JP5350418B2 - 共振振動子、共振振動子の製造方法およびこの共振振動子を有する超音波処置具 - Google Patents
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- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 82
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 30
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 7
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 5
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000002674 endoscopic surgery Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 3
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910000883 Ti6Al4V Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000003811 finger Anatomy 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000029052 metamorphosis Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000877463 Lanio Species 0.000 description 1
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000023597 hemostasis Effects 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000004400 mucous membrane Anatomy 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000001356 surgical procedure Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 210000003813 thumb Anatomy 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- A61B17/32—Surgical cutting instruments
- A61B17/320016—Endoscopic cutting instruments, e.g. arthroscopes, resectoscopes
- A61B17/320036—Endoscopic cutting instruments, e.g. arthroscopes, resectoscopes adapted for use within the carpal tunnel
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
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- A61B17/22012—Implements for squeezing-off ulcers or the like on the inside of inner organs of the body; Implements for scraping-out cavities of body organs, e.g. bones; Calculus removers; Calculus smashing apparatus; Apparatus for removing obstructions in blood vessels, not otherwise provided for using mechanical vibrations, e.g. ultrasonic shock waves in direct contact with, or very close to, the obstruction or concrement
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
- H10N30/706—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings characterised by the underlying bases, e.g. substrates
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Description
また、振動板を振動方向に対して垂直方向の側面のみで支持しているので、振動板の振動を容易に行なうことができる。
図1(a)は、本発明に用いられる第1実施形態の共振振動子の構造を模式的に示す平面図であり、図1(b)は、第2実施形態の共振振動子の構造を模式的に示す平面図である。第2実施形態に示す共振振動子は、駆動部での振動速度を拡大する振動増幅部を備えている点で第1実施形態と異なっている。以下は、主に、第1実施形態の共振振動子を用いて説明するが、第2実施形態にかかる共振振動子は、振動増幅部を備えている点で第1実施形態と異なっているが、それ以外の構成は第1実施形態と同じである。
次に、本発明の共振振動子50に用いられる圧電素子54について説明する。圧電素子54は、図2に示すように、基板52上に、下部電極64、圧電体膜66、上部電極68が順次積層された素子であり、圧電体膜66に対して、下部電極64と上部電極68とにより厚み方向に電界が印加されるようになっている。電界が印加されると、圧電素子54の電界方向と垂直方向(d31方向)に伸縮するため、基板52の長手方向、すなわち、圧電素子54が形成されている面に対して水平方向に伸縮振動する。
(式中、A:Aサイト元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素、
B:Bサイトの元素であり、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe、Ni、及びランタニド元素からなる群より選ばれた少なくとも1種の元素、
O:酸素原子。
a=1.0かつb=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
下記に示す気相成長法により圧電体膜を成膜することで、1.0≦aであるPb抜けのない組成の圧電体膜を成膜することができ、1.0<aであるPbリッチな組成の圧電体膜を提供することもできる。aの上限は特に制限がなく、1.0≦a≦1.3であれば、圧電性能が良好な圧電体膜を得ることができる。
次に圧電体膜の製膜方法について説明する。本発明の圧電体膜は、プラズマを用いる気相成長法により膜を製膜することができ、成膜温度Ts(℃)と、成膜時のプラズマ中のプラズマ電位Vs(V)とフローティング電位Vf(V)との差であるVs−Vf(V)と、成膜される膜の特性との関係に基づいて製膜条件を決定することができる。
セラミックスでは、一般に圧縮強度より引張強度の方が小さく、例えばPZTの場合、引張強度の方が一桁ほど小さい(富士セラミックス、圧電セラミックステクニカルハンドブック表7.9.2参照)。そのため、共振振動子の速度の最大値Vmは引張強度Tmに依存し、以下の式で求めることができる。
次に、本発明の共振振動子を用いた超音波処置具の一例について説明する。図4は、超音波処置具の一例として、超音波ナイフを備える超音波処置具の全体構成図である。超音波処置具10は、ESD処置において、針状ナイフや周辺切開および粘膜剥離用ナイフ(以下、「切開剥離ナイフ」ともいう)などの超音波ナイフ(メス)として機能するナイフ部12と、ナイフ部12を超音波ナイフとして機能させるように術者によって操作される操作部本体14とを有し、超音波処置具10は、ナイフ部12に高周波電圧を供給する高周波発生装置16から構成される。
引張強度が800MPaであるTi合金、Ti−6Al−4V基板を用いて図1(a)に示すような矩形形状の共振振動子を作製した。振動部は固定部を介して支持部に固定されている。基板の厚みは0.3mmであった。
ターゲット:Pb1.3((Zr0.52Ti0.48)0.88Nb0.12)O3焼結体(Bサイト中のNb量:12モル%)、
基板温度:450℃、
基板―ターゲット間距離:60mm、
成膜圧力:0.29Pa、
成膜ガス:Ar/O2=97.5/2.5(モル比)。
Claims (7)
- 振動板と、前記振動板上に積層された圧電体膜および上部電極からなる圧電素子と、を有し、
前記圧電体膜は、前記圧電体膜の振動方向に圧縮応力が付与されており、
前記振動板は、振動方向に対して垂直方向で、前記振動板と前記圧電素子の積層方向に平行な側面のみで支持されていることを特徴とする共振振動子。 - 前記振動板は、前記圧電素子が形成されている面に対して水平方向に伸縮振動することを特徴とする請求項1に記載の共振振動子。
- 前記圧電体膜の膜厚が1μm以上5μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の共振振動子。
- 前記圧電体膜の内部応力が100MPa以上の圧縮応力であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の共振振動子。
- 前記圧電体膜の内部応力が300MPa以上の圧縮応力であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の共振振動子。
- 前記振動板の熱膨張係数が、前記圧電体膜の熱膨張係数より大きいことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の共振振動子。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の共振振動子を備えることを特徴とする超音波処置具。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011042511A JP5350418B2 (ja) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | 共振振動子、共振振動子の製造方法およびこの共振振動子を有する超音波処置具 |
US13/366,130 US9024512B2 (en) | 2011-02-28 | 2012-02-03 | Resonant transducer, method of producing the resonant transducer, and ultrasonic treatment tool including the resonant transducer |
CN201210048313.5A CN102648862B (zh) | 2011-02-28 | 2012-02-28 | 共振换能器及其制造方法、具共振换能器的超声处置工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011042511A JP5350418B2 (ja) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | 共振振動子、共振振動子の製造方法およびこの共振振動子を有する超音波処置具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012179102A JP2012179102A (ja) | 2012-09-20 |
JP5350418B2 true JP5350418B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=46691103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011042511A Active JP5350418B2 (ja) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | 共振振動子、共振振動子の製造方法およびこの共振振動子を有する超音波処置具 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9024512B2 (ja) |
JP (1) | JP5350418B2 (ja) |
CN (1) | CN102648862B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017017916A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
US20170092838A1 (en) * | 2015-09-29 | 2017-03-30 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric driving apparatus, method of manufacturing the same, motor, robot, and pump |
WO2017150444A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 富士フイルム株式会社 | 超音波切断素子および超音波処置具 |
WO2017150455A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 富士フイルム株式会社 | 超音波切断素子および超音波処置具 |
CN116723806A (zh) * | 2021-01-25 | 2023-09-08 | 奥林巴斯医疗株式会社 | 内窥镜用处置器具 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4245790B2 (ja) | 2000-08-29 | 2009-04-02 | オリンパス株式会社 | 超音波処置具 |
US20040175585A1 (en) * | 2003-03-05 | 2004-09-09 | Qin Zou | Barium strontium titanate containing multilayer structures on metal foils |
JP4127810B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2008-07-30 | オリンパス株式会社 | 超音波振動子およびその製造方法 |
JP5089860B2 (ja) * | 2004-12-03 | 2012-12-05 | 富士フイルム株式会社 | 圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド |
JP4657082B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2011-03-23 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波治療装置 |
JP5391395B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2014-01-15 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜付き基板及び圧電素子 |
CN102077376B (zh) | 2008-06-27 | 2015-04-22 | 松下电器产业株式会社 | 压电体元件和其制造方法 |
US8689426B2 (en) * | 2008-12-17 | 2014-04-08 | Sand 9, Inc. | Method of manufacturing a resonating structure |
US8174170B1 (en) * | 2009-05-13 | 2012-05-08 | Sand 9, Inc. | Methods and apparatus for mechanical resonating structures |
JP5471612B2 (ja) * | 2009-06-22 | 2014-04-16 | 日立金属株式会社 | 圧電性薄膜素子の製造方法及び圧電薄膜デバイスの製造方法 |
WO2012066983A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-24 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子、超音波処置具、超音波処置装置、及び、超音波振動子の組立方法 |
JP5301585B2 (ja) * | 2011-02-23 | 2013-09-25 | 富士フイルム株式会社 | 超音波処置具 |
US8633635B1 (en) * | 2011-06-30 | 2014-01-21 | Integrated Device Technology Inc. | Microelectromechanical resonators with thermally-actuated frequency tuning beams |
-
2011
- 2011-02-28 JP JP2011042511A patent/JP5350418B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-03 US US13/366,130 patent/US9024512B2/en active Active
- 2012-02-28 CN CN201210048313.5A patent/CN102648862B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102648862A (zh) | 2012-08-29 |
US9024512B2 (en) | 2015-05-05 |
US20120221029A1 (en) | 2012-08-30 |
CN102648862B (zh) | 2016-01-13 |
JP2012179102A (ja) | 2012-09-20 |
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