JP6112476B2 - フッ素樹脂の金属不純物除去方法 - Google Patents
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Description
その溶解工程後に前記恒圧チャンバー内を減圧することで前記溶解工程で溶解した金属不純物を前記処理検体の表面側に引き出す引出工程と、
その引出工程後に前記処理検体の表面に高圧ジェット水を供給することで前記引出工程で引き出した金属不純物を前記処理検体から除去する除去工程と、
を含むことを特徴とする。
具体的には、本発明の方法の効果確認として、図5のフローチャートの工程を実施した。この図5のフローチャートでは、図3の各工程(S11〜S18)に加え、S101、S102、S19の工程が追加されている。すなわち、先ず、テストピースからの金属不純物の溶出量を正確に把握するため、処理に用いる器具、具体的にはテストピース等を入れるPFAビーカーに対して本発明の方法、つまり図3の各工程を実施して、PFAビーカーに含まれた金属不純物を取り除いた(S101)。具体的には、PFAビーカーを、加熱温度95℃、加圧0.3MPaで1時間、フッ酸+硝酸+塩酸の蒸気にさらし、95℃に保ったまま0.1Paまで減圧処理した。その後、PFAビーカーの表面に、20kHz、0.2MPaの超音波ジェット水を噴射して、PFAビーカーの表面金属不純物を取り除いた。
図5のS101の工程と同様にして金属不純物を十分に低減したPFAビーカーに、S102の工程と同様にして前洗浄をしたPTFEテストピースを入れ、多摩化学工場株式会社製の超高純度試薬TAMAPURE−AA−100硝酸(68%)、TAMAPURE−AA−100フッ酸(38%)、TAMAPURE−AA−100塩酸(20%)、超純水を容量比1:2:2:5で混合した薬液を超音波洗浄機(20kHz)で超音波洗浄を行いながらヒーター温度を60℃に設定した状態で1時間放置し、PTFEテストピースから金属不純物を溶出させた。その後、一旦PTFEテストピースを取り出し、超純水による水洗を行った後、多摩化学工場株式会社製の超高純度試薬TAMAPURE−AA−100硝酸(68%)、TAMAPURE−AA−100フッ酸(38%)、TAMAPURE−AA−100塩酸(20%)、超純水を容量比1:2:2:5で混合した薬液をホットプレートで80℃に加温した状態で1時間浸漬させて、金属不純物の抽出を行った。その後、ICP−MS法(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製 ELEMENT2)により薬液中に抽出した金属不純物を評価した。なお、実施例と同様にこの不純物抽出操作を繰り返して、抽出回数に対するPTFEテストピースからの金属不純物溶出量の推移を調査した。その結果を表7、図7に示す。なお、図7は、表7をグラフ化した図である。
実施例と同様に、PFAチャンバー内にPFA製のシャーレにそれぞれ入れたフッ酸(ステラケミファ株式会社製50%SA級)、硝酸(関東化学株式会社製61%EL級)、塩酸(関東化学株式会社製35%EL級)を配置し、PFAチャンバー中央にPFAビーカーに入れたPTFEテストピースを配置した。その後、PFAチャンバーのヒーターをオンにして、PFAチャンバー内の温度が95℃に上昇するまで放置し、95℃まで上昇したらPFAチャンバー内の圧力が0.3MPaとなるように窒素ガスを導入した。この状態で1時間放置し、PFAチャンバー内で発生した酸蒸気をPTFEテストピースに浸透させ、PTFEテストピースの微細な隙間に入り込んだ金属不純物を溶解した。
2 PFAチャンバー(恒圧チャンバー)
3 ヒーター
5 供給部
6 排気部
7 ジェット水発生装置
201 フッ酸(薬液)
202 硝酸(薬液)
203 塩酸(薬液)
Claims (1)
- 恒圧チャンバー内に金属不純物を溶解する薬液としてフッ酸、硝酸及び塩酸の少なくとも1つとフッ素樹脂製且つ多孔質状の処理検体とを入れた後、密閉状態のまま前記恒圧チャンバー内の温度を95℃〜120℃とし、且つ圧力を0.2MPa〜0.3MPaとすることで、前記薬液の蒸気を発生させてその蒸気により前記処理検体の多孔質を構成する孔に取り込まれた金属不純物を溶解する溶解工程と、
その溶解工程後に前記恒圧チャンバー内の温度を95℃〜120℃とし、且つ圧力を0.5Pa〜0.1Paとすることで前記溶解工程で溶解した金属不純物を前記処理検体の表面側に引き出す引出工程と、
その引出工程後に前記処理検体の表面に周波数が20kHz〜100kHz、且つ圧力が0.2MPa〜1MPaの超音波ジェット水を供給することで前記引出工程で引き出した金属不純物を前記処理検体から除去する除去工程と、
を含むことを特徴とするフッ素樹脂の金属不純物除去方法。
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