JP5343449B2 - フッ素樹脂製部材の洗浄方法 - Google Patents
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Description
この容器の洗浄は、例えば、容器を混酸に浸漬して100℃前後で10時間から24時間加熱して金属不純物を除去することによって行われている。
しかし、水では反応により重金属をイオン化することが困難であるため、フッ素樹脂製品の内部にある特に重金属不純物の洗浄としては効果が高いとはいえない。
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、1回の洗浄で金属不純物を十分に除去することができるフッ素樹脂製部材の洗浄方法を提供することを目的とする。
このように、前記酸蒸気による洗浄を行った後、前記フッ素樹脂製部材を前記耐圧密閉容器から取り出し、前記フッ素樹脂製部材を希酸に浸漬させて該フッ素樹脂製部材の金属不純物を除去することで、酸蒸気による洗浄でフッ素樹脂製部材の内部から表面に溶出された金属不純物を容易に効果的に除去することができる。
このように、前記耐圧密閉容器内に入れる酸溶液として硝酸とフッ酸の混酸を用いれば、酸蒸気がフッ素樹脂製部材の微細孔内部に入り込んで金属不純物をイオン化して溶出させるのを効果的に行うことができる。また、強酸でかつ分子が小さい塩酸を用いれば、同様の効果をより効果的に奏することができる。
このように、前記酸蒸気による洗浄工程を10〜24時間行うことで、酸蒸気によりフッ素樹脂製部材内部の金属不純物を表面に十分に溶出させることができる。
従来のフッ素樹脂製部材の洗浄として、フッ素樹脂製部材を加圧された酸蒸気にさらすことで酸蒸気を内部に拡散させて金属不純物を表面に溶出させ、その後希酸に浸漬することによってその溶出された金属不純物を除去する洗浄方法が開示されている。
本発明では、洗浄対象であるフッ素樹脂製部材3を洗浄する際に使用する耐圧密閉容器1として、耐圧限界が1MPa以上であるものを使用する。
ここで、耐圧密閉容器1は、例えば金属のような耐熱性、耐圧性の優れたものとすることができる。また、大きさや形状は、図1に示すように、耐圧密閉容器1内に複数のフッ素樹脂製部材3を入れて洗浄することができるようなものであっても良いし、例えば図2に示すような、1つのフッ素樹脂製部材3を入れて洗浄するようなものであっても良い。
ここで、耐圧密閉容器1内を1MPa以上の所望の圧力にするには、例えば、耐圧密閉容器1の内容積に対する酸溶液2の量を調整することによって行うことができる。
このように洗浄することによって、フッ素樹脂製部材3の微細孔の内部まで酸蒸気4が入り込んで、特に重金属であるFe等のような金属不純物を表面に溶出させる効果を向上することができる。そして、1回の洗浄で十分に内部の金属不純物を表面に溶出させることができる。このように、微細孔の内部の金属不純物が表面に溶出されるので後の洗浄工程で容易に除去することができる。
このように、酸蒸気4により洗浄を行う所定時間を10時間以上とすれば、加熱開始から耐圧密閉容器1全体が温まり、酸溶液2が蒸発して蒸気圧力が上昇して耐圧密閉容器1内が1MP以上となってから、フッ素樹脂製部材3の微細孔の内部に酸蒸気4が入り込んで金属不純物を表面に十分に溶出させることができる。また、24時間以下としても洗浄効果を十分に奏することができるのでコストの面から24時間以下とするのが好ましい。
このように、強酸でかつ分子が小さい塩酸を用いれば、フッ素樹脂製部材3の微細孔の内部に入り込んで金属不純物をイオン化して溶出させる効果を一層高めることができるのでより好ましいが、硝酸とフッ酸の混酸を用いても金属不純物を効果的にイオン化して溶出させる効果を奏することができる。
すなわち、上述のようにして酸蒸気4による洗浄を行った後、フッ素樹脂製部材3を耐圧密閉容器1から取り出し、フッ素樹脂製部材3を希酸5に浸漬させて該フッ素樹脂製部材3の表面に溶出した金属不純物を除去する(図1D)。
このようにすれば、表面に溶出された金属不純物を容易に効果的に除去することができる。
図1に示すような、本発明に係るフッ素樹脂製部材の洗浄方法を用いて、カップ型のPTFE製の部材を洗浄し、洗浄後のPTFE製部材に含まれるFeの濃度を測定した。洗浄したPTFE製の部材は8つとし、2つの耐圧性密閉容器内にそれぞれ4つの部材と、塩酸水溶液を封入した。ここで、温度を150℃、耐圧密閉容器内の圧力を4MPaとし、洗浄時間は12時間とした。その後、PTFE製部材を耐圧性密閉容器から取り出し、10%硝酸水溶液中に12時間浸漬させて表面に溶出した金属不純物を除去した。
まず、PTFE製の部材を炉内で150℃の温度で15時間の熱処理を行い、PTFE製部材内の液相を完全に蒸発させて蒸発乾固させた。
次に、PTFE製の部材を炉内から取り出し、室温まで冷却させた後、濃度1%の硝酸5molをPTFE製部材内に注入し、金属不純物を抽出した。そして、その抽出液を分析装置(ICP−MS)により分析した。
なお、この分析装置の検出限界は0.001ppbwであった。
さらに、上記洗浄後のPTFE製部材を従来の半導体ウェーハの金属不純物分析時に使用している密閉容器に硝酸とフッ酸の混酸と共に入れて密閉し、その密閉容器ごと加熱して発生する酸蒸気に12時間さらし、PTFE製部材の内部から金属不純物が溶出するか調査するためにFeの濃度を測定した。このときの温度を100℃とし、圧力を0.5MPaとした。そしてこの処理を6回連続して行った。
このように、本発明に係るフッ素樹脂製部材の洗浄方法は、1回の洗浄で金属不純物を十分に除去することができることが確認できた。
耐圧密閉容器内の圧力を1MPaとした以外、実施例1と同様な条件でPTFE製部材を洗浄し、実施例1と同様な方法でFeの濃度を測定した。
その結果を図3に示す。図3に示すように、2つのPTFE製部材においてのみ、Feが検出され、検出されたFeの濃度の平均は0.003ppbwと非常に低いものであった。
このように、本発明に係るフッ素樹脂製部材の洗浄方法は、1回の洗浄で金属不純物を十分に除去することができることが確認できた。
酸溶液として硝酸とフッ酸の混酸を用い、温度を100℃、圧力を0.4MPaとして洗浄を行った以外、実施例1と同様な条件でPTFE製部材を洗浄し、実施例1と同様な方法でFeの濃度を測定した。そして、実施例1と同様に、従来の半導体ウェーハの金属不純物分析時に使用している容器にPTFE製部材と硝酸とフッ酸の混酸と共に入れて密閉し、その容器ごと加熱して発生する酸蒸気に12時間さらし、その後のFeの濃度を測定した。
さらに、洗浄後のPTFE製部材を高温の酸蒸気にさらすことにより、内部から溶出されたと思われるFeが検出されていることが分かった。
圧力を0.5MPaとした以外、比較例1と同様の条件でPTFE製部材を洗浄し、比較例1と同様な方法でFeの濃度を測定した。
その結果を図3に示す。図3に示すように、洗浄後において全てのPTFE製部材からFeが検出され、金属不純物が十分に除去できていないことが分かった。また、検出されたFeの濃度の平均は0.037ppbwと、比較例1と比べ圧力を大きくしたことにより改善されているものの、実施例1、実施例2と比べ悪化していることが確認できた。
耐圧密閉容器内に超純水(イオン交換水)とカップ型のPTFE製部材を4つ封入し、その超純水を加熱して発生する水蒸気によってPTFE製部材を洗浄した。ここで、耐圧密閉容器内の圧力を4MPaとし、洗浄時間を12時間とした。そして、実施例1と同様の方法で、洗浄後のFeの濃度を測定した。
その結果を図3に示す。図3に示すように、洗浄後において全てのPTFE製部材からFeが検出され、金属不純物が十分に除去できていないことが分かった。また、検出されたFeの濃度の平均は0.064ppbwと、実施例1、実施例2と比べ悪化していることが分かった。
カップ型のPTFE製部材8つを硝酸とフッ酸の混酸に浸漬して100℃の温度で12時間加熱することにより洗浄を行い、実施例1と同様の方法で、洗浄後のFeの濃度を測定した。
その結果を図3に示す。図3に示すように、洗浄後において全てのPTFE製部材からFeが検出され、金属不純物が十分に除去できていないことが分かった。
4…酸蒸気、5…希酸。
Claims (2)
- フッ素樹脂製部材の金属不純物を除去するフッ素樹脂製部材の洗浄方法であって、前記フッ素樹脂製部材と酸溶液とを耐圧限界が1MPa以上の耐圧密閉容器内に封入し、前記耐圧密閉容器内に入れた前記酸溶液を加熱することによって酸蒸気を発生させて前記耐圧密閉容器内を1MPa以上に加圧し、該圧力下で前記酸蒸気により前記フッ素樹脂製部材を洗浄し、前記耐圧密閉容器内に入れる酸溶液として、塩酸又は硝酸とフッ酸の混酸を用い、前記酸蒸気による洗浄工程を10〜24時間行うことを特徴とするフッ素樹脂製部材の洗浄方法。
- 前記酸蒸気による洗浄を行った後、前記フッ素樹脂製部材を前記耐圧密閉容器から取り出し、前記フッ素樹脂製部材を希酸に浸漬させて該フッ素樹脂製部材の金属不純物を除去することを特徴とする請求項1に記載のフッ素樹脂製部材の洗浄方法。
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