JP5335740B2

JP5335740B2 - 排ガスの処理方法及び設備

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Publication number: JP5335740B2
Application number: JP2010174669A
Authority: JP
Inventors: 美彦望月; 直之大橋
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2010-08-03
Filing date: 2010-08-03
Publication date: 2013-11-06
Anticipated expiration: 2030-08-03
Also published as: SA111320666B1; CN102343206B; US20120034145A1; JP2012035153A; US8968691B2; CN102343206A

Description

本発明は排ガス中の硫酸ミストを湿式電気集塵装置で除去する排ガス処理方法及び設備に関する。

石油、重油等を燃料とするボイラー、燃焼炉等で発生する排ガス中には二酸化硫黄、三酸化硫黄などの硫黄酸化物が含まれている。特に硫黄成分を高濃度に含む重質油燃焼排ガスは、排ガス中のＳＯ_３の含有率が高くなる。

従来の排ガス処理設備は、ボイラーの後段に乾式電気集塵装置、湿式脱硫装置の順に配設されている。ボイラーから排出された排ガスは、乾式電気集塵装置において除塵された後、湿式脱硫装置に導入される。湿式脱硫装置ではアルカリ剤としてＣａ系又はＮａ系の薬剤を用い、排ガス中の硫黄酸化物を除去している。硫黄酸化物内のうちＳＯ_３は粒子径が小さいミスト状であるため、湿式脱硫装置で十分に除去されず、後段に湿式電気集塵装置を設けて除去されている。

また特許文献１の排ガス処理設備は、湿式脱硫した後の硫酸ミスト量を求め等量比１以下のアンモニアガスを湿式脱硫装置と湿式電気集塵装置の間に混入して硫酸ミストを湿式電気集塵装置で除去している。

特開２００７−２６０６１９号公報

しかしながら湿式電気集塵装置に導入されるミストはＳＯ_３が主成分であるため、ｐＨが２よりも小さく湿式電気集塵装置内部は激しい腐食環境下に置かれる。このため湿式電気集塵装置はｐＨを調整したスプレー水を装置内部に連続で噴霧して腐食速度を低減させる対策などが講じられている。また電気集塵手段の後段のガスガスヒータの放熱部では管群の表面に付着した硫酸ミストが蒸発過程で濃縮されて材料の寿命が短くなるという問題があった。

また特許文献１に示すように、硫酸ミストと反応させるアンモニアガスを設備内に供給させるためには、アンモニアの高圧ガスボンベ、圧力制御弁などの設備が必要となり、これらの設備は取り扱いが煩雑であるという問題があった。

上記従来技術の問題点を解決するため本発明の排ガスの処理方法及び設備は、湿式脱硫後の硫酸ミストによる排ガス処理設備の耐腐食性を向上させた排ガスの処理方法及び設備を提供することを目的としている。また本発明の排ガス処理方法及び設備は、硫酸ミストと反応させるアンモニアの供給を容易にすることを目的としている。

本発明の排ガスの処理方法は、アルカリ性の脱硫剤で排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガスの処理方法において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する際に、前記脱硫剤に無機アンモニウム塩を供給して前記排ガス中にアンモニアガスを混入させることを特徴としている。

上記構成により、脱硫剤を用いた湿式脱硫工程において、無機アンモニウム塩を供給し、無機アンモニウム塩とアルカリ性の脱硫剤を反応させてアンモニアガスを発生させることができる。脱硫装置内でアンモニアガスを発生させることにより、後段の湿式電気集塵装置までの間でアンモニアガスと硫酸ミストの滞留時間を長くして十分に反応させることができる。

本発明の排ガスの処理方法は、排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガスの処理方法において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する脱硫工程と、湿式脱硫した後の前記硫酸ミストのｐＨ値を測定する工程と、前記ｐＨ値に基づいて、前記脱硫工程の前記脱硫剤に無機アンモニウム塩の供給量を制御して前記排ガス中に前記アンモニアガスを混入させる工程と、からなることを特徴としている。

上記構成により、湿式脱硫工程よりも後段の設備の耐腐食性が向上し、長寿命化を図り、長期に亘って安定した硫黄酸化物を含む排ガスの処理を行うことができる。
この場合において、前記ｐＨ値が少なくとも４以上となるように前記無機アンモニウム塩を供給するとよい。

上記方法により設備の耐腐食性が向上し、長寿命化を図り、長期に亘って安定した硫黄酸化物を含む排ガスの処理を行うことができる。また無機アンモニウム塩の使用量を最適化することができる。
また前記無機アンモニウム塩は、ＮＨ_４Ｃｌ、ＮＨ_４ＮＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＣＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４のいずれかであるとよい。

上記方法により無機アンモニウム塩は中性の化合物であるため、アンモニアガスと比べて取り扱いが容易となり、硫酸ミストを含む排ガス中に容易にアンモニアガスを混入させることができる。

本発明の排ガス処理設備は、排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガス処理設備において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する湿式脱硫装置に前記湿式脱硫装置内の前記脱硫剤と反応させてアンモニアガスを発生させる無機アンモニウム塩の供給手段を備えたことを特徴としている。

上記構成により、アルカリ性の脱硫剤を用いた湿式脱硫装置内において、無機アンモニウム塩を供給し、無機アンモニウム塩とアルカリ性の脱硫剤を反応させてアンモニアガスを発生させることができる。湿式脱硫装置内でアンモニアガスを発生させることにより、後段の湿式電気集塵装置までの間でアンモニアガスと硫酸ミストの滞留時間を長くして十分に反応させることができる。

本発明の排ガス処理設備は、排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガス処理設備において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する湿式脱硫装置と、前記アンモニアと反応させた前記硫酸ミストを除去する湿式電気集塵装置と、湿式脱硫後、前記湿式電気集塵装置の入口の前記硫酸ミストのｐＨ値を測定するｐＨ測定手段と、前記ｐＨ値に基づいて、前記湿式脱硫装置内の前記脱硫剤と反応させてアンモニアガスを発生させる無機アンモニウム塩の供給量を制御する供給手段を備えたことを特徴としている。

上記構成により、湿式脱硫装置よりも後段の設備の耐腐食性が向上し、長寿命化を図り、長期に亘って安定した硫黄酸化物を含む排ガスの処理を行うことができる。
この場合において、前記湿式電気集塵装置から排出された前記無機アンモニウム塩を含む捕集液を前記湿式脱硫装置へ供給可能な回収手段を備えているとよい。

湿式電気集塵装置の捕集液にはＮＨ_３とＳＯ_３の反応で生成した硫安が含まれているため、上記構成によりこの捕集液を湿式脱硫装置に供給することにより、新たに供給する無機アンモニウム塩の供給量を削減することができる。
また前記無機アンモニウム塩は、ＮＨ_４Ｃｌ、ＮＨ_４ＮＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＣＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４のいずれかであるとよい。

上記方法又は構成による本発明によれば、無機アンモニウム塩を湿式脱硫装置に供給することによって装置内でアンモニアガスを発生させることができる。湿式脱硫装置内でアンモニアガスを発生させることにより、後段の湿式電気集塵装置までの間でアンモニアガスと硫酸ミストの滞留時間を長くして十分に反応させることができる。

湿式脱硫した後の排ガスのｐＨ値を測定し、このｐＨ値に基づいて、脱硫工程の前記脱硫剤に無機アンモニウム塩を供給することにより、湿式脱硫装置よりも後段の設備の耐腐食性が向上し、長寿命化を図り、長期に亘って安定した硫黄酸化物を含む排ガスの処理を行うことができる。

また無機アンモニウム塩は湿式脱硫装置へ溶解状又は固体状で供給することができ、従来のアンモニアガス（気体状）として設備内に供給する方法に比べて取り扱いが容易となる。

本発明の排ガス処理設備の構成概略を示す図である。無機アンモニウム塩（硫安）と硫酸ミストのモル比とｐＨの関係を示すグラフである。

本発明の排ガスの処理方法及び設備の実施形態を添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図１は本発明の排ガス処理設備の構成概略を示す図である。図示のように本発明の排ガス処理設備１０は、ボイラー１２と、第１熱交換手段１４と、乾式電気集塵装置１６と、湿式脱硫装置２０と、湿式電気集塵装置４０と、第２熱交換手段１８と、を主な基本構成とし、ボイラー１２から煙突（不図示）までをこの順番で配設している。

ボイラー１２から排出された排ガスは第１熱交換手段１４へ導入される。第１熱交換手段１４は、一例としてガスガスヒータを用いることができる。第１熱交換手段１４では、排ガスの熱を利用して燃焼用空気等の空気の予熱が行われる。具体的に第１熱交換手段１４では、燃焼用空気等の空気との熱交換（吸熱）によって排ガス温度を百数十度まで低下させている。

次に熱交換された排ガスは、乾式電気集塵手段１６に導入されて排ガス中に含まれる塵埃が除去される。
湿式脱硫装置２０は、一例として脱硫塔本体２１と、入口ダクト２２と、出口ダクト２３と、スプレーノズル２４と、吸収液の循環ポンプ２５と、酸化タンク２６と、撹拌機２７と、空気吸い込み管２８と、エリミネーター２９とを主な基本構成としている。脱硫塔本体２１の側部に排ガスの入口ダクト２２、上部に出口ダクト２３がそれぞれ形成されている。入口ダクト２２と出口ダクト２３の間には吸収液のスプレーノズル２４が水平方向に多段に形成されている。脱硫塔本体２１の下部には吸収液が滞留する酸化タンク２６が形成され、撹拌機２７、空気吸い込み管２８、循環ポンプ２５を備えた循環液配管３０、脱硫剤供給手段３２が配設されている。また出口ダクト２３の本体側にはエリミネーター２９が形成されている。このような構成の湿式脱硫装置２０は、排ガスが入口ダクト２２から脱硫塔本体２１の内部へ導入される。脱硫塔本体２１では循環ポンプ２５から送られる脱硫剤を含んだ吸収液が、スプレーノズル２４から噴霧され、吸収液と排ガスの気液接触が行われる。

例えば脱硫剤に炭酸カルシウム（ＣａＣＯ_３）を用いた場合、吸収液は排ガス中のＳＯ_２を選択的に吸収して重亜硫酸カルシウムを生成する。スラリー状の脱硫剤は、脱硫剤供給手段３２によって酸化タンク２６内へ供給される。重亜硫酸カルシウムを生成した吸収液は酸化タンク２６に留まり、撹拌機２７によって撹拌されながら、空気吸い込み管２８から供給される空気によって酸化されて石膏（ＣａＳＯ_４）を生成する。炭酸カルシウム及び石膏が共存する酸化タンク２６内の吸収液の一部は、循環液配管３０から再度スプレーノズル２４に送られる。その他は吸収液の抜出しポンプ３４から廃液処理などの外部へ排出される。湿式脱硫された排ガスは出口ダクト２３から後段の湿式電気集塵装置４０へ排出される。このときスプレーノズル２４から噴霧された小さい液滴は、エリミネーター２９により回収される。

湿式電気集塵装置４０では、脱硫ミストと塵埃が除去される。湿式電気集塵装置４０から排出された排ガスは第２熱交換手段１８へ導入される。第２熱交換手段１８は、一例としてガスガスヒータを用いることができる。第２熱交換手段１８では、排ガスを再加熱して煙突から排出する際の白煙を防止している。第２熱交換手段１８で再加熱処理された後、処理後の排ガスは煙突（不図示）から外部へ排出される。

また湿式電気集塵装置４０は、洗浄水で集塵極板に付着した塵埃、硫安を洗浄している。湿式電気集塵装置４０には洗浄水の回収手段４２が設置されている。回収手段４２では、アンモニアガスと硫酸ミストの反応によって生成した硫安と、洗浄水を分離し、硫安を分離した洗浄水が、再度洗浄水として再利用する構成となっている。

このような基本構成において、本発明の排ガス処理設備１０では排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガス処理設備１０において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して排ガス中の硫黄酸化物を吸収除去する湿式脱硫装置２０に湿式脱硫装置２０内の脱硫剤と反応させてアンモニアガスを発生させる無機アンモニウム塩の供給手段５０を備えた構成としている。

また本発明の排ガス処理設備１０では排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガス処理設備１０において、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して排ガス中の硫黄酸化物を吸収除去する湿式脱硫装置２０と、アンモニアと反応させた硫酸ミストを除去する湿式電気集塵装置４０と、湿式脱硫後、湿式電気集塵装置４０の入口の硫酸ミストのｐＨ値を測定するｐＨ測定手段６０と、ｐＨ値に基づいて、湿式脱硫装置２０内の脱硫剤と反応させてアンモニアガスを発生させる無機アンモニウム塩の供給手段５０を備えた構成としている。
さらに湿式電気集塵装置４０から排出された無機アンモニウム塩を含む捕集液を湿式脱硫装置２０へ供給可能な回収手段４２を備えた構成としている。

本実施形態の無機アンモニウム塩の供給手段５０は、湿式脱硫装置２０に接続し、装置内の酸化タンク２６内に溶液状又は固体状の無機アンモニウム塩を供給可能に構成している。

本実施形態の無機アンモニウム塩は、一例としてＮＨ_４Ｃｌ、ＮＨ_４ＮＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＣＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４のいずれか又は組み合わせを用いることができる。このような無機アンモニウム塩によれば、中性の化合物であるため、従来高圧のガスボンベから供給していたアンモニアガスと比べて取り扱いが容易である。すなわち、液体状又は固体状の無機アンモニウム塩を供給手段５０から脱硫剤供給手段３２と同様に酸化タンク２６へ供給すればよい。前記無機アンモニウム塩とアルカリ性の脱硫剤を反応させることによって硫酸ミストを含む排ガス中に容易にアンモニアガスを混入させることができる。

また本実施形態のアルカリ性の脱硫剤は、無機アンモニウム塩との反応でアンモニアガスが発生するものであれば良く、一例として苛性ソーダ（ＮａＯＨ）、石灰（ＣａＣＯ_３）、Ｍｇ（ＯＨ）_２などを用いることができる。

酸化タンク２６内では、脱硫剤にＣａＣＯ_３を用いた場合には、前述のように炭酸カルシウム及び石膏が共存する状態である。酸化タンク２６内に無機アンモニウム塩（例えば硫安：（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４を用いた場合）の溶液又は固体を供給すると、アルカリ性の脱硫剤と無機アンモニウム塩により次のような反応式によってアンモニアガスが発生する。

湿式脱硫装置２０の内部では、脱硫剤が排ガスに噴霧されて、排ガス中の二酸化硫黄が吸収除去される。このとき排ガス温度は、飽和温度である数十度まで低下する。温度低下によって、排ガス中に含まれる硫酸は凝縮して硫酸ミストとなる。この硫酸ミストのｐＨは１より小さい値である。
湿式脱硫装置２０内で発生したアンモニアガスは後段の湿式電気集塵装置４０に導入されるまでの間で、この硫酸ミストと反応して硫安が生成される。

本実施形態の湿式脱硫装置２０と湿式電気集塵装置４０の間のダクト４６には、ｐＨ測定手段６０を設置している。ｐＨ測定手段６０は湿式電気集塵装置４０に導入される前の排ガス中の硫酸ミストのｐＨ値を測定可能に構成している。またｐＨ測定手段６０は、供給手段５０と電気的に接続しており、測定したｐＨ値を送信可能に構成している。

湿式電気集塵装置４０の回収手段４２は、湿式脱硫装置２０と接続する硫安供給管４４を形成している。硫安供給管４４は、回収手段４２で洗浄液と分別された硫安を湿式脱硫装置２０の酸化タンク２６内へ供給可能な配管である。

次に上記構成による排ガス処理設備１０の排ガス処理方法について以下説明する。
ボイラー１２から排出された排ガスは、第１熱交換手段１４で百数十度まで冷却された後、乾式電気集塵装置１６に導入される。

次に乾式電気集塵装置１６で塵埃などが除去された排ガスは湿式脱硫装置２０へ導入される。湿式脱硫装置２０内部では、脱硫剤が溶解した吸収液がスプレーノズル２４から排ガスに噴霧されており、排ガス中の二酸化硫黄が吸収除去される。また無機アンモニア塩の供給手段５０から酸化タンク２６に無機アンモニウム塩が供給されており、回収液の脱硫剤と無機アンモニウム塩が反応してアンモニアガスが発生する。酸化タンク２６上で発生したアンモニアガスは装置内の排ガスに混入される。このように本実施形態の排ガスの処理方法によれば、アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して排ガス中の硫黄酸化物を吸収除去する際に、脱硫剤に無機アンモニウム塩を供給して排ガス中にアンモニアガスを混入させることができる。

一方、湿式脱硫装置２０内部の排ガスの温度は、数十度まで低下され、温度低下の過程で排ガス中に含まれる硫酸が凝縮して硫酸ミストとなる。この硫酸ミストと湿式脱硫装置２０内部で発生させたアンモニアガスが反応することにより硫安が生成される。

湿式脱硫装置２０と湿式電気集塵装置４０の間のダクト４６上に設けたｐＨ測定手段６０で測定されたｐＨ値が無機アンモニウム塩の供給手段５０に送信され、本実施形態の供給手段５０では、測定したｐＨ値に基づいて、湿式脱硫装置２０へ供給する無機アンモニウム塩の供給量を制御している。

図２は無機アンモニウム塩（硫安）とＳＯ_３のモル比とｐＨの関係を示すグラフである。同グラフの縦軸は湿式電気集塵装置の入口側の硫酸ミストのｐＨ値を示し、横軸は（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４の供給量（ｍｏｌ／ｈ）／ＳＯ_３量（ｍｏｌ／ｈ）を示している。同グラフに示すように、硫安とＳＯ_３のモル比が等モル比のとき、湿式電気集塵装置の入口側の硫酸ミストのｐＨ値が４となる。そしてＳＯ_３に対して硫安の供給量を増加していくと湿式電気集塵装置の入口側の硫酸ミストのｐＨ値は４よりも大きい値を示している。またＳＯ_３に対して硫安の供給量を低減していくと湿式電気集塵装置の入口側の硫酸ミストのｐＨ値は４よりも小さい値を示している。

ここで湿式電気集塵装置４０や、第２熱交換手段１８の本体では耐食性に優れたステンレス鋼を用いている。ｐＨ値が高くても耐食性を有するステンレス鋼があるが、本実施形態では比較的入手が容易、汎用性のあるＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６Ｌであっても、腐食性の進行を遅らせて適用可能なようにするため、ｐＨ値が少なくとも４以上となるようにしている。またｐＨ値が４以上となるために（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４の供給量（ｍｏｌ／ｈ）／ＳＯ_３量（ｍｏｌ／ｈ）は、ＳＯ_３に対して硫安の供給量を等価以上となるようにしている。以上より、無機アンモニウム塩の供給手段５０は、ｐＨ測定手段６０のｐＨ値が少なくとも４以上となるように無機アンモニウム塩の供給量を制御すればよい。

また湿式電気集塵装置４０には洗浄水の回収手段４２が設置されており、回収手段４２では、アンモニアガスと硫酸ミストの反応によって生成した硫安と、洗浄水を分離している。硫安を分離した洗浄水は、再度洗浄水として再利用する構成となっている。一方、硫安は回収手段４２の硫安供給管４４から湿式脱硫装置２０へ供給している。このように湿式電気集塵装置４０で捕集された硫安を再度湿式脱硫装置２０へ供給することにより、新たに供給する無機アンモニウム塩の供給量を削減することができる。

このような本発明の排ガスの処理方法及び設備によれば、湿式脱硫装置内でアンモニアガスを発生させることにより、後段の湿式電気集塵装置までの間でアンモニアガスと硫酸ミストの滞留時間を長くして十分に反応させることができる。

また湿式脱硫した後の硫酸ミストのｐＨ値を測定し、このｐＨ値に基づいて、脱硫工程の前記脱硫剤に無機アンモニウム塩を供給することにより、湿式脱硫装置よりも後段の設備の耐腐食性が向上し、長寿命化を図り、長期に亘って安定した硫黄酸化物を含む排ガスの処理を行うことができる。

１０………排ガス処理設備、１２………ボイラー、１４………第１熱交換手段、１６………乾式電気集塵装置、１８………第２熱交換手段、２０………湿式脱硫装置、２１………脱流塔本体、２２………入口ダクト、２３………出口ダクト、２４………スプレーノズル、２５………循環ポンプ、２６………酸化タンク、２７………撹拌機、２８………空気吸い込み管、２９………エリミネーター、３０………循環液配管、３２………脱硫剤供給手段、３４………抜出しポンプ、４０………湿式電気集塵装置、４２………回収手段、４４………硫安供給管、４６………ダクト、５０………供給手段、６０………ｐＨ測定手段。

Claims

排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガスの処理方法において、
アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する脱硫工程と、
湿式脱硫した後の前記硫酸ミストのｐＨ値を測定する工程と、
前記ｐＨ値に基づいて前記脱硫工程の前記脱硫剤に無機アンモニウム塩の供給量を制御して前記排ガス中にアンモニアガスを混入させる工程と、
からなることを特徴とする排ガスの処理方法。
前記ｐＨ値が少なくとも４以上となるように前記無機アンモニウム塩を供給することを特徴とする請求項１に記載の排ガスの処理方法。
前記無機アンモニウム塩は、ＮＨ_４Ｃｌ、ＮＨ_４ＮＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＣＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４のいずれかであることを特徴とする請求項１又は２に記載の排ガスの処理方法。
排ガスを湿式脱硫して硫黄酸化物を除去し、前記排ガス中にアンモニアを供給して硫酸ミストを除去する排ガス処理設備において、
アルカリ性の脱硫剤を排ガス中に噴霧して前記排ガス中の前記硫黄酸化物を吸収除去する湿式脱硫装置と、
前記アンモニアと反応させた前記硫酸ミストを除去する湿式電気集塵装置と、
湿式脱硫後、前記湿式電気集塵装置の入口の前記硫酸ミストのｐＨ値を測定するｐＨ測定手段と、
前記ｐＨ値に基づいて前記湿式脱硫装置内の前記脱硫剤と反応させてアンモニアガスを発生させる無機アンモニウム塩の供給量を制御する供給手段を備えたことを特徴とする排ガス処理設備。
前記湿式電気集塵装置から排出された前記無機アンモニウム塩を含む捕集液を前記湿式脱硫装置へ供給可能な回収手段を備えたことを特徴とする請求項４に記載の排ガス処理設備。
前記無機アンモニウム塩は、ＮＨ_４Ｃｌ、ＮＨ_４ＮＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＣＯ_３、（ＮＨ_４）_２ＳＯ_４のいずれかであることを特徴とする請求項４又は５に記載の排ガス処理設備。