JP5348317B2 - 光変調装置、光変調装置の駆動方法、及び光変調装置の製造方法 - Google Patents
光変調装置、光変調装置の駆動方法、及び光変調装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5348317B2 JP5348317B2 JP2012511456A JP2012511456A JP5348317B2 JP 5348317 B2 JP5348317 B2 JP 5348317B2 JP 2012511456 A JP2012511456 A JP 2012511456A JP 2012511456 A JP2012511456 A JP 2012511456A JP 5348317 B2 JP5348317 B2 JP 5348317B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bias
- electrode
- optical waveguide
- light
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0121—Operation of devices; Circuit arrangements, not otherwise provided for in this subclass
- G02F1/0123—Circuits for the control or stabilisation of the bias voltage, e.g. automatic bias control [ABC] feedback loops
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2257—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure the optical waveguides being made of semiconducting material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/25—Frequency chirping of an optical modulator; Arrangements or methods for the pre-set or tuning thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
この半導体MZ型変調器は、半導体導波路で形成される第1の光カプラ101、アーム102a,102b、第2の光カプラ104及び変調電極103a,103bを備えて構成される。
第1の光カプラ101は、入力ポート101aを有しており、入射光を2つに分岐する入力カプラである。アーム102a,102bは、2本の分岐された光が伝播する導波路である。変調電極103a,103bは、アーム102a,102bの導波路上に形成されており、アーム102a,102bにそれぞれ変調信号を印加するための電極である。第2の光カプラ104は、出力ポート104aを有しており、アーム102a,102bを伝播した光を合波(結合)する出力カプラである。
以上のように、MZ型光変調装置では、良好な変調特性を得るためには、アーム102a,102b間における位相差の制御及びアーム間の位相変化の振幅の比率の制御の双方を適切に行うことが要求される。
上記のような光送受信機モジュールの小型化には、変調器自身が小さいことが先ず必要である。また、変調器の小型化だけではなく、変調器を含む変調器モジュールの小型化、簡素化が重要となる。この場合、前述した位相の制御方法のうち、変調電極とは別に位相制御用の電極を用いる方法では、変調器モジュールにおける接続用の電極ピンの数が増えることになり、小型化には不向きである。また、位相制御用の電極の付加に伴って変調器の制御パラメータが1つ増えることになるため、制御回路の構成が複雑になるという問題もある。
半導体MZ型光変調器では、一般的に、光導波路に逆電圧の変調信号を印加して屈折率を変化させて変調動作を実現する。ここで逆電圧の変調信号の印加とは、半導体MZ型光変調器のp側電極に負のバイアスを、n側電極に正のバイアスをそれぞれ印加することを意味する。以降、光導波路に逆電圧を印加することを、単に電圧を印加すると記載する。
変調器において、DCバイアスにより位相差を調整する場合には、光導波路である2本のアームの変調電極に印加するDCバイアスをずらして調整するが、DCバイアスをずらすと上記のような理由で2本のアームの間で位相変化の効率の関係が変化する。
その結果、図20Bに示すように、アーム102a,102b間における位相変化の効率の関係は、変調器ごとで異なるものとなる。図20Bにおいて、位相変化の効率とは、図20Aにおける位相のDCバイアスに対する変化率(微分値)である。
従って現状では、半導体MZ光変調器において、小型で簡素な素子構造で、且つ複雑な制御回路を用いずに、位相制御及び波長チャープの双方を適切に調節することは困難である。
光変調装置の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置であって、前記半導体マッハ・ツェンダ変調器は、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極とを含み、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つように、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスが印加される。
光変調装置の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置であって、前記半導体マッハ・ツェンダ変調器は、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と、前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極とを含み、前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続されており、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスが印加される。
光変調装置の駆動方法の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の駆動方法であって、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極とを含む光変調装置について、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つように、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを印加する。
光変調装置の駆動方法の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の駆動方法であって、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と、前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極とを含み、前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続された光変調装置について、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを印加する。
光変調装置の製造方法の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の製造方法であって、前記半導体マッハ・ツェンダ変調器を作製する際に、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路を形成する工程と、前記第1の光導波路上に、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加するための第1の電極と、前記第2の光導波路上に、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加するための第2の電極とを形成する工程とを含み、更に、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つ、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程を含む。
光変調装置の製造方法の一態様は、入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の製造方法であって、前記半導体マッハ・ツェンダ変調器を作製する際に、分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路を形成する工程と、前記第1の光導波路上に、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加するための第1の電極と、前記第2の光導波路上に、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加するための第2の電極と、前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極とを形成する工程とを含み、更に、前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続されており、前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つ、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程を含む。
図1は、本実施形態における光変調装置に用いる半導体マッハ・ツェンダ変調器を示す概略平面図である。
この半導体MZ型変調器10は、第1の光カプラ1、アーム2a,2b、第2の光カプラ4を構成する半導体光導波路と、変調電極3a,3bとを備えて構成される。
第1の光カプラ1は、入力ポート1aを有しており、入射光を2つに分岐する入力カプラである。アーム2a,2bは、2本の分岐された光が伝播する導波路である。変調電極3a,3bは、アーム2a,2bにそれぞれ変調信号を印加するための電極である。変調電極3aと変調電極3bとでは、後述するように、相異なる長さに形成されている。第2の光カプラ4は、出力ポート4aを有しており、アーム2a,2bを伝播した光を合波(結合)する出力カプラである。
アーム2a,2bには、変調電極3aの長さと第1のDCバイアスとの積と、変調電極3bの長さと第2のDCバイアスとの積との比率が一定値に保たれるように、第1のDCバイアス及び第2のDCバイアスが印加される。ここで、DCバイアスとは、変調信号のオン/オフの中間点における直流バイアス値、即ちセンターバイアスのことを言う。
η=αVDCL α:比例係数 ・・・(1)
η1=αL1VDC1 ・・・(2)
η2=αL2VDC2 ・・・(3)
η1:η2=AL1:BL2 ・・・(4)
変調電極3a,3bの長さは、変調器素子10の作製時に決定するため、L1,L2は固定の値である。従って、2つのアーム間のDCバイアスの比率を固定した場合には、η1とη2との比率、即ち、長さL1と第1のDCバイアスVDC1との積と、長さL2と第2のDCバイアスVDC2との積との比率は一定値に固定される。
即ち、図2Aでは、VDC1:VDC2=1:1の関係を保持してDCバイアスをVDC1(=VDC2)からVDC1’(=VDC2)に増加させた場合、アーム2a,2b間の位相差は、ΔφからΔφ’に増加する。
図3Aでは、VDC1:VDC2=L2:L1の関係を保持してDCバイアスVDC1をVDC1’に、DCバイアスVDC2をVDC2’に増加させた場合、アーム2a,2b間の位相差は、ΔφからΔφ’に増加する。
変調器素子10において、VDC1:VDC2=1:1とした場合について考える。このとき、アーム2a,2bで発生する位相変化の効率の比率η1:η2は、式(4)から変調電極3a,3bの長さの比率L1:L2で固定される。即ち、図2Bに示すように、VDC1:VDC2=1:1の関係を保持してDCバイアスをVDC1(=VDC2)からVDC1’(=VDC2)に増加させた場合でも、位相変化の効率の比率は、η1:η2=η1’:η2’=L1:L2と不変である。
従って、先ず、変調電極3a,3bを、その長さL1,L2が最適なチャープ特性を得るのに適した位相変化量(位相変化の効率)の比率となるように形成する。この条件で、変調電極3a,3bによりアーム2a,2bに同じ振幅の第1の変調信号及び第2の変調信号を印加することにより、適切なチャープ特性を得ることができる。特に、比率L1:L2を1:4〜1:5程度となるように変調電極3a,3bを形成すれば、LN−MZ型光変調装置における負チャープ動作のチャープ特性と同等のチャープ特性(αパラメータ=−0.7)を得ることができる。
この条件で、変調電極3a,3bに同じ振幅の変調電極3a,3bによりアーム2a,2bに同じ振幅の第1及び第2の変調信号を印加する。これにより、波長チャープが殆ど発生しないチャープ特性(αパラメータ≒0)のゼロチャープ動作を実現することができる。
変調電極3a,3bに印加する第1及び第2の変調信号の振幅を同じ値にして、最適なチャープ特性を得ることができるため、簡素な駆動回路を用いることが可能となる。
以下、具体的な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図4A及び図4Bは、第1の実施形態における光変調装置に用いる半導体マッハ・ツェンダ変調器を示す概略図であり、図4Aが平面図、図4Bが図4Aにおける破線I−Iに沿った断面図である。
図5は、図4の半導体マッハ・ツェンダ変調器を搭載した変調器モジュールを示す概略平面図である。
図6は、図5の変調器モジュールを搭載した光変調装置を示す概略平面図である。
先ず、図4Bに示されるような12A〜12Fの半導体の各層を、例えば一般的なMOCVD法を用いてn−InP基板21上に堆積させる。その後、レジストを用いた一般的なリソグラフィー技術及びドライエッチングにより、第1の光カプラ11、アーム12a,12b、及び第2の光カプラ14および入力ポート11a、出力ポート14aを形成する部位のみを覆うSiO2等のマスクを形成する。このマスクを用いて各層12A〜12Fをドライエッチングする。これにより、メサ構造のアーム12a,12b等が形成される。
しかる後、例えばTi/Pt/Auの蒸着及び金メッキを行い、開口内でアーム12a,12bと接続される変調電極13a,13bを形成する。
アーム12a,12bには、変調電極13aの長さと第1のDCバイアスとの積と、変調電極13bの長さと第2のDCバイアスとの積との比率が一定値に保たれた状態で、第1のDCバイアス及び第2のDCバイアスが印加される。
η1:η2=L1VDC1:L2VDC2=L1:L2=1.5:0.3=5:1
上述のように(図2A、図2Bで示したように)、変調電極13a,13bのDCバイアスを一致させたままアーム12a,12b共にDCバイアスを増減させることにより、アーム12a,12b間の位相差を変化させて調整することができる。
半導体マッハ・ツェンダ変調器20は、キャリア31上にボンディングされる。半導体マッハ・ツェンダ変調器20を搭載したキャリア31は、温度調整用の素子、例えばペルチェ素子32上に配置される。キャリア31を搭載したペルチェ素子32は、モジュールパッケージ33の中に実装され、光変調器モジュール30が構成される。
電極ピン36a,36bには、DC電源41a及び高周波信号源42が接続される。電極ピン37a,37bには、DC電源41b及び高周波信号源42が接続される。電極ピン36c,36d,37c,37dには、温度コントローラ43が接続される。そして、後述する駆動条件テーブル45の各条件に従って、DC電源41a,41b、高周波信号源42及び温度コントローラ43を制御する制御回路44が設けられて、MZ型光変調装置40が構成される。駆動条件テーブル45は、MZ型光変調装置の製造段階で作成されて所定のメモリ等に格納される。
DC電源41bは、制御回路44の制御により、駆動条件テーブル45に記載された第2のDCバイアスVDC2を電極ピン37a,37b間に印加する。高周波信号源42は、制御回路44の制御により、駆動条件テーブル45に記載された振幅Vppの高周波信号である第2の変調信号を電極ピン37a,37b間に印加する。
DC電源41a,41b及び高周波信号源42により、変調電極13aには第1のDCバイアスVDC1及び第1の変調信号が、変調電極13bには第2のDCバイアスVDC2及び第2の変調信号がそれぞれ印加される。第1の変調信号及び第2の変調信号は、同振幅で電圧の変化が互いに逆となる変調信号である。
次に、駆動条件テーブル45を作成するための半導体マッハ・ツェンダ変調器の特性評価を行い、駆動条件テーブル45を作成する(ステップS2)。
駆動条件テーブル45には、変調器素子20の駆動温度T、第1のDCバイアスVDC1、第2のDCバイアスVDC2(本実施形態ではVDC1=VDC2)、高周波信号の振幅Vppが記載される。VDC1,VDC2,Vppは、半導体マッハ・ツェンダ変調器20を駆動温度Tに調節した状態において良好な変調動作を行うことができる値である。
図6のように、半導体マッハ・ツェンダ変調器20をキャリア31上にボンディングし、キャリア31をペルチェ素子32上に配置し、ペルチェ素子32をモジュールパッケージ33の中に実装する。
なお、駆動条件テーブル45を作成するステップS2は、このステップS3で光変調器モジュール30を作製した後に、実行しても良い。
図7のように、光変調器モジュール30に、DC電源41a,41b、高周波信号源42、温度コントローラ43をそれぞれ接続し、制御回路44を接続する。制御回路44には、駆動条件テーブル45が格納されたメモリが接続される。
本実施形態のように、アーム12a,12bの変調電極13a,13bに、互いに電圧の変化が逆になるような第1及び第2の変調信号を印加する場合について考える。このとき、消光比が高く取れる良好な変調動作を行うためには、アーム1と2の間の位相差を適切に調整する必要がある。即ち、変調電極13aに印加する第1の変調信号がオンレベル(高い方の電圧レベル)であり、且つ変調電極13bに印加する第2の変調信号がオフレベル(低い方の電圧レベル)にある場合に、光の信号レベルがオンレベルになるようにする。逆に、第1の変調信号がオフレベルで第2の変調信号がオンレベルの場合に、光の信号レベルがオフレベルになるようにする。
しかしながら実際には、作製誤差等により、位相差は正確に0ではなく、有限の値Δθを持つことになる。このΔθは作製誤差等により生じるものであるため、同じ仕様の半導体マッハ・ツェンダ変調器20を作製したとしても、半導体マッハ・ツェンダ変調器20の各々で異なる値を持つ。従って、DCバイアス(センターバイアス)を用いてアーム12a,12b間の位相差を(2N+0.5)πとするためには、この作製誤差による初期的なアーム12a,12b間の位相差を考慮に入れることを要する。即ち、DCバイアスを印加することにより発生するアーム12a,12b間の位相差の量を、(2N+0.5)π−Δθとする必要がある。
本実施形態では、DCバイアスをアーム12a,12bで一致させた状態でDCバイアスを増減させるが、変調電極13a,13bの長さが異なるため、同じ電圧を印加しても、アーム12a,12bで発生する位相変化量は異なる。その結果として、アーム12a,12bの位相差もセンターバイアスの値を増減させることにより変化する。両アームのDCバイアスを大きくしてゆくほど、アーム12a,12b間の位相差が大きくなってゆく。そのため、位相差が例えば0.5π−ΔθとなるVまで、変調電極13a,13bにDCバイアスを印加すれば、アーム12a,12b間の位相差を適切に合わせることが可能となる。また、例えば別の変調器素子20において初期位相差がΔθ’であれば、位相差が0.5π-Δθ’の値となるようにアーム12a,12bのDCバイアスを図9のV’に設定すれば良い。
変調電極13a,13bに印加する第1のDCバイアス及び第2のDCバイアスを一致させた状態で、第1のDCバイアス(又は第2のDCバイアス)を0Vから数Vまで変化(スイープ)させる。このとき、出力ポート(この場合は、出力ポート14a)から出力される光の強度を観測すると、例えば図10のようないわゆる消光カーブが得られる。この消光カーブは、アーム間の位相差により干渉の状態が変わって出力光強度が変化する様子を表しており、アーム12a,12b間の位相差が、極大の部分で2Nπ、極小の部分で(2N+1)πとなっている。アーム12a,12b間の位相差が、(2N+0.5)πとなるのは、極大と極小の中点となるセンターバイアスVcbを印加した場合である。従って、このセンターバイアスVcbに、アーム12aに印加する第1のDCバイアスを合わせることにより、上述した位相調整がなされることになる。本実施形態では、アーム12aに印加する第1のDCバイアスとアーム12bに印加する第2のDCバイアスとは同値であるため、アーム12bに印加する第2のDCバイアスもセンターバイアスVcbとすれば良い。
第1及び第2の変調信号の振幅の調整は、例えば変調波形のアイパターンを観察して、十分な消光比が確保できる程度に大きいVppを決定すれば良い。Vppに関しても、半導体マッハ・ツェンダ変調器20では波長ごとに最適値が異なる。この場合、第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2の決定と同じように、数波長で最適なVppを実験的に求めておき、間の波長を単純な関係で補完すれば良い。
先ず、制御回路44は、駆動条件テーブル45から半導体マッハ・ツェンダ変調器20の駆動温度Tを読み込む(ステップS11)。
次に、温度コントローラ43は、制御回路44の制御により、半導体マッハ・ツェンダ変調器20の温度を一定の駆動温度T(例えば25℃)に調整する(ステップS12)。
次に、DC電源41a,41bは、制御回路44の制御により、電極ピン36a、36b及び電極ピン37a、37bを介して、アーム12a,12bの変調電極13a,13bに、読み込んだ第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2を印加する(ステップS14)。
次に、高周波信号源42は、制御回路44の制御により、アーム12a,12bの変調電極13a,13bに、電極ピン36a、36b及び電極ピン37a、37bを介して、読み込んだ振幅Vppで、互いに電圧の変化が逆となる高周波信号である第1及び第2の変調信号を印加する(ステップS16)。
以上の手順により、変調器素子20において良好な変調動作を行うことが可能となる。
入力側の光カプラとしては、入力光を2つに分岐できるものであれば良く、出力側の光カプラとしては、2本のアームから入射した光を結合するものであれば良い。例えば、1×2MMIカプラ、Y分岐カプラ、又は方向性結合器を用いた光カプラ等でも同様に効果が得ることができる。但し、用いる光カプラの組合せによっては、DCバイアスを全く印加していない場合に発生する理想的な位相差が異なるため、これに応じてDCバイアスを調整する必要がある。例えば、1×2MMIカプラを入力側に、2×2MMIカプラを出力側に用いた場合には、変調電極に電圧を印加していない場合のアーム間での位相差は理想的には0.5πとなる。そのため、必要な位相調整量は、製造誤差等により発生する初期位相差分のみであると考えれば良い。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に、半導体マッハ・ツェンダ変調器を用いた光変調装置を対象とするが、その変調態様が異なる点で相違する。
本実施形態による光変調装置では、半導体マッハ・ツェンダ変調器、光変調器モジュール、及び光変調装置の構成は第1の実施形態とほぼ同様である。そのため本実施形態でも、第1の実施形態の図面及び符号を適宜用いて説明する。
アーム12a,12bには、変調電極13aの長さと第1のDCバイアスとの積と、変調電極13bの長さと第2のDCバイアスとの積との比率が一定値に保たれるように、第1のDCバイアス及び第2のDCバイアスが印加される。
η1:η2=L1VDC1:L2VDC2=1.5×1:0.5×3=1:1
即ち、アーム12a,12bにおける位相変化の効率が同値となる。
第1の実施形態と同様に、第1のDCバイアスVDC1:第2のDCバイアスVDC2の関係を1:3に固定したまま、アーム12a,12bに第1及び第2のDCバイアスを増減させることで、アーム12a,12b間の位相差を変化させて調整することができる。
第1の実施形態と同様に、第1及び第2のDCバイアスを大きくしてゆくと、位相差が大きくなるため、アーム12a,12b間の位相差を最適に調整することができる。
変調電極13a,13bに印加する第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2の関係を1:3に固定した状態で、第1のDCバイアスを0Vから数Vまで変化させる。このとき、出力ポート(この場合は、出力ポート14a)から出力される光の強度を観測すると、例えば図12のような消光カーブが得られる。第1の実施形態と同様に、図12のセンターバイアスVcbに、アーム12aに印加する第1のDCバイアスを合わせることにより、上述した位相調整がなされることになる。本実施形態では、変調電極13a,13bに印加する第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2の関係が1:3で固定されているため、アーム12bに印加する第2のDCバイアスはVcb×3の値とすれば良い。
本実施形態による光変調装置の駆動方法としては、第1の実施形態の図11と同様である。即ち、ステップS11〜S14により、駆動条件テーブルから、駆動温度Tを読み込んで温度調節し、VDC1,VDC2を読み込んで変調電極13a,13bに印加し、振幅Vppを読み込んで互いに電圧の変化が逆となる高周波信号を印加する。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に、半導体マッハ・ツェンダ変調器を用いた光変調装置を対象とするが、その変調態様が異なる点で相違する。
本実施形態による光変調装置では、半導体マッハ・ツェンダ変調器、光変調器モジュール、及び光変調装置の構成は第1の実施形態とほぼ同様である。そのため本実施形態でも、第1の実施形態の図面及び符号を適宜用いて説明する。
アーム12a,12bには、変調電極13aの長さと第1のDCバイアスとの積と、変調電極13bの長さと第2のDCバイアスとの積との比率が一定値に保たれるように、第1のDCバイアス及び第2のDCバイアスが印加される。本実施形態では、所望の負チャープログラム動作を実現すべく、第1の及び第2の変調信号における上記の比率を例えば5:1に保持する。
η1:η2=L1VDC1:L2VDC2=1.5×2.5:0.75×1=5:1
これにより、アーム12a,12bで互いに逆の方向に5:1の位相変化が発生し、良好な負チャープ動作を実現することができる。
第1の実施形態と同様に、第1及び第2のDCバイアスを大きくしてゆくと、位相差が大きくなるため、アーム12a,12b間の位相差を最適に調整することができる。
変調電極13a,13bに印加する第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2の関係を2.5:1に固定した状態で、第2のDCバイアスを0Vから数Vまで変化させる。このとき、出力ポート(この場合は、出力ポート14a)から出力される光の強度を観測すると、例えば図14のような消光カーブが得られる。第1の実施形態と同様に、図14のセンターバイアスVcbに、アーム12bに印加する第2のDCバイアスを合わせることにより、上述した位相調整がなされることになる。本実施形態では、変調電極13a,13bに印加する第1及び第2のDCバイアスVDC1,VDC2の関係が2.5:1で固定されているため、アーム12aに印加する第1のDCバイアスはVcb×2.5の値とすれば良い。
本実施形態によるMZ型光変調装置の駆動方法としては、第1の実施形態の図11と同様である。即ち、ステップS11〜S14により、駆動条件テーブルから、駆動温度Tを読み込んで温度調節し、VDC1,VDC2を読み込んで変調電極13a,13bに印加し、振幅Vppを読み込んで互いに電圧の変化が逆となる高周波信号を印加する。
図15は、第4の実施形態による光変調装置に用いる半導体マッハ・ツェンダ変調器を示す概略平面図である。
図16は、図15の半導体マッハ・ツェンダ変調器を搭載した変調器モジュールを示す概略平面図である。
図17は、図16の変調器モジュールを搭載した光変調装置を示す概略平面図である。
アーム12a,12bには、変調電極13a,13bからの第1の変調信号及び第2の変調信号が印加される。このとき、変調電極13aの長さL1と第1のDCバイアスVDC1との積と、変調電極13bの長さL2に付加電極51の長さL3を加えた長さ(L2+L3)と第2のDCバイアスVDC2との積との比率が一定に保たれるようにする。ここで、「付加電極の長さ」とは、「変調電極の長さ」と同様に、当該付加電極のアームを構成する導波路と電気的に接続された部分の、当該アームの長手方向に沿った長さを言う。
光変調器モジュール60は、半導体マッハ・ツェンダ変調器50以外では第1の実施形態の図5の光変調器モジュール30とほぼ同様に構成されるが、キャリア31に電極31e及びインダクタ52が付されている点で相違する。
光変調装置70は、光変調器モジュール60以外では第1の実施形態の図6の光変調装置40とほぼ同様に構成される。
また、アーム12a,12b間の位相差を決定する第1及び第2のDCバイアスの印加によるアーム間の位相差に関しては、実効的に異なる長さの電極に第1及び第2のバイアスを印加することになる。そのため、第1の実施形態と同様に、第1及び第2のDCバイアスを、同値に一致させたまま増減させることにより、アーム12a,12b間の位相差を調整することができる。
これについて、他の態様を考えることができる。例えば駆動条件テーブルに、第1の実施形態による1:1となるVDC1,VDC2と、第2の実施形態による1:3となるVDC1,VDC2と、第3の実施形態による2.5:1となるVDC1,VDC2とを記載する。そして、MZ型光変調装置の使用状況に応じて、駆動条件テーブルから適切なVDC1,VDC2を読み込み、所望の0チャープ動作又は負チャープ動作を得るようにしても良い。
Claims (13)
- 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器は、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と
を含み、
前記第1の電極の長さと前記第2の電極の長さとが異なっており、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスが印加されることを特徴とする光変調装置。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器は、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と
を含み、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つように、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスが印加されることを特徴とする光変調装置。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器は、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と、
前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極と
を含み、
前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、
前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続されており、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスが印加されることを特徴とする光変調装置。 - 前記比率を一定値に保つように、予め規定された前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを記載するテーブルを記録したメモリを有し、
前記第1の電極に接続された第1の電源と、
前記第2の電極に接続された第2の電源と
を更に含み、
前記第1の電源及び前記第2の電源は、前記テーブルに記載された前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを、前記第1の電極及び前記第2の電極に印加することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光変調装置。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の駆動方法であって、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と
を含む光変調装置について、
前記第1の電極の長さと前記第2の電極の長さとが異なっており、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを印加することを特徴とする光変調装置の駆動方法。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の駆動方法であって、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と
を含む光変調装置について、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つように、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを印加することを特徴とする光変調装置の駆動方法。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の駆動方法であって、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加する第1の電極と、
前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加する第2の電極と、
前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極と
を含み、
前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、
前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続された光変調装置について、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つように、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを印加することを特徴とする光変調装置の駆動方法。 - 前記比率を一定値に保つように、予め規定された前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを記載するテーブルを用い、
前記光変調装置は、
前記第1の電極に接続された第1の電源と、
前記第2の電極に接続された第2の電源と
を更に含み、
前記第1の電源及び前記第2の電源により、前記テーブルに記載された前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを、前記第1の電極及び前記第2の電極に印加することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の光変調装置の駆動方法。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の製造方法であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器を作製する際に、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路を形成する工程と、
前記第1の光導波路上に、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加するための第1の電極と、前記第2の光導波路上に、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加するための第2の電極とを形成する工程と
を含み、更に、
前記第1の電極の長さと前記第2の電極の長さとが異なっており、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つ、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程を含むことを特徴とする光変調装置の製造方法。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の製造方法であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器を作製する際に、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路を形成する工程と、
前記第1の光導波路上に、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加するための第1の電極と、前記第2の光導波路上に、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加するための第2の電極とを形成する工程と
を含み、更に、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:4〜1:5の一定値に保つ、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程を含むことを特徴とする光変調装置の製造方法。 - 入力した光を分岐して伝搬し、伝搬した光を合波して出力する半導体マッハ・ツェンダ型変調器を用いた光変調装置の製造方法であって、
前記半導体マッハ・ツェンダ変調器を作製する際に、
分岐した光を伝搬する第1の光導波路及び第2の光導波路を形成する工程と、
前記第1の光導波路上に、前記第1の光導波路に第1の変調信号及び第1のDCバイアスを印加するための第1の電極と、前記第2の光導波路上に、前記第2の光導波路に第2の変調信号及び第2のDCバイアスを印加するための第2の電極と、前記第2の光導波路に電圧を印加するための、前記第2の電極とは別に形成された第3の電極とを形成する工程と
を含み、更に、
前記第1の電極及び前記第2の電極は、その長さが同一に形成されており、
前記第2の電極と前記第3の電極がインダクタを介して接続されており、
前記第1の電極の長さと前記第1のDCバイアスとの積と、前記第2の電極の長さと前記第2のDCバイアスとの積との比率を1:1の一定値に保つ、前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程を含むことを特徴とする光変調装置の製造方法。 - 決定された前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを記載するテーブルを作成する工程を更に含むことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の光変調装置の製造方法。
- 前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを決定する工程において、
前記比率を一定値に保持した状態で前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路に印加する前記第1のDCバイアス及び前記第2のDCバイアスを変化させた場合に、出力される光の消光カーブを用いて、前記消光カーブの極大値及び極小値の中央値を、前記第1のDCバイアス又は前記第2のDCバイアスに決定することを特徴とする請求項9〜12のいずれか1項に記載の光変調装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2010/057132 WO2011132283A1 (ja) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | 光変調装置、光変調装置の駆動方法、及び光変調装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011132283A1 JPWO2011132283A1 (ja) | 2013-07-18 |
JP5348317B2 true JP5348317B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=44833839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012511456A Expired - Fee Related JP5348317B2 (ja) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | 光変調装置、光変調装置の駆動方法、及び光変調装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8666200B2 (ja) |
JP (1) | JP5348317B2 (ja) |
WO (1) | WO2011132283A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2502261A (en) * | 2012-05-02 | 2013-11-27 | Bae Systems Plc | Controlling a bias voltage for an optical modulator |
US9207399B2 (en) * | 2013-01-28 | 2015-12-08 | Aurrion, Inc. | Athermal optical filter with active tuning and simplified control |
WO2017019145A1 (en) | 2015-07-24 | 2017-02-02 | Aurrion, Inc. | Phase tuning in waveguide arrays |
JP6288140B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2018-03-07 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
JP6354874B1 (ja) * | 2017-01-31 | 2018-07-11 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP6319490B1 (ja) * | 2017-03-23 | 2018-05-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
US10707837B2 (en) * | 2017-07-06 | 2020-07-07 | Analog Photonics LLC | Laser frequency chirping structures, methods, and applications |
JP7013942B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2022-02-01 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器、及び光伝送装置 |
JP7135382B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-09-13 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器、及び光送信装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005326548A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Fujitsu Ltd | 光変調装置、光送信装置及び光変調方法 |
JP2007531022A (ja) * | 2004-03-31 | 2007-11-01 | ピレリ・アンド・チ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ | 光変調器 |
JP2010015041A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体光変調器制御装置及びその制御方法 |
JP2010501908A (ja) * | 2007-12-04 | 2010-01-21 | ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− | バイアス制御装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7212326B2 (en) * | 2003-05-30 | 2007-05-01 | Jds Uniphase Corporation | Optical external modulator |
EP2458433B1 (en) | 2004-05-13 | 2016-11-02 | Fujitsu Limited | Optical modulator and manufacturing method of the optical modulator |
JP2007248850A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | マッハツェンダ型半導体素子及びその制御方法 |
-
2010
- 2010-04-22 JP JP2012511456A patent/JP5348317B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-22 WO PCT/JP2010/057132 patent/WO2011132283A1/ja active Application Filing
-
2012
- 2012-10-22 US US13/656,895 patent/US8666200B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007531022A (ja) * | 2004-03-31 | 2007-11-01 | ピレリ・アンド・チ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ | 光変調器 |
JP2005326548A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Fujitsu Ltd | 光変調装置、光送信装置及び光変調方法 |
JP2010501908A (ja) * | 2007-12-04 | 2010-01-21 | ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− | バイアス制御装置 |
JP2010015041A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体光変調器制御装置及びその制御方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6010029165; BETTY, I., et al.: 'Zero Chirp 10 Gb/s MQW InP Mach-Zehnder Transmitter with Full-Band Tunability' Optical Fiber Communication and the National Fiber Optic Engineers Conference, 2007 , 2007, pages 1 to 3 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011132283A1 (ja) | 2011-10-27 |
US8666200B2 (en) | 2014-03-04 |
JPWO2011132283A1 (ja) | 2013-07-18 |
US20130108204A1 (en) | 2013-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5348317B2 (ja) | 光変調装置、光変調装置の駆動方法、及び光変調装置の製造方法 | |
US9571203B2 (en) | Optical modulator and optical transmitter | |
JP5120341B2 (ja) | 光デバイス | |
JP5877727B2 (ja) | 半導体光変調素子及び光モジュール | |
JP5069144B2 (ja) | 光変調器 | |
US7911675B2 (en) | Optical modulation device and optical semiconductor device | |
JP5092573B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP5487774B2 (ja) | 光デバイスおよび光送信機 | |
US7826689B2 (en) | Optical device which outputs independently modulated light beams in respective TE and TM polarization modes | |
JP5212475B2 (ja) | 波長可変光送信機 | |
US9568801B2 (en) | Optical modulator | |
JP5437289B2 (ja) | 半導体光変調器 | |
US6600843B2 (en) | Optical modulator | |
JPH0921986A (ja) | 半導体位相変調器および光信号の変調方法 | |
JP6034811B2 (ja) | 波長多重送信器 | |
JP5729075B2 (ja) | 光導波路素子 | |
US9298024B2 (en) | Semiconductor Mach-Zender modulator and method to drive the same | |
JP6452451B2 (ja) | 光集積素子およびその製造方法 | |
US11493788B2 (en) | Optical modulator | |
JP6093312B2 (ja) | 波長多重送信器 | |
US20230216271A1 (en) | Silicon photonic symmetric distributed feedback laser | |
JP6032699B2 (ja) | チャープのある光変調による光電気発振器及び光電気発振方法 | |
JP6271978B2 (ja) | 半導体マッハツェンダ変調装置 | |
JP2009089088A (ja) | 光変調装置、光変調方法、及び光変調制御プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5348317 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |