２の吸着部に吸着される際に、前記第１の吸着部に吸着された微小物体が前記第２の側面に面するように配置されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
8. 前記第２のドラム及び前記第３のドラムは、前記第２のドラムによって搬送された微小物体が前記第３の吸着部に吸着される際に、前記第２の吸着部に吸着された微小物体が前記第３の側面に面するように配置されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
9. 第１及び第２の撮影手段、前記第３及び第４の撮影手段、並びに前記第５及び第６の撮影手段は、夫々、互いに対向するように配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
10. 前記第１の吸着部は、前記第１の表面の法線方向から見て、前記第１の表面の中央部から一定の距離に複数設けられていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
11. 前記第２の吸着部は、前記第２の側面のうち前記第２の表面に平行な一の平面と交差する線上に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
12. 前記第３の吸着部は、前記第３の側面部のうち前記第３の表面部に平行な一の平面と交差する線上に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
13. 前記第１の吸着部、第２の吸着部及び第３の吸着部は、前記微小物体に対して負圧を印加することにより、前記微小物体を吸着することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
14. 前記第１の吸着部は、前記第１のドラムによって搬送された微小物体が前記第２の吸着部に吸着される際に、当該微小物体に印加された負圧を軽減することを特徴とする請求項１３に記載の微小物体の外観検査装置。
15. 前記第２の吸着部は、前記第２のドラムによって搬送された微小物体が前記第３の吸着部に吸着される際に、当該微小物体に印加された負圧を軽減することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の微小物体の外観検査装置。
16. 前記第１の吸着部、第２の吸着部及び第３の吸着部は、吸着された前記微小物体との間に生じる隙間を埋めるための保持部材を備えることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。
17. 互いに平行な第４及び第５表面を夫々有すると共に、互いに逆方向に回転する円盤状の第４及び第５のドラムを更に備え、
    当該第４及び第５のドラムは、前記第４及び第５表面上で平面的に見て、第４のドラム及び第５のドラム間の隙間を前記微小物体が通過するように配置されていることを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項の微小物体の外観検査装置。
18. （ｉ）前記第１の表面に平行な第６の表面及び（ｉｉ）第６の側面を有し、当該第
    ６の側面に設けられた第６の吸着部によって微小物体を吸着しつつ、前記第６の表面に平行な面で回転することにより該微小物体を搬送可能な円盤状の第６のドラムを更に備え、
    前記第４及び第５のドラムは、前記第６の吸着部によって吸着された微小物体が第４及び第５のドラム間の隙間を通過するように配置されており、
    前記第１のドラムは、前記第１の吸着部が前記第６のドラムによって搬送された微小物体を吸着するように配置されていることを特徴とする請求項１７に記載の微小物体の外観検査装置。
19. 前記第１乃至第６の撮影手段は、前記微小物体を一つずつ撮影することを特徴とする請求項１から１８のいずれか一項に記載の微小物体の外観検査装置。

Images