JP5352209B2 - フラット・パネルx線イメージャのコスト軽減型ピクセル設計 - Google Patents
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- 238000013461 design Methods 0.000 title description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 148
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 128
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 128
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 32
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 238000013386 optimize process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- -1 dielectric Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000002594 fluoroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14658—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
- H01L27/14663—Indirect radiation imagers, e.g. using luminescent members
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14687—Wafer level processing
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14632—Wafer-level processed structures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
入射X線に応答して電気信号を発生するように構成されているフラット・パネル検出器を含んでおり、このフラット・パネル検出器は、
ピクセルのアレイであって、各々のピクセルがシリコンFET及びシリコン・ダイオードを含んでおり、各々のFETがゲート誘電層及びシリコン層を含んでいる、ピクセルのアレイを含んでおり、堆積時全厚分のFETゲート誘電層、及びFETシリコン層の少なくとも一部がフラット・パネル検出器の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存し、ダイオード・シリコン構造(feature)の端辺又は外周が直下のFETシリコン構造に自動整列される。
シリコン・ダイオードと、
ゲート誘電層及び
ゲート誘電層の上に堆積されたシリコン層
を含むシリコンFETと
を含んでおり、
堆積時全厚分のゲート誘電層、及びシリコン層の少なくとも一部がピクセル構造の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存し、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のFETシリコン構造に自動整列される。
ピクセルのアレイであって、各々のピクセルがシリコンFET及びシリコン・ダイオードを含んでおり、各々のFETがゲート誘電層及びシリコン層を含んでいる、ピクセルのアレイを形成するステップを含んでおり、堆積時全厚分のFETゲート誘電層、及びFETシリコン層の少なくとも一部が検出器の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存し、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のFETシリコン構造に自動整列される。
各々がゲート誘電層及びシリコン層を含んでいるシリコンFETと、シリコン・ダイオードとを形成するステップを含んでおり、堆積時全厚分のFETゲート誘電層、及びFETシリコン層の少なくとも一部がピクセル素子の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存し、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のFETシリコン構造に自動整列される。
ゲート誘電層を堆積するステップと、
ゲート誘電層の上にシリコン層を堆積するステップと、
シリコン層の上にモリブデン層を堆積するステップと、
モリブデン層の上に酸化シリコン層を堆積するステップと、
酸化シリコン層の上にダイオード・シリコン層を堆積するステップであって、全ての層が撮像検出器パネルにわたって一様に堆積される、堆積するステップと、
堆積された層の材料を残存させる箇所を決定するために、各々の層の堆積に続いて各々の層を選択的にパターニングして蝕刻(エッチング)するステップと
を含んでおり、堆積時全厚分のゲート誘電層、及びシリコン層の少なくとも一部がピクセル素子の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存するようにし、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のシリコン構造に自動整列される。
ゲート誘電層を堆積するステップと、
ゲート誘電層の上にシリコン層を堆積するステップと、
シリコン層の上にモリブデン層を堆積するステップと、
モリブデン層の上に酸化シリコン層を堆積するステップと、
酸化シリコン層の上にダイオード・シリコン層を堆積するステップであって、全ての層が撮像検出器パネルにわたって一様に堆積される、堆積するステップと、
ダイオード・シリコン層及びシリコン層を同時に蝕刻するステップと
を含んでおり、堆積時全厚分のゲート誘電層、及びシリコン層の少なくとも一部がピクセル素子の全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存するようにし、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のシリコン構造に自動整列される。
ゲート誘電層を堆積するステップと、
ゲート誘電層の上にシリコン層を堆積するステップと、
シリコン層の上にモリブデン層を堆積するステップと、
モリブデン層の上に酸化シリコン層を堆積するステップと、
酸化シリコン層の上にダイオード・シリコン層を堆積するステップであって、全ての層が検出器パネルにわたって一様に堆積される、堆積するステップと、
分離したピクセル構造を形成するためにダイオード・シリコン層及びシリコン層を同時に蝕刻するステップと
を含んでおり、堆積時全厚分のゲート誘電層、及びシリコン層の少なくとも一部が検出器パネルの全体にわたってダイオード・シリコンの直下に残存するようにし、ダイオード・シリコン構造の端辺又は外周が直下のシリコン構造に自動整列され、全ての層が検出器パネルにわたって一様に堆積される。
12 X線源
14 コリメータ
16 X線放射線流
18 目標物
20 減弱後の放射線
22 検出器
24 電源/制御サーキットリ
26 検出器取得サーキットリ
28 システム制御器
30 画像処理サーキットリ
32 操作者ワークステーション
34 出力装置
35 シンチレーション方式の検出器
36 ガラス基材
38 光センサ素子
40 感光性領域
42 薄膜トランジスタ
44 シンチレータ
48 データ線
50 走査線
54 導電層
56 誘電層
58 バイア
60 フラット・パネルX線検出器構造
61 ゲート誘電(SiN)層
62、64 フォトダイオードの島
63 FETシリコン層
65 モリブデン層
66、68 電界効果トランジスタの島
67 FET酸化シリコン層
69 FETSiOx硬質マスク層
70 ピクセル構造
74、79 FET区域
80 ピクセル構造
82 第一の部分
84 第二の部分
Claims (9)
- シリコン・ダイオード(62、64)と、
ゲート誘電層及び
該ゲート誘電層の上に堆積されたシリコン層
を含むシリコンFET(66、68)と
を備えたX線イメージャ用のピクセル構造(60)であって、
堆積時全厚分の前記ゲート誘電層、及び前記シリコン層の少なくとも一部が前記ピクセル構造(60)の全体にわたって前記ダイオード・シリコンの直下に残存し、前記ダイオード(62、64)・シリコン構造の端辺又は外周が前記直下のFET(66、68)シリコン構造に自動整列され、
前記シリコンFET(66、68)及び前記シリコン・ダイオード(62、64)は共に、
ゲート誘電層と、
該ゲート誘電層の上に堆積されたシリコン層と、
該シリコン層の第一の部分の上に堆積されたモリブデン層と、
該モリブデン層の上及び前記シリコン層の第二の部分の上に堆積された酸化シリコン層と、
該酸化シリコン層の上及び前記シリコン層の第三の部分の上に堆積されたダイオード・シリコン層と
を含んでいる、X線イメージャ用のピクセル構造(60)。 - 各々のシリコン・ダイオード(62、64)が、光フォトンに応答して電気信号を発生するように構成されている感光性フォトダイオードである、請求項1に記載のピクセル構造(60)。
- 各々のシリコンFET(66、68)が、前記フォトダイオード(62、64)により発生される前記電気信号に応答するスイッチとして構成されている薄膜トランジスタである、請求項1または2に記載のピクセル構造。
- 請求項1乃至3に記載のピクセル構造(60)を有し、入射放射線に基づいて電気信号を発生するフラット・パネルX線検出器。
- X線源(12)と、
該X線源(12)からのX線を受ける、請求項4記載のフラット・パネルX線検出器と、
前記X線源(12)へ電力信号及び制御信号を供給する電源/制御サーキットリ(24)と、
前記フラット・パネルX線検出器において発生される信号の取得を命令する検出器取得サーキットリ(26)と、
前記電源/制御サーキットリ(24)及び前記検出器取得サーキットリ(26)を制御するシステム制御器(28)と、
を含む、
X線イメージング・システム(10)。 - イメージング・システム用の検出器を製造する方法であって、
ピクセルのアレイ(60)であって、各々のピクセルがシリコンFET(66、68)及びシリコン・ダイオード(62、64)を含んでおり、各々のFET(66、68)がゲート誘電層及びシリコン層を含んでいる、ピクセルのアレイ(60)形成するステップを備え、堆積時全厚分の前記FETゲート誘電層、及び前記FETシリコン層の少なくとも一部が前記検出器(60)の全体にわたって前記ダイオード・シリコンの直下に残存し、前記ダイオード(62、64)・シリコン構造の端辺又は外周が前記直下のFET(66、68)シリコン構造に自動整列され、
シリコンFET(66、68)及びシリコン・ダイオード(62、64)を各々が含んでいるピクセルのアレイ(60)を形成する前記ステップは、
各々のピクセル毎にゲート誘電層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記ゲート誘電層の上にシリコン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記シリコン層の第一の部分の上にモリブデン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記モリブデン層の上及び前記シリコン層の第二の部分の上に酸化シリコン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記酸化シリコン層の上及び前記シリコン層の第三の部分の上にダイオード・シリコン層を堆積するステップと
を含んでいる、方法。 - ピクセルのアレイ(60)を形成する前記ステップは、シリコンFET素子(66、68)と、光フォトンに応答して電気信号を発生するように構成されている対応するシリコン・フォトダイオード素子(62、64)とのアレイを形成するステップを含んでいる、請求項6に記載の方法。
- ピクセルのアレイ(60)を形成する前記ステップは、対応するフォトダイオード(62、64)により発生される前記電気信号に応答するスイッチとして各々が構成されているシリコンFET薄膜トランジスタ(66、68)のアレイを形成するステップを含んでいる、請求項7に記載の方法。
- イメージング・システム用のピクセル素子(60)を製造する方法であって、
各々がゲート誘電層及びシリコン層を含んでいるシリコンFET(66、68)と、シリコン・ダイオード(62、64)とを形成するステップを備え、堆積時全厚分の前記FET(66、68)ゲート誘電層、及び前記FET(66、68)シリコン層の少なくとも一部が前記ピクセル素子(60)の全体にわたって前記ダイオード(62、64)・シリコンの直下に残存し、前記ダイオード(62、64)・シリコン構造の端辺又は外周が前記直下のFET(66、68)シリコン構造に自動整列され、
シリコンFET(66、68)及びシリコン・ダイオード(62、64)を各々が含んでいる前記ピクセル素子(60)のアレイは、
各々のピクセル毎にゲート誘電層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記ゲート誘電層の上にシリコン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記シリコン層の第一の部分の上にモリブデン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記モリブデン層の上及び前記シリコン層の第二の部分の上に酸化シリコン層を堆積するステップと、
各々のピクセル毎に前記酸化シリコン層の上及び前記シリコン層の第三の部分の上にダイオード・シリコン層を堆積するステップと
により形成される、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/999,909 US7897929B2 (en) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | Reduced cost pixel design for flat panel x-ray imager |
US11/999,909 | 2007-12-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009141361A JP2009141361A (ja) | 2009-06-25 |
JP5352209B2 true JP5352209B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=40720649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008309230A Active JP5352209B2 (ja) | 2007-12-06 | 2008-12-04 | フラット・パネルx線イメージャのコスト軽減型ピクセル設計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7897929B2 (ja) |
JP (1) | JP5352209B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9935152B2 (en) | 2012-12-27 | 2018-04-03 | General Electric Company | X-ray detector having improved noise performance |
US9917133B2 (en) | 2013-12-12 | 2018-03-13 | General Electric Company | Optoelectronic device with flexible substrate |
WO2015138329A1 (en) | 2014-03-13 | 2015-09-17 | General Electric Company | Curved digital x-ray detector for weld inspection |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4597001A (en) * | 1984-10-05 | 1986-06-24 | General Electric Company | Thin film field-effect transistors with tolerance to electrode misalignment |
JPS6412577A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Canon Kk | Thin film transistor |
KR970008455B1 (en) | 1988-03-18 | 1997-05-24 | Seiko Epson Corp | Thin film transistor |
JPH04162671A (ja) * | 1990-10-26 | 1992-06-08 | Fuji Xerox Co Ltd | イメージセンサ及びその製造方法 |
US5610404A (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-11 | General Electric Company | Flat panel imaging device with ground plane electrode |
US6724010B1 (en) * | 2000-08-03 | 2004-04-20 | General Electric Company | Solid state imager having gated photodiodes and method for making same |
US20060131669A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Douglas Albagli | Thin film transistor for imaging system |
US7759680B2 (en) * | 2005-11-30 | 2010-07-20 | General Electric Company | Thin-film transistor and diode array for an imager panel or the like |
JP2007258332A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、撮像装置、撮像装置の製造方法及び放射線撮像装置 |
-
2007
- 2007-12-06 US US11/999,909 patent/US7897929B2/en active Active
-
2008
- 2008-12-04 JP JP2008309230A patent/JP5352209B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7897929B2 (en) | 2011-03-01 |
JP2009141361A (ja) | 2009-06-25 |
US20090146069A1 (en) | 2009-06-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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