JP5339948B2 - 高純度多結晶シリコン製造方法 - Google Patents
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Description
2 凝縮器
3 コンプレッサ
4 吸収塔
5 冷却装置
6,61 ,62 吸着塔
Claims (3)
- 反応炉内でクロロシランと水素とを反応させて多結晶シリコンを製造するシリコン製造方法において、反応炉から排出される排ガス中の水素ガスを精製し循環使用するために、前記排ガスを凝縮器に通して未反応のクロロシランを凝縮分離する際に、凝縮温度をメタンの沸点より高い−70〜−20℃に維持しつつ、前記凝縮器における排ガス滞留時間を0.1〜1.0秒とすることにより、前記凝縮器で排ガス中のメタン濃度を3/4以下に低下させることを特徴とする高純度多結晶シリコン製造方法。
- 請求項1に記載の高純度多結晶シリコン製造方法において、前記凝縮器から排出される排ガス中のメタン濃度が15ppm以上であり、前記反応炉に還流する排ガス中のメタン濃度が1ppm未満である高純度多結晶シリコンの製造方法。
- 請求項1又は2に記載の高純度多結晶シリコン製造方法において、前記凝縮器から排出された排ガスを、吸収塔又は凝縮器、及び吸着塔を経て前記反応炉に還流させる高純度多結晶シリコン製造方法。
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