JP5339010B1 - Hdd用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
Hdd用ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5339010B1 JP5339010B1 JP2013516038A JP2013516038A JP5339010B1 JP 5339010 B1 JP5339010 B1 JP 5339010B1 JP 2013516038 A JP2013516038 A JP 2013516038A JP 2013516038 A JP2013516038 A JP 2013516038A JP 5339010 B1 JP5339010 B1 JP 5339010B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- base plate
- glass base
- glass substrate
- hdd
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
- C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
- C03C21/002—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
Abstract
Description
本実施形態に係るHDD用ガラス基板の製造方法においては、化学強化工程の直前におけるガラス素板において、前記ガラス素板を主面と垂直な方向に短冊状に切り出した際の断面からリタデーション量を測定したときに、一方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の最大値(第1最大値)と、他方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の最大値(第2最大値)との差が、10nm/mm以下であることを特徴とする。
本実施形態において、リタデーション量とは、ガラス素板においては各表面付近の残留応力を表す指標であり、化学強化工程後のガラス基板においては、化学強化工程により付与された圧縮応力の大きさを表す指標となる。測定方法としては、ガラス素板またはガラス基板を短冊状に切り出し、ポーラリメーター(神港精機社)等を用いて、断面方向から直線偏光を通過させ、通過後の偏光状態の変化を観察する方法等が挙げられる。そして、短冊状に切り出したガラス基板の各記録面(一方の主面及び他方の主面)側から10μmの深さにおけるリタデーション量を複数点にわたり測定し、その最大値を求め、各表面近傍における最大値同士を比較しその差の最大値を特定する。
本実施形態に係るHDD用ガラス基板を構成する材料は、アルミノシリケートガラスが好適に用いられる。かかるアルミノシリケートガラスの組成は、SiO2、Al2O3、及びB2O3をガラス素板の主成分として含有する。また、ガラス素板のアルカリ成分として、Li2O、Na2O、及びK2Oを含有する。アルカリ土類成分として、MgO、CaO、BaO、SrO、及びZnOを含有する。
本実施形態に係るHDD用ガラス基板の製造方法は、フロート法によってガラス板を得る工程と、前記ガラス板から円盤状に切り出してガラス素板を形成する工程と、前記ガラス素板に対して研削及び/又は研磨を行う表面加工工程と、表面加工されたガラス素板を化学強化処理液に浸漬することでガラス素板表面にイオン交換を施す化学強化工程と、を備える。このような製造方法おいて、化学強化工程の直前におけるガラス素板において、前記ガラス素板を主面と垂直な方向に短冊状に切り出した際の断面からリタデーション量を測定したときに、一方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の最大値と、他方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の最大値との差が、10nm/mm以下とすることを特徴とする。
前記円盤加工工程は、所定の組成のガラス素材から板状に成形したガラス板から、図1に示すように、内周及び外周が同心円となるように、中心部に貫通孔10dが形成された円盤状のガラス素板10に加工する工程である。本実施形態に係るHDD用ガラス基板は、フロート法を用いて加工される。
フロート法は、ガラス素材を溶融させた溶融液を、溶融したスズの上に流し、そのまま固化させる方法である。より具体的には、溶融スズを満たしたフロートバス中に溶融ガラスを流し溶融ガラス層を形成させ、該溶融ガラス層を冷却して板状ガラスを固化形成させてガラス板を得る。
アニール工程は、前記フロート法によって得られたガラス素板に対して施される熱処理工程である。このアニール工程を施すことにより、一般的にはガラス素板中の残留応力(残留歪み)の除去をすることができる。ところが、フロート法で得られたガラス素板は、前述したようにスズ層の存在により、上下面の組成が異なるため、ガラス表面付近に異なる残留応力を生じやすい。一般的なアニール工程を行った場合には、ガラス内部の応力歪みはある程度低減することができるが、表面近傍における残留応力の大きさは不均一になりやすい。
次に、前記アニール工程を施したガラス素板を円盤状に切り出す切り出し工程について説明する。
前記研削工程は、前記ガラス素板を所定の板厚に加工する工程である。具体的には、ガラス素板の両面を研削(ラッピング)加工する工程等が挙げられる。このように加工することによって、ガラス素板の平行度、平坦度及び厚みを調整するとともに、フロート法においては表面に形成されたスズ層を除去することができる。
本実施形態に係るHDD用ガラス基板の製造方法は、化学強化工程前にHDD用ガラス基板の上側の面及び下側の面(一方の主面と他方の主面と)の応力分布を均等にする均等化工程を備えることが好ましい。この均等化工程は、ガラス素板の上下面における残留応力の差異をより小さくするための工程である。
前記粗研磨工程(1次研磨工程)は、ガラス素板の主面を、酸化セリウムを含有する研磨スラリーにて研磨し、上述した研削工程で残留した傷や歪みの除去を目的とするもので、下記の研磨方法を用いて実施する。
精密研磨工程は、前記粗研磨工程で得られた平坦平滑な主表面を維持しつつ、例えば、主表面の表面粗さ(Rmax)が6nm程度以下である平滑な鏡面に仕上げる鏡面研磨処理である、この精密研磨工程は、例えば、上記粗研磨工程で使用したものと同様の研磨装置を用い、研磨パッドを硬質研磨パッドから軟質研磨パッドに取り替えて行われる。なお、前記精密研磨工程で研磨する表面は、前記粗研磨工程で研磨する表面と同様、主表面である。
本実施形態に係るHDD用ガラス基板の製造方法は化学強化工程を備えることが好ましい。該化学強化工程は公知の方法であれば、特に限定されない。具体的には、例えば、ガラス素板を化学強化処理液に浸漬させる工程等が挙げられる。そうすることによって、ガラス素板の表面、例えば、ガラス素板表面から5μmの領域に化学強化層を形成することができる。そして、化学強化層を形成することで耐衝撃性に加え、耐振動性及び耐熱性等を向上させることができる。
本実施形態に係るガラス基板の製造方法において、上記工程の他に、洗浄工程を施してもよい。該洗浄工程は、前記粗研磨工程が施されたガラス基板を洗浄する工程である。
図5は、本実施形態に係る製造方法により製造されたHDD用ガラス基板を用いた磁気記録媒体の一例である磁気ディスクを示す一部断面斜視図である。この磁気ディスクDは、円形のHDD用ガラス基板101の主表面に形成された磁性膜102を備えている。磁性膜102の形成には、公知の常套手段による形成方法が用いられる。例えば、磁性粒子を分散させた熱硬化性樹脂をHDD用ガラス基板101上にスピンコートすることによって磁性膜102を形成する形成方法(スピンコート法)や、HDD用ガラス基板101上にスパッタリングによって磁性膜102を形成する形成方法(スパッタリング法)や、HDD用ガラス基板101上に無電解めっきによって磁性膜102を形成する形成方法(無電解めっき法)等が挙げられる。
以下の円盤加工工程、研削工程、再アニール工程、粗研磨工程(1次研磨工程)、精密研磨工程(2次研磨工程)、洗浄工程を施してHDD用ガラス基板を製造した。
フロート法で製造した厚さ1.0mmのガラス素板を所定の大きさの四角形に切断した。このガラス素板に最高温度500℃で3時間アニール処理を行い、冷却後にガラスカッターでガラス素板表面に対して切筋を形成した。磁気ディスク用ガラス基板とされる領域の外周側及び内周側の略周縁を描くそれぞれ円形の切り筋を形成した。続いて、上記切筋を形成したガラス素板をヒーターで加熱し、中心部に円孔を備えたガラス基板を得た。なお、このフロート法で用いられた溶融ガラスには、SiO2:69質量%、Al2O3:15質量%、Li2O:4質量%、Na2O:12質量%を含有する組成を有するものを使用した。
次に、両面研削装置により、ダイヤモンド砥粒を用いて、ガラス素板表面の両面をそれぞれ80μmずつ研削した。
上記研削工程を施したガラス素板を、温度勾配3℃/分で昇温、降温を行い、最高温度で500℃において3時間熱処理を行うことによって再アニール工程を施してガラス素板の残留応力を除去した。
次に、上記研削工程において残留した表面の傷や歪みの除去するために、両面研磨装置を用いて研磨を行なった。研磨パッドは硬質発泡ウレタンを用い、研磨液は平均粒径1μmの酸化セリウムを分散させた水を用い、研磨時間は40分とした。
続いて、上記粗研磨工程で使用したものと同じ両面研磨装置を用い、ガラス素板の表面粗さをRmaxで6nm程度以下とする鏡面研磨加工を行った。研磨パッドは軟質ポリシャに交換し、研磨液は平均粒径20nmのコロイダルシリカを分散させた水を用い、研磨時間は20分とした。
上記精密研磨工程を終えたガラスディスクを、中性洗剤、純水、純水、IPA、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、超音波洗浄し、乾燥した。
上記精密研磨工程後のガラス基板に化学強化工程を施した。化学強化液は硝酸カリウムと硝酸ナトリウムの混合したものを用い、この化学強化溶液を400℃に加熱し、ガラスディスクを約1時間浸漬することによって、化学強化を行なった。
実施例2では、再アニール工程を施さず、円盤加工工程においてガラス基板の上側面を500℃、下側面を510℃に保ちつつ温度勾配を3℃/分で昇温、降温を行い、最高温度で3時間熱処理を行うことによって上下面に対する熱処理が非対称となるようにアニール処理を施したこと以外は、実施例1と同様の工程を施すことによりガラス基板を製造した。
実施例3については、再アニール工程を施さず、フロート工程におけるアニール処理を2ヶ月間実施した以外は、実施例1と同様の工程を施すことによりガラス基板を製造した。
実施例4では、再アニール工程を施さず、円盤加工工程においてガラス基板の上側面を500℃、下側面を505℃に保ちつつ温度勾配を3℃/分で昇温、降温を行い、最高温度で3時間熱処理を行うことによって上下面に対する熱処理が非対称となるようにアニール処理を施したこと以外は、実施例1と同様の工程を施すことによりガラス基板を製造した。
実施例5については、再アニール工程を施さず、フロート工程におけるアニール処理を1ヶ月間実施した以外は、実施例1と同様の工程を施すことによりガラス基板を製造した。
比較例1では、再アニール工程を施さず、研削工程前のアニール処理を12時間実施した以外は、実施例1と同様の方法にてガラス基板を製造した。
比較例2では、再アニール工程を施さず、さらに円盤加工工程におけるアニール処理を行わなかった以外は実施例1と同様の方法にてガラス基板を製造した。
以上の実施例1〜5と比較例1〜2のガラス基板に磁性膜を形成してHDDに搭載し、落下試験における耐衝撃性について評価を行った。評価方法は、該HDD100台を1500Gの高さより各3回落下させた時に、磁気ディスクに割れが生じていなかったものを合格として評価した。以上のテスト評価を表1に示す。
Claims (6)
- HDD用ガラス基板の製造方法であって、
フロート法によりガラス板を得る工程と、
前記ガラス板から円盤状に切り出してガラス素板を形成する工程と、
前記ガラス素板に対して研削及び/又は研磨を行う表面加工工程と、
表面加工されたガラス素板を化学強化処理液に浸漬することでガラス素板表面にイオン交換を施す化学強化工程とを有し、
前記化学強化工程の直前におけるガラス素板において、前記ガラス素板を主面と垂直な方向に短冊状に切り出した際の断面からリタデーション量を測定したときに、一方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の第1最大値と、他方の主面から10μmまでの範囲における単位光路長あたりのリタデーション量の第2最大値との差が、10nm/mm以下であることを特徴とするHDD用ガラス基板の製造方法。 - 前記第1最大値と、前記第2最大値との差が、3nm/mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のHDD用ガラス基板の製造方法。
- 前記化学強化工程の直前におけるガラス素板の、一方の主面と他方の主面との応力分布を均等にする均等化工程を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のHDD用ガラス基板の製造方法。
- 前記均等化工程が、フロート法によって形成したガラス素板にアニール処理を施し、フロート法において溶融スズと接触していた側のガラス素板の主面を研削した後に、再度アニール処理を施す工程であることを特徴とする請求項3に記載のHDD用ガラス基板の製造方法。
- 前記均等化工程が、フロート法によって形成したガラス素板にアニール処理を施すアニール工程であり、前記アニール工程が上下面に対して異なる温度で行われることを特徴とする請求項3に記載のHDD用ガラス基板の製造方法。
- 前記均等化工程が、フロート法によって形成したガラス素板にアニール処理を施すアニール工程であり、前記アニール工程が1カ月以上の期間をかけて行われることを特徴とする請求項3に記載のHDD用ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013516038A JP5339010B1 (ja) | 2011-09-28 | 2012-09-14 | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011212473 | 2011-09-28 | ||
JP2011212473 | 2011-09-28 | ||
PCT/JP2012/005872 WO2013046585A1 (ja) | 2011-09-28 | 2012-09-14 | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
JP2013516038A JP5339010B1 (ja) | 2011-09-28 | 2012-09-14 | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5339010B1 true JP5339010B1 (ja) | 2013-11-13 |
JPWO2013046585A1 JPWO2013046585A1 (ja) | 2015-03-26 |
Family
ID=47994674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013516038A Active JP5339010B1 (ja) | 2011-09-28 | 2012-09-14 | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5339010B1 (ja) |
CN (1) | CN104081457B (ja) |
MY (1) | MY167607A (ja) |
SG (1) | SG11201401037XA (ja) |
WO (1) | WO2013046585A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014240346A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-25 | 日本電気硝子株式会社 | 強化用ガラス板及び強化ガラス板 |
KR102276580B1 (ko) * | 2016-07-04 | 2021-07-13 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 원반 형상 유리 및 그 제조 방법 |
SG11202007984WA (en) * | 2018-03-30 | 2020-09-29 | Hoya Corp | Annealing plate, method for manufacturing annealing plate, and method for manufacturing substrate |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172236A (ja) * | 1987-12-01 | 1989-07-07 | F G K:Kk | 無孔化ガラス素地の製造方法 |
JP2008226377A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Konica Minolta Opto Inc | ブランク材の残留応力を低減する方法及びブランク材 |
WO2009063756A1 (ja) * | 2007-11-12 | 2009-05-22 | Asahi Glass Company, Limited | ガラス板の製造方法およびガラス物品の残留応力測定方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5497612B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2014-05-21 | Hoya株式会社 | ガラスブランク及びその製造方法、並びに磁気記録媒体基板及び磁気記録媒体の製造方法 |
-
2012
- 2012-09-14 JP JP2013516038A patent/JP5339010B1/ja active Active
- 2012-09-14 MY MYPI2014700742A patent/MY167607A/en unknown
- 2012-09-14 WO PCT/JP2012/005872 patent/WO2013046585A1/ja active Application Filing
- 2012-09-14 CN CN201280058450.5A patent/CN104081457B/zh active Active
- 2012-09-14 SG SG11201401037XA patent/SG11201401037XA/en unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172236A (ja) * | 1987-12-01 | 1989-07-07 | F G K:Kk | 無孔化ガラス素地の製造方法 |
JP2008226377A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Konica Minolta Opto Inc | ブランク材の残留応力を低減する方法及びブランク材 |
WO2009063756A1 (ja) * | 2007-11-12 | 2009-05-22 | Asahi Glass Company, Limited | ガラス板の製造方法およびガラス物品の残留応力測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MY167607A (en) | 2018-09-20 |
JPWO2013046585A1 (ja) | 2015-03-26 |
WO2013046585A1 (ja) | 2013-04-04 |
CN104081457A (zh) | 2014-10-01 |
CN104081457B (zh) | 2017-05-10 |
SG11201401037XA (en) | 2014-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5399992B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 | |
JP4713064B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及びその製造方法で製造された情報記録媒体用ガラス基板 | |
WO2013046583A1 (ja) | Hdd用ガラス基板、hdd用ガラス基板の製造方法及びhdd用情報記録媒体の製造方法 | |
JP5339010B1 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP5577290B2 (ja) | 磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5094303B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 | |
JP5778165B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法 | |
WO2013001722A1 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
WO2012090755A1 (ja) | 記録媒体用ガラス基板を製造する方法 | |
JP5671148B2 (ja) | Hdd用ガラスブランクスの製造方法、及びhdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP5859757B2 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP2014235760A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2012079365A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5636243B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5706250B2 (ja) | Hdd用ガラス基板 | |
JP5859756B2 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
WO2012042735A1 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP2013012282A (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
WO2013099083A1 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP2010080026A (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
CN109285565B (zh) | 磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘的制造方法 | |
JP5719030B2 (ja) | 研磨パッドおよび該研磨パッドを用いたガラス基板の製造方法 | |
JP2013012280A (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP2013077353A (ja) | Hdd用ガラス基板及びその製造方法 | |
WO2013001723A1 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5339010 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |